JP2010005813A - 転写装置および部材支持機構 - Google Patents
転写装置および部材支持機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010005813A JP2010005813A JP2008164900A JP2008164900A JP2010005813A JP 2010005813 A JP2010005813 A JP 2010005813A JP 2008164900 A JP2008164900 A JP 2008164900A JP 2008164900 A JP2008164900 A JP 2008164900A JP 2010005813 A JP2010005813 A JP 2010005813A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- holder
- molded product
- gimbal mechanism
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】型Mに形成されている微細な転写パターンを被成型品Wに転写する転写装置1において、被成型品Wを保持する被成型品保持体3と、被成型品保持体3に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な可動体5と、型Mを保持し、ジンバル機構11によって可動体5に支持されている型保持体7と、ジンバル機構11によって支持されている型保持体7の姿勢の調整を容易ならしめる一方で、型保持体7の回り止めを行うように型保持体7を支持する支持体9とを有する。
【選択図】図1
Description
Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199
3 被成型品保持体
5 可動体
7 型保持体
9 支持体
11 ジンバル機構
13 ベローズ
15 真空成型室
M 型
W 被成型品
Claims (6)
- 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、
前記被成型品を保持する被成型品保持体と;
前記被成型品保持体に対して接近・離反する方向で前記被成型品保持体に対して相対的に移動位置決め自在な可動体と;
前記型を保持し、ジンバル機構によって前記可動体に支持されている型保持体と;
前記ジンバル機構によって支持されている前記型保持体の姿勢の調整を容易ならしめる一方で、前記型保持体の回り止めを行うように前記型保持体を支持する支持体と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記支持体は、ベローズを備えて構成されていることを特徴とする転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載の転写装置において、
前記型に形成されている微細な転写パターンを前記被成型品に転写するときに、前記型と前記被成型品とが内側に入る真空成型室が形成されるように構成されており、
前記支持体は、前記可動体と前記型保持体との間に設けられ、前記ジンバル機構と前記真空成型室とが前記支持体によって遮断されるように構成されていることを特徴とする転写装置。 - 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、
ベースフレームに支持され、前記被成型品を保持する被成型品保持体と;
前記ベースフレームに支持され、前記被成型品保持体に対して接近・離反する方向で移動位置決め自在な可動体と;
前記型を保持し、ジンバル機構によって前記可動体に支持されている型保持体と;
筒状に形成され、伸縮方向が前記可動体の移動方向と一致し前記型保持体の一部が内側に入り込み前記ジンバル機構が存在している空間と前記型保持体に保持される型が存在する空間とを分離するようにして、伸縮方向の一端部が前記可動体に一体的に設けられ、伸縮方向の他端部が前記型保持体に一体的に設けられているベローズと;
を有することを特徴とする転写装置。 - 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、
前記被成型品を保持し、ジンバル機構によってベースフレームに支持されている被成型品保持体と;
前記被成型品保持体に対して接近・離反する方向で前記被成型品保持体に対して相対的に移動位置決め自在な型保持体と;
前記ジンバル機構によって支持されている前記被成型品保持体の姿勢の調整を容易ならしめる一方で、前記被成型品保持体の回り止めを行うように前記被成型品保持体を支持する支持体と;
を有することを特徴とする転写装置。 - 第1の部材と;
ジンバル機構を介して前記第1の部材に支持されている第2の部材と;
前記ジンバル機構による前記第2の部材の回動中心軸に対してほぼ直交する軸の延伸方向に、伸縮方向がほぼ一致するようにして、伸縮方向の一端部が前記第1の部材に一体的に設けられ、伸縮方向の他端部が前記第2の部材に一体的に設けられたベローズと;
を有することを特徴とする部材支持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008164900A JP5224930B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008164900A JP5224930B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 転写装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010005813A true JP2010005813A (ja) | 2010-01-14 |
JP5224930B2 JP5224930B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=41586861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008164900A Active JP5224930B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 転写装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5224930B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005052841A (ja) * | 2003-08-01 | 2005-03-03 | Meisho Kiko Kk | 高精度プレス機 |
JP2005101201A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Canon Inc | ナノインプリント装置 |
JP2005179141A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | プレス成形装置 |
JP2006116602A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-05-11 | Bondotekku:Kk | 加圧装置の平行調整方法及び装置 |
JP2007160565A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Toshiba Mach Co Ltd | ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法 |
-
2008
- 2008-06-24 JP JP2008164900A patent/JP5224930B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005052841A (ja) * | 2003-08-01 | 2005-03-03 | Meisho Kiko Kk | 高精度プレス機 |
JP2005101201A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Canon Inc | ナノインプリント装置 |
JP2005179141A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | プレス成形装置 |
JP2006116602A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-05-11 | Bondotekku:Kk | 加圧装置の平行調整方法及び装置 |
JP2007160565A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Toshiba Mach Co Ltd | ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5224930B2 (ja) | 2013-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5930622B2 (ja) | インプリント装置、及び、物品の製造方法 | |
US9694535B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method using same | |
US9841673B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
KR101980415B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP5669466B2 (ja) | 保持装置、インプリント装置及び物品の製造方法 | |
US8734702B2 (en) | Original and article manufacturing method using same | |
KR20160103020A (ko) | 국부 필드 임프린팅을 위한 비대칭 템플릿 형상 변조 | |
JP6497839B2 (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
JP2016096327A (ja) | インプリント方法、インプリント装置、型、および物品の製造方法 | |
JP6423641B2 (ja) | インプリント装置、物品の製造方法及びインプリント方法 | |
JP5822597B2 (ja) | インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法 | |
JP2009286067A (ja) | 転写装置、プレス装置および位置姿勢調整機構 | |
JP2009220559A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP6391709B2 (ja) | ナノ構造を型押しする方法及び装置 | |
JP5224930B2 (ja) | 転写装置 | |
JP2010093105A (ja) | 被成型品保持装置、型保持装置および転写装置 | |
JP2007180315A (ja) | 転写装置 | |
JP5380032B2 (ja) | シート状部材保持具、シート状部材設置装置およびシート状部材設置方法 | |
JP5328869B2 (ja) | 転写用の型の製造方法 | |
JP5297141B2 (ja) | 転写装置 | |
US20160009022A1 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
JP4729337B2 (ja) | ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法 | |
JP2011079249A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP5690389B2 (ja) | シート状部材保持具 | |
JP4857050B2 (ja) | ジンバル機構を備えた転写装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110425 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5224930 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |