JP2010006646A - シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶 - Google Patents
シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010006646A JP2010006646A JP2008168625A JP2008168625A JP2010006646A JP 2010006646 A JP2010006646 A JP 2010006646A JP 2008168625 A JP2008168625 A JP 2008168625A JP 2008168625 A JP2008168625 A JP 2008168625A JP 2010006646 A JP2010006646 A JP 2010006646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- silicon single
- shoulder
- silicon
- growth step
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 167
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 167
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 167
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 149
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 230000012010 growth Effects 0.000 claims abstract description 67
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 73
- 230000021332 multicellular organism growth Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 5
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 2
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】高揮発性の抵抗調整用ドーパントを用いるとともに、Arガスを供給し、ルツボ4に収容されたシリコン融液5からシリコン単結晶を引き上げながら成長させるシリコン単結晶1の製造方法であり、シリコン単結晶1を所定の直径のインゴットに拡径成長させる肩部成長工程と、該肩部成長工程において所定の直径に成長したインゴットを棒状に成長させる胴部成長工程とを備え、肩部成長工程は、Arガスを整流するガス整流筒11の下端11aと、シリコン融液5の自由液面51との間の距離L1を30mm超として行なう。
【選択図】図2
Description
係る構成によれば、肩部成長工程(肩部プロセス)においては、成長させるシリコン単結晶の肩部での有転位化が抑制されるので、結晶引上げのやり直し処理頻度が低減され、肩部成長工程における製造サイクルタイムを短縮できる。一方、胴部成長工程(胴部プロセス)においては、シリコン単結晶とシリコン融液との固液界面に垂直方向の融液温度勾配を大きくすることができるので、ドーパント濃度が高くなった場合でも、組成的過冷却を防止することが可能となり、成長させるシリコン単結晶の胴部での有転位化が抑制される。これにより、上記同様に製造サイクルタイムを短縮することができるので、高い生産効率でシリコン単結晶を製造することが可能となる。
本発明のシリコン単結晶は、上記本発明の製造方法によって得られるものなので、結晶品質に優れ且つ低コストなものとなる。
図1及び図2は、本発明の製造方法において用いられる、シリコン単結晶引上げ装置30の一例を示した概略断面図であり、図3(a)、(b)は、肩部成長工程(肩部プロセス)における結晶内熱応力分布を示すグラフである。なお、以下の説明において参照する図面は、シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶を説明する図面であって、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実際の寸法関係とは異なっていることがある。
本実施形態の製造方法で用いるシリコン単結晶引上げ装置30は、図1及び図2に示すように、シリコン融液5が入れられるルツボ4と、ルツボ4の周囲に同心円筒状に配されるヒータ6と、ルツボ4を下方から支持する支持軸7と、ルツボ4の上側に設けられるガス整流筒11とから概略構成される。
支持軸7は、上述したように、ルツボ4を下方から支持する支持部材であり、モータ等の動力源によって回転することで、ルツボ4を所定の速度で回転させる。
以下に、図1及び図2に示すような構成とされたシリコン単結晶引上げ装置30を用いて、インゴット状のシリコン単結晶1を製造する際の手順について説明する。
本発明においては、図1に示すように、種結晶1aをルツボ4に収容されたシリコン融液5の表面に接触させて、支持軸7と同一軸心で同方向または逆方向に所定の速度で回転させながら、引き上げ軸Aを引き上げてゆくことにより、シリコン融液が凝固して形成されるシリコン単結晶1を成長させる。
本発明の製造方法に備えられる肩部成長工程(肩部プロセス)は、図2に示すような、ガス整流筒11の下端11aとシリコン融液5の自由液面51との間の距離(ギャップ)L1を30mm超として行なう。これにより、例えば、As、赤燐、Sb等の高揮発性の抵抗調整用ドーパントを用いて、抵抗率が10mΩcm以下の低抵抗である半導体用のシリコン単結晶を成長させる際に、有転位化が発生するのを抑制できるので、シリコン融液からの結晶引上げを何度もやり直すことが無く、結晶成長のサイクル時間を短縮でき、生産性が向上するという効果が得られる。
上述のようなシリコン単結晶中の有転位化は、シリコン融液の自由液面上に浮遊する非常に小さな異物が、肩部成長工程において結晶中に取り込まれることにより、生じるものと考えられる。また、従来、肩部成長工程は、通常、上記ギャップL1を10〜30mm程度の範囲として行なっていた。
これに対し、図3(b)のグラフに示すように、上記ギャップL1を50mmとした場合には、シリコン単結晶1とシリコン融液5との固液界面近傍の熱応力を大きく低減することが可能である。これにより、非常に小さな異物がシリコン結晶中に取り込まれた場合であっても、有転位化するまでには至らないものと考えられる。
このように、ガス整流筒11の下端11aとシリコン融液5の自由液面51とのギャップL1を大きな寸法、具体的には30mm超とすることにより、固液界面近傍の熱応力を大きく低減することが可能となる。
本発明の製造方法における各プロセス条件としては、従来からシリコン単結晶のプロセス条件として一般に用いられている条件を、何ら制限無く適用することが可能である。
本発明は、基本的に、上記肩部成長工程におけるギャップL1を大きくすることにより、結晶に生じる熱応力を低減させ、有転位化を低減させる方法であるので、その他のプロセス条件としては、従来と同様の条件とすることができる。即ち、肩部成長工程における各プロセス条件としては、育成中の結晶回転数を0〜30rpm、ルツボ回転数を0〜30rpm、引上げ速度を0.1〜3mm/minの範囲で、適宜設定することが可能である。
高揮発性の抵抗調整用ドーパントを用いた低抵抗の半導体用シリコン単結晶の製造プロセスにおいては、揮発性ドーパントを用いた場合の製造プロセスと比較して、同様の条件で肩部形成を行なった場合でも、不揮発性ドーパントを用いた場合の方が、有転位化の頻度は小さい傾向にある。このような違いは、ドーパントが揮発するか否かが大きく関係しており、揮発性ドーパントを用いた場合、シリコン融液の自由表面に揮発性ドーパントが関係する異物が浮遊しているものと考えられる。これに関しては、以下のように説明することができる。
図1及び図2に示す単結晶引上げ装置30を用い、ルツボ4に収容されたシリコン融液5の表面に種結晶1aを接触させて引き上げ軸Aを引き上げることにより、複数のシリコン単結晶を成長させた。
この際の引き上げ条件は、チャージ量は120kg、引き上げ直径寸法は210mmとし、ドーパントとしてAsを900g用いた。また、引上げ速度を0.5〜0.9mm/minの範囲とし、結晶(シード)回転数を8rpm〜14rpmの範囲で変化させるとともに、ルツボ回転数を6rpm〜10rpmで変化させた。また、肩部の形状は、全て同形状となるように核条件を調整し、引き上げ処理を計5バッチで実施し、その際の肩部形成工程における有転位化の回数について調査した。
またさらに、上記製造プロセスにおいては、肩部成長工程におけるガス整流筒11の下端11aとシリコン融液5の自由液面51との間のギャップL1を、下記表1に示す寸法で、適宜変化させて結晶成長を行なった。
結果を下記表1に示す。
上記実験例1と同様、図1及び図2に示す単結晶引上げ装置30を用い、ルツボ4に収容されたシリコン融液5の表面に種結晶1aを接触させて引き上げ軸Aを引き上げることにより、複数のシリコン単結晶を成長させた。
この際の引き上げ条件は、チャージ量は120kg、引き上げ直径寸法は210mmとし、ドーパントとしてAsを1200g用いた。また、引上げ速度を0.5〜0.9mm/minの範囲とし、結晶(シード)回転数を8rpm〜14rpmの範囲で変化させるとともに、ルツボ回転数を6rpm〜10rpmで変化させた。また、肩部の形状は、全て同形状となるように核条件を調整し、引き上げ処理を計5バッチで実施し、その際の肩部形成工程における有転位化の回数について調査した。
またさらに、上記実験例1と同様、肩部成長工程におけるガス整流筒11の下端11aとシリコン融液5の自由液面51との間のギャップL1を、下記表2に示す寸法で、適宜変化させて結晶成長を行なった。
結果を下記表2に示す。
Claims (3)
- 高揮発性の抵抗調整用ドーパントを用いるとともに、Arガスを供給し、ルツボに収容されたシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げながら成長させるシリコン単結晶の製造方法であって、
前記シリコン単結晶を所定の直径のインゴットに拡径成長させる肩部成長工程と、該肩部成長工程において所定の直径に成長したインゴットを棒状に成長させる胴部成長工程とを備え、
前記肩部成長工程は、前記Arガスを整流するガス整流筒の下端と、前記シリコン融液の自由液面との間の距離を30mm超として行なうことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記肩部成長工程は、前記ガス整流筒の下端と前記シリコン融液の自由液面との間の距離を、前記胴部成長工程における距離よりも大きな距離として行なうことを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 請求項1又は請求項2に記載のシリコン単結晶の製造方法で製造したことを特徴とするシリコン単結晶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008168625A JP5262346B2 (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | シリコン単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008168625A JP5262346B2 (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | シリコン単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010006646A true JP2010006646A (ja) | 2010-01-14 |
JP5262346B2 JP5262346B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=41587564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008168625A Active JP5262346B2 (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | シリコン単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5262346B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101467075B1 (ko) * | 2013-01-24 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 성장 장치 및 잉곳 성장 방법 |
WO2018159108A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶インゴットの製造方法およびシリコン単結晶インゴット |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03122089A (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-24 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Si単結晶中の酸素濃度調整方法およびその装置 |
JPH05254988A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 単結晶の製造方法および装置 |
JPH09315882A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-09 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体単結晶製造装置および半導体単結晶の製造方法 |
JP2005015296A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶の製造方法及び単結晶 |
JP2005314143A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sumco Corp | シリコン単結晶の製造方法 |
JP2007112663A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
JP2007210820A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶の製造方法 |
JP2007308335A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Covalent Materials Corp | 単結晶引上げ方法 |
-
2008
- 2008-06-27 JP JP2008168625A patent/JP5262346B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03122089A (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-24 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Si単結晶中の酸素濃度調整方法およびその装置 |
JPH05254988A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 単結晶の製造方法および装置 |
JPH09315882A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-09 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体単結晶製造装置および半導体単結晶の製造方法 |
JP2005015296A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶の製造方法及び単結晶 |
JP2005314143A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sumco Corp | シリコン単結晶の製造方法 |
JP2007112663A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Sumco Techxiv株式会社 | 半導体単結晶製造装置および製造方法 |
JP2007210820A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶の製造方法 |
JP2007308335A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Covalent Materials Corp | 単結晶引上げ方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101467075B1 (ko) * | 2013-01-24 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 성장 장치 및 잉곳 성장 방법 |
WO2018159108A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶インゴットの製造方法およびシリコン単結晶インゴット |
JPWO2018159108A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2019-06-27 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶インゴットの製造方法およびシリコン単結晶インゴット |
US11078595B2 (en) | 2017-02-28 | 2021-08-03 | Sumco Corporation | Method of producing silicon single crystal ingot and silicon single crystal ingot |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5262346B2 (ja) | 2013-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101070412B1 (ko) | 탄화 규소 단결정 제조 방법 | |
JP5909276B2 (ja) | 最初のチャージだけをドーピングすることによる、均一にドーピングされたシリコンインゴットの成長 | |
TWI302952B (en) | Silicon wafer, method for manufacturing the same, and method for growing silicon single crystal | |
US10443149B2 (en) | Method of producing crystal | |
KR100921175B1 (ko) | 실리콘 단결정의 육성 방법 및 그 방법에 의해 육성된실리콘 단결정 | |
WO2017217104A1 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5262346B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2010132492A (ja) | シリコン単結晶の育成方法 | |
WO2004092455A1 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
US20090293802A1 (en) | Method of growing silicon single crystals | |
JP5167942B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5201730B2 (ja) | Fz法シリコン単結晶の製造方法 | |
JP4273793B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP2018002490A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2009274920A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2007284323A (ja) | 半導体単結晶の製造装置及び製造方法 | |
JP4218460B2 (ja) | 単結晶製造用黒鉛ヒーター及び単結晶製造装置ならびに単結晶製造方法 | |
WO2024024155A1 (ja) | シリコン単結晶 | |
TWI796517B (zh) | 單晶矽鑄碇及其製造方法 | |
TWI751028B (zh) | 單晶矽的製造方法 | |
RU2381305C1 (ru) | СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ ДИАМЕТРОМ ДО 150 мм МЕТОДОМ ОТФ | |
JP4341379B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP6400946B2 (ja) | Si‐Ge系固溶体単結晶の製造方法 | |
JP6488975B2 (ja) | シリコン単結晶の引上げ方法 | |
JP2024018607A (ja) | シリコン単結晶 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5262346 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |