JP2007158368A - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 結晶性の良好な結晶性珪素膜を提供する。
【解決手段】 非晶質珪素膜を形成し、前記非晶質珪素膜を450℃〜650℃
で熱処理し結晶化して、結晶性珪素膜を形成し、前記結晶性珪素膜にレーザー光
を照射し、前記結晶性珪素膜を800℃〜1100℃で熱アニールする。
【選択図】 なし
Description
このTFTは、基板上に薄膜半導体(活性層)を形成し、この薄膜半導体を用いて構成されるものである。このTFTは、各種集積回路に利用されているが、特に電気光学装置、特にアクティブマトリックス型の液晶表示装置の各画素の設けられたスイッチング素子、周辺回路部分に形成されるドライバー素子に用いられている。
しかしながら、上記のような元素が半導体中に多量に存在していることは、これら半導体を用いた装置の信頼性や電気的安定性を阻害するものであり好ましいことではない。
(1)プラズマ処理によってニッケルを非晶質珪素膜上に導入した場合、熱処理をおこなう以前に既に、ニッケルは非晶質珪素膜中のかなりの深さの部分まで侵入している。
(2)結晶の初期核発生は、ニッケルを導入した表面から発生している。
(3)蒸着法でニッケルを非晶質珪素膜上に成膜した場合であっても、プラズマ処理を行なった場合と同様に結晶化が起こる。
そして、可能な限りニッケルが微細に原子状に分散していることが必要であることが結論される。即ち、「必要なのは非晶質珪素膜の表面近傍に低温結晶化が可能な範囲内で可能な限り低濃度のニッケルが原子状で分散して導入されればよい」ということが結論される。
また、触媒元素の導入量は極力少ないことが必要とされるが、この場合、結晶性が不足するという問題が生じる。
(2)生産性の高い方法とする。
(3)熱処理で得られる結晶性よりさらに高い結晶性を得る。
といった要求を満たすことを目的とする。
特に本発明においては、非晶質珪素膜の表面に接して触媒元素が導入されることが特徴である。このことは、触媒元素の量を制御する上で極めて重要である。
触媒元素が導入されるのは、非晶質珪素膜の上面であっても下面であってもよい。非晶質珪素膜の上面に触媒元素を導入するのであれば、非晶質珪素膜を形成した後に、触媒元素を含有した溶液を非晶質珪素膜上に塗布すればよいし、非晶質珪素膜の下面に触媒元素を導入するのであれば、非晶質珪素膜を形成する前に下地表面に触媒元素を含有した溶液を塗布し、下地表面に接して触媒元素を保持させる状態とすればよい。
(a)溶液中における触媒元素濃度は、予め厳密に制御し結晶性をより高め、かつ、その元素の量をより少なくすることが可能である。
(b)溶液と非晶質珪素膜の表面とが接触していれば、触媒元素の非晶質珪素への導入量は、溶液中における触媒元素の濃度によって決まる。
(c)非晶質珪素膜の表面に吸着する触媒元素が主に結晶化に寄与することとなるので、必要最小限度の濃度で触媒元素を導入できる。
(d)高温プロセスを必要としないで、結晶性の良好な結晶性珪素膜を得ることができる。
触媒元素を含む溶媒としては、極性溶媒である水、アルコール、酸、アンモニアから選ばれたものを用いることができる。
この場合はニッケルはニッケル化合物として導入される。このニッケル化合物としては代表的には、ニッケルアセチルアセトネ−ト、2−エチルヘキサン酸ニッケルから選ばれたものを用いることができる。
これは、被塗布面に対する密着性を高め吸着性を制御するためである。この界面活性剤は予め被塗布面上に塗布するのでもよい。触媒元素としてニッケル単体を用いる場合には、酸に溶かして溶液とする必要がある。
以上のことは、触媒元素としてニッケル以外の材料を用いた場合であっても同様である。
赤外光はガラスには吸収されにくく、珪素薄膜に吸収されやすいので、ガラス基板上に形成された珪素薄膜を選択的に加熱することができる。赤外光を用いるアニール方法は、ラピッド・サーマル・アニール(RTA)またはラピッド・サーマル・プロセス(RTP)と呼ばれる。
図1を用いて、触媒元素(ここではニッケルを用いる)を導入するところまでを説明する。本実施例においては、基板11として石英ガラスを用いる。またその大きさは100mm×100mmとする。
そして、汚れ及び自然酸化膜を取り除くためにフッ酸処理を行い、その後、酸化膜13を10〜50Åに成膜する。汚れが無視できる場合には、酸化膜13の代わりに自然酸化膜をそのまま用いれば良い。
そして、加熱炉において、窒素雰囲気中において550℃、4時間の加熱処理をおこなう。この結果、基板11上に形成された結晶性を有する珪素薄膜12を得ることができる。
本実施例においては、非晶質珪素膜上に触媒元素を導入する方法を示したが、非晶質珪素膜下に触媒元素を導入する方法を採用してもよい。この場合は、非晶質珪素膜の成膜前に触媒元素を含有した溶液を用いて、下地膜上に触媒元素を導入すればよい。
その後、酸化膜を除去し、TEMによる観察をおこなった結果、得られた結晶性珪素膜は、異方性を有する大径の結晶粒からなる多結晶状態を呈し、その結晶粒の長辺は長いものでは10μm以上あり、その大きさも比較的揃っていることが判明した。
次に、マスクとなる酸化珪素膜21を1000Å以上、ここでは1200Åの厚さに成膜する。この酸化珪素膜21の膜厚については、発明者等の実験によると500Åでも問題がないことを確認しており、膜質が緻密であれば更に薄くても良い。
酸化珪素膜20は濡れ性を改善するためのものであるが、溶液とパターンのサイズが合致した場合には、マスクの酸化珪素膜の親水性のみによっても丁度よく添加される場合がある。しかしながらこの様な場合は特殊であり、一般的には酸化珪素膜20を使用したほうが安全である。
次に、上記加熱処理による結晶化工程の後、酸化珪素膜を除去し、窒素中で加熱温度を1000℃でアニールして珪素膜12の結晶性をさらに向上させる。この工程によって、横方向に結晶成長した領域25の結晶性を大きく高めることができる。
例えば、TFT作製においては、結晶性珪素膜上にゲイト絶縁膜や層間絶縁膜として機能する酸化珪素膜を形成し、それに電極の形成のために穴開け工程を経て、電極を形成をする作業が必要とされる。このような場合、酸化珪素膜を緩衝フッ酸によって除去する工程が通常採用される。しかしながら、結晶性珪素膜の耐フッ酸性が低い場合、酸化珪素膜のみを選択的に除去することは困難であり、結晶性珪素膜をも同時にエッチングしてしまうという問題がある。
以上述べたように、横方向に結晶成長した領域は触媒元素の濃度が小さく、しかも結晶性が良好であるので、この領域を半導体装置の活性領域として用いることは有利である。例えば、TFTのチャネル形成領域として利用することは極めて有用である。
上記加熱処理をおこなうことによって、非晶質成分と結晶成分とが混在した珪素膜を得られる。この結晶成分はその後の高温における結晶成長時の結晶核が存在している領域である。
次に、結晶化した珪素膜をパターニングして、島状の領域104を形成する。
島状の領域104はTFTの活性層を構成する。そして、厚さ200〜1500Å、ここでは1000Åの酸化珪素105を形成する。この酸化珪素膜はゲイト絶縁膜として機能する。(図3(A))
等のいわゆるレーザー光と同等の強光を用いてもよい。
従来、プラズマ処理を用いてニッケルを導入した結晶性珪素膜は、酸化珪素膜に比較して緩衝フッ酸に対する選択性が低いので、上記コンタクトホールの形成工程において、エッチングされてしまうことが多かった。
最後に、水素中で300〜400℃で0.1〜2時間アニールして、活性層の水素化を完了する。このようにして、TFTが完成する。そして、同時に作製した多数のTFTをマトリクス状に配列せしめてアクティブマトリクス型液晶表示装置として完成する。このTFTは、ソース/ドレイン領域108/109とチャネル形成領域114を有している。また115がNIの電気的接合部分となる。
本実施例で作製されたTFTは、移動度がNチャネルで200cm2 /Vs以上のものが得られている。また、しきい値電圧(Vth)も小さく良好な特性を有していることが確認されている。さらに、移動度のバラツキも±10%以内であることが確認されている。このバラツキの少なさは、加熱処理により不完全な結晶化と後工程の高温(本実施例では800℃)熱処理による結晶性の助長とによる工程によるものと考えられる。650℃以下の熱処理による結晶化工程のみを利用した場合には、Nチャケル型で150cm2 /Vs以上のものを容易に得ることができるが、バラツキが大きく、本実施例のような均一性を得ることができない。
(図4(B))
引き続いて、ゲイト電極となるPまたはBをドープした多結晶珪素膜をLPCVD法により1000Å〜4000Åの厚さに成膜し、パターニングして、ゲイト電極210を形成する。(図4(C))
続いて、厚さ6000Åの酸化珪素膜214を層間絶縁物としてプラズマCVD法によって形成する。さらに、スピンコーティング法によって透明なポリイミド膜215を形成し、表面を平坦化する。
本実施例で作製したTFTは高移動度を得ることができるので、アクティブマトリックス型の液晶表示装置のドライバー回路に利用することができる。
引き続いて、減圧CVD法によって、厚さ3000〜8000Å、例えば6000Åの多結晶珪素(0.01〜0.2%の燐を含む)を成膜する。そして、珪素膜をエッチングして、ゲイト電極505を形成する。
さらに、この珪素膜をマスクとして自己整合的に、イオンドーピング法(プラズマドーピング法とも言う)によって、活性層領域(ソース/ドレイン、チャネルを構成する)にN導電型を付与する不純物(ここでは燐)を添加する。
さらにコンタクトホールを形成して、金属材料、例えば、窒化チタンとアルミニウムの多層膜によってTFTの電極・配線509、510を形成する。最後に、1気圧の水素雰囲気で350℃、30分のアニールをおこない、TFTを完成する。(図5(D))
本実施例に示す如く、同一基板上に結晶性珪素膜を用いたTFTで必要とする集積回路を形成することで、高度に集積化された液晶表示装置を得ることができる。
その後、熱アニール処理をおこなって、非晶質珪素膜を結晶化せしめた。熱アニール処理は、最初に450℃、1時間の主として水素出しを目的とする工程とその後の、550℃、2時間の結晶化を目的とする工程の2段階に分けておこなった。このようにして、結晶性珪素膜703を得た。
そして、550℃で1時間の熱酸化をおこなって珪素膜表面に薄い酸化珪素の保護膜(図示せず)を形成し、珪素膜をドライエッチングして、島状の活性層領域704(NチャネルTFT用)、705(PチャネルTFT用)を形成した。
(図7(B))
さらに、外部より水分・可動イオン等が進入することを防止するために窒化珪素膜によってパッシベーション膜を形成してもよい。
12・・・・非晶質珪素膜
13・・・・酸化珪素膜
14・・・・ニッケルを含有した酢酸溶液膜
15・・・・ズピナー
21・・・・マスク用酸化珪素膜
20・・・・酸化珪素膜
11・・・・ガラス基板
104・・・活性層
105・・・酸化珪素膜
106・・・ゲイト電極
109・・・酸化物層
108・・・ソース/ドレイン領域
109・・・ドレイン/ソース領域
110・・・層間絶縁膜(酸化珪素膜)
112・・・電極
113・・・電極
Claims (12)
- 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記結晶性珪素膜の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記結晶性珪素膜の結晶性を助長し、
前記酸化膜を除去し、
前記結晶性珪素膜をパターニングして、チャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面の一部から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された部分から、前記非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記結晶性珪素膜の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記結晶性珪素膜の結晶性を助長し、
前記酸化膜を除去し、
前記結晶性珪素膜をパターニングして、チャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記結晶性珪素膜の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記結晶性珪素膜の結晶性を助長し、
前記酸化膜と共に前記結晶性珪素膜をパターニングして、前記結晶性珪素膜でなるチャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成し、
前記酸化膜を介して、前記半導体領域の上方にゲイト電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面の一部から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された部分から、前記非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記結晶性珪素膜の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記結晶性珪素膜の結晶性を助長し、
前記酸化膜と共に前記結晶性珪素膜をパターニングして、前記結晶性珪素膜でなるチャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成し、
前記酸化膜を介して、前記半導体領域の上方にゲイト電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された前記非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜をパターニングして、チャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記半導体領域の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記半導体領域の結晶性を助長し、
前記酸化膜上に絶縁膜を形成し、
前記酸化膜および前記絶縁膜を介して、前記半導体領域の上方にゲイト電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 非晶質珪素膜を形成し、
結晶化を助長する元素を含む溶液を塗布して、前記非晶質珪素膜の表面の一部から当該元素を導入し、
前記結晶化を助長する元素が導入された部分から、前記非晶質珪素膜を熱処理により結晶化して、非晶質成分が残存した結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜をパターニングして、チャネル形成領域が設けられる半導体領域を形成し、
前記非晶質珪素膜の結晶化の熱処理よりも高温の熱処理により前記半導体領域の表面を酸化して、酸化膜を形成し、かつ、前記半導体領域の結晶性を助長し、
前記酸化膜上に絶縁膜を形成し、
前記酸化膜および前記絶縁膜を介して、前記半導体領域の上方にゲイト電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項5又は請求項6において、プラズマCVD法により、前記酸化膜上に絶縁膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、
前記非晶質珪素膜の結晶化は、450℃〜650℃の熱処理により行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一項において、
前記結晶化を助長する元素は、Ni、Pd、Ptのいずれかの元素であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、
前記酸化膜は、800℃〜1100℃の熱処理により形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか一項において、
前記非晶質珪素膜を形成する前に、基板上に酸化珪素膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項11のいずれか一項において、
前記非晶質珪素膜を形成する前に、基板上に窒化珪素膜を形成し、前記窒化珪素膜上に酸化珪素膜を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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