JP2005140516A - 振動型圧電加速度センサ素子とこれを用いた振動型圧電加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フレーム31と、このフレーム31の内部に少なくとも1つの振動板23aと、この振動板23aを保持する支持体33と、この支持体33を直線方向に往復運動するように保持する保持部32とを設け、直線方向に運動する保持部32を介して支持体33に伝搬して振動板23aが伸縮し、この振動板23aの固有振動数を変化させることにより加速度を検出する構成とした振動型圧電加速度センサ素子35であり、加速度により高い共振周波数の変化率を得ることができるため、温度変化の影響を受けず加速度を高精度で検出することができる。
【選択図】図1
Description
22 SiO2層
23 Si層
23a 振動板
23b アーム
24 下部電極
25 圧電薄膜
26 上部電極
26a 検出電極
26b 駆動電極
27 レジスト
28 側溝
29 ホール
30 側孔
31 フレーム
32 保持部
33 支持体
34 基部
35 振動型圧電加速度センサ素子
36a 検出信号ライン
36b 駆動信号ライン
38 増幅回路
39 F/V変換器
40 AGC回路
41 振動型圧電加速度センサ
42 車体
43a 前輪
43b 後輪
44 ブレーキ装置
45 ハンドル
46 ブレーキ制御回路
47 進行方向
Claims (10)
- フレームと、このフレームの内部に少なくとも1つの振動板と、この振動板を保持する支持体と、この支持体を直線方向を往復運動するように保持する保持部とを設け、前記振動板上に形成する下部電極と、この下部電極上に形成する圧電薄膜と、この圧電薄膜上に形成する上部電極とからなり、前記直線方向に運動する保持部を介して支持体に伝搬して前記振動板が伸縮し、この振動板の固有振動数を変化させることにより加速度を検出する構成とした振動型圧電加速度センサ素子。
- 保持部を梁状の交互に反対方向に折れ曲がったバネ構成とした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 振動板、支持体、保持部をシリコンとした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 圧電薄膜をチタン酸鉛・ジルコン酸鉛(PZT)とした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 梁状の振動板の一端をフレーム、もう一端を支持体に釣られるように保持した請求項1記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 振動板上に形成する上部電極を保持部の梁状の中央部に沿わせて取り出した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 振動板を支持する支持体に質量を付加し、この支持体を直線上に往復運動するように支持した請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 梁状からなる振動板上に形成する上部電極をこの振動板と直交し二等分する中心軸と対称に検出用と駆動用とした請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 駆動用および検出用の電極の取り出し電極をフレーム上に設けた請求項8に記載の振動型圧電加速度センサ素子。
- 請求項1に記載の振動型圧電加速度センサ素子のフレームを保持して取り付けて静および動の加速度を検出するようにした振動型圧電加速度センサ。
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