JP2010032403A - 回路パターン検査装置、および回路パターンの検査方法 - Google Patents
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Abstract
半導体装置のメモリマット部の最周辺部や、繰り返し性の無い周辺回路まで高感度に欠陥判定できる検査技術を提供する。
【解決手段】
繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得する画像検出部、取得した検出画像について、繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出する欠陥判定部、検出された欠陥の画像を表示する表示装置を備える。
【選択図】図1
Description
2 電子
3 偏向器
4 対物レンズ
5 帯電制御電極
6 半導体ウェーハ
7 XYステージ
8 Zセンサ
9 試料台
10 二次信号
11 反射板
12 収束光学系
13 検出器
14 ディジタル信号
15 AD変換器
16 欠陥情報
17 欠陥判定部
18 全体制御部
19 コンソール
20 光学顕微鏡
21 標準試料片
30 画像メモリ
31 画像分配部
32 PE
33 部分欠陥情報
34 情報統合部
40 ダイ
41 メモリマット群
42 メモリマット
43 メモリセル
51 ストライプ領域
54 試し検査座標
55 メモリ領域
90 ストライプマップ
91 画像表示領域
92 欠陥情報表示領域
93 表示しきい値調整ツールバー
94 繰り返しパターン合成条件設定ダイアログ
95 全領域画像合成条件設定ダイアログ
101,102 画像
Claims (14)
- 繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得する画像検出部、該取得した検出画像について、前記繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出する欠陥判定部を備えたことを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記検出された欠陥の画像を表示する表示装置を備えたことを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記加算対象は前記検出画像を含まない複数のダイの画像であることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記加算対象は前記検出画像を含む複数のダイの全部又は一部の画像であることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記合成された参照画像は、複数の前記検出画像の加算,平均,メディアン、又は、はずれ値を除外した平均値、最大と最小の平均値などの任意の統計量演算手法で生成されることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記合成された参照画像は、前記検出画像との位置関係に着目し、合成対象である前記複数ダイの画像の内挿、又は外挿法により生成されることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 請求項1の記載において、前記合成された参照画像は、前記複数のダイの画像を位置合せした画像を対象とすることを特徴とする回路パターン検査装置。
- 繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得し、該取得した検出画像について、前記繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出することを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記加算対象は前記検出画像を含まない複数のダイの画像であることを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記加算対象は検出画像を含む1回のステージ走査により得られた複数のダイの全部、又は、一部の画像であることを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記加算対象は繰り返しパターン、又は複数のダイのパターンを含むことを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記合成された参照画像は、複数の前記検査画像の加算,平均,メディアン、又ははずれ値を除外した平均値、最大と最小の平均値などの任意の統計量演算手法で生成されることを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記合成された参照画像は、前記検出画像との位置関係に着目し、合成対象の複数ダイの画像の内挿、又は外挿法により合成画像を生成することを特徴とする回路パターン検査方法。
- 請求項8の記載において、前記合成された参照画像は、前記複数のダイの画像を位置合せした画像を対象とすることを特徴とする回路パターン検査方法。
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