JP2010010222A - 薄膜トランジスタの製造方法および薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に島状半導体層を形成する工程、前記島状半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程、光を照射して、前記島状半導体層とゲート絶縁膜との界面に焼締め処理を施す工程、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程、前記島状半導体層に不純物を注入し、所定の間隔を隔てて第1の不純物領域及び第2の不純物領域を形成する工程、及び前記島状半導体層に光を照射し、前記第1の不純物領域及び第2の不純物領域中の不純物を活性化する工程を具備することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
LSIプロセス工学(右高正俊編著)オーム社
以下、以上説明した本発明の一実施例に係る薄膜トランジスタの製造プロセスの具体例について説明する。
Claims (5)
- 基板上に島状半導体層を形成する工程、
前記島状半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程、
光を照射して、前記島状半導体層とゲート絶縁膜との界面に焼締め処理を施す工程、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程、
前記ゲート電極をマスクとして用いて前記島状半導体層に不純物を注入し、所定の間隔を隔てて第1の不純物領域及び第2の不純物領域を形成する工程、及び
前記島状半導体層に光を照射し、前記第1の不純物領域及び第2の不純物領域中の不純物を活性化する工程
を具備することを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記焼締め処理に用いる光は、シングルパルスのエキシマレーザであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記焼締め処理に用いる光は、ロングパルスのエキシマレーザであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記焼締め処理に用いる光は、フラッシュランプ光であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 請求項1に記載の方法により製造されたことを特徴とする薄膜トランジスタ。
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JP2000183358A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-06-30 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JP2007158368A (ja) * | 1993-12-24 | 2007-06-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
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