JP2009513972A - 電子ビームを感知するための露出導体システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (35)
- 経路に沿って発生される電子ビーム(106)の強度を感知するための検出器であって、
露出導体(105;404)であって、電子ビーム(106)の経路内部に該導体を配置するように構成された支持体(112)に取り付けられた露出導体と、
前記露出導体(105;404)から隔離された第2の導体(107;402)とを備え、前記第2の導体(107;402)が、電圧電位に接続され、プラズマ・シールドを形成するために前記露出導体(105;404)を部分的に取り囲み、前記プラズマ・シールドが窓を有し、前記窓によって、前記露出導体(105;404)が前記電子ビーム(106)に対して露出され、前記窓が、少なくとも前記電子ビーム経路の方向に配置される
検出器(104;300)。 - 前記第2の導体(107;402)が、前記検出器(104)の接地電位に接続される請求項1に記載の検出器。
- 前記第2の導体(107;402)が、前記検出器(104)の近傍でプラズマから電子が引き出される速度に影響を及ぼすのに十分な電圧電位に接続される請求項1に記載の検出器。
- 電子ビーム強度の尺度として前記露出導体(105)内の電流を検出するための電流計(126)
を備える請求項1に記載の検出器。 - 前記露出導体(105)が、外側導電コーティングを有して形成される請求項1に記載の検出器。
- 前記外側導電コーティングが、不活性導電材料である請求項5に記載の検出器。
- 前記経路内部の複数の位置のそれぞれで前記電子ビーム(106)の強度を検出するための露出導体のアレイ
を備える請求項1に記載の検出器。 - 前記アレイの前記露出導体が、ターゲット領域(108)内部でのターゲット材料の所望の走行方向に対してある角度で、且つ前記経路を横切る平面内に配置される請求項7に記載の検出器。
- 電子ビーム強度の尺度として、少なくとも2つの異なる露出導体内で検出される電流のレベルを比較するための手段
を備える請求項7に記載の検出器。 - 前記露出導体が、基板の導電面として形成される請求項1に記載の検出器。
- 複数の位置のそれぞれで前記電子ビームの強度を検出するために基板上にそれぞれ形成される露出導体のアレイ
を備える請求項10に記載の検出器。 - 前記露出導体が、ターゲット領域(108)内部でのターゲット材料の所望の走行方向に対してある角度で、且つ前記経路を横切る平面内に配置される請求項11に記載の検出器。
- 前記接地導体(402)に接続された絶縁部材(406)
を備える請求項1に記載の検出器。 - 経路に沿って前記電子ビーム(106)を放出するための電子ビーム発生器(102)
を備える、経路に沿って放出される電子ビーム(106)でターゲット領域(108)を照射するためのシステム(100)と組み合わせた検出器であって、前記電子ビーム発生器(102)が電子出口窓(124)を含み、前記検出器(104)が、前記電子出口窓(124)から出る前記電子ビーム(106)の強度を検出及び測定するために前記電子発生器(102)とターゲット領域(108)との間で前記経路に沿った位置に位置する
請求項1に記載の検出器(104)。 - 前記検出器(104;300)が、前記電子出口窓(124)の外部に設けられる請求項14に記載の検出器。
- 前記電子ビーム検出器(104;300)の出力に応じて前記電子ビーム(106)の強度を調節するための電子ビーム制御装置(128)
を備える請求項14に記載の検出器。 - 前記電子ビーム(106)が、100keV未満のエネルギーで放出される請求項14に記載の検出器。
- 前記ターゲット領域(108)内にターゲット材料を保持するために支持体(114)を備え、前記支持体が、
少なくとも1つのパッケージング材料ウェブ走行ローラ
を含む請求項14に記載の検出器。 - H形構成で形成された絶縁体(406)を備え、前記露出導体(404)と前記第2の導体(402)とが、前記絶縁体(406)によって互いに隔離される請求項1に記載の検出器。
- 前記露出導体(404)に接続される第1のセンサと、
前記第2の導体(402)に接続される第2のセンサと、
電子ビーム強度の尺度として前記第1及び第2のセンサの出力を組み合わせて処理するための処理装置と
を備える請求項19に記載の検出器と組み合わせたシステム。 - 経路に沿って発生された電子ビーム(106)の強度を感知するための装置であって、
前記電子ビーム(106)の電子によって生成される電流を伝導するための手段(404)と、
プラズマから前記導電手段を遮蔽するための遮蔽手段(406)とを備え、前記遮蔽手段(406)が、前記電子ビームの経路に対して前記導電手段(404)の少なくとも一部分を直接露出するように位置する窓(408)を有する装置。 - 経路に沿って電子ビーム(106)を放出するための手段(102)であって、電子出口窓(124)を含む放出手段(102)、及び
前記ターゲット領域(108)内にターゲット材料を支持するための手段(114)
とを備えた請求項21に記載の装置。 - 電子ビーム強度の尺度として前記導電手段(404)からの電流を測定するための手段(126)
を備える請求項22に記載の装置。 - 前記導電手段(404)が、
前記経路内部の複数の位置のそれぞれで前記電子ビーム(106)の強度を検出するための露出導体のアレイ
を含む請求項22に記載の装置。 - 前記導電手段(404)が、基板上の導電面として形成される請求項22に記載の装置。
- 前記検出手段(126)の出力に応じて前記電子ビーム(106)の強度を制御可能に調節するための手段(128)
を備える請求項22に記載の装置。 - 経路に沿って発生される電子ビームの強度を感知するための検出器であって、
電子ビーム(106)の経路内部に導体(404)を配置するように構成された支持体(112)に取り付けられた露出導体(404)と、
前記露出導体(404)から隔離され、少なくとも前記電子ビーム経路(106)の方向への前記露出導体(404)の露出を実質的に制限することによって前記露出導体(404)に対する二次電子の影響に影響を及ぼすように位置決めされた第2の導体(402)と
を備える検出器。 - 前記露出導体(404)に対する二次電子の影響が、少なくとも前記電子ビーム経路(106)の方向で露出するように前記導体の露出角度を実質的に制限することによって達成される請求項27に記載の検出器。
- 電子ビーム強度の尺度として前記露出導体(404、105)内の電流を測定するための電流計(126)
を備える請求項27に記載の検出器。 - 前記経路内部の複数の位置のそれぞれで前記電子ビーム(106)の強度を検出するための露出導体のアレイ
を備える請求項27に記載の検出器。 - 前記露出導体が、基板上の導電面として形成される請求項27に記載の検出器。
- 前記検出器(104)が、前記電子出口窓(124)の外部に設けられる請求項27に記載の検出器。
- 経路に沿って放出される電子ビーム(106)でターゲット領域(108)を照射するための方法であって、
電子出口窓(124)を通して、且つ経路に沿って電子ビーム(106)を放出するステップと、
前記電子出口窓(124)から出る前記電子ビーム(106)を検出するステップであって、前記検出が、露出導体(105;404)と、前記露出導体(105;404)から隔離された第2の導体(107;402)とを使用して行われ、前記第2の導体(107;402)が、少なくとも前記電子ビーム経路の方向に位置決めされる窓(408)を有するプラズマ・シールドを形成するために前記露出導体(105;404)を部分的に取り囲むステップと、
前記露出導体(105;404)に対して所望の測定位置で移動ターゲット材料を維持するステップと
を含む方法。 - 前記露出導体(105;404)が、前記電子出口窓(124)と前記ターゲット材料との間に位置する請求項33に記載の方法。
- 電子ビーム強度の尺度として前記露出導体(105;404)からの電流を測定するステップ
を含む請求項33に記載の方法。
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