JP2010017426A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 光源手段が発したパルス光を被検体に導く照明光学手段と、前記パルス光によって前記被検体内で発生した弾性波を検出し電気信号に変換する検出手段と、を備える検査装置であって、
   前記照明光学手段は、前記被検体の両側からパルス光を照射する、前記被検体を挟んで対向して配置される第一の照明光学手段と第二の照明光学手段とを備え、
   前記検出手段は、前記第一の照明光学手段が配置される側と第二の照明光学手段が配置される側のうち、いずれか一方と同じ側に配置されることを特徴とする検査装置。
2. 前記検出手段は前記第一の照明光学手段と同じ側に配置され、
   前記第一の照明光学手段と、前記検出手段とは、
   前記第一の照明光学手段が被検体を照明する領域の軸対称の中心軸と、
   前記検出手段が弾性波を検出する領域の軸対称の中心軸と、
   を一致させて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記第一の照明光学手段と前記第二の照明光学手段とは、
   前記第一の照明光学手段が被検体を照明する領域の軸対称の中心軸と、
   前記第二の照明光学手段が被検体を照明する領域の軸対称の中心軸と、
   を一致させて配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
4. 前記第一及び第二の照明光学手段と前記検出手段の相互の位置関係を保ち、前記第一及び第二の照明光学手段と前記検出手段とを前記被検体に対して走査する走査駆動手段を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 前記被検体を両側から保持する第一のプレートと第二のプレートと、を有し、前記検出手段と、前記検出手段と同じ側に配置される前記第一の照明光学手段とは、前記第一のプレートの被検体側とは反対側に配置され、
   前記第二の照明光学手段は、前記第二のプレートの被検体側とは反対側に配置されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記第一及び第二の照明光学手段は、パルス光を被検体に同時に照射することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記照明光学手段は、少なくとも光ファイバーを備えていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の検査装置。