JP2009543332A - 洗浄構成を含むリソグラフィ装置、洗浄構成、および洗浄される表面を洗浄するための方法 - Google Patents
洗浄構成を含むリソグラフィ装置、洗浄構成、および洗浄される表面を洗浄するための方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】洗浄構成は、水素含有ガスのためのガスソースおよび水素ラジカルソースを含む。水素ラジカルソースは、水素の光解離を誘導する(UV)放射のソースである。ラジカルは、Sn酸化物(存在する場合)を還元し、またSn堆積および/または炭素堆積の揮発性水素化物を形成する。このようにして、洗浄構成は、Snおよび/またはC堆積を光エレメントから洗浄するために使用されることができる。EUVソースは、水素ラジカルソースとして使用される。光フィルタは、望ましくないEUV放射を除去し、望ましいUV放射を透過させるために使用される。
【選択図】図3a
Description
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度に(すなわち、単一静止露光)ターゲット部分C上に投影する。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。ステップモードにおいては、露光フィールドの最大サイズによって、単一静止露光時に結像されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
2.スキャンモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。スキャンモードにおいては、露光フィールドの最大サイズよって、単一動的露光時のターゲット部分の幅(非スキャン方向)が限定される一方、スキャン動作の長さによって、ターゲット部分の高さ(スキャン方向)が決まる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、マスクテーブルMTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射ソースが採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述のタイプのプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (47)
- リソグラフィ装置であって、
EUVソースと、
洗浄構成とを含み、前記洗浄構成は、
水素含有ガスおよび補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを提供するためのソースと、
水素ラジカルソースとを含み、
前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、前記水素ラジカル含有ガスを洗浄される光エレメントの表面に提供し、前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する放射ソースを含む、リソグラフィ装置。 - 請求項1に記載のリソグラフィ装置であって、
前記EUVソースと、
前記洗浄構成とを含み、前記洗浄構成は、
水素含有ガスソースと、
前記水素ラジカルソースとを含み、
前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスの少なくとも一部を前記水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、前記水素ラジカル含有ガスを洗浄される光エレメントの表面に提供し、前記水素ラジカルソースは、前記水素の光解離を誘導する前記放射ソースを含む、リソグラフィ装置。 - 前記水素含有ガスは、H2、D2、T2、HD、HTおよびDT含有ガスの群から選択されるガスを含む、請求項1ないし2のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記補助化合物含有ガスは、光解離可能な炭化水素およびシランからなる群から選択される1つ以上の化合物を含む、請求項1ないし3のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する前記放射のソースは、UVソースを含む、請求項1ないし4のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 光解離を誘導する前記放射のソースは、高出力UVソースを含む、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 光解離を誘導する前記放射のソースは、高圧水銀ランプを含む、請求項5ないし6のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する前記放射のソースは、可視光ソースを含む、請求項1ないし7のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 使用中の前記EUVソースは、前記UV内に波長を有する放射をさらに放出し、前記リソグラフィ装置は、前記EUVソースと洗浄される表面との間で位置決め可能な光フィルタをさらに含み、前記光フィルタは、UV放射に対してEUV放射を減少させる、請求項1ないし8のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 使用中の前記EUVソースは、前記可視光内に波長を有する放射をさらに放出し、前記リソグラフィ装置は、前記EUVソースと洗浄される表面との間で位置決め可能な光フィルタをさらに含み、前記光フィルタは、可視放射に対してEUV放射を減少させる、請求項1ないし9のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光フィルタは、集光ミラーの上流である、請求項9ないし10のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光フィルタは、集光ミラーの下流である、請求項9ないし10のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記洗浄される表面は、放射システム内に含まれている光エレメント、照明システム内に含まれている光エレメントおよび投影システム内に含まれている光エレメントの群から選択される光エレメントの表面である、請求項1ないし12のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光エレメントは、反射型光エレメント、透過型光エレメント、汚染物質バリアおよびセンサの群から選択される、請求項1ないし13のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光エレメントは、法線入射集光ミラーおよびかすめ入射集光ミラーの群から選択される、請求項1ないし14のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記洗浄構成は、前記光エレメントを囲う円周ハルをさらに含み、前記円周ハルは、
ドアと、
前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを前記円周ハルによって囲われている体積に提供するために、前記ソースから前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上の前記ガスを導入する出口と、
前記円周ハルからのガスの除去を可能にする排気口と、
前記放射のソースの放射の少なくとも一部を透過させる光フィルタとを含み、前記放射のソースおよび前記光フィルタは、前記円周ハル内に含まれている前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を照射し、それによって、前記円周ハルによって含まれている前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を前記水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、前記水素ラジカル含有ガスを前記円周ハル内に含まれている洗浄される光エレメントの表面に提供する、
請求項1ないし15のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記放射のソースは、前記EUVソースを含む、請求項1ないし16のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射のソースは、前記EUVソースとは異なる放射ソースを含む、請求項1ないし16のいずれか一項に記載のリソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置であって、
EUVソースと、
前記EUVソースの放射ビームを調整する照明システムと、
パターン形成された放射ビームを形成するためにビームの断面にパターンを付与するパターンニングデバイスを支持するサポートと、
基板を保持する基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン形成された放射ビームを投影する投影システムと、
洗浄構成とを含み、前記洗浄構成は、
水素含有ガスおよび補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを提供するためのソースと、
水素ラジカルソースとを含み、前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、前記水素ラジカル含有ガスを洗浄される光エレメントの表面に提供し、前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する放射のソースを含む、リソグラフィ装置。 - 洗浄構成であって、
水素含有ガスおよび補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを提供するためのソースと、
水素ラジカルソースとを含み、前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、水素ラジカル含有ガスを洗浄される光エレメントの表面に提供し、前記水素ラジカルソースは、前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する放射のソースを含む、洗浄構成。 - 光エレメントを囲う円周ハルを含み、前記円周ハルは、
ドアと、
前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを前記円周ハルによって囲われている体積に提供するために、前記ソースから前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスを導入する出口と、
前記円周ハルからのガスの除去を可能にするように構成された排気口と、
前記放射のソースの放射の少なくとも一部を透過させる光フィルタとを含み、前記放射のソースおよび前記光フィルタは、前記円周ハル内に含まれている前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を照射し、それによって、前記円周ハルによって含まれている前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの少なくとも一部を前記水素ラジカル含有ガスに変換し、前記洗浄構成は、前記水素ラジカル含有ガスを前記円周ハル内に含まれている洗浄される光エレメントの表面に提供する、請求項20に記載の洗浄構成。 - 前記放射のソースは、前記円周ハルの外部に配置されている、請求項20ないし21のいずれか一項に記載の洗浄構成。
- リソグラフィ装置の光エレメントの表面を洗浄するための方法であって、
水素含有ガスおよび補助化合物含有ガスからなる群から選択される1つ以上のガスを前記表面に導くことと、
前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスからなる群から選択される前記1つ以上のガスの光解離を誘導する放射を、前記1つ以上のガス、前記表面、または前記1つ以上のガスおよび前記表面の両方に照射することと
を含む、方法。 - 前記リソグラフィ装置の前記光エレメントの表面を洗浄するための請求項23に記載の方法であって、
前記水素含有ガスを前記表面に導くことと、
前記水素の光解離を誘導する放射を前記ガスおよび/または前記表面に照射することと
を含む、請求項23に記載の方法。 - 前記表面は、放射システム内に含まれている光エレメント、照明システム内に含まれている光エレメントおよび投影システム内に含まれている光エレメントの群から選択される光エレメントの表面である、請求項23ないし24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記水素含有ガスは、H2、D2、T2、HD、HTおよびDT含有ガスの群から選択されるガスを含む、請求項23ないし25のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物含有ガスは、光解離可能な炭化水素およびシランからなる群から選択される1つ以上の化合物を含む、請求項23ないし26のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、任意選択として1つ以上のハロゲン基で置換されるC1〜C25化合物を含む、請求項27に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、線形、分岐、環状または芳香族炭化水素を含む、請求項27ないし28のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、R1R2R3CR4化合物を含み、R1、R2、R3およびR4は独立して、C1〜C6炭化水素基および任意選択として1つ以上のハロゲン基からなる群から選択される、請求項27ないし29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、R1R2R3CR4化合物を含み、R1、R2、R3およびR4は独立して、C1〜C6炭化水素基および水素基からなる群から選択され、R1、R2、R3およびR4の少なくとも1つは、水素基を含む、請求項27ないし29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、少なくとも1つのC1〜C6炭化水素基で置換される芳香族化合物を含む、請求項27ないし31のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、メタン、トルエンおよびR1R2R3CHからなる群から選択され、R1、R2、R3およびR4は独立して、C1〜C4炭化水素基からなる群から選択される、請求項27ないし29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記炭化水素化合物は、任意選択として1つ以上のハロゲン基で置換される、C1〜C4炭化水素、特にC1〜C3、より詳細にはC1〜C2炭化水素からなる群から選択される、請求項27ないし29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シラン化合物は、R1R2R3SiR4化合物を含み、R1、R2、R3およびR4は独立して、C1〜C6炭化水素基および任意選択として1つ以上のハロゲン基からなる群から選択される、請求項27ないし34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シラン化合物は、R1R2R3SiR4化合物を含み、R1、R2、R3およびR4は独立して、C1〜C6炭化水素基および水素基からなる群から選択され、R1、R2、R3およびR4の少なくとも1つは、水素基を含む、請求項27ないし34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シラン化合物は、HSiR1R2R3化合物を含み、R1、R2およびR3は独立して、C1〜C6炭化水素基からなる群から選択される、請求項27ないし34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シラン化合物は、SinH2n+2からなる群から選択される1つ以上の化合物を含み、nは1または1より大きい整数である、請求項27ないし34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物は773Kより低い沸騰温度を有する、請求項27ないし38のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物含有ガスは、光開始剤および連鎖移動剤からなる群から選択される1つ以上の化合物を含み、これらは光解離可能な水素基を有する、請求項27ないし39のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物含有ガスは、NHおよびSH基からなる群から選択される1つ以上の群を含む、請求項27ないし40のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物は、C−H、C−C、C=C、C≡C、N−H、N−N、N=N、C−N、C=NまたはS−H結合からなる群から選択される1つ以上の結合を含む、請求項27ないし41のいずれか一項に記載の方法。
- 前記補助化合物は、C1〜C4炭化水素化合物からなる群から選択される1つ以上の化合物を含む、請求項27ないし42のいずれか一項に記載の方法。
- 実質的に前記水素含有ガスのみが適用される、請求項27ないし43のいずれか一項に記載の方法。
- 前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスの両方が適用される、請求項27ないし44のいずれか一項に記載の方法。
- 前記水素含有ガスおよび前記補助化合物含有ガスの両方が適用され、前記補助化合物は、CH4、C2H4およびSiH4からなる群から選択される1つ以上の化合物を含む、請求項27ないし45のいずれか一項に記載の方法。
- 前記水素ガス対前記補助化合物の体積比は、5000〜5の範囲内にある、請求項44ないし46のいずれか一項に記載の方法。
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