JP2009302371A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
る半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置1の製造方法において、半導体基板10の上方の層間絶縁膜36
上に金属パッド40を形成する工程と、酸素含有雰囲気内において熱処理を行い、金属パ
ッド40の表面にアルミニウム又はアルミニウム合金を有する金属酸化膜41を形成する
工程と、半導体基板10を分割してチップを形成する工程とを有する。
【選択図】図1
Description
方法に関する。
ダイシング装置により切断して複数の半導体装置毎にチップ状に分割する工程がある。半
導体ウェーハのダイシングの際には、半導体装置を冷却するために切削水が半導体ウェー
ハに供給される。切削水として、例えば純水が用いられる。
が生じ易く、切断屑が半導体チップに付着してしまう。この解決策としては、純水に二酸
化炭素を混合して純水の比抵抗値を下げることにより、静電気の発生を防止する方法があ
る。
露出しているアルミニウムのボンディングパッドを腐食させる1つの原因になる。従って
、ダイシングにより分割された半導体チップのボンディングパッドの表面には、ダイシン
グ前に比べて腐食によって多数の空孔が発生する。空孔は、ボンディングパッドの実質的
なボンディング面積を減少させるので、ボンディングパッド表面にボンディングされる金
属ワイヤとの密着性を損なう原因となる。
グパッドの表面に凹凸を形成することが知られている。しかし、ボンディングパッドの表
面に凹凸を形成しても、腐食によって多数の空孔が形成されることには変わりはなく、ボ
ンディングワイヤの密着性を改善することが難しい。
イシングの前に、ポリイミドの揮発成分によりボンディングパッドの表面に保護膜を形成
し、その後にダイシングすることが知られている。
ェーハに対向させて配置させる。続いて、熱処理によって、熱硬化前のポリイミドの成分
を揮発させ、その揮発成分をボンディングパッド及びその周辺のパッシベーション膜の表
面に付着させ、保護膜を形成する。
により揮発させて保護膜を形成する工程とを従来工程に加える必要がある上に、硬化した
ポリイミドを廃棄する必要がある。
ことができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
ウム合金のいずれかを有する金属パッドを形成する工程と、酸素含有雰囲気内において熱
処理を行い、前記金属パッドの表面に金属酸化膜を形成する工程と、前記半導体基板を分
割してチップを形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法を提供
することができる。
化膜を形成し、この後にダイシングを行ったので、金属パッドの表面のダイシングに起因
する腐食を防止することができ、金属パッドの表面とその表面に接続される金属物との密
着性を改善することができる。
(第1の実施の形態)
図1は本発明の第1実施形態に係る半導体装置1の要部断面図である。この半導体装置
1は、半導体基板10の上方の第n層目の層間絶縁膜36上に形成された金属パッド(ボ
ンディングパッド)40と、金属パッド40の表面に形成された金属酸化膜41とを備え
ている。
の主面側の活性領域には複数のp型のウェル領域11と複数のn型のウェル領域(不図示
)が形成されている。
離領域12は、例えばシャロートレンチアイソレーション(STI)構造を採用し、ウェ
ル領域11の表面から深さ方向に形成されたトレンチとその内部に埋設された絶縁体とを
備えて構成される。
的に酸化して形成されたシリコン酸化膜を使用してもよい。
Tとして、MOSFETのような絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)が形
成されている。
膜15と、ゲート電極16と、ソース/ドレイン領域17s、17dとを有している。
より形成してもよいし、CVD法により形成してもよい。
aと、このシリコン多結晶膜16a上に形成された金属シリサイド膜16bとを備える。
域であるn型のエクステンション領域17aと、ウェル領域11に形成された高不純物濃
度領域であるn型半導体領域17bとを有している。n型半導体領域17b上には金属シ
リサイド膜17cが形成されている。
11に不純物をイオン注入することにより形成される。また、n型半導体領域17bは、
ゲート電極16及びサイドウォールスペーサ18をマスクとして不純物をイオン注入する
ことにより形成される。
、17d表面の金属シリサイド膜17cのそれぞれは、製造プロセスにおいてサリサイド
技術を使用して同一工程により形成される。
本発明は、トランジスタTとしてそれに限定されるものではなく、pチャネル導電型IG
FETであってもよく、又双方のチャネル導電型MOSFETが混在してもよい。
た第1層目の層間絶縁膜21とが形成される。絶縁膜20はカバー絶縁膜として使用され
、この絶縁膜20には例えばシリコン窒化膜が使用される。層間絶縁膜21には例えばシ
リコン酸化膜が使用され、この層間絶縁膜21の表面は化学機械研磨法等により平坦化さ
れる。
7d上においてコンタクトホール22が形成される。コンタクトホール22内部には導電
性プラグ23が形成され、導電性プラグ23はソース/ドレイン領域17s、17d表面
の金属シリサイド膜17cに電気的に接続される。
の配線に接続される。この導電性プラグはゲート電極16の金属シリサイド膜16bに電
気的に接続される。
れたグルー膜23aと、このグルー膜23a上に形成されコンタクトホール22内を埋め
込む金属膜23bとを備えている。グルー膜23aには例えば窒化チタン(TiN)膜が
使用され、金属膜23bには例えばタングステン(W)膜が使用される。
形成される。配線24として、例えば、アルミニウム膜、又は銅(Cu)、シリコン(S
i)若しくはチタン(Ti)の少なくとも1つが添加されたアルミニウム合金膜が使用さ
れる。
アルミニウム合金膜と、その下層に形成されたバリアメタル膜と、その上層に形成された
反射防止膜とを備える。
ール26が形成されている。ビアホール26内部にはその下の配線24に電気的に接続さ
れる導ビアプラグ27が形成されている。
第2層目の配線が形成される。層間絶縁膜25は例えば層間絶縁膜21と同一の絶縁材料
を使用して構成され、ビアプラグ27は例えば導電性プラグ23と同一積層構造において
同一の導電性材料を使用して構成される。また、第2層目の配線は第1層目の配線24と
同一の導電性材料を使用して構成される。
層目の配線の上方には第n−1(nは4以上の整数。)層目の層間絶縁膜30が形成され
、この層間絶縁膜30にはビアホール31が形成される。
るビアプラグ32が埋設されている。
5が形成される。層間絶縁膜30は例えば層間絶縁膜21と同一の絶縁材料を使用して構
成され、ビアプラグ32は例えば導電性プラグ23と同一積層構造において同一の導電性
材料を使用して構成される。また、第(n−1)層目の配線35は第1層目の配線24と
同一の導電性材料を使用して構成される。
間絶縁膜36にはビアホール37が形成される。ビアホール37内には、配線35に電気
的に接続される最上のビアプラグ38が埋設される。
の配線として金属パッド(ボンディングパッド)40が形成される。金属パッド40を構
成する材料として、アルミニウム、又は、アルミニウムに例えばCu、Si若しくはTi
の少なくとも1つの元素が添加されたアルミニウム合金が適用される。
のビアプラグ38は、例えば導電性プラグ23と同一積層構造において同一の導電性材料
を使用して構成される。また、金属パッド40は、例えば、配線24と同一の導電性材料
を使用して構成される。
口(ボンディング開口)43を有する絶縁膜42が形成される。絶縁膜42はカバー絶縁
膜としての機能を有し、例えば絶縁膜42にはシリコン窒化膜が使用される。更に、絶縁
膜42上には、半導体基板10の全域を覆い、絶縁膜42の開口43に重複してそれより
も一回り大きな開口45を有する保護膜44が形成される。保護膜44には例えば感光性
ポリイミド樹脂膜が使用される。
口43内に露出する金属パッド40の表面上に金属酸化膜41が形成される。ここでは、
金属酸化膜41には金属パッド40の表面を酸化することにより酸化アルミニウム(Al
xOy)膜が形成される。
(純水)と金属パッド40のアルミニウム粒子との反応を防止するシールド膜として機能
し、金属パッド41の表面の腐食を防止する。
ために、例えば厚さ約3nmの自然酸化膜よりも厚く、かつ金属パッド40とそれに電気
的に接続される金属物との間の接続抵抗値を不必要に増加させないために、例えば5nm
以上、10nm以下の膜厚に設定される。
イヤ50の一端が電気的にかつ機械的に接続される。ワイヤ50には例えば金(Au)ワ
イヤが使用され、このAuワイヤの一端は金属パッド40にボンディングされる。
0、第1層目の層間絶縁膜21、コンタクトホール22、導電性プラグ23、第1層目の
配線24のそれぞれを順次形成する。引き続き、配線24上に第2層目の層間絶縁膜25
、ビアホール26、導電性プラグ27、第2層目の配線のそれぞれを順次形成し、層間絶
縁膜と配線とを交互に複数層形成する。ここで、半導体基板10は、ダイシング工程前で
あって、半導体ウェーハの状態にある。
は、例えばスパッタリング法を使用して形成された厚さ約770nm〜950nmのアル
ミニウム合金膜を使用する。
ド40の表面中央部が露出する開口43を形成する。開口43は、レジストマスク(不図
示)を使用し、絶縁膜42にドライエッチングを行うことにより形成される。
上を覆う保護膜44を形成し、開口43及び金属パッド40の表面を露出させる開口45
を保護膜44に形成する。保護膜44として、例えば塗布法を使用して成膜された感光性
樹脂、例えば感光性ポリイミド膜を使用する。開口45は、フォトリソグラフィ技術を使
用して保護膜44にパターンニングを行うことにより形成する。
ら露出する表面に熱酸化法を使用して金属酸化膜41を形成する。金属酸化膜41は、図
5に示すように、以下の熱酸化条件に基づき形成される。
素含有雰囲気内に供給する。その酸素含有雰囲気は、排気によって常圧よりも低い圧力に
設定される。そして、約1時間をかけて2℃/min〜3℃/minの上昇率で200℃
まで加熱する。この200℃の状態を12時間持続し、1.5℃/min〜1.8℃/m
inの下降率で加熱前の温度まで冷却する。
は、金属酸化膜(酸化アルミニウム膜)41が約5nm〜19nmの膜厚に形成される。
裏面のバックグラインド処理を行う。そして、半導体基板10にダイシングを行い、半導
体基板10を分割して、チップ状の複数の半導体装置1を形成する。ダイシングにおいて
は、冷却のために純水の冷却水を半導体基板10に供給する。なお、純水に二酸化炭素、
その他の成分を混入させてもよい。
金属酸化膜41を介してワイヤ50をボンディングにより接続すると、ワイヤ50は金属
酸化膜41を消失させながら金属パッド40に接続される。ボンディングは、超音波振動
を併用した熱圧着により行う。
金属顕微鏡を用いて撮影した写真に基づく模写図である。図6(b)は、酸素含有雰囲気
中で金属パッド40を熱処理しなかった金属パッド40の表面を、ダイシング工程後に金
属顕微鏡を通して撮影した写真の模写図である。
って発生する空孔40cは存在していない。これに対して、ダイシング後には、図6(b
)に示すように、酸素雰囲気中で熱処理を施さない金属パッド40の表面には、腐食によ
って発生する空孔40cが存在する。
40の表面を酸素雰囲気中で加熱すると、半導体ウェーハをダイシングした後にも金属パ
ッド40の表面は図6(a)に示す状態を保持した。
表である。ここで、サンプルには8インチ半導体ウェーハ(半導体基板10)が使用され
た。
金属パッド40の表面に金属酸化膜41を積極的に形成していない半導体ウェーハである
。この半導体ウェーハにダイシングを行い、1つの金属パッド40の表面を金属顕微鏡を
使用して観察すると、腐食の発生を確認することができ、1つの金属パッド40の表面の
腐食個数は平均で12個であった。
ーハである。この場合、熱酸化処理としては十分ではなく、金属パッド40の表面に十分
な膜厚の金属酸化膜41が生成されていないと推察される。従って、観察結果からも、腐
食の発生を確認することができ、1つの金属パッド40の表面の腐食個数は平均で11個
であった。
ハである。この場合でも、熱酸化処理としてはまだ不十分であり、金属パッド40の表面
に十分な膜厚の金属酸化膜41が生成されていないと推察される。従って、観察結果から
も、腐食の発生を確認することができ、腐食個数を減少することができるものの、1つの
金属パッド40の表面の腐食個数は平均で3個であった。
した半導体ウェーハである。この場合、熱酸化処理としては十分であり、金属パッド40
の表面に十分な膜厚の金属酸化膜41が生成されていると推察される。観察結果からも明
らかなように、腐食の発生を確認することができず、1つの金属パッド40の表面の腐食
個数は平均で0個であった。
金属パッド40の表面の腐食個数は平均で0個であった。サンプル5は、基板温度200
℃において16時間の熱酸化処理を実施した半導体ウェーハである。サンプル6は、基板
温度200℃において20時間の熱酸化処理を実施した半導体ウェーハである。サンプル
7は、基板温度200℃において24時間の熱酸化処理を実施した半導体ウェーハである
。
調べた結果を示すグラフである。シェア強度とは、金属パッド40の表面とワイヤ50の
ボールとのボンディング部分の剪断応力に対する強度である。
プルである。また、サンプル1は、ダイシング後に金属パッド49に腐食が存在するサン
プルである。サンプル5は、酸素含有雰囲気で基板温度200℃において16時間の熱処
理を行った金属パッド40であって、ダイシング後の本実施形態に係るサンプルである。
そして、サンプル9、1、5のそれぞれについてシェア強度の最小値、平均値並びに最大
値を調べた。
がいずれもサンプル1のそれらの値に対して高くなる。更に、サンプル5のシェア強度は
サンプル9のシェア強度に対しても高くなるという結果が得られた。
に使用される冷却水と金属パッド40の表面との反応を金属酸化膜41によって防止して
いるので、金属パット40の表面に腐食により生成される空孔40cが存在しない。つま
り、金属パッド40の表面のボンディング面積は空孔40cによって減少することがない
ので、金属パッド40の表面とワイヤ50との接合部分に金属パッド40側からのアルミ
ニウム粒子の供給が十分に行われ、接合部分の合金化が促進され、シェア強度を向上する
ことができる。
を調べた結果を示すグラフである。ワイヤプル強度とは、金属パッド40の表面とワイヤ
50のボールとのボンディング部分の引張応力に対する強度である。シェア強度と同様に
、サンプル9、サンプル1及びサンプル5について、それぞれワイヤプル強度の最小値、
平均値並びに最大値を調べた。なお、それらの強度試験において加える力は6pkgとし
た。
大値がいずれもサンプル1のそれらの値に対して高くなる。
表面とワイヤ50との接合部分の合金化が促進され、ワイヤプル強度を向上することがで
きる。
属パッド40の表面に金属酸化膜41を形成し、そしてプローブテスタを使用して動作試
験を行っている。
て動作試験を行った後に、金属パッド40の表面に金属酸化膜41を形成する。金属酸化
膜41を形成した後は、バックグラインド処理、ダイシングのそれぞれを順次行う。
間又は16時間以上の処理時間に設定する。つまり、図7に示すサンプル5乃至8を含む
熱処理条件を適用する。
理を行い、金属パッド40の表面に金属酸化膜41を形成し、この後に半導体ウェーハの
ダイシングを行ったので、金属パッド40の表面のダイシングに起因する腐食を防止する
ことができ、金属パッド40の表面とその表面に接続されるワイヤ50との密着性を改善
することができる。従って、半導体装置1の製造上の歩留まりを向上することができる。
本発明の第2実施形態は、第1実施形態に係る半導体装置1の製造方法において、金属
酸化膜41の形成工程並びに熱酸化条件を代えた例を説明するものである。
1の製造方法の図4に示す保護膜44に開口45を形成した後に、この保護膜44のアニ
ールを利用して、開口45から露出する金属パッド40の表面に金属酸化膜41を形成す
る。
10mlのH2Oと30l/minのN2を供給して常圧に設定された酸素含有雰囲気内
に半導体基板1を設置する。
て5℃/min〜6℃/minの上昇率で基板温度を380℃まで上げる。その後に、数
分間、例えば2分間の酸素濃度の監視を行い、酸素濃度を例えば20ppm以下で0pp
mより多くなるように調節した後に、温度380℃の状態を50分〜70分以上、好まし
くは60分以上持続する。
4にアニールを行う。この後、約30分〜40分の時間をかけて4℃/min〜6℃/m
inの下降率で冷却する。このような熱酸化条件下において、金属酸化膜(酸化アルミニ
ウム膜)41は約5nm〜10nmの膜厚に形成される。
ーハであり、サンプル8においては、腐食の発生を確認することができず、1つの金属パ
ッド40の表面の腐食個数は平均で0個であった。
、ダイシング工程のそれぞれが順次行われる。そして、金属パッド40の表面にワイヤ5
0をボンディングにより接続する。
置1の製造方法と同様に、酸素含有雰囲気内において熱処理を行い、金属パッド40の表
面に金属酸化膜41を形成し、この後に半導体ウェーハのダイシングを行った。
金属パッド40の表面とその表面に接続されるワイヤ50との密着性を改善することがで
きる。従って、半導体装置1の製造上の歩留まりを向上することができる。
する工程と保護膜44を加熱する工程とを重複させて行っているので、製造時間を短縮す
ることができる。
ら380℃まで高めて金属酸化膜11を形成しているので、短時間において金属酸化膜1
1を形成することができ、製造時間を短縮することができる。その加熱時間は少なくとも
60分又は60分以上とすることが好ましい。
1を形成する工程と保護膜44を加熱する工程とを重複させるとともに、基板温度を38
0℃の高温度に設定している。
金属酸化膜41を形成する工程と保護膜44を加熱する工程とを重複させるとともに、基
板温度を200℃に設定し、この状態を12時間又はそれ以上持続させてもよい。
上記のように、本発明を第1実施形態及び第2実施形態によって記載したが、この開示
の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものでない。本発明は様々な代替実施形
態、実施例及び運用技術に適用することができる。例えば、前述の実施形態等においては
、半導体装置1に搭載されたトランジスタTはIGFETであるが、本発明は、トランジ
スタTとしてバイポーラトランジスタ等の能動素子を使用してもよい。また、本発明は、
トランジスタTとともに若しくはトランジスタTに代えて、抵抗、容量等の受動素子を搭
載してもよい。
(付記1)
半導体基板の上方の絶縁膜上にアルミニウム、アルミニウム合金のいずれかを有する金
属パッドを形成する工程と、
酸素含有雰囲気内において熱処理を行い、前記金属パッドの表面に金属酸化膜を形成す
る工程と、
前記半導体基板を分割してチップを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記2)
前記金属酸化膜は酸化アルミニウム膜であることを特徴とする付記1に記載の半導体装
置の製造方法。
(付記3)
前記金属パッドを形成する工程の後に、前記金属パッドの中央部を露出しその周囲を覆
うカバー絶縁膜を形成する工程と、
前記金属パッドの前記中央部の表面に前記金属酸化膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記1又は付記2に記載の半導体装置の製造方法。
(付記4)
前記金属酸化膜を形成する前に、前記金属パッド及び前記カバー絶縁膜の上に保護膜を
形成する工程と、
前記金属パッドの前記中央部を露出する開口を形成する工程と、
を有することを特徴とする付記3に記載の半導体装置の製造方法。
(付記5)
前記金属酸化膜は、前記酸素含有雰囲気内において、基板温度200℃を維持し、12
時間以上の時間の前記熱処理により形成されることを特徴とする付記1乃至付記4のいず
れか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(付記6)
前記金属酸化膜は、前記酸素含有雰囲気内において、基板温度380℃を維持し、60
分以上の時間の前記熱処理により形成されることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれ
か1つに記載の半導体装置の製造方法。
(付記7)
前記酸素含有雰囲気中で、前記酸素雰囲気の温度を上昇して前記金属パッドの中央部の
表面に前記金属酸化膜を形成するとともに前記保護膜を加熱することを特徴とする付記4
に記載の半導体装置の製造方法。
(付記8)
前記金属酸化膜を形成する工程は、前記金属パッドの表面に生成される自然酸化膜の膜
厚に比べて厚い膜厚を有する前記金属酸化膜を形成する工程であることを特徴とする付記
1乃至付記7のいずれかつ項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記9)
前記金属パッドの表面に前記金属酸化膜を介してワイヤのボンディングを行う工程を更
に備えたことを特徴とする付記1乃至付記8のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方
法。
(付記10)
前記半導体基板の分割は、水を共有しながら前記半導体基板を切断することを特徴とす
る付記1乃至付記9のいずれか1つに半導体装置の製造方法。
10 半導体基板
21、25、30、36 層間絶縁膜
23、26、32、38 導電性プラグ
24、35 配線
40 金属パッド
41 金属酸化膜
42 絶縁膜
43、45 開口
44 保護膜
50 ワイヤ
T トランジスタ
Claims (5)
- 半導体基板の上方の絶縁膜上にアルミニウム、アルミニウム合金のいずれかを有する金
属パッドを形成する工程と、
酸素含有雰囲気内において熱処理を行い、前記金属パッドの表面に金属酸化膜を形成す
る工程と、
前記半導体基板を分割してチップを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属酸化膜は酸化アルミニウム膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体
装置の製造方法。 - 前記金属酸化膜は、前記酸素含有雰囲気内において、基板温度200℃を維持し、12
時間以上の時間の前記熱処理により形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に
記載の半導体装置の製造方法。 - 前記金属酸化膜は、前記酸素含有雰囲気内において、基板温度380℃を維持し、60
分以上の時間の前記熱処理により形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記
載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板の分割は、水を供給しながら前記半導体基板を切断することを特徴とす
る請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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