JP2010020092A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板を収容する成膜室と、
   該成膜室に着脱可能に設けられ、対向する一対のターゲットからプラズマによりスパッタ粒子を生じさせ、該スパッタ粒子を前記成膜室内の前記基板に向けて放出するスパッタ粒子放出ユニットと、を備え、
   前記スパッタ粒子放出ユニットは、前記ターゲットを保持するとともに当該スパッタ粒子放出ユニットの各構成部材をユニット化する保持部材を有し、該保持部材を介して前記成膜室に着脱可能に設けられ、
   前記保持部材は、前記一対のターゲットの面方向を前記基板の法線方向に対して傾けた状態に保持するとともに、前記スパッタ放出ユニットの一部を前記成膜室内に入り込ませた状態に保持することを特徴とするスパッタリング装置。
2. 前記成膜室における前記保持部材の取付け面が水平面とされていることを特徴とする請求項１に記載のスパッタリング装置。
3. 前記保持部材は、前記成膜室側に配置され、第１の取付部材を介して第１のターゲットを保持する第１のターゲット保持部と、前記第１のターゲットに対向配置され、第２の取付部材を介して第２のターゲットを保持する第２のターゲット保持部と、を含み、
   前記成膜室と同一雰囲気とされる前記第１の取付部材のターゲット取付面の反対側を被覆する被覆部材を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のスパッタリング装置。
4. 前記成膜室における前記保持部材の取付け面及び前記保持部材との界面に、シール部材が設けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
5. 前記スパッタ粒子放出ユニットは、前記基板に対する前記スパッタ粒子の入射角度を規制可能なスリットが形成された規制部を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
6. 対向する一対の基板間に挟持された液晶層を備え、少なくとも一方の前記基板の内面側に無機配向膜を形成してなる液晶装置の製造装置であって、
   請求項１乃至５のいずれか一項に記載のスパッタリング装置を備え、該スパッタリング装置によって前記無機配向膜を形成することを特徴とする液晶装置の製造装置。