JP2009536370A - 擬テレセントリック結像レンズの歪調整 - Google Patents
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Abstract
Description
12,66 リレーレンズ
14,54 対物レンズ
16,58 レチクル
18 像平面
22 クロッピングブレード
24 リレー絞り
26 対物絞り
30,80 光軸
50 フォトリソグラフ結像システム
54 投影レンズ
62 光源
64 照光器
68 クロッピングマスク
Claims (10)
- 光学結像システムにおいて、
集成擬テレセントリックレンズであって、物平面から発する主光線が近軸光線及び、前記近軸光線からの与えられた径方向距離に配された、参照光線を含み、前記参照光線及び前記近軸光線が前記結像システムの光軸に実質的に平行に進み、前記物平面から発する前記主光線が、前記集成レンズの前記光軸に対する傾きが変化する他の主光線も含む、集成擬テレセントリックレンズ、及び
前記光軸に沿って前記集成レンズに対して前記結像システムによって結像させようとしている物体を相対的に平行移動させて、そうしなければ前記集成レンズの像平面に現れる、歪を補償するためのステージ、
を備えることを特徴とする結像システム。 - (a)前記参照光線が視野限界光線であり、
(b)前記主近軸光線と前記視野限界光線の間の前記他の主光線が、実質的に、前記近軸光線と前記視野限界光線の内の近い方の光線からの前記他の主光線の径方向距離の関数として、前記光軸に対して様々に傾けられた主中間光線を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の結像システム。 - 前記主中間光線が実質的に軸対称で伝搬方向において前記光軸に向けて様々に傾けられていることを特徴とする請求項2に記載の結像システム。
- 前記光軸に沿う一方向への前記物体の移動が前記集成レンズの前記像平面における正のラジアル歪に寄与し、前記光軸に沿う逆方向への前記物体の移動が前記集成レンズの前記像平面における負のラジアル歪に寄与することを特徴とする請求項1,2または3に記載の結像システム。
- 前記ステージが複数のステージの第1のステージであり、前記複数のステージの第2のステージが前記像平面における前記物体の倍率を変えるために前記光軸に沿って前記集成レンズの1つのレンズコンポーネントを平行移動させ、前記結像システムが前記倍率変化にともなう歪を補償するために前記第1のステージの移動と前記第2のステージの移動を関連付けるプロセッサをさらに備えることを特徴とする請求項1から4いずれか1項に記載の結像システム。
- 前記集成擬テレセントリックレンズの前記物平面から発する前記近軸光線、前記参照光線及び前記他の主光線と揃えられた、像平面に近づく主光線を有する擬テレセントリック照光システムをさらに備えることを特徴とする請求項1から5いずれか1項に記載の結像システム。
- 前記照光システムが照光器及び、前記照光器を前記集成擬テレセントリックレンズに結合する、リレーレンズを備え、前記照光器及び前記リレーレンズの内の少なくとも1つが前記集成擬テレセントリックレンズの前記物平面から発する前記主光線に整合するために擬テレセントリックであることを特徴とする請求項6に記載の結像システム。
- 擬テレセントリックレンズにおけるラジアル歪に影響を与える方法において、
テレセントリック物空間への非線形修正を有する擬テレセントリックレンズを通して光を導く工程、及び
前記擬テレセントリックレンズの像平面における倍率を有意に変えることなく前記像平面におけるラジアル歪を増減させるために、前記非線形修正物空間にわたって物平面を軸方向に相対的に平行移動させる工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記像平面における前記倍率を変えるために前記テレセントリックのビーム偏光レンズコンポーネントを軸方向に相対的に平行移動させる工程をさらに含み、前記物体の前記軸方向平行移動の少なくとも一部が前記ビーム偏光レンズコンポーネントの前記軸方向平行移動にともなうラジアル歪を補償することを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 光を導く前記工程が、前記擬テレセントリックレンズの前記テレセントリック物空間への前記非線形修正に整合するテレセントリック像空間への非線形修正を有する擬テレセントリック照光器で前記擬テレセントリックレンズの前記物平面を照光する工程を含むことを特徴とする請求項8または9に記載の方法。
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