KR101417393B1 - 진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치 - Google Patents

진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치 Download PDF

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Abstract

진공 필터 유닛은 필터 하우징, 필터 및 체크 밸브를 포함한다. 필터 하우징은 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 유체 공간을 사이로 진공압 연결부와 연통되면서 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는다. 필터는 유체 공간에 설치되며, 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링한다. 체크 밸브는 유체 공간에 설치되며, 진공압이 제공될 경우에는 제1 공기를 필터로 가이드하면서 진공압이 파괴될 경우에는 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 필터 이외의 공간을 통해 패드 연결부로 배출시킨다.

Description

진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치{VACUUM FILTER UNIT AND APPARATUS FOR PICKING UP A ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은 진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 진공압에 의해 외부로부터 유입되는 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 진공 필터 유닛 및 이를 포함하여 전자 소자를 픽업하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 소형의 전자 소자는 전기 장치에 널리 사용되는 반도체 소자 또는 LED 소자를 포함할 수 있다. 이러한 전자 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 전자 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정, 상기 기판에 연결된 상기 칩을 외부로부터 보호하기 위한 몰딩 공정 등을 수행하여 제조된다. 이렇게 제조된 전자 소자들은 트레이로 옮겨져서 별도의 테스트 공정을 거쳐 그 전기적인 기능을 검사하게 된다.
이러한 공정들에서 상기 전자 소자들 각각을 상기 기판 또는 트레이로 개별적으로 이송시키고자 할 경우 그 사이즈가 너무 작고, 그립하는 방식으로는 어려우므로, 진공 흡착 방식이 적용된 픽업 장치를 이용하여 이송하고 있다.
구체적으로, 상기 픽업 장치는 상기 기판 또는 트레이로부터 진공압이 제공되는 흡착 패드를 통해 상기 전자 소자를 흡착한 다음, 다른 기판 또는 트레이로 이송하여 상기 제공되는 진공압을 파괴함으로써 상기 전자 소자를 안착시키게 된다.
이때, 상기 픽업 장치는 진공압에 의해 외부 공기가 유입되며, 이에 외부 공기와 같이 미세 먼지와 같은 이물질도 유입될 수 있다. 이에, 상기 픽업 장치는 상기 진공압을 발생하는 진공압 발생 장치와의 사이에 상기 이물질을 필터링하기 위한 진공 필터를 설치하여 상기 이물질이 상기 진공압 발생 장치에 직접 유입되지 않도록 함으로써, 이에 따른 상기 진공압 발생 장치의 고장을 방지하고 있다.
그러나, 종래의 필터는 상기 진공압이 제공되는 경우와 상기 진공압이 파괴되는 경우 모두, 공기가 필터의 내부 엘리먼트를 거쳐 통과되는 구조를 가짐으로써, 상기 필터의 눈막힘 현상이 발생하는 경우에 진공압의 파괴 시간의 지연 또는 불가 현상을 원인으로 상기 진공압 파괴 시 공기의 흐름이 원활하지 않아 상기 전자 소자를 상기 기판 또는 트레이에 올바르게 안착시키지 못하게 됨으로써, 공정 중 치명적인 잼(jam) 현상이 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은 진공압이 제공되는 경우에는 외부로부터 유입되는 공기를 필터링하고 진공압이 파괴되는 경우에는 외부로 배출되는 공기를 필터링하지 않고 그대로 배출시킬 수 있는 진공 필터 유닛을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 진공 필터 유닛을 포함하는 전자 소자 픽업 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 진공 필터 유닛은 필터 하우징, 필터 및 체크 밸브를 포함한다.
상기 필터 하우징은 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는다. 상기 필터는 상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링한다. 상기 체크 밸브는 상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시킨다.
일 실시예에 따른 상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성될 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 체크 밸브는 상기 통로의 단면적을 전체적으로 차단하며 그 에지 부분이 상기 제2 공기에 의해 개방되도록 플렉서블한 재질로 이루어지면서 상기 패드 연결부 방향으로 오목하게 형성될 수 있다.
다른 실시예에 따른 상기 체크 밸브는 상기 통로의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된 제1 링 형성부, 상기 패드 연결부 방향으로 상기 제1 링 형성부와 일정 간격 이격된 위치에서 상기 통로의 내벽으로부터 그 사이에 제1 개구부가 형성되도록 링 형태로 돌출된 제2 링 형성부 및 상기 제1 및 제2 링 형성부들 사이에서 상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하면서 상기 제1 및 제2 공기들에 의해 이동하며, 상기 제1 개구부와 연통되는 제2 개구부를 갖는 이동부를 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 상기 체크 밸브는 상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하도록 상기 통로에 설치되며, 그 중심 영역을 제외한 영역에 개구부를 갖는 제1 커버부 및 상기 제1 커버부의 상기 패드 연결부 방향에서 상기 중심 영역에 상기 개구부를 커버하도록 체결되며, 상기 제1 커버부를 전체적으로 커버하도록 체결되며 상기 제2 공기에 의해서 상기 개구부가 상기 통로로 개방되도록 플렉서블한 재질로 이루어진 제2 커버부를 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 상기 체크 밸브는 상기 통로의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된 링 형성부, 상기 링 형성부의 상기 패드 연결부 방향에서 상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하며 상기 링 형성부와 인접한 위치에서 이동 가능하면서 상기 링 형성부와 접하는 부위에 개구부를 갖는 이동부 및 상기 이동부에 연결되며 상기 이동부를 상기 링 형성부와 접하도록 하는 탄성력을 갖는 탄성체를 포함할 수 있다. 이럴 경우, 상기 이동부는 상기 탄성체와 연결된 상태에서 상기 제2 공기에 의해 상기 링 형성부로부터 이격되도록 이동할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 상기 유체 공간의 내부에서 상기 패드 연결부를 커버하며, 다공성 재질로 이루어진 다공판을 더 포함하고, 상기 필터는 상기 다공판의 중심부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 일정 구간 연장되도록 설치되며, 상기 체크 밸브는 상기 필터의 주위를 차단할 수 있도록 설치되며, 상기 제1 공기는 상기 필터로 가이드하면서 상기 제2 공기는 그 압력에 의해 상기 다공판을 통해 상기 패드 연결부로 배출되도록 플렉서블한 재질로 이루어질 수 있다. 이럴 경우, 상기 체크 밸브는 상기 다공판으로 갈수록 상기 유체 공간의 내벽으로 경사지게 형성될 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 진공 필터 유닛은 상기 필터 하우징의 패드 연결부에 장착되어 상기 진공압을 감지하는 진공압 센서를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 전자 소자 픽업 장치는 진공압 발생부, 픽커 유닛 및 진공 필터 유닛을 포함한다. 상기 진공압 발생부는 진공압을 발생시킨다. 상기 픽커 유닛은 상기 진공압 발생부와 연결되며, 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하여 소형의 전자 소자를 픽업하는 흡착 패드를 갖는다. 상기 진공압 발생부와 상기 픽커 유닛 사이에서 상기 흡착력에 의해 유입되는 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 진공 필터 유닛을 포함한다.
일 실시예에 따른 상기 진공 필터 유닛은 상기 진공압 발생부에 내장된 구조를 가질 수 있다.
이러한 진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치에 따르면, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부와 상기 진공압에 의해 전자 소자를 픽업하기 위한 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 유체 공간에서 서로 연통시키고, 상기 유체 공간에 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터와 같이 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 체크 밸브를 설치함으로써, 상기 필터가 상기 이물질에 의해 눈막힘 현상이 발생되더라도 진공 파괴시 그 영향을 최소화 할 수 있게 된다.
특히, 상기 필터의 눈막힘 현상이 진행되는 동안에도 상기 제2 공기를 상기 필터를 거치지 않고 그대로 배출시켜 상기 흡착 패드에 진공 흡착된 전자 소자를 기판 또는 트레이에 올바르게 안착시킬 수 있으므로, 종래 기술에서 설명하였던 상기 전자 소자의 제조 공정 중 치명적인 잼(jam) 현상이 발생되는 것을 원천적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 필터 유닛이 설치된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 연결 상태를 나타낸 회로도이다.
도 3은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 일 실시예에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 진공 필터 유닛의 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 체크 밸브를 입체적으로 분해한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 체크 밸브를 측면에서 바라본 도면이다.
도 9는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 다른 실시예에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 11a 및 도 11b는 도 10에 도시된 진공 필터 유닛의 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면들이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 소자 픽업 장치를 개념적으로 나타낸 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 진공 필터 유닛 및 이를 포함하는 전자 소자 픽업 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 필터 유닛이 설치된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 연결 상태를 나타낸 회로도이며, 도 3은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 일 실시예에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 필터 유닛(100)은 필터 하우징(200), 필터(300) 및 체크 밸브(400)를 포함한다.
필터 하우징(200)은 내부에 공기가 흐를 수 있도록 유체 공간(210)을 갖는다. 필터 하우징(200)은 유체 공간(210)을 사이로 서로 연통되는 진공압 연결부(220) 및 패드 연결부(230)를 포함한다.
진공압 연결부(220)는 필터 하우징(200)의 일단에서 외부의 진공압을 발생하는 진공압 발생부(500)와 제1 에어 라인(600)을 통해 연결되어 상기 진공압이 제공된다. 이때, 진공압 연결부(220)는 제1 에어 라인(600)과 원터치 피팅을 통해 간단하게 연결될 수 있다. 이와 달리, 진공압 연결부(220)는 제1 에어 라인(600)과 좀더 견교하게 연결하고자 할 경우 투터치 피팅을 통해 연결될 수 있다.
이때, 진공압 발생부(500)는 상기 진공압을 발생시키기 위하여 공기를 공급하는 에어 공급부(510), 에어 공급부(510)와 연결되어 상기 진공압의 발생에 따른 전기 신호에 따라 에어 공급부(510)로부터 공급되는 공기를 오픈하는 솔(sol) 밸브(520), 솔 밸브(520)와 연결되어 에어 공급부(510)로부터 공급되는 공기를 통해 상기 진공압을 생성하는 진공 노즐부(530)를 포함할 수 있다. 여기서, 진공 노즐부(530)는 구체적으로 에어 공급부(510)로부터 공급되는 공기를 상기 진공압을 제공하기 위한 방향과 다른 방향으로 강하게 이젝팅(ejecting)시킴으로써 상기 진공압을 생성할 수 있다. 또한, 진공압 발생부(500)는 에어 공급부(510)와 솔 밸브(520) 사이에 연결되어 상기 공급되는 공기의 압력을 제어하는 레귤레이터(540)를 더 포함할 수 있다.
패드 연결부(230)는 필터 하우징(200)의 상기 일단과 반대되는 타단에서 외부의 흡착 패드(650)와 제2 에어 라인(700)을 통해 연결되어 상기 진공압에 의해서 흡착 패드(650)에 흡착력이 생성되도록 한다. 이때, 패드 연결부(230)와 제2 에어 라인(700)의 연결 방식은 진공압 연결부(220)와 제1 에어 라인(600)의 연결 방식과 동일할 수 있다.
본 실시예에서는 진공압 연결부(220)와 패드 연결부(230)가 필터 하우징(200)의 서로 반대되는 양 단부들 각각에 형성된 것으로 설명하였지만, 상기의 유체 공간(210)을 사이로 연통되기만 한다면 필터 하우징(200)의 어떠한 위치에도 형성될 수 있다.
필터(300)는 필터 하우징(200)의 유체 공간(210)에 설치된다. 필터(300)는 상기 진공압이 제공되어 패드 연결부(230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)에 포함되어 있는 이물질을 필터링한다. 이에 따라, 진공압 발생부(500)는 필터(300)에 의해 상기 이물질이 필터링됨으로써, 이에 의해 고장이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 여기서, 상기 진공압 발생부(500)는 매우 미세한 먼지와 같은 이물질에 의해서도 고장이 발생될 수 있으므로, 필터(300)는 여과 입자의 사이즈가 마이크로 단위로 매우 작은 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 필터(300)의 여과 입자 사이즈는 본 발명의 진공 필터 유닛(100)을 이하의 도 12를 참조하여 설명한 전자 소자의 픽업 장치(도 12의 1000)에 사용할 경우 더욱 중요할 수 있다.
필터(300)는 패드 연결부(230)로부터 진공압 연결부(220)를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로(310)를 갖도록 형성된다. 이러면, 상기 진공압에 의해 유입되는 제1 공기(A1)는 우선적으로 패드 연결부(230)를 통해 통로(310)로 유입되게 된다.
체크 밸브(400)는 필터(300)와 같이 필터 하우징(200)의 유체 공간(210)에 설치된다. 체크 밸브(400)는 상기 진공압이 제공될 경우에는 패드 연결부(230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)가 필터링되도록 필터(300)로 가이드하고, 상기 진공압이 파괴될 경우에는 진공압 연결부(220)로부터 제1 공기(A1)와 반대 방향으로 유입되는 제2 공기(A2)를 필터(300) 이외의 공간을 통해 패드 연결부(230)로 배출되도록 한다.
이와 같이, 체크 밸브(400)를 이용하여 제2 공기(A2)를 제외한 제1 공기(A1)만을 필터(300)를 통해 필터링되도록 함으로써, 필터(300)가 상기 이물질에 의해 눈막힘 현상이 발생되더라도 진공 파괴시 그 영향을 최소화할 수 있게 된다.
이에, 본 실시예에서는 진공 필터 유닛(100)이 제1 에어 라인(600)을 통해서 진공압 발생부(500)와 연결되어 있는 것으로 설명하였지만, 그 수명을 연장하여 사용할 수 있으므로, 진공 필터 유닛(100)을 진공압 발생부(500)에 내장시켜 그 구조를 간소화시킬 수 있다. 구체적으로, 진공 필터 유닛(100)은 도 2에 도시된 점선 부분에서와 같이 진공압 발생부(500)에서 실질적으로 진공압을 생성하는 진공 노즐부(530)에 바로 연결되도록 내장시켜 이 진공 노즐부(530)와 같이 유지보수 관리될 수 있다.
한편, 상기 진공압이 파괴될 경우, 제2 공기(A2)가 진공압 연결부(220)로 유입되도록 하기 위하여 진공압 발생부(500)는 에어 공급부(510)에 솔 밸브(520) 및 진공 노즐부(530)와 병렬 형태로 연결되어 상기 진공압의 파괴에 따른 전기 신호에 따라 에어 공급부(510)로부터 공급되는 공기를 오픈하는 제2 솔 밸브(550)를 더 포함할 수 있다. 또한, 이 경우 진공압 발생부(500)는 제2 솔 밸브(550)와 진공압 연결부(220) 사이에 상기 진공압 파괴시 유입되는 제2 공기(A2)의 량을 조절하기 위하여 유량 조절부(560)를 더 포함할 수 있다. 또한, 진공압 발생부(500)는 상기 진공압 파괴시 진공 필터 유닛(100)을 통해 별도로 제2 공기(A2)를 공급하기 위하여 에어 공급부(510)와 병렬로 제2 솔 밸브(550)에 연결된 제2 에어 공급부(570)를 더 포함할 수 있다.
이하, 체크 밸브(400)의 구체적인 구조에 대해서 도 4를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 4는 도 3에 도시된 진공 필터 유닛의 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 4를 추가적으로 참조하면, 체크 밸브(400)는 필터(300)의 통로(310)를 전체적으로 차단하도록 형성된다.
이에, 체크 밸브(400)는 패드 연결부(230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)는 기본적으로 차단하여 제1 공기(A1)가 통로(310)를 형성하고 있는 필터(300)로 유입되도록 한다. 반대로, 체크 밸브(400)는 그 에지 부분이 제2 공기(A2)의 압력에 의해서 통로(310) 방향으로 개방되도록, 구체적으로 휘어짐이 가능하도록 하기 위하여 플렉서블한 재질로 이루어진다. 또한, 체크 밸브(400)는 제1 공기(A1)의 압력에 의해서 그 에지 부분이 개방되지 않도록 패드 연결부(230) 방향으로 오목하게 형성될 수 있다.
이와 같이, 체크 밸브(400)가 플렉서블하면서 패드 연결부(230) 방향으로 오목한 하나의 구성으로 매우 간단하게 이루어져 있음으로써, 제1 공기(A1)는 차단하면서 제2 공기(A2)는 통과시키는 기능을 수행할 수 있다.
한편, 진공 필터 유닛(100)은 필터 하우징(200)의 패드 연결부(230)에 진공압을 감지하기 위하여 장착된 진공압 센서(800)를 더 포함할 수 있다. 이러면, 진공압 발생부(500)로부터 제공되는 진공압을 필터(300)를 거친 상태에서 감지함으로써, 흡착 패드(650)에서 생성되는 흡착력을 정확하게 산출할 수 있다. 이로써, 본 발명의 진공 필터 유닛(100)을 도 12에서 설명하는 전자 소자(도 12의 10) 픽업 장치에 장착할 경우, 전자 소자(도 12의 10)를 픽업하는 정확한 흡착력을 산출하여 픽업 공정 중 오류가 발생되는 것을 원천적으로 방지할 수 있다.
이하, 체크 밸브(400)의 다른 다양한 실시예들에 대해서 도 5 내지 도 9를 참조하여 상세하게 설명하고자 한다.
도 5는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이며, 도 6은 도 5에 도시된 체크 밸브를 입체적으로 분해한 도면이다.
도 5 및 도 6를 참조하면, 다른 실시예에 따른 체크 밸브(410)는 제1 링 형성부(412), 제2 링 형성부(413) 및 이동부(415)를 포함한다.
제1 링 형성부(412)는 통로(310)의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된다. 이러면, 제1 링 형성부(412)의 중앙에는 제1 공기(A1) 또는 제2 공기(A2)가 기본적으로 통과될 수 있는 공간이 형성된다.
제2 링 형성부(413)는 패드 연결부(도 3의 230) 방향으로 제1 링 형성부(412)와 일정 간격 이격된 위치에서 제1 링 형성부(412)와 유사한 형상으로 통로(310)의 내벽으로부터 돌출된다. 이때, 제2 링 형성부(413)에는 제1 링 형성부(412)와 달리, 그 사이에 간헐적으로 관통되는 적어도 하나의 제1 개구부(414)가 형성된다.
이동부(415)는 제1 및 제2 링 형성부(412, 413)들 사이에서 통로(310)의 단면적으로 전체적으로 커버하도록 배치된다. 이동부(415)는 제1 및 제2 링 형성부(412, 413)들 사이를 제1 공기(A1) 또는 제2 공기(A2)의 압력에 의해서 이들 사이를 이동한다. 이때, 이동부(415)에는 제2 링 형성부(413)의 제1 개구부(414)와 연통되는 제2 개구부(416)가 형성된다.
상기와 같은 체크 밸브(410)의 구성에 따라, 상기 진공압이 제공되어 패드 연결부(도3의 230)로부터 제1 공기(A1)가 유입되면 이동부(415)가 제1 공기(A1)의 압력에 의해서 제1 링 형성부(412)에 밀착하게 됨으로써, 패드 연결부(도 3의 230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)는 이동부(415)와 제1 링 형성부(412)에 의해 통로(310)에서 흐름이 차단되어 필터(300)로 가이드되고, 상기 진공압이 파괴되어 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 제2 공기(A2)가 유입되면 이동부(415)가 제2 공기(A2)의 압력에 의해 제1 링 형성부(412)로부터 이격되면서 제2 링 형성부(413)에 밀착하게 됨으로써, 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)는 제1 링 형성부(412) 및 이동부(415)의 사이 공간으로 우선 유입된 다음 바로 제1 및 제2 개구부(414, 416)들에 의해서 통로(310)를 거쳐 패드 연결부(도 3의 230)로 배출될 수 있다. 여기서, 이동부(415)는 상기 진공압이 제공되어 제1 링 형성부(412)에 밀착될 때 제1 공기(A1)를 완벽하게 차단할 수 있도록 그 이동 위치를 가이드하기 위해 제1 링 형성부(412)의 중앙에 형성된 공간으로 삽입되도록 돌출부(417)를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서의 체크 밸브(410)는 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)를 인위적으로 형성된 제1 및 제2 개구부(414, 416)들을 통해 패드 연결부(도 3의 230)로 배출시킴으로써, 제2 공기(A2)의 압력에 크게 좌우되지 않고 거의 일정한 량을 패드 연결부(도 3의 230)로 배출시킬 수 있다.
도 7은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이며, 도 8은 도 7에 도시된 체크 밸브를 측면에서 바라본 도면이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브(420)는 제1 커버부(422) 및 제2 커버부(424)를 포함한다.
제1 커버부(422)는 통로(310)의 단면적을 전체적으로 커버하도록 통로(310)에 설치된다. 제1 커버부(422)는 그 중심 영역을 제외한 영역에 적어도 하나의 개구부(423)를 갖는다. 이러면, 패드 연결부(도 3의 230)로부터 유입되는 제1 공기(A1) 및 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)는 제1 커버부(422)의 개구부(423)를 통해서 기본적으로 자유롭게 통과될 수 있다.
제2 커버부(424)는 제1 커버부(422)의 패드 연결부(도 3의 230) 방향에서 그 중심 영역에 제1 커버부(422)의 개구부(423)를 커버하도록 체결된다. 구체적으로, 제2 커버부(424)는 제1 커버부(422)의 중심 영역에서 핀(426)을 통해 간단하게 체결될 수 있다. 이때, 제2 커버부(424)는 제1 공기(A1) 또는 제2 공기(A2)의 압력에 의해서 소정 이동하도록 구성될 수 있다. 이럴 경우, 핀(426)의 상단에는 제1 커버부(422)가 빠지지 않도록 후크 형태의 돌기(미도시)가 형성될 수 있다.
상기와 같은 체크 밸브(420)의 구성에 따라, 패드 연결부(도 3의 230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)는 제1 커버부(422)에 개구부(423)가 형성되어 있더라고 제2 커버부(424)에 의해서 차단되어 필터(300)로 가이드될 수 있다. 반대로, 제2 커버부(424)를 휘어짐이 용이한 플렉서블한 재질로 형성하여 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 유입되어 개구부(423)를 통과한 제2 공기(A2)는 그 압력으로 제2 커버부(424)를 통로(310)로 휘어지도록 함으로써, 통로(310)를 통하여 패드 연결부(도 3의 230)로 그대로 배출될 수 있다. 이때, 제2 커버부(424)가 핀(426)을 따라 패드 연결부(도 3의 230) 방향으로 이동하여 제1 커버부(422)와 소정 이격됨으로써, 제2 공기(A2)는 더욱 원활하게 배출될 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서의 체크 밸브(420)는 개구부(423)를 갖는 제1 커버부(422)와 제1 커버부(422)와 핀(426)을 통해 간단하게 체결된 제2 커버부(424)를 포함함으로써, 장시간 사용시 제2 커버부(424)가 제1 공기(A1)를 완전하게 차단하지 못할 경우 이를 간단하게 교체하여 재사용할 수 있다.
도 9는 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 체크 밸브(430)는 링 형성부(432), 이동부(434) 및 탄성체(438)를 포함한다.
링 형성부(432)는 통로(310)의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된다. 이러면, 링 형성부(432)의 중앙에는 제1 공기(A1) 또는 제2 공기(A2)가 기본적으로 통과될 수 있는 공간이 형성된다.
이동부(434)는 링 형성부(432)의 패드 연결부(도 3의 230) 방향에서 통로(310)의 단면적을 전체적으로 커버하도록 배치된다. 이동부(434)는 링 형성부(432)와 인접한 위치에서 이동 가능하면서 링 형성부(432)와 접하는 부위에 적어도 하나의 개구부(435)를 갖는다. 이에, 이동부(434)는 도 6의 이동부(도 6의 415)와 유사한 형상을 가질 수 있다.
탄성체(438)는 이동부(434)와 연결되어 외부로부터 힘이 제공되지 않을 경우 이동부(434)를 링 형성부(432)에 접하도록 탄성력을 제공한다. 반대로, 탄성체(438)는 외부의 힘, 예컨대 공기의 압력에 의해서 그 형태가 변형 가능한 수준의 탄성력을 갖는다. 탄성체(438)는 일 예로, 도 9에서와 같이 이동부(434)의 패드 연결부(도 3의 230) 방향에서 압축 스프링 형태로 구성될 수 있다. 이와 달리, 탄성체(438)는 이동부(434)와 연결되는 위치를 변경하거나 다양한 종류의 스프링 또는 탄성 물질 등을 활용할 수 있다.
상기와 같은 체크 밸브(430)의 구성에 따라, 상기 진공압이 제공되어 패드 연결부(도 3의 230)로부터 제1 공기(A1)가 유입되면 탄성체(438)의 탄성력에 의해서 이동부(434)가 링 형성부(432)에 밀착하게 됨으로써, 패드 연결부(도 3의 230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)는 이동부(434)와 링 형성부(432)에 의해 통로(310)에서 흐름이 차단되어 필터(300)로 가이드되고, 상기 진공압이 파괴되어 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 제2 공기(A2)가 유입되면 탄성체(438)와 연결된 이동부(434)가 제2 공기(A2)의 압력에 의해 링 형성부(432)로부터 이격됨으로써, 진공압 연결부(도 3의 220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)는 링 형성부(432) 및 이동부(434)의 사이 공간으로 우선 유입된 다음 바로 이동부(434)의 개구부(435)로부터 통로(310)를 거쳐 패드 연결부(도 3의 230)로 배출될 수 있다. 여기서, 이동부(434)는 도 5 및 도 6에서와 마찬가지로, 그 이동 위치를 가이드하기 위해 링 형성부(432)의 중앙에 형성된 공간으로 삽입되도록 돌출부(436)를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서의 체크 밸브(430)는 우선적으로 탄성체(438)의 탄성력에 의해서 패드 연결부(도 3의 230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)를 차단하여 필터(300)로 가이드함으로써, 제1 공기(A1)가 필터(300) 이외의 공간으로 유입될 가능성을 거의 배제시킬 수 있다.
도 10은 도 1에 도시된 진공 필터 유닛의 다른 실시예에 따른 단면을 나타낸 도면이며, 도 11a 및 도 11b는 도 10에 도시된 진공 필터 유닛의 체크 밸브를 구체적으로 나타낸 도면들이다.
본 실시예에서 진공 필터 유닛은 필터 및 체크 밸브의 구조를 제외하고는 도 1 내지 도 3에 도시된 구조와 동일하므로, 동일한 구조에 대해서는 동일한 참조 번호를 사용하며, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 10 내지 도 11b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 필터 유닛(110)은 필터 하우징(200), 다공판(250), 필터(330) 및 체크 밸브(440)를 포함한다. 여기서, 필터 하우징(200)은 유체 공간(210)을 사이로 연통된 진공압 연결부(220) 및 패드 연결부(230)를 포함한다.
다공판(250)은 유체 공간(210)의 내부에서 패드 연결부(230)를 커버하면서 다공성 재질로 이루어진다. 구체적으로, 다공판(250)은 패드 연결부(230)와 접하는 부위에서 패드 연결부(230)로부터 유입되는 제1 공기(A1)기 일차적으로 유입되는 비아(via) 공간(260)을 갖도록 커버할 수 있다.
필터(330)는 다공판(250)의 중심부로부터 진공압 연결부(220)를 향하여 일정 구간 연장되도록 설치된다. 이러면, 비아 공간(260)으로 유입된 제1 공기(A1)는 다공판(250)의 중심부에서는 필터(330)를 거치게 되고, 그 에지부에서는 필터(330)를 거치지 않고 그 주위의 빈 공간으로 유입된다. 또한, 진공압 연결부(220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)는 필터(330)와 진공압 연결부(220)의 사이 공간을 통해서 필터(330)와 그 주위의 빈 공간으로 모두 유입될 수 있다.
체크 밸브(440)는 필터(330) 주위의 빈 공간에 이를 전체적으로 차단할 수 있도록 설치된다. 이에, 체크 밸브(440)는 다공판(250)으로부터 상기의 빈 공간으로 유입되는 제1 공기(A1)를 기본적으로 차단할 수 있는 구조를 갖는다. 또한, 체크 벨브는 진공압 연결부(220)로부터 상기의 빈 공간으로 유입되는 제2 공기(A2)를 그 압력에 의해 개방되어 다공판(250)을 통해 패드 연결부(230)로 배출되도록 휘어짐이 가능한 플렉서블한 재질로 이루어진다. 이때, 체크 밸브(440)는 제2 공기(A2)의 압력에 의해 쉽게 개방되도록 다공판(250)으로 갈수록 유체 공간(210)의 내벽으로 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 진공 필터 유닛(110)은 플렉서블한 체크 밸브(440)를 고정하기 위한 받침대(850)를 더 포함할 수 있다. 이럴 경우, 받침대(850)는 진공압 연결부(220)로부터 상기의 빈 공간으로 유입되는 제2 공기(A2)를 최대한 간섭하지 않도록 설치되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 다공판(250)으로부터 상기 빈 공간으로 유입되는 제1 공기(A1)는 도 11a에서와 같이 체크 밸브(440)에 의해 차단되어 필터(300)로 가이드되고, 진공압 연결부(220)로부터 유입되는 제2 공기(A2)는 도 11b에서와 같이 그 압력으로 체크 밸브(440)를 개방하여 상기의 빈 공간으로부터 다공판(250)을 거쳐 패드 연결부(230)로 배출될 수 있다.
이와 같이, 필터(330)를 다공판(250)의 중심부에 비교적 많은 면적으로 설치하면서 체크 밸브(440)를 통해 다공판(250)으로 유입되는 제1 공기(A1)를 전부 필터(330)로 가이드함으로써, 도 1 내지 도 3의 실시예에서보다 제1 공기(A1)에 포함될 수 있는 이물질을 더욱 확실하게 필터링할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 소자 픽업 장치를 개념적으로 나타낸 구성도이다.
본 실시예에서, 진공 필터 유닛은 도 1 내지 도 11b의 실시예들 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 이에 도 2 및 도 3에 개시된 참조 번호를 사용하며, 이에 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2, 도 3 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 소자 픽업 장치(1000)는 진공압 발생부(500), 픽커 유닛(900) 및 진공 필터 유닛(100)을 포함한다.
진공압 발생부(500)는 진공압을 발생시킨다. 예를 들어, 진공압 발생부(500)는 에어 공급부(510)로부터 공급되는 공기를 상기 진공압을 제공하기 위한 방향과 다른 방향으로 강하게 이젝팅시키는 진공 노즐부(530)를 통하여 상기 진공압을 생성할 수 있다.
픽커 유닛(900)은 진공압 발생부(500)와 연결되어 상기 진공압을 제공받는 픽커 몸체(910) 및 픽커 몸체(910)의 하단 부위에 체결되어 상기 진공압에 의한 흡착력을 생성하여 트레이(20)에 탑재된 전자 소자(10)를 픽업하는 흡착 패드(650)를 포함한다. 여기서, 전자 소자(10)는 전기 장치에 널리 사용되는 소형의 반도체 소자 또는 LED 소자를 포함할 수 있다. 이렇게 전자 소자(10)를 픽업한 픽커 유닛(900)은 별도의 이송 유닛(950)과 연결되어 다른 위치에 배치된 기판(30)으로 이송하여 안착시킬 수 있다. 본 실시예에서는 픽커 유닛(900)이 전자 소자(10)를 트레이(20)에서 기판(30)으로 이송하는 것으로 한정하여 설명하였지만, 기판(30)에서 트레이(20) 또는 트레이(20)들 사이와 기판(30)들 사이에서 이송할 수도 있다. 또한, 픽커 유닛(900)은 접착 시트(미도시)에 접착된 상태에서 소잉된 전자 소자(10)를 픽업할 때도 사용될 수 있다.
진공 필터 유닛(100)은 진공압 발생부(500)와 픽커 유닛(900) 사이에 연결된다. 진공 필터 유닛(100)은 상기 흡착력에 의해서 흡착 패드(650)로부터 유입되는 공기를 필터링하여 이에 포함되어 있는 이물질을 필터(300)를 통해 필터링한다. 이로써, 진공압 발생부(500)가 상기 이물질에 의해 고장이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 반대로, 진공 필터 유닛(100)은 픽커 유닛(900)을 전자 소자(10)를 기판(30)에 안착시키고자 하기 위하여 상기 진공압을 파괴시킬 때 진공압 발생부(500)로부터 유입되는 공기를 체크 밸브(400)를 통해서 필터(300)를 거치지 않고 그대로 흡착 패드(650)로 배출시킴으로서, 안정적으로 안착시킬 수 있다. 특히, 진공 필터 유닛(100)은 필터(300)에 눈막힘 현상이 발생될 경우에서 전자 소자(10)를 항상 올바르게 안착시킬 수 있으므로, 전자 소자(10)의 제조 공정 중 치명적인 잼(jam) 현상이 발생되는 것을 원천적으로 방지할 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 진공 필터 유닛(100)이 전자 소자(10)를 픽업하는 픽업 장치(1000)에 사용되는 것으로 설명하였지만, 산업 전반에 걸쳐 진공 흡착 방식을 사용하는 모든 분야에 널리 사용될 수 있음을 이해할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 전자 소자 20 : 트레이
30 : 기판 100, 110 : 진공 필터 유닛
200 : 필터 하우징 210 : 유체 공간
220 : 진공압 연결부 230 : 패드 연결부
250 : 다공판 260 : 비아 공간
300, 330 : 필터 310 : 통로
400, 410, 420, 430 : 체크 밸브
412 : 제1 링 형성부 413 : 제2 링 형성부
415, 434 : 이동부 422 : 제1 커버부
424 : 제2 커버부 432 : 링 형성부
438 : 탄성체 500 : 진공압 발생부
510 : 에어 공급부 520 : 솔 밸브
530 : 진공 노즐부 540 : 레귤레이터
550 : 제2 솔 밸브 560 : 유량 조절부
600 : 제1 에어 라인 650 : 흡착 패드
700 : 제2 에어 라인 800 : 진공압 센서
900 : 픽커 유닛 910 : 픽커 몸체
1000 : 전자 소자 픽업 장치

Claims (11)

  1. 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터; 및
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브를 포함하고,
    상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성되며,
    상기 체크 밸브는 상기 통로의 단면적을 전체적으로 차단하며 그 에지 부분이 상기 제2 공기에 의해 개방되도록 플렉서블한 재질로 이루어지면서 상기 패드 연결부 방향으로 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터; 및
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브를 포함하고,
    상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성되며,
    상기 체크 밸브는
    상기 통로의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된 제1 링 형성부;
    상기 패드 연결부 방향으로 상기 제1 링 형성부와 일정 간격 이격된 위치에서 상기 통로의 내벽으로부터 그 사이에 제1 개구부가 형성되도록 링 형태로 돌출된 제2 링 형성부; 및
    상기 제1 및 제2 링 형성부들 사이에서 상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하면서 상기 제1 및 제2 공기들에 의해 이동하며, 상기 제1 개구부와 연통되는 제2 개구부를 갖는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  5. 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터; 및
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브를 포함하고,
    상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성되며,
    상기 체크 밸브는
    상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하도록 상기 통로에 설치되며, 그 중심 영역을 제외한 영역에 개구부를 갖는 제1 커버부; 및
    상기 제1 커버부의 상기 패드 연결부 방향에서 상기 중심 영역에 상기 개구부를 커버하도록 체결되며, 상기 제2 공기에 의해서 상기 개구부가 상기 통로로 개방되도록 플렉서블한 재질로 이루어진 제2 커버부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  6. 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터; 및
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브를 포함하고,
    상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성되며,
    상기 체크 밸브는
    상기 통로의 내벽으로부터 링 형태로 돌출된 링 형성부;
    상기 링 형성부의 상기 패드 연결부 방향에서 상기 통로의 단면적을 전체적으로 커버하며, 상기 링 형성부와 인접한 위치에서 이동 가능하면서 상기 링 형성부와 접하는 부위에 개구부를 갖는 이동부; 및
    상기 이동부에 연결되며, 상기 이동부를 상기 링 형성부와 접하도록 하는 탄성력을 갖는 탄성체를 포함하며,
    상기 이동부는 상기 탄성체와 연결된 상태에서 상기 제2 공기에 의해 상기 링 형성부로부터 이격되도록 이동 가능한 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  7. 내부에 유체 공간을 가지며, 진공압을 발생하는 진공압 발생부와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하는 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 패드 연결부로부터 유입되는 제1 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 필터; 및
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 제1 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 제2 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브; 및
    상기 유체 공간의 내부에서 상기 패드 연결부를 커버하며, 다공성 재질로 이루어진 다공판을 포함하고,
    상기 필터는 상기 다공판의 중심부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 일정 구간 연장되도록 설치되며,
    상기 체크 밸브는 상기 필터의 주위를 차단할 수 있도록 설치되며, 상기 제1 공기는 상기 필터로 가이드하면서 상기 제2 공기는 그 압력에 의해 상기 다공판을 통해 상기 패드 연결부로 배출되도록 플렉서블한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  8. 제7항에 있어서, 상기 체크 밸브는 상기 다공판으로 갈수록 상기 유체 공간의 내벽으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  9. 제1항에 있어서, 상기 필터 하우징의 패드 연결부에 장착되어 상기 진공압을 감지하는 진공압 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 필터 유닛.
  10. 삭제
  11. 진공압을 발생하는 진공압 발생부;
    상기 진공압 발생부와 연결되며, 상기 진공압에 의해 흡착력을 생성하여 소형의 전자 소자를 픽업하는 흡착 패드를 갖는 픽커 유닛; 및
    상기 진공압 발생부와 상기 픽커 유닛 사이에서 상기 흡착력에 의해 유입되는 공기에 포함되어 있는 이물질을 필터링하는 진공 필터 유닛을 포함하며,
    상기 진공 필터 유닛은
    내부에 유체 공간을 가지며, 상기 진공압 발생 장치와 연결되는 진공압 연결부 및 상기 유체 공간을 사이로 상기 진공압 연결부와 연통되면서 상기 흡착 패드와 연결되는 패드 연결부를 갖는 필터 하우징;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 이물질을 필터링하는 필터;
    상기 유체 공간에 설치되며, 상기 진공압이 제공될 경우에는 상기 패드 연결부로부터 유입되는 공기를 상기 필터로 가이드하면서 상기 진공압이 파괴될 경우에는 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 공기를 상기 필터 이외의 공간을 통해 상기 패드 연결부로 배출시키는 하나의 체크 밸브를 포함하고,
    상기 필터는 상기 패드 연결부로부터 상기 진공압 연결부를 향하여 연장된 일정 구간에서 내부에 통로를 갖도록 구성되며,
    상기 체크 밸브는 상기 통로의 단면적을 전체적으로 차단하며 그 에지 부분이 상기 진공압 연결부로부터 유입되는 공기에 의해 개방되도록 플렉서블한 재질로 이루어지면서 상기 패드 연결부 방향으로 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 전자 소자 픽업 장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11257223A (ja) * 1997-12-30 1999-09-21 Lg Electronics Inc リニア圧縮機の吐出バルブ装置
JP2006239655A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Kuroda Pneumatics Ltd インラインフィルタ装置
KR20100043552A (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 한국에스엠씨공압(주) 반도체 제조 공정 장비용 진공유닛
KR101066212B1 (ko) * 2011-03-10 2011-09-20 한국뉴매틱(주) 퀵-릴리즈 진공펌프

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11257223A (ja) * 1997-12-30 1999-09-21 Lg Electronics Inc リニア圧縮機の吐出バルブ装置
JP2006239655A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Kuroda Pneumatics Ltd インラインフィルタ装置
KR20100043552A (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 한국에스엠씨공압(주) 반도체 제조 공정 장비용 진공유닛
KR101066212B1 (ko) * 2011-03-10 2011-09-20 한국뉴매틱(주) 퀵-릴리즈 진공펌프

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