JP4998388B2 - センシング装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1におけるセンシング装置について図面を参照しながら説明する。
12 第2の振動子
13 錘
14 駆動電極
15 検出電極
Claims (5)
- 圧電材料を有する第1の振動子と、
前記第1の振動子の一端にその一端が機械的結合された
圧電材料を有する第2の振動子と、
前記第1、第2の振動子間に設けられた錘と、
前記第1、第2の振動子の内少なくとも一方に駆動振動を与える駆動電極と、
前記第1、第2の振動子の内少なくとも一方の振幅を検出する検出電極とを備え、
前記第1、第2の振動子が縮退状態となっている範囲で機械量を検出する
センシング装置。 - 前記検出電極が第1の検出電極と第2の検出電極からなり、
前記第1の検出電極が前記第1の振動子の他端に設けられ、
前記第2の検出電極が前記第2の振動子の他端に設けられ、
前記駆動電極が前記第1、第2の振動子の内の少なくとも一方の一端に設けられた
請求項1に記載のセンシング装置。 - 前記振幅は前記第1の振動子に対応する第1の振幅と
前記第2の振動子に対応する第2の振幅とからなり、
前記第1の検出電極から前記第1の振幅を検出し、
前記第2の検出電極から前記第2の振幅を検出し、
前記第1、第2の振幅の差を演算して出力する
請求項2に記載のセンシング装置。 - 前記検出電極が第1の検出電極と第2の検出電極からなり、
前記第1の検出電極が前記第1の振動子の一端に設けられ、
前記第2の検出電極が前記第2の振動子の一端に設けられ、
前記駆動電極が第1の駆動電極と第2の駆動電極とからなり、
前記第1の駆動電極が前記第1の振動子の他端に設けられ、
前記第2の駆動電極が前記第2の振動子の他端に設けられた
請求項1に記載のセンシング装置。 - 前記振幅は前記第1の振動子に対応する第1の振幅と
前記第2の振動子に対応する第2の振幅とからなり、
前記第1の検出電極から前記第1の振幅を検出し、
前記第2の検出電極から前記第2の振幅を検出し、
前記第1、第2の振幅の差を演算して出力する
請求項4に記載のセンシング装置。
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JP2008174138A JP4998388B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | センシング装置 |
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