JP5163508B2 - ガス濃度測定装置 - Google Patents
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a)前記光検出部により得られる測定信号自体に含まれる変調周波数成分を用いてn次(nは2以上の整数)高調波の交流信号を参照信号として生成する参照信号生成手段と、
b)前記参照信号生成手段により生成された参照信号を用いて前記測定信号を位相敏感検波した後に、不要な交流成分を除去するローパスフィルタを通す信号抽出手段と、
c)所定波長範囲の走査に伴って前記信号抽出手段から出力される信号に基づいて被測定ガス中の特定成分を定量化する演算処理手段と、
を備えることを特徴としている。
PDアンプ5から出力されたアナログ電圧信号である測定信号は、まずA/D変換器61により所定のサンプリング周期でサンプリングされてデジタル信号に変換される。デジタル化された測定信号は第1乗算器62及び第2乗算器63に入力される。第2乗算器63は上記測定信号自体を掛け合わせる(つまり2乗する)。測定信号は元の変調周波数fの成分を有する。したがって、次の(1)式により周波数が変調周波数fの2倍である信号成分が生成されることになる。
sin2f=(1/2)・(1−cos2f) …(1)
sinα・cosβ=(1/2)・{sin(α+β)+sin(α−β)} …(2)
ここで、αは測定信号の周波数、βは参照信号の周波数である。α=2f、β=2fとおけば、周波数が「4f」である成分と「0」である成分とが生成されることが分かる。この「0」の成分が直流成分であり、測定信号の2次高調波成分は直流成分に周波数変換されることになる。
2…レーザ駆動部
3…測定セル
4…フォトダイオード(PD)
5…PDアンプ
6、6B、6C…ロックインアンプ
61…A/D変換器
62…第1乗算器
63…第2乗算器
64…バンドパスフィルタ
65…ローパスフィルタ
66…デジタルPLL
67…アナログPLL
68…位相敏感検波部
7…信号処理部
8…制御部
Claims (4)
- 出射するレーザ光の波長が可変であるレーザ光源と、所定周波数fで変調を施すとともに該周波数fよりも低い周波数で所定波長範囲を波長走査するように前記レーザ光源を駆動するレーザ駆動部と、被測定ガスが導入される測定セルと、前記レーザ光源から出射されたレーザ光が前記測定セルを通過した後に検出する光検出部と、を具備し、前記光検出部により得られる信号に含まれる高調波成分に基づいて被測定ガス中の特定成分の濃度を求めるガス濃度測定装置において、
a)前記光検出部により得られる測定信号自体に含まれる変調周波数成分を用いてn次(nは2以上の整数)高調波の交流信号を参照信号として生成する参照信号生成手段と、
b)前記参照信号生成手段により生成された参照信号を用いて前記測定信号を位相敏感検波した後に、不要な交流成分を除去するローパスフィルタを通す信号抽出手段と、
c)所定波長範囲の走査に伴って前記信号抽出手段から出力される信号に基づいて被測定ガス中の特定成分を定量化する演算処理手段と、
を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。 - 請求項1に記載のガス濃度測定装置であって、
前記参照信号生成手段は、アナログ電圧信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、前記デジタル信号それ自体をn回掛け合わせることで変調周波数fのn倍波を生成する乗算手段と、該乗算手段による出力に対して変調周波数fのn倍波以外の不要成分を除去するバンドパスフィルタと、を含むことを特徴とするガス濃度測定装置。 - 請求項1又は2に記載のガス濃度測定装置であって、
前記信号抽出手段は、前記測定信号と前記参照信号とを掛け合わせた後に不要な交流成分を除去するローパスフィルタを通す位相敏感検波を行うロックインアンプであることを特徴とするガス濃度測定装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のガス濃度測定装置であって、
前記ローパスフィルタのカットオフ周波数がレーザ光の波長走査の周波数に応じて決められていることを特徴とするガス濃度測定装置。
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