JP2010023214A - 真空ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ユニット本体を複数連結させる。そして、ユニット本体毎に設けられ、フィルタ14が収容されているフィルタ室の開口部20cが設けられているフィルタケース15の側面全体を覆うフィルタカバー27を備える。そして、フィルタカバー27は、フィルタ室の開口部20cを閉塞する全ての配管ポート部材26と係合するように構成されている。
【選択図】図5
Description
図1及び図2に示すように真空ユニット10は、複数(本実施形態では8つ)のユニット本体11が連結されて構成されている。各ユニット本体11は、切替手段としての電磁弁12と、通過する流体の流量を検出する流量センサ13と、フィルタ14が収容されるフィルタケース15を備え、板状のベース部材16に固定されている。
まず、吸着手段32を搬送するワークに近づける。次に、真空ポート17からの負圧流体がユニット本体11に供給されるように電磁弁12を切り替える。真空ポート17から負圧流体が供給されることにより、吸着手段32は、ワーク周りの空気と共に、ワークを吸い込む。吸い込まれた空気がフィルタケース15を通過する際、フィルタ14により塵埃が取り除かれる。フィルタケース15を通過した空気は、流量センサ13に送られ、流量センサ13によりその流量が計測される。また、計測後の空気は、真空ポート17に吸い込まれる。
まず、フィルタカバー27の両端を止めているローレットネジ30を回してローレットネジ30をフィルタケース15から外す。次に、フィルタカバー27をフィルタケース15から取り外す。その際、フィルタカバー27と係合している配管ポート部材26も共に開口部20cから外される。フィルタカバー27をフィルタ室20の開口部20cから取り除くと、バネ25により弾性力が加えられる支持部22が、開口部20c方向へ抜け止めピン21の抜け止め部21aと係合するまで移動する。支持部22が開口部20c方向へ移動すると、それに伴いフィルタ14も開口部20c方向へ移動する。これにより、フィルタ室20の開口部20cからフィルタ14の端部が突出するようになる。このため、作業者は、フィルタケース15の中からフィルタ14を取りやすくなる。フィルタ14を交換した後、配管ポート部材26を各開口部20cに取り付けるようにあわせて、フィルタカバー27により、フィルタ室20の開口部20cを閉塞する。これにより、フィルタ14の端部は、フィルタカバー27(及び配管ポート部材26)により押圧され、フィルタ室20内に収容される。その後、ローレットネジ30にてフィルタカバー27をフィルタケース15に固定する。これにより、フィルタ14の交換が終了する。
(1)フィルタケース15には、フィルタ室20の開口部20cを閉塞する全ての配管ポート部材26と係合するフィルタカバー27が備えられている。このため、フィルタ室20の開口部20cを開口させる際に、1枚のフィルタカバー27を取り外せば良い。従って、ユニット本体11が薄く形成され、開口部20cが小さくなっても、大きいフィルタカバー27を取り外せば良いため、開口させやすく、フィルタカバー27を紛失しにくい。また、開口部20c毎に開口させる必要がないため、手間を省くことができる。
○上記実施形態では、流体の流れを検出して、真空状態であるか否かを検出するために流量センサ13を備えたが、流体の圧力を検出する圧力センサを備えても良い。
○上記実施形態において、ユニット本体11の数は、8つであったが、任意に変更しても良い。
○上記実施形態では、支持部22をフィルタ室20の底部20aに固定するために、抜け止めピン21を設けたが、なくてもよい。
Claims (4)
- 吸着手段に連結され、当該吸着手段から流体を吸入し、真空状態にすることによりワークを吸着させると共に、前記吸着手段に吸着されたワークが搬送された後、流体を前記吸着手段に対して排出することにより前記吸着手段からワークを離脱させるユニット本体が複数連結される真空ユニットにおいて、
前記ユニット本体には、
真空状態を作り出す負圧流体を供給する真空ポートと、
真空状態を破壊する圧力流体を供給する供給ポートと、
流体に含まれる塵埃を除去するフィルタを収容するフィルタケースと、
真空ポートからの負圧流体の供給及び遮断を切り替えると共に、供給ポートからの圧力流体の供給及び遮断を切り替える切替手段と、を備え、
前記各フィルタケースには、フィルタを交換するための開口部が形成されているとともに、当該開口部は、閉塞手段により閉塞されるように構成されており、
前記フィルタケースの各開口部は、同方向に開口するように構成されており、複数の前記閉塞手段は、一体化されていることを特徴とする真空ユニット。 - 前記フィルタケースの底部には、前記フィルタを開口部方向へ押し出す弾性力を加える弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空ユニット。
- 前記閉塞手段は、前記フィルタケースの各開口部に取り付けられ、前記吸着手段と連結するための配管ポート部材と、前記フィルタケースの開口部が設けられた面全体を覆うフィルタカバーを備えており、
前記フィルタカバーには、開口部に応じて切り欠き部が形成されている一方、前記配管ポート部材には、前記フィルタカバーの各切り欠き部と係合する係合部が形成されており、
前記配管ポート部材は、当該切り欠き部と係合部を係合させることにより、前記フィルタカバーと共に前記フィルタケースに対して着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の真空ユニット。 - 前記フィルタケースは、収容しているフィルタの様子を目視できるように透明素材により形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のうちいずれか一項に記載の真空ユニット。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101251825B1 (ko) * | 2011-09-06 | 2013-04-09 | 이우승 | 진공펌프 |
CN103037678A (zh) * | 2011-10-04 | 2013-04-10 | 富士机械制造株式会社 | 安装头 |
JPWO2015104789A1 (ja) * | 2014-01-07 | 2017-03-23 | 富士機械製造株式会社 | フィルターユニット交換装置 |
JP2017109283A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 村田機械株式会社 | 吸着装置、及びワーク支持装置 |
KR20180089485A (ko) * | 2015-12-01 | 2018-08-08 | 아뜰리에 부쉬 에스.아. | 여과 요소를 구비한 진공 펌프 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6151500U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | ||
JPH054185A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-14 | Smc Corp | 真空供給装置 |
JPH0569366A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Smc Corp | 真空供給装置 |
JP3136158U (ja) * | 2006-09-05 | 2007-10-18 | 株式会社Jcd | カートリッジ式オイルフィルタおよびエンジン洗浄装置 |
JP2007291939A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Toyota Motor Corp | オイルフィルタ |
-
2008
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6151500U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | ||
JPH054185A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-14 | Smc Corp | 真空供給装置 |
JPH0569366A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Smc Corp | 真空供給装置 |
JP2007291939A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Toyota Motor Corp | オイルフィルタ |
JP3136158U (ja) * | 2006-09-05 | 2007-10-18 | 株式会社Jcd | カートリッジ式オイルフィルタおよびエンジン洗浄装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101251825B1 (ko) * | 2011-09-06 | 2013-04-09 | 이우승 | 진공펌프 |
CN103037678A (zh) * | 2011-10-04 | 2013-04-10 | 富士机械制造株式会社 | 安装头 |
JP2013078829A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 装着ヘッド |
CN103037678B (zh) * | 2011-10-04 | 2016-12-21 | 富士机械制造株式会社 | 安装头 |
JPWO2015104789A1 (ja) * | 2014-01-07 | 2017-03-23 | 富士機械製造株式会社 | フィルターユニット交換装置 |
KR20180089485A (ko) * | 2015-12-01 | 2018-08-08 | 아뜰리에 부쉬 에스.아. | 여과 요소를 구비한 진공 펌프 |
JP2019501325A (ja) * | 2015-12-01 | 2019-01-17 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニムAtelier Busch SA | 真空ポンプ用のフィルタエレメントおよび付随する装着装置 |
JP7097295B2 (ja) | 2015-12-01 | 2022-07-07 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニム | 真空ポンプ用のフィルタエレメントおよび付随する装着装置 |
KR102659707B1 (ko) * | 2015-12-01 | 2024-04-22 | 아뜰리에 부쉬 에스.아. | 여과 요소를 구비한 진공 펌프 |
JP2017109283A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 村田機械株式会社 | 吸着装置、及びワーク支持装置 |
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Publication number | Publication date |
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