JP2009521315A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 多光子硬化性光反応組成物を含んだ層をその上に有する基板を提供するステップと、
   第１の光学系を通じて光ビームを前記層の少なくとも第１の領域に作用させるステップと、
   反射した光ビームをもたらすために、前記光ビームの一部分を各第１の領域で前記基板から反射させるステップと、
   各第１の領域における前記反射した光ビームを、光検出器を備える第２の光学系内で処理するステップであって、前記光検出器の出力は、各第１の領域における前記基板と前記層との境界面の位置信号を含む、ステップと、
   前記第１の光学系を、前記位置信号に応答して調節するステップと、
   前記組成物を硬化領域内で硬化させるために、前記第１の光学系を通じて前記光ビームを作用させるステップと、を含む方法。
2. 前記硬化領域は、前記第１の領域とは異なる、請求項１に記載の方法。
3. 前記信号は、前記光ビームが前記硬化領域に作用されるとき、前記第１の光学系に連続的に作用される、請求項１に記載の方法。