JP2010032454A - ガス分析装置及びガス分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1回の波長スキャンで、例えば塩化水素HClと水蒸気H2Oの濃度を検出する場合に、水蒸気H2Oによる吸光波長を越えたタイミングで、切替えスイッチ7をオフからオンに切替え、スキャンする波長、即ち半導体レーザ5の駆動電流にオフセット発生回路6からの波長オフセット量が加算されるように、切替えタイミング制御回路3が切替えタイミングを制御することにより、水蒸気H2O及び塩化水素HCl夫々の吸光スペクトル近傍での波長スキャンの変化を緩やかにすることができ、これにより2f成分検出信号の変化を緩やかにすることができるので、検出の信号対ノイズ比や安定性を確保することができる。
【選択図】図5
Description
この周波数変調方式では、中心周波数fc、変調周波数fmで半導体レーザの出力が周波数変調され、測定対象ガスに照射される。なお、周波数変調とは、半導体レーザに供給されるドライブ電流を正弦波状にすることである。そして、半導体レーザは、温度や電流によって出射光の波長が変化するので、半導体レーザに供給されるドライブ電流を正弦波状にすることで、半導体レーザの出射光の波長を変調することができる。
図7aは、半導体レーザを駆動する駆動電流の波形を示す図、図7bは、図7aの駆動電流で半導体レーザが駆動された時のレーザ光の発光波長を示す図である。なお、半導体レーザの発光光量は駆動電流にほぼ比例するため、発光光量の波形についても、図7aの波形と同様である。
図8は、レーザ光のスキャン条件を変えたときの受光信号及び2f成分検出信号を示す。図8bは、図8aの受光信号から得られた2f成分検出信号であり、図8dは、図8cの受光信号から得られた2f成分検出信号である。図8aと図8cは、図7に示す1スキャンの時間は同じであるが、半導体レーザの駆動電流の変化の傾きを変えてあり、図8cは図8aよりも半導体レーザの駆動電流の変化の傾きが大きい、つまりスキャン速度が大きい。
また、このガス分析方法では、ガスの種類によっては、1つの半導体レーザ光による1回の波長スキャンで複数のガスの吸光を同時に測定することができる場合がある。例えば、あるガスAの吸光スペクトルのすぐ近傍に異なるガスBの吸光スペクトルが存在する場合、1つの半導体レーザ光を用いて波長スキャンを行うことで、2つのガスA,Bの濃度を検出することができる。図10に、このような特定波長で2つのガスの吸光スペクトルを1回の波長スキャンで検出した場合の半導体レーザ(図ではLD:レーザダイオード)の駆動電流と2f成分検出信号を示す。
本発明はこれらの諸問題を解決すべくなされたものであり、1回の波長スキャンで複数のガス濃度を検出するにあたり、検出の信号対ノイズ比や安定性を確保することが可能なガス分析装置及びガス分析方法を提供することを目的とするものである。
また、本発明のガス分析装置は、前記ガス検出部は、受光されたレーザ光の受光信号から、前記周波数変調した周波数の2倍の周波数成分を、位相検波器及びローパスフィルタを用いた同期検波によって検出し、その検出された2倍周波数成分から前記ガスの濃度を検出することを特徴とするものである。
図1は、本発明の一実施形態に係るガス濃度測定装置の概略構成を示す断面図である。 図1において、図示左方のガス濃度測定装置の送信側には、レーザ素子が搭載されたレーザユニット17、前記レーザユニット17から出射されたレーザ光の発光波長をスキャンさせながら周波数変調を行う送信部基板14、前記レーザユニット17から出射されたレーザ光を平行ビームに変換するコリメートレンズ16が設けられている。なお、レーザ素子としてはレーザダイオード素子などの半導体レーザを用いることができ、レーザユニット17には、レーザ素子の温度を検出するサーミスタおよびレーザ素子の温度を調整するペルチェ素子などを搭載することができる。
前述したように、半導体レーザは、温度や電流によって出射光の波長が変化する。図2に、本実施形態の半導体レーザの駆動電流に対する発光波長の変化の一例を示す。送信部基板14では、後述するように、変調周波数fmを発振すると共に、半導体レーザ、例えばレーザダイオード素子の波長スキャンを行うための三角波を発信し、それらの加算値を電流値変換して半導体レーザを駆動する。
また、レーザ光をスキャンするための三角波に代えて、鋸歯状波を使用してもよい。
Claims (5)
- レーザ素子から出射されるレーザ光を周波数変調する周波数変調部と、前記レーザ素子から出射されるレーザ光の波長をスキャンさせる波長スキャン部と、前記レーザ素子から出射されたレーザ光を受光し、受光されたレーザ光の吸光状態から当該レーザ光が通過した部分のガスの濃度を検出するガス検出部と、前記レーザ光の波長スキャン中、当該レーザ光の波長スキャンが所定のガスによる吸光波長を越えたタイミングで、スキャンする波長に一定波長分に相当する波長オフセット量を加算するオフセット制御部とを備えたことを特徴とするガス分析装置。
- 前記オフセット制御部は、一定波長分に相当する波長オフセット量を発生するオフセット発生部と、前記オフセット発生部で発生された波長オフセット量のオフセット信号をオン・オフするオフセット信号切替え部と、前記レーザ光の波長スキャンが所定のガスによる吸光波長を越えたタイミングでオフセット信号切替え部をオフからオンに切替えることで、前記スキャンする波長に波長オフセット量を加算する切替えタイミング制御部とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のガス分析装置。
- 前記波長スキャン部は、レーザ光を駆動する電流を変化させることで当該レーザ光の波長をスキャンし、前記周波数変調部は、レーザ光を駆動する電流を変化させることで当該レーザ光を周波数変調し、前記オフセット発生部は、レーザ光を駆動する電流を変化させることで一定波長分に相当する波長オフセット量のオフセット信号を発生することを特徴とする請求項1又は2に記載のガス分析装置。
- 前記ガス検出部は、受光されたレーザ光の受光信号から、前記周波数変調した周波数の2倍の周波数成分を、位相検波器及びローパスフィルタを用いた同期検波によって検出し、その検出された2倍周波数成分から前記ガスの濃度を検出することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のガス分析装置。
- レーザ素子から出射されるレーザ光を周波数変調すると共に、前記レーザ素子から出射されるレーザ光の波長をスキャンし、前記レーザ素子から出射されたレーザ光を受光し、受光されたレーザ光の受光信号から、前記周波数変調した周波数の2倍の周波数成分を、位相検波器及びローパスフィルタを用いた同期検波によって検出し、その検出された2倍周波数成分から当該レーザ光が通過した部分のガスの濃度を検出するレーザ式ガス分析方法において、レーザ光の波長スキャン中、所定のガスによる吸光波長を越えたタイミングで、一定波長分に相当する波長オフセット量をスキャンする波長に加算することを特徴とするガス分析方法。
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