JP2010018042A - 流体吐出マイクロデバイスを形成する方法及びインクジェットプリントヘッドを形成する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 159
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 53
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 18
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 8
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N gallium phosphide Chemical compound [Ga]#P HZXMRANICFIONG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14145—Structure of the manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1625—Manufacturing processes electroforming
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T29/00—Metal working
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- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
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Abstract
【解決手段】記述される実施形態は、基板(300)内の流体吐出スロットとなるフィーチャー(905)及びそれを形成する方法に関連する。1つの例示的な実施形態は、第1の基板表面(302)と、概ね反対に位置する第2の基板表面(303)との間に延在する基板(300)と、第1の表面(302)に対して垂直でない穿孔軸に沿って第1の表面(302)内に形成される少なくとも1つのフィーチャー(905)とを含むマイクロデバイスにすることができる
【選択図】図11C
Description
図1は、1つの例示的なプリントカートリッジを利用することができる1つの例示的なプリンティングデバイスの概略図を示す。この実施形態では、プリンティングデバイスはプリンタ100を含む。ここに図示されるプリンタは、インクジェットプリンタの形で具現される。プリンタ100は、白黒及び/又はカラーで印刷することができる。用語「プリンティングデバイス」は、その機能の少なくとも一部を果たすためにスロット付基板(複数可)を利用する任意のタイプのプリンティングデバイス及び/又は画像形成デバイスを指している。そのようなプリンティングデバイスの例は、限定はしないが、プリンタ、ファクシミリ装置及び写真複写機を含むことができる。この例示的なプリンティングデバイスでは、スロット付基板は、プリントカートリッジに組み込まれるプリントヘッドの一部を含んでおり、その一例が以下に記述される。
図2は、1つの例示的なプリンティングデバイスにおいて利用することができる1つの例示的なプリントカートリッジ202の概略図を示す。そのプリントカートリッジは、プリントヘッド204と、該プリントヘッドを支持するカートリッジ本体206を有している。このプリントカートリッジ202では、単一のプリントヘッド204が用いられるが、他の例示的な構成は、単一のプリントカートリッジ上で多数のプリントヘッドを利用してもよい。
さらに、プリントカートリッジの設計においては、そのコストを低減することが望ましい。そのようなコストを低減するための1つの方法は、プリントヘッド204の寸法を小さくすることであり、それにより材料コスト及び製造コストを削減することである。
4、5 反転器(インバータ)
28、29 トランジスタのグル
Claims (13)
- 流体吐出マイクロデバイスを形成する方法であって、
基板をレーザ加工して該基板の第1の表面から基板材料を除去して流体給送スロットを形成すること、
前記流体給送スロットをレーザ加工することで該流体給送スロットを、前記第1の表面に対して垂直でない穿孔軸に沿って前記基板内で延在させること、及び、
前記レーザ加工して前記基板の前記第1の表面から基板材料を除去することと組み合わせて前記基板の第2の表面から基板材料を除去することで前記流体給送スロットを形成すること、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1の表面が前記基板の側壁表面であることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 前記レーザ加工には、レーザビームを前記第1の表面に対して第1の角度をなして前記基板に向け、次いで、該レーザビームを前記第1の表面に対して第1の角度とは異なる第2の角度をなして前記基板に向け、少なくとも部分的に前記基板をレーザ加工することが含まれることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記レーザ加工には、レーザビームを前記第1の表面に対して10°〜80°の範囲の角度をなして前記第1の表面に向けることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記レーザ加工により、前記第1の表面と概ね対向する前記第2の表面との間に延在する前記流体給送スロットを形成することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記基板をレーザ加工してレーザビームが前記基板内に前記流体給送スロットを形成するように該レーザビームを制御するためのコンピュータ読み取り可能命令を実行することをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 第1の基板表面と概ね対向する第2の基板表面とを備える基板を有するインクジェットプリントヘッドを形成する方法であって、
レーザビームを使って基板材料を除去して前記基板内に流体給送スロットを形成することであって、当該流体給送スロットは前記レーザビームを前記第1の基板表面に垂直でも平行でもない穿孔軸に沿って前記基板に向けることで形成されること、
前記基板の前記第1の基板表面から基板材料を除去することと組み合わせてレーザビームを使って前記第2の基板表面から基板材料を除去することで前記流体給送スロットを形成すること、
前記第2の基板表面上に薄膜層を位置決めすること、
前記薄膜層上に障壁層を位置決めして少なくとも一つの発射室を画定すること、及び、
オリフィス層内に少なくとも一つの発射ノズルを形成して当該オリフィス層を前記障壁層上に位置決めすることを含むことを特徴とする方法。 - 前記基板内に前記流体給送スロットを形成することには、前記レーザビームを用いて前記基板の側壁面にレーザ加工を行って前記流体給送スロットを形成することが含まれることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の基板表面に垂直ではない前記穿孔軸に沿って前記レーザビームを向けて前記流体給送スロットを形成するためのコンピュータ読み取り可能命令を用いて前記レーザビームを制御することがさらに含まれることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 前記基板をレーザ加工して前記第1の基板表面と第2の基板表面間の前記基板内に複数の流体給送スロットを形成すること、をさらに含み、
前記第1の基板表面のレーザ加工で第1の面積を有する第1の開口を画定し、前記第2の基板表面のレーザ加工で前記第1の面積とは異なる第2の面積を有する第2の開口を画定することを特徴とする、請求項7に記載の方法。 - 前記基流体給送スロットは少なくとも一つの側壁で画定され、当該側壁の第1の部分は前記第1の基板表面に概ね垂直であり、当該側壁の第2の別の部分は前記第1の基板表面に垂直ではないことを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 前記レーザビームを制御して前記流体給送スロットを形成し、当該流体給送スロットの断面が前記第1の基板表面において楕円形あるいは長方形を近似するようにすることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
- 第1の基板表面と概ね対向する第2の基板表面とを備える基板を有するインクジェットプリントヘッドを形成する方法であって、
コンピュータ読み取り可能命令を実行してレーザビームを制御すること、
前記実行されたコンピュータ読み取り可能命令に応じて前記レーザビームを発生すること、
前記実行されたコンピュータ読み取り可能命令に応じて前記レーザビームを前記基板に向けて当該レーザビームが基板材料を除去し前記基板内に一つあるいは複数の当該流体給送スロットを形成させることであって、当該レーザビームは前記第1の基板表面に垂直でも平行でもない前記基板の穿孔軸に沿って前記流体給送スロットを形成するように向けられていること、
前記第1の基板表面から基板材料を除去することと組み合わせて前記第2の基板表面から基板材料を除去することで前記流体給送スロットを形成すること、
前記第2の基板表面上に障壁層を位置決めして少なくとも一つの発射室を画定し、当該少なくとも一つの発射室と前記一つあるいは複数の流体給送スロット間で流体が流通するようにすること、及び、
オリフィス層内に少なくとも一つの発射ノズルを形成して当該オリフィス層を前記障壁層上に位置決めし、当該少なくとも一つの発射ノズルと前記少なくとも一つの発射室間で流体が流通するようにすることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/817,716 US20050219327A1 (en) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | Features in substrates and methods of forming |
US10/817,716 | 2004-03-31 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007506450A Division JP2007531645A (ja) | 2004-03-31 | 2005-03-29 | 基板内のフィーチャー及びその形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010018042A true JP2010018042A (ja) | 2010-01-28 |
JP4970524B2 JP4970524B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=34964324
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007506450A Pending JP2007531645A (ja) | 2004-03-31 | 2005-03-29 | 基板内のフィーチャー及びその形成方法 |
JP2009252060A Active JP4970524B2 (ja) | 2004-03-31 | 2009-11-02 | 流体吐出マイクロデバイスを形成する方法及びインクジェットプリントヘッドを形成する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007506450A Pending JP2007531645A (ja) | 2004-03-31 | 2005-03-29 | 基板内のフィーチャー及びその形成方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20050219327A1 (ja) |
EP (2) | EP1729966A2 (ja) |
JP (2) | JP2007531645A (ja) |
KR (1) | KR101099952B1 (ja) |
CN (1) | CN1938158B (ja) |
TW (1) | TWI357883B (ja) |
WO (1) | WO2005097506A2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8047156B2 (en) * | 2007-07-02 | 2011-11-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Dice with polymer ribs |
CN101909893B (zh) * | 2008-01-09 | 2012-10-10 | 惠普开发有限公司 | 流体喷出盒、其制造方法和流体喷出方法 |
CN102089151B (zh) * | 2008-07-09 | 2013-12-04 | 惠普开发有限公司 | 打印头槽筋 |
WO2012023941A1 (en) * | 2010-08-19 | 2012-02-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Wide-array inkjet printhead assembly |
EP2605910B1 (en) * | 2010-08-19 | 2020-10-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Wide-array inkjet printhead assembly with a shroud |
CN102689512B (zh) * | 2011-03-23 | 2015-03-11 | 研能科技股份有限公司 | 喷墨头结构 |
CN103998246B (zh) * | 2011-12-21 | 2016-12-14 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 流体分配器 |
EP2961612B1 (en) | 2013-02-28 | 2019-08-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Molding a fluid flow structure |
JP6261623B2 (ja) | 2013-02-28 | 2018-01-17 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 成形式プリントバー |
US10821729B2 (en) | 2013-02-28 | 2020-11-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transfer molded fluid flow structure |
CN105189122B (zh) | 2013-03-20 | 2017-05-10 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 具有暴露的前表面和后表面的模制芯片条 |
JP6492891B2 (ja) | 2015-03-31 | 2019-04-03 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット |
JP6749879B2 (ja) * | 2017-10-02 | 2020-09-02 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 成形式プリントバー |
JP7195792B2 (ja) * | 2018-07-05 | 2022-12-26 | キヤノン株式会社 | 基板の加工方法、並びに、液体吐出ヘッド用基板およびその製造方法 |
JP6809549B2 (ja) * | 2019-03-07 | 2021-01-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット |
JP6935828B2 (ja) * | 2019-03-07 | 2021-09-15 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット |
JP7301620B2 (ja) * | 2019-06-19 | 2023-07-03 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7215537B2 (ja) * | 2020-06-05 | 2023-01-31 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338172A (ja) * | 1991-01-30 | 1993-12-21 | Canon Inf Syst Res Australia Pty Ltd | バブルジェットプリントデバイスおよびバブルジェット画像再生装置 |
JPH08267754A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Sony Corp | オリフィスプレート |
JPH11179576A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-06 | Canon Inc | 光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法 |
JP2003231262A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-19 | Hewlett Packard Co <Hp> | スロット付きの基板およびその基板を形成するための方法およびシステム |
JP2004058678A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Hewlett-Packard Development Co Lp | スロット付き基板およびそれを形成する方法 |
JP2004082468A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Seiko Epson Corp | 給液装置、ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4959119A (en) * | 1989-11-29 | 1990-09-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for forming through holes in a polyimide substrate |
US5160577A (en) * | 1991-07-30 | 1992-11-03 | Deshpande Narayan V | Method of fabricating an aperture plate for a roof-shooter type printhead |
US6039437A (en) * | 1995-01-31 | 2000-03-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and ink-jet printing apparatus incorporating the same |
US5811019A (en) * | 1995-03-31 | 1998-09-22 | Sony Corporation | Method for forming a hole and method for forming nozzle in orifice plate of printing head |
JPH09272207A (ja) | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Sony Corp | プリントヘツドの製造方法 |
US6074039A (en) * | 1996-04-05 | 2000-06-13 | Sony Corporation | Printing device |
JP3045117B2 (ja) | 1996-10-14 | 2000-05-29 | ソニー株式会社 | プリンタ装置 |
US5999303A (en) * | 1997-03-24 | 1999-12-07 | Seagate Technology Inc. | Micro-machined mirror using tethered elements |
US6123410A (en) * | 1997-10-28 | 2000-09-26 | Hewlett-Packard Company | Scalable wide-array inkjet printhead and method for fabricating same |
US6130693A (en) * | 1998-01-08 | 2000-10-10 | Xerox Corporation | Ink jet printhead which prevents accumulation of air bubbles therein and method of fabrication thereof |
US6273553B1 (en) * | 1998-01-23 | 2001-08-14 | Chang-Jin Kim | Apparatus for using bubbles as virtual valve in microinjector to eject fluid |
ITTO980562A1 (it) * | 1998-06-29 | 1999-12-29 | Olivetti Lexikon Spa | Testina di stampa a getto di inchiostro |
US6161923A (en) * | 1998-07-22 | 2000-12-19 | Hewlett-Packard Company | Fine detail photoresist barrier |
EP1024005B1 (en) * | 1999-01-29 | 2012-07-04 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
JP3554782B2 (ja) * | 1999-02-01 | 2004-08-18 | カシオ計算機株式会社 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
KR20010042981A (ko) * | 1999-02-25 | 2001-05-25 | 야스카와 히데아키 | 레이저를 이용한 피가공물의 가공 방법 |
US6573474B1 (en) * | 2000-10-18 | 2003-06-03 | Chromalloy Gas Turbine Corporation | Process for drilling holes through a thermal barrier coating |
US6513903B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-02-04 | Eastman Kodak Company | Ink jet print head with capillary flow cleaning |
US6497472B2 (en) * | 2000-12-29 | 2002-12-24 | Eastman Kodak Company | Self-cleaning ink jet printer and print head with cleaning fluid flow system |
ATE323569T1 (de) | 2001-03-22 | 2006-05-15 | Xsil Technology Ltd | Ein laserbearbeitungssystem und -verfahren |
US6572215B2 (en) * | 2001-05-30 | 2003-06-03 | Eastman Kodak Company | Ink jet print head with cross-flow cleaning |
US7357486B2 (en) * | 2001-12-20 | 2008-04-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of laser machining a fluid slot |
US20030179258A1 (en) * | 2002-03-21 | 2003-09-25 | Xerox Corporation | Methods and apparatus for reducing or minimizing satellite defects in fluid ejector systems |
US6962402B2 (en) * | 2002-12-02 | 2005-11-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Inkjet printhead with ink supply passage formed from both sides of the wafer by overlapping etches |
US7299151B2 (en) * | 2004-02-04 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microdevice processing systems and methods |
-
2004
- 2004-03-31 US US10/817,716 patent/US20050219327A1/en not_active Abandoned
-
2005
- 2005-03-01 TW TW094106036A patent/TWI357883B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-03-29 WO PCT/US2005/010430 patent/WO2005097506A2/en not_active Application Discontinuation
- 2005-03-29 KR KR1020067020191A patent/KR101099952B1/ko active IP Right Grant
- 2005-03-29 EP EP05731317A patent/EP1729966A2/en not_active Withdrawn
- 2005-03-29 JP JP2007506450A patent/JP2007531645A/ja active Pending
- 2005-03-29 CN CN2005800101158A patent/CN1938158B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-29 EP EP08075905A patent/EP2042323A1/en not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-05-11 US US11/803,179 patent/US7833426B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-11-02 JP JP2009252060A patent/JP4970524B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338172A (ja) * | 1991-01-30 | 1993-12-21 | Canon Inf Syst Res Australia Pty Ltd | バブルジェットプリントデバイスおよびバブルジェット画像再生装置 |
JPH08267754A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Sony Corp | オリフィスプレート |
JPH11179576A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-06 | Canon Inc | 光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法 |
JP2003231262A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-19 | Hewlett Packard Co <Hp> | スロット付きの基板およびその基板を形成するための方法およびシステム |
JP2004058678A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Hewlett-Packard Development Co Lp | スロット付き基板およびそれを形成する方法 |
JP2004082468A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Seiko Epson Corp | 給液装置、ヘッドユニットおよび液体吐出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1938158B (zh) | 2010-04-21 |
CN1938158A (zh) | 2007-03-28 |
KR101099952B1 (ko) | 2011-12-28 |
US20070210031A1 (en) | 2007-09-13 |
US20050219327A1 (en) | 2005-10-06 |
JP4970524B2 (ja) | 2012-07-11 |
JP2007531645A (ja) | 2007-11-08 |
WO2005097506A3 (en) | 2006-02-16 |
KR20060131936A (ko) | 2006-12-20 |
TW200540100A (en) | 2005-12-16 |
EP2042323A1 (en) | 2009-04-01 |
WO2005097506A2 (en) | 2005-10-20 |
TWI357883B (en) | 2012-02-11 |
EP1729966A2 (en) | 2006-12-13 |
US7833426B2 (en) | 2010-11-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091104 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110715 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120321 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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