JP2009541935A - イオン注入装置の走査パターン - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (20)
- イオンビームを生成するイオンビーム発生器と、
前記イオンビームがワークピースの前面の少なくとも一部分に入射する場合、前記イオンビームを振動させるスキャナと、
を備えるイオン注入装置。 - 前記スキャナは、さらに、前記ワークピースの前記前面に対する前記イオンビームの位置に応じて前記イオンビームを振動させる、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記スキャナは、さらに、前記イオンビームのエネルギーに応じて前記イオンビームの前記振動の特性を調整する、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記特性は、前記振動の周波数または振幅を含む、請求項3に記載のイオン注入装置。
- 前記スキャナは、さらに、前記イオンビームのイオンビーム電流の変動に応じて前記イオンビームの前記振動の特性を調整する、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記スキャナは、静電スキャナである、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記静電スキャナは、前記イオンビームの近傍に配置される少なくとも1つの走査電極を有し、前記静電スキャナは、さらに、前記少なくとも1つの走査電極に供給される電圧信号に応じた周波数および振幅で前記イオンビームを振動させる、請求項6に記載のイオン注入装置。
- 前記スキャナは、さらに、前記イオンビームを第1の平面で走査し、前記イオン注入装置は、前記第1の平面と直交する第2の平面で前記ワークピースを駆動させる駆動機構をさらに備え、前記ワークピースの前記前面における前記イオンビームの走査パターンは、前記イオンビームが前記第1の平面で走査され、かつ、前記ワークピースが前記第2の平面で駆動される際の前記イオンビームと前記ワークピースとの間の相対運動によって得られ、前記走査パターンは、前記イオンビームの前記振動に応じて、前記ウェハの前記前面の少なくとも前記一部分に振動パターンを有する、請求項1に記載のイオン注入装置。
- イオンビームを生成する段階と、
前記イオンビームがワークピースの前面の少なくとも一部分に入射する場合、前記イオンビームを振動させる段階と、
を備える方法。 - 前記ワークピースの前記前面に対する前記イオンビームの位置に応じて、前記イオンビームの前記振動の特性を調整する段階をさらに備える、請求項9に記載の方法。
- 前記イオンビームのエネルギーに応じて、前記イオンビームの前記振動の特性を調整する段階をさらに備える、請求項9に記載の方法。
- 前記特性は、前記イオンビームの前記振動の周波数または振幅を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記イオンビームのイオンビーム電流の変動に応じて、前記イオンビームの前記振動の特性を調整する段階をさらに備える、請求項9に記載の方法。
- 前記イオンビームの前記振動は、一の周波数および振幅で行われ、前記方法は、前記周波数および振幅を調整する段階をさらに備える、請求項9に記載の方法。
- 前記イオンビームを第1の平面で走査する段階と、
前記ワークピースを前記第1の平面と直交する第2の平面で駆動させる段階と、をさらに備え、
前記ワークピースの前記前面における前記イオンビームの走査パターンは、前記イオンビームが前記第1の平面で走査され、かつ、前記ワークピースが前記第2の平面で駆動される際の前記イオンビームと前記ワークピースとの間の相対運動により得られ、前記走査パターンは、前記イオンビームの前記振動に応じて前記ウェハの前記前面の少なくとも前記一部分に振動パターンを有する、請求項9に記載の方法。 - イオンビームを生成し、前記イオンビームをワークピースに導くイオンビーム発生器を備え、
前記イオンビームと前記ワークピースとの間の相対運動は、前記ワークピースの前面に走査パターンを生成し、前記走査パターンは、前記ワークピースの前記前面の少なくとも一部に振動パターンを有する、イオン注入装置。 - 前記イオンビームを振動させて前記走査パターンの前記振動パターンを提供するスキャナをさらに備える、請求項16に記載のイオン注入装置。
- 前記スキャナは、前記イオンビームの近傍に配置される少なくとも1つの走査電極を有する静電スキャナを含み、前記静電スキャナは、さらに、前記少なくとも1つの走査電極に供給される電圧信号に応じた周波数および振幅で前記イオンビームを振動させる、請求項17に記載のイオン注入装置。
- 前記電圧信号は、第1の周期成分および第2の周期成分を有し、前記第1の周期成分は、第1のピーク・トゥ・ピーク振幅および第1の周波数を有し、前記第2の周期成分は、第2のピーク・トゥ・ピーク振幅および第2の周波数を有し、前記第2のピーク・トゥ・ピーク振幅は、前記第1のピーク・トゥ・ピーク振幅より小さく、前記第2の周波数は、前記第1の周波数より大きく、前記走査パターンの前記振動パターンは、前記第2の周期成分に基づく、請求項18に記載のイオン注入装置。
- 前記第1のピーク・トゥ・ピーク振幅は、約10ボルトであり、前記第1の周波数は、約1キロヘルツ(kHz)であり、前記第2のピーク・トゥ・ピーク振幅は、約1ボルトであり、前記第2の周波数は、約10キロヘルツである、請求項19に記載のイオン注入装置。
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