JP2010014510A - センシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電材料を有する第1の振動子11と、前記第1の振動子11の一端にその一端が機械的結合された圧電材料を有する第2の振動子12と、前記第1、第2の振動子11、12間に設けられた錘13と、前記第1、第2の振動子11、12の内少なくとも一方に駆動振動を与える駆動電極14と、前記第1、第2の振動子の内少なくとも一方の振幅を検出する検出電極15とを備え、前記第1、第2の振動子11、12が縮退状態となっている範囲で機械量を検出するセンシング装置としたものである。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1におけるセンシング装置について図面を参照しながら説明する。
12 第2の振動子
13 錘
14 駆動電極
15 検出電極
Claims (5)
- 圧電材料を有する第1の振動子と、
前記第1の振動子の一端にその一端が機械的結合された
圧電材料を有する第2の振動子と、
前記第1、第2の振動子間に設けられた錘と、
前記第1、第2の振動子の内少なくとも一方に駆動振動を与える駆動電極と、
前記第1、第2の振動子の内少なくとも一方の振幅を検出する検出電極とを備え、
前記第1、第2の振動子が縮退状態となっている範囲で機械量を検出する
センシング装置。 - 前記検出電極が第1の検出電極と第2の検出電極からなり、
前記第1の検出電極が前記第1の振動子の他端に設けられ、
前記第2の検出電極が前記第2の振動子の他端に設けられ、
前記駆動電極が前記第1、第2の振動子の内の少なくとも一方の一端に設けられた
請求項1に記載のセンシング装置。 - 前記振幅は前記第1の振動子に対応する第1の振幅と
前記第2の振動子に対応する第2の振幅とからなり、
前記第1の検出電極から前記第1の振幅を検出し、
前記第2の検出電極から前記第2の振幅を検出し、
前記第1、第2の振幅の差を演算して出力する
請求項2に記載のセンシング装置。 - 前記検出電極が第1の検出電極と第2の検出電極からなり、
前記第1の検出電極が前記第1の振動子の一端に設けられ、
前記第2の検出電極が前記第2の振動子の一端に設けられ、
前記駆動電極が第1の駆動電極と第2の駆動電極とからなり、
前記第1の駆動電極が前記第1の振動子の他端に設けられ、
前記第2の駆動電極が前記第2の振動子の他端に設けられた
請求項1に記載のセンシング装置。 - 前記振幅は前記第1の振動子に対応する第1の振幅と
前記第2の振動子に対応する第2の振幅とからなり、
前記第1の検出電極から前記第1の振幅を検出し、
前記第2の検出電極から前記第2の振幅を検出し、
前記第1、第2の振幅の差を演算して出力する
請求項4に記載のセンシング装置。
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| JP2008174138A JP4998388B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | センシング装置 |
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| JP2008174138A JP4998388B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | センシング装置 |
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| JP2010014510A true JP2010014510A (ja) | 2010-01-21 |
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| JP (1) | JP4998388B2 (ja) |
Citations (5)
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|---|---|---|---|---|
| JPH04361165A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 振動子型加速度計 |
| JP2000206141A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-07-28 | Miyota Kk | 運動量センサ |
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| JP2007163200A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Epson Toyocom Corp | 振動片、角速度センサ |
-
2008
- 2008-07-03 JP JP2008174138A patent/JP4998388B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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