JP2005249446A - 振動型圧電加速度センサ - Google Patents
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 98
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
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Abstract
【解決手段】フレーム31に直線上に対向配置された1組の振動板23と、この振動板23を保持する支持体33と、この支持体33を直線方向に摺動自在に保持する保持部32と、上記1組の振動板23と直交するように1組の振動板23を直線上に対向配置してx−y方向の2軸の加速度を検出する構成により、保持部32を介して支持体33に伝搬される加速度により振動板23が伸縮して固有振動周波数が変化し、これにより加速度を検出して高い共振周波数の変化率を得ることができ、温度変化の影響を受けずに加速度を高精度で2軸検出できる。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の全請求項に記載の発明について説明する。
図6は本発明による振動型圧電加速度センサを用いた応用例としてのエアーバック制御システムを示した模式図であり、同図において41は本発明による振動型圧電加速度センサを示し、X軸、Y軸の方向に配置する。44は車体、45はフロントエアーバック、46はサイドエアーバック、47はエアーバック開口装置、48はドライバー、49は進行方向である。
22 SiO2層
23 Si層
23a−1,23a−2,23a−3,23a−4 振動板
23b−1,23b−2,23b−3,23b−4 アーム
24 下部電極
25 圧電薄膜
26 上部電極
26a 検出電極
26b 駆動電極
27 レジスト
28 側溝
29 ホール
30 側孔
31 フレーム
32−1,32−2,32−3,32−4 保持部
33 支持体
34 基部
35 振動型圧電加速度センサの素子
36a 検出信号ライン
36b 駆動信号ライン
38 増幅回路
39 F/V変換器
40 AGC回路
41 振動型圧電加速度センサ装置
41−1,41−2,41−3,41−4 振動型圧電加速度センサ
42,43 差動回路
44 車体
45,46 エアーバック装置
47 エアーバック開口装置
48 ドライバー
49 進行方向
Claims (12)
- フレームと、このフレームに直線上に対向して設けられた1組の振動板と、この振動板上に順次積層形成された下部電極、圧電薄膜、上部電極と、上記各振動板の近接する一端側を夫々保持する支持体と、この支持体を直線方向に摺動自在に保持する保持部からなる素子を有し、この素子の保持部を介して支持体に伝搬される加速度により上記振動板が伸縮し、この振動板の固有振動周波数の変化から加速度を検出するようにした振動型圧電加速度センサ。
- フレームに直線上に対向して設けられた1組の振動板と直交するように1組の振動板を直線上に対向して設けることによりx−y方向の2軸の加速度を検出するようにした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 直線上に対向して設けられた1組の振動板の固有振動周波数の差を加速度信号情報とした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 保持部をつづら折り状の構造として可動自在とした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 振動板、支持体、保持部を夫々シリコンで構成した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 圧電薄膜をチタン酸鉛、ジルコン酸鉛(PZT)で構成した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 振動板を梁状とし、この一端をフレームに、他端を支持体に釣られるように保持させた請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 振動板上に形成する上部電極を保持部の梁状の中央部に沿わせて取り出した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 振動板を支持する支持体に質量を付加した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 振動板上に形成する上部電極として検出用電極と駆動用電極を一対で設け、かつ、この検出用電極と駆動用電極は振動板の長手方向と直交して振動板を等分する中心軸と対称になるように配置した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 検出用電極と駆動用電極の取り出し電極をフレーム上に設けた請求項10に記載の振動型圧電加速度センサ。
- 素子を構成するフレームを保持するようにして本体を取り付けることにより、静及び動の加速度を検出するようにした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004057203A JP2005249446A (ja) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | 振動型圧電加速度センサ |
EP05719073A EP1691202A4 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-14 | VIBRATION PIEZOELECTRIC ACCELERATION SENSOR |
US10/585,618 US7587941B2 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-14 | Vibration piezoelectric acceleration sensor |
CNA2005800067496A CN1926434A (zh) | 2004-03-02 | 2005-02-14 | 振动型压电加速度传感器 |
PCT/JP2005/002126 WO2005085876A1 (ja) | 2004-03-02 | 2005-02-14 | 振動型圧電加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004057203A JP2005249446A (ja) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | 振動型圧電加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005249446A true JP2005249446A (ja) | 2005-09-15 |
Family
ID=34917912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004057203A Pending JP2005249446A (ja) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | 振動型圧電加速度センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7587941B2 (ja) |
EP (1) | EP1691202A4 (ja) |
JP (1) | JP2005249446A (ja) |
CN (1) | CN1926434A (ja) |
WO (1) | WO2005085876A1 (ja) |
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- 2005-02-14 CN CNA2005800067496A patent/CN1926434A/zh active Pending
- 2005-02-14 EP EP05719073A patent/EP1691202A4/en not_active Withdrawn
- 2005-02-14 US US10/585,618 patent/US7587941B2/en not_active Expired - Fee Related
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EP1691202A4 (en) | 2010-05-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061228 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
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