JP2010004037A - リソグラフィ装置、メトロロジー装置及び当該装置の使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板テーブルは基板を支持する。投影システムは、パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に誘導する。液体閉じ込め構造は、投影システムと基板、基板テーブル、又はその両方との間にある空間に液浸液を少なくとも部分的に閉じ込める。熱測定システムは感熱性コーティングを含む。熱測定システム100は、コーティングに接触している液浸液の温度を検出する。熱測定システム、熱測定システムを備えるメトロロジーシステム、及び熱測定システムのダミーウェーハも開示される。
【選択図】図11a
Description
Claims (15)
- 感熱性コーティング又はブラッグリフレクタを備える熱測定システムを備え、該熱測定システムが前記コーティング又はブラッグリフレクタの温度を検出する、リソグラフィ装置。
- 前記コーティング又はブラッグリフレクタによって放出される放射の特性が、前記コーティング又はブラッグリフレクタの前記温度に依存する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コーティング又はブラッグリフレクタが、i)ダミー基板、ii)センサ、iii)投影システムの光学要素、iv)液体閉じ込め構造、v)シャッタ部材、vi)基板テーブル、vii)測定テーブル、viii)基板ホルダの縁部にて画定されたギャップの表面、ix)ミラー、x)照明システムの表面、又はxi)i)からx)から選択された任意の組合せの少なくとも一部に提供される、請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記熱測定システムによる温度測定に応答して、前記コーティング又はブラッグリフレクタに適用される熱負荷を変化させるコントローラをさらに備える、請求項1から3のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 基板を支持する基板テーブル、パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に誘導する投影システム、前記投影システムと前記基板、基板テーブル又はその両方の間にある空間に液浸液を供給し、少なくとも部分的に閉じ込める液体閉じ込め構造をさらに備え、前記熱測定システムが、前記コーティング又はブラッグリフレクタに接触している液浸液の温度を測定する、前記請求項のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記熱測定システムによる温度測定に応答して、前記液浸液の熱特性を変化させるコントローラをさらに備える、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 一方が基板を支持する基板テーブルである、2つのテーブル、
パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分に誘導する投影システム、
前記投影システムと前記基板、前記2つのテーブルのうち少なくとも一方、又は前記2つのテーブルのうち前記少なくとも一方と前記基板の間にある空間に液浸液を供給し、少なくとも部分的に閉じ込める液体ハンドリング構造、及び
感熱性コーティング又はブラッグリフレクタを備え、該コーティング又はブラッグリフレクタに接触している前記液浸液の温度を検出する熱測定システム、
を備えるリソグラフィ装置。 - テーブル、
前記テーブルの部分の上にある空間に液浸液を少なくとも部分的に閉じ込める液体ハンドリング構造、及び
光応答性の感熱性コーティング又はブラッグリフレクタを備え、該コーティング又はブラッグリフレクタに接触している前記液浸液の温度を検出する熱測定システム、
を備えるメトロロジー装置。 - メトロロジー装置又はリソグラフィ装置のための熱測定システムであって、
放射ビームを供給する光源、
感熱性になるように表面に適用されたコーティング又はブラッグリフレクタであって、前記コーティングが前記光源からの前記放射ビームに応答して放射を放出する、前記コーティング又はブラッグリフレクタ、及び
前記コーティング又はブラッグリフレクタによって放出された放射を検出する検出器、を備え、
前記放射ビームに応答して前記コーティング又はブラッグリフレクタによって放出される前記放射の特性が、前記コーティング又はブラッグリフレクタの温度に依存する、熱測定システム。 - 前記特性が放射の特定波長の強度である、請求項9に記載の熱測定システム。
- 前記コーティングが2相混合物を含む、請求項9又は10に記載の熱測定システム。
- 液浸リソグラフィ装置の熱測定システムにおいて使用されるダミー基板であって、コーティング又はブラッグリフレクタを有し、該コーティング又はブラッグリフレクタが光源からの放射ビームに応答して放射を放出し、前記放出された放射が前記コーティング又はブラッグリフレクタの温度に依存する特性を有する、ダミー基板。
- 感熱性コーティング又はブラッグリフレクタによって放出された放射を検出することを含む、リソグラフィ装置における熱測定方法。
- メトロロジー装置における熱測定方法であって、液浸液がテーブルの部分の上にある空間に閉じ込められ、熱測定が、前記液浸液に接触している感熱性コーティング又はブラッグリフレクタによって放出された放射を検出することを含む、熱測定方法。
- メトロロジー装置又はリソグラフィ装置における熱測定方法であって、
前記熱測定が実行される表面に適用されたコーティング又はブラッグリフレクタに放射ビームを供給し、
前記コーティング又はブラッグリフレクタによって放出される放射を検出し、
検出された前記放出放射の特性から熱測定を割り出すことを含む、熱測定方法。
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