JP2010020210A - スクリーンの製造方法及び製造装置、並びにスクリーン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スクリーンの製造装置100において、スクリーン基板1は、ホルダHDにより内壁面130aに沿って所定の位置で固定される。蒸発源装置120により成膜物質Wを加熱して、蒸発させる。チャンバ130内は、所望の真空状態となっているため、成膜物質Wの射出軌道EVは、蒸発源装置120から放射状に射出するものとなり、スクリーン基板1上に堆積する。これにより、スクリーン基板1上に成膜物質Wによる反射膜が形成され、スクリーンが製造される。
【選択図】図5
Description
以下、本発明に係る第1実施形態のスクリーンについて図面を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態のスクリーン10の全体的な使用状態を説明する図である。スクリーン10は、図中水平方向即ちx方向を長手方向とし、垂直方向即ちy方向を短手方向とする横長の長方形状を有する。スクリーン10は、その前側下方に設置された投影装置等からの投射光PLを、スクリーン10の主として前方に反射光として射出させる反射型スクリーンである。つまり、図1の場合、投影装置等に設けた投射レンズPOの投射光源点Sからの投射光PLがスクリーン10の前面10aに投射され、前面10a上に設けた不図示の微細凹凸構造で前方に反射することにより、画像投影がなされる。ここで、投射光源点Sは、スクリーン10に比較的近接した下方位置に設置されている。また、ここでは、図示のように、投射光PLのスクリーン10の中心位置Oに入射する光束軸AXが入射角度αとなっており、投射光源点Sからスクリーン10までの距離(即ち投射光源点Sからスクリーン10の前面10aを含む平面に垂直に下ろして交差する点である交点Hまでの距離)が投射距離dとなっている状態で、下方から斜め上方に向けて投射されている。所謂フロント投射型の場合、スクリーン10は、中心位置Oを基準として、上述した入射角度αや投射距離dによって定まる各位置での投射光PLの入射角度に応じて、前面10a上の微細凹凸構造についての光学的な設計がなされることが望ましい。特に、コントラストの向上のためには、前面10aにおいて、投射光PLは的確に前方に反射される一方、主に上方からの外光OLはなるべく前方に反射されない構造となっていることが望ましい。
これに対して、図2に示すように、スクリーン10では、円弧AC上の位置に関係なく反射膜RSの境界が略水平方向となるようにしている。これにより、投射光PLの反射率を確保することと、コントラストをさらに良くするために外光OLの反射を抑えることとのバランスを考慮したものとなっている。
図8は、第2実施形態に係るスクリーンの正面図であり、図9は、図8に示すスクリーン110の一部を拡大した図である。つまり、図9は、図8中におけるスクリーン110の右下に位置する領域PDについて示す図である。また、図10は、スクリーンの表面形状を示す斜視図である。本実施形態に係るスクリーン110は、図1等のスクリーン10と同様に、多数の凹部102aを円弧状に配列して、複数の立体部群102を形成している。特に、本スクリーン110では、図9において破線で示す設計上の仮想的な円CRに対応して半球状の凹面を有する凹部102aが形成されるが、円CRは1つの立体部群102において重なり合い、さらに、立体部群102間でも重なり合うように配列している。つまり、1つの立体部群102内での凹部102a間の配列密度は、円CRの直径の逆数より大きく、立体部群102間の配列密度も仮想的な凹面CFの直径の逆数より大きくなっている。従って、図9及び図10に示すように、各凹部102は、それぞれ正面視六角形であり、かつ、半球状の凹面を有する形状となっている。なお、本実施形態のスクリーン110の場合、図2等に示すスクリーン10と異なり、多数の凹部102a間には平坦部分が生じることはない。
図13及び図14は、第3実施形態に係るスクリーンの製造装置について説明するための平面図及び斜視図である。本実施形態に係る製造装置200は、第1実施形態の製造装置100の変形例であり、帯状のスクリーン基板201を内壁面130aに沿って移動可能にするスクリーン基板移動装置260をさらに備える。また、製造装置200は、スクリーン基板201を内壁面130aに沿って略等間隔に配置される複数のガイド部材270を備える。なお、製造装置200の構造は、スクリーン基板移動装置260等を有することを除いて、第1実施形態の製造装置100と同様であるので平面図及び斜視図以外の図示等を省略する。また、帯状のスクリーン基板201は、スクリーン基板1等の1つ分または複数分に相当し、製造装置200の円周方向を長手方向としている。なお、図14では、スクリーン基板移動装置260を省略している。
図15は、第4実施形態に係るスクリーンの製造装置について説明するための平面図である。本実施形態に係る製造装置300は、第3実施形態の製造装置200の変形例であり、チャンバ130内部に納められた帯状のスクリーン基板301を内壁面130aに沿って移動可能にするスクリーン基板移動装置360を備える。なお、製造装置300は、スクリーン基板移動装置360をチャンバ130内部に有する構造であることを除いて、製造装置200等と同様の構造であるので平面図以外の図示等を省略する。また、帯状のスクリーン基板301も、スクリーン基板201と同様のものである。
図16は、第5実施形態に係るスクリーンの製造装置について説明するための側断面図である。本実施形態に係る製造装置400は、第1実施形態の製造装置100等の変形例であり、蒸発源装置120の位置を調整する位置調整装置470をさらに備える。なお、製造装置400は、位置調整装置470をチャンバ130内部に有する構造であることを除いて、製造装置100等と同様の構造であるので側断面図以外の図示等を省略する。
図17は、第6実施形態に係るスクリーンの製造装置について説明するための斜視図である。本実施形態に係る製造装置500は、第1実施形態の製造装置100等の変形例であり、チャンバ530の形状を除いて製造装置100等と同様であるので斜視図以外の図示等を省略する。
Claims (15)
- 内部空間に円筒形状の内壁面を含むチャンバ内において、複数の立体部を前面側に有するスクリーン基板を前記内壁面に沿って設置する設置工程と、
前記チャンバ内において前記円筒形状の略中心軸上に配置された材料源から、スクリーンの反射膜となる成膜物質を射出させて前記スクリーン基板上に堆積させる蒸着工程と
を有するスクリーンの製造方法。 - 前記設置工程において、前記円筒形状の円周方向を前記スクリーン基板の長手方向とする、請求項1記載のスクリーンの製造方法。
- 前記円筒形状の半径と前記材料源の位置とは、前記スクリーン前面に対する投射光の投射距離と投射角度とに対応して調整される、請求項1及び請求項2のいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記設置工程において、前記スクリーン基板を前記内壁面に固定する、請求項1から請求項3までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記設置工程において、前記スクリーン基板を前記内壁面に沿って移動可能に設置する、請求項1から請求項4までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記成膜物質は、アルミニウム、銀及び誘電体のいずれかである、請求項1から請求項5までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記スクリーン上に形成された前記反射膜は、鏡面反射の特性を有する、請求項1から請求項6までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記蒸着工程において、前記成膜物質の成膜方法は、真空蒸着法、イオンアシスト法、スパッタ法のいずれかである、請求項1から請求項7までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 前記スクリーン基板は、前記複数の立体部を円弧上に並べることによってそれぞれ形成されるとともに並行して配列される複数の円弧状の列を前面側に有し、前記複数の円弧状の列は、スクリーン前面における投射光の入射方向に対して略直交する方向に延びる、請求項1から請求項8までのいずれか一項記載のスクリーンの製造方法。
- 内部空間に円筒形状の内壁面を含み、スクリーン基板を前記内壁面に沿って設置できるチャンバと、
前記チャンバ内において前記円筒形状の略中心軸上に配置され、スクリーンの反射膜となる成膜物質を射出させて前記スクリーン基板上に堆積させる材料源と
を有するスクリーンの製造装置。 - 前記スクリーン基板を前記円筒形状の円周方向を長手方向として設置するホルダをさらに備える、請求項10記載のスクリーンの製造装置。
- 前記スクリーン基板を前記内壁面に沿って移動可能にするスクリーン基板移動装置をさらに備える、請求項10及び請求項11のいずれか一項記載のスクリーンの製造装置。
- 前記円筒形状の半径と前記材料源の位置とは、スクリーン前面に対する投射光の投射距離と投射角度とに対応して調整される、請求項10から請求項12までのいずれか一項記載のスクリーンの製造装置。
- 前記材料源の前記中心軸方向についての位置を調整する位置調整装置をさらに備える請求項13記載のスクリーンの製造装置。
- 複数の立体部を円弧上に並べることによってそれぞれ形成されるとともに並行して配列される複数の円弧状の列を前面側に有するスクリーン基板と、
前記複数の立体部の表面上にそれぞれ形成される複数の反射膜と
を備え、
前記複数の反射膜の境界は、前記スクリーン基板の基準面に対して平行である、もしくは、投射光の投射距離と投射角度とに対応する位置にある基準線上の各点から、当該基準線に垂直な方向に沿って前記スクリーン基板に投影をすることにより、前記スクリーン基板の表面に形成される影の輪郭に一致している、スクリーン。
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