JP4993213B2 - レーザ式ガス分析計 - Google Patents
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ここで、レーザ式ガス分析計の測定原理は、2波長差分方式と周波数変調方式とに大別される。このうち、本発明は周波数変調方式を用いて2種類のガス濃度を測定するレーザ式ガス分析計に関する。
図10は、周波数変調方式の原理図を示しており、例えば特許文献1に記載されているものである。
周波数変調方式のレーザ式ガス分析計では、中心周波数fc、変調周波数fmで半導体レーザの出射光を周波数変調し、測定対象ガスに照射する。ここで、周波数変調とは、半導体レーザに供給するドライブ電流の波形を正弦波にすることである。
DFB(Distributed Feedback Laser)レーザ等の半導体レーザは、図11(a),(b)に示すようにドライブ電流や温度によって発光波長が変化するため、周波数変調を行うことにより、ドライブ電流の変調に伴って発光波長が変調されることになる。
周波数変調方式において発光部と受光部との間の距離の影響をキャンセルするためには、半導体レーザの出力を周波数変調すると同時に変調周波数fmによって振幅変調を行えば良いが、半導体レーザの出力光に周波数変調をかければ振幅変調もかかるので、これを利用することができる。そして、受光部によりエンベロープ検波を行えば、振幅変調による基本波を推定することができ、この基本波の振幅と前記2倍波信号の振幅との比を位相同期させて検出することにより、発光部と受光部との間の距離に関係なく測定対象のガス濃度に比例した信号を得ることができる。
その方法として、特許文献2に記載されているように、測定対象ガスと同一成分のガスを予め封入した参照用ガスセルを用いる方法が知られている。
図12において、51は光源である半導体レーザ(発光素子)、52は集光レンズ系、53,54はビームスプリッタ、55は測定用ガスセル、56,58,59は光検出器、57は参照用ガスセル(基準ガスセル)、60は被測定ガス供給系、61は増幅器、62は制御用のコンピュータ、63は発光素子51の温度を制御するための温度コントローラ、64は発光素子51を駆動するドライバ、65は発光素子51の発振周波数を制御するためのファンクションジェネレータである。
上記参照用ガスセル57には、被測定ガス供給系60から供給される測定対象ガスと同一成分の参照用ガスが均一濃度で封入されているため、この参照用ガスによる吸収を測定し、測定用ガスセル55の透過光の吸収強度が最大となるように温度コントローラ63により発光素子51の温度調整を行っている。
そして、参照用ガスセル57側を透過した光を測定し、2倍波信号の振幅と基本波の振幅との比が最大となるように発光素子51を温度制御することにより、出射光の波長が一定になるように制御している。
しかしながら、図12に示したような従来技術では、発光素子51の波長可変範囲が狭く、一種または二種程度のガスしか検出できないため、複数種類のガス濃度を測定するためには、これらのレーザ式ガス分析計を複数台設置する必要がある。このように複数台のレーザ式ガス分析計を設置する場合には、設置面積や設置工事・光軸調整費用等が分析計の台数に比例して増加するため、システムが大型化し、コストも増加する。
しかし、測定対象ガスごとに受光信号を同期検波する場合には、一般的に高価な同期検波回路が複数必要になるので、これがコスト上昇の新たな原因となっていた。
前記光源部は、
前記レーザ素子の温度を制御してその発光波長を可変とする温度制御手段と、
測定対象ガスの吸収波長を走査するように前記発光波長を変化させるための波長走査駆動信号を発生する波長走査駆動信号発生手段と、
前記発光波長を周波数変調するための高周波変調信号として正弦波信号を発生する高周波変調信号発生手段と、
前記波長走査駆動信号と前記正弦波信号とを合成した信号を前記レーザ素子駆動用のレーザ駆動信号として出力するレーザ駆動信号発生手段と、を備え、
前記信号処理回路は、
前記受光部の出力信号を増幅して前記正弦波信号の周波数成分を検波信号として出力する1倍周波数検波手段と、
前記受光部の出力信号を増幅して前記正弦波信号の2倍の周波数成分を検波信号として出力する2倍周波数検波手段と、
を備え、
一方の測定対象ガスの濃度を前記1倍周波数検波手段の出力信号から検出し、他方の測定対象ガスの濃度を前記2倍周波数検波手段の出力信号から検出するものである。
同図において、フランジ201a,201bは、例えば、煙道のように測定対象ガスが内部を通流する配管等の壁101a,101bに溶接等によって固定されている。一方のフランジ201aには、取付座202aを介して有底円筒状のカバー203aが取り付けられている。
他方のフランジ201bには、取付座202bを介して有底円筒状のカバー203bが取り付けられている。煙道内部を通過した平行光は、カバー203b内部の集光レンズ206により集光されてフォトダイオード等の受光素子207により受光され、電気信号に変換されて後段の信号処理回路208に入力される。
この光源部204は、測定対象ガスの吸収波長を走査するようにレーザ素子204eの発光波長を可変とする波長走査駆動信号発生部204aと、測定対象ガスの吸収波長を検出するために、例えば10kHz程度の正弦波で発光波長を周波数変調するための高調波変調信号発生部204bと、からなるレーザ駆動信号発生部204sを備えており、上記信号発生部204a,204bの出力信号が合成されてレーザ駆動信号が生成される。
このレーザ駆動信号は電流制御部204cにより電流に変換され、半導体レーザからなるレーザ素子204eに供給される。
図3において、吸収波長を走査する信号S2は、電流制御部204cを介してレーザ素子204eに供給される電流の大きさを直線的に変えることにより、レーザ素子204eの発光波長を徐々にずらしていき、例えばアンモニアガスであれば0.2nm程度の線幅を走査可能とする部分である。
また、S1は、吸収波長は走査しないがレーザ素子204eを発光させ、レーザ素子204eの発光が安定するスレッショルド電流値以上の値にしておくためのオフセット部分であり、S3は駆動電流をほぼ0にした部分である。
しかし、測定対象ガスの種類によっては、必ずしも上記のような方法をとる必要はない。例えば、塩化水素(HCL)の吸収波長1792.97nmの近傍には水の吸収波長1792.74nmも存在する。従って、光源部204の発光波長を広く走査させれば、光源部204が単一であっても塩化水素と水とを同時に検出することができる。
そこで、本実施形態においては、測定対象ガスの種類を2種類とし、それらのガスの吸収波長が近傍に存在する場合を想定している。
この信号は、2f検波回路の出力信号であり、発光波長を走査することによって2種類のガス吸収波形を検出できることがわかる。ここで、図4の波形は塩化水素も水も低濃度の場合であるが、通常の使用環境下では、塩化水素の濃度は一般的に数ppm〜数1000ppmといった濃度レンジであるのに対し、水の濃度は数%〜数10%といった濃度レンジである。つまり、塩化水素は低濃度レンジであるのに対し、水は非常に高濃度レンジとなっている。
従って、実際の使用環境において、塩化水素及び水に対する受光信号を同一の増幅率で増幅すると、受光信号波形は図5のようになり、水のガス吸収波形が飽和してしまう問題が発生する。これは、低濃度の塩化水素を検出するために非常に大きな増幅率で受光信号を増幅しているためである。
水のように高濃度ガスを測定する場合、低増幅率でも光源部の変調周波数成分に大きな信号変化が現れ、1f検波すると後述する図9に示すような信号波形が得られる。この信号波形の振幅w2からガス濃度を検出することができる。
しかしながら、1f検波は微小信号を扱う場合に安定性に欠けるため、低濃度レンジで高精度に安定的にガス濃度を検出することが困難である。このため、1f検波は、水のように高濃度レンジで検出する場合に適していると考えられる。
これに対し、塩化水素のように低濃度レンジで測定するガスについては同期検波回路を用いた2f検波により濃度を検出することとした。
図6において、受光素子207の出力電流はIV変換回路208aにより電圧信号に変換された後、増幅回路208b,208eによって各測定対象ガスの濃度レンジに適合した増幅率(例えば、低濃度のガスに対しては増幅回路208bの増幅率を高くし、高濃度のガスに対しては増幅回路208eの増幅率を低くする)で増幅される。増幅回路208b,208eから出力される信号はそれぞれ検波回路208c,208fに入力される。
また、水を検出するための検波回路208fは、前述した図7のような1f検波回路により構成する。このときのガス吸収波形を図9に示す。
上記のようにこの実施形態によれば、2種類の測定対象ガス用にそれぞれ2f検波用の同期検波回路を設ける必要がないので、構成の簡略化が可能であり、安価なガス分析計を実現することができる。
201a,201b:フランジ
202a,202b:取付座
203a,203b:カバー
204:光源部
204a:波長走査駆動信号発生部
204b:高周波変調信号発生部
204c:電流制御部
204d:温度制御部
204e:レーザ素子
204f:サーミスタ
204g:ペルチェ素子
204s:レーザ駆動信号発生部
205:コリメートレンズ
206:集光レンズ
207:受光素子
208:信号処理回路
208a:IV変換回路
208b,208e:増幅回路
208c,208f:検波回路
208d,208g:AD変換回路
208h:CPU
Claims (1)
- 周波数変調されたレーザ光を出射する単一のレーザ素子を有する光源部と、この光源部からの出射光をコリメートする光学系と、この光学系から測定対象ガスが存在する空間を介して伝播された透過光を集光する光学系と、この光学系により集光された光を受光する受光部と、この受光部の出力信号を処理する信号処理回路と、を備え、2種類の測定対象ガスの濃度を検出するレーザ式ガス分析計において、
前記光源部は、
前記レーザ素子の温度を制御してその発光波長を可変とする温度制御手段と、
測定対象ガスの吸収波長を走査するように前記発光波長を変化させるための波長走査駆動信号を発生する波長走査駆動信号発生手段と、
前記発光波長を周波数変調するための高周波変調信号として正弦波信号を発生する高周波変調信号発生手段と、
前記波長走査駆動信号と前記正弦波信号とを合成した信号を前記レーザ素子駆動用のレーザ駆動信号として出力するレーザ駆動信号発生手段と、を備え、
前記信号処理回路は、
前記受光部の出力信号を増幅して前記正弦波信号の周波数成分を検波信号として出力する1倍周波数検波手段と、
前記受光部の出力信号を増幅して前記正弦波信号の2倍の周波数成分を検波信号として出力する2倍周波数検波手段と、
を備え、
一方の測定対象ガスの濃度を前記1倍周波数検波手段の出力信号から検出し、他方の測定対象ガスの濃度を前記2倍周波数検波手段の出力信号から検出することを特徴とするレーザ式ガス分析計。
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