JP2010002241A - 回路基板固定装置、回路基板検査装置および回路基板固定方法 - Google Patents
回路基板固定装置、回路基板検査装置および回路基板固定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板100をクランプする第1のクランプ部(クランプ部13a,13b,14a)および第2のクランプ部(クランプ部13c,13d,14b)を有するクランプ機構10と、第1のクランプ部を移動させる移動機構と、クランプ機構10による基板100のクランプ処理、および移動機構によって第1のクランプ部を移動させて基板100を伸張させる基板伸張処理をこの順で実行して基板100を固定する制御部と、基板100を吸着する吸着機構20とを備え、制御部が、吸着機構20による基板吸着処理と、第1のクランプ部による第1のクランプ処理と、移動機構によって第1のクランプ部を第2のクランプ部に対する離間方向に移動させる移動処理と、第2のクランプ部による第2のクランプ処理とを上記のクランプ処理としてこの順で実行する。
【選択図】図5
Description
2 回路基板固定装置
3 プロービング装置
3b 検査用プローブ
4 検査部
5 制御部
10 クランプ機構
13a〜13d,14a,14b クランプ部
18 移動機構
20 吸着機構
23a〜23c 吸着部
100 回路基板
S 電気信号
Claims (5)
- 回路基板の対向する両端部の一方をクランプする第1のクランプ部および当該両端部の他方をクランプする第2のクランプ部を有するクランプ機構と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する接近方向および離間方向に移動させる移動機構と、前記クランプ機構を制御して前記回路基板の前記両端部をクランプさせるクランプ処理および前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対する前記離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理をこの順で実行して当該回路基板を固定する制御部とを備えた回路基板固定装置であって、
前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着する吸着機構を備え、
前記制御部は、前記吸着機構を制御して前記所定部位を吸着させる基板吸着処理と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部のうちの予め規定された一方を制御して前記両端部の一方をクランプさせる第1のクランプ処理と、前記移動機構を制御して前記予め規定された一方を他方から離間させる向きに移動させる移動処理と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部のうちの他方を制御して前記両端部の他方をクランプさせる第2のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する回路基板固定装置。 - 前記吸着機構は、前記回路基板の前記一方の面における複数の前記所定部位を別個独立してそれぞれ吸着する複数の吸着部を備えている請求項1記載の回路基板固定装置。
- 前記吸着機構は、前記回路基板の前記一方の面における前記所定部位を吸着する吸着部を前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部の間の任意の位置に配置可能に構成されている請求項1または2記載の回路基板固定装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている前記回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
- 第1のクランプ部および第2のクランプ部によって回路基板の対向する両端部をそれぞれクランプするクランプ処理と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理とをこの順で実行して当該回路基板を固定する回路基板固定方法であって、
前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着機構によって吸着する基板吸着処理と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部のうちの予め規定された一方によって前記両端部の一方をクランプする第1のクランプ処理と、前記予め規定された一方を他方に対する離間方向に移動させる移動処理と、前記第1のクランプ部および前記第2のクランプ部のうちの他方によって前記両端部の他方をクランプする第2のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する回路基板固定方法。
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