JP2009301802A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理される基板Gを収納する金属製の処理容器4と、処理容器4内にプラズマを励起させるために必要な電磁波を供給する電磁波源85とを備え、電磁波源85から供給される電磁波を処理容器85の内部に透過させる、処理容器4の内部に一部を露出させた複数の誘電体25を、処理容器4の蓋体3下面に備えたプラズマ処理装置であって、誘電体25の下面に、蓋体3と電気的に接続された金属電極27が設けられ、金属電極27と蓋体3下面の間に露出する誘電体25の部分が、処理容器4の内部から見て実質的に多角形の輪郭をなし、複数の誘電体25は、多角形の輪郭の頂角同士を隣接させて配置され、処理容器4の内部に露出した蓋体3下面と金属電極27下面に、電磁波を伝搬させる表面波伝搬部が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明のプラズマ処理装置にあっては、誘電体から表面波伝搬部に沿って伝搬させたマイクロ波(導体表面波)により、処理容器内にプラズマを励起させることができる。更に、このプラズマ処理装置によれば、誘電体の周囲に形成される表面波伝搬部(表面波伝搬部分)の形状や大きさがほぼ均一となり、導体表面波によって処理容器内に励起されるプラズマが均一となる。その結果、基板の処理面全体に均一な処理ができるようになる。
図1は、本発明の実施の形態にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図2〜4中のD−O’−O−E断面)である。図2は、図1中のA−A断面図である。図3は、図1中のB−B断面図である。図4は、図1中のC−C断面図である。図5は、図1中のF部分の拡大図である。図6は、図1中のG部分の拡大図である。図7は、この実施の形態で使用される誘電体20の平面図である。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
また、本実施形態においては、溝56、57は処理容器内部から見ると8角形の形状になっているが、4角形の形状になっていてもよい。こうすれば、4角形の溝56、57の角と誘電体25との間にも、同様の直角二等辺三角形の領域が形成される。また溝56、57で仕切られた外側の領域において、サイドカバー55には、蓋体3下面の周辺部を覆うサイドカバー外側部分59が形成されている。
以上のように構成された本発明の実施の形態にかかるプラズマ処理装置1において、例えば基板Gの上面にアモルファスシリコンが成膜される場合について説明する。先ず、基板Gが処理容器4の内部に搬入され、サセプタ10上に基板Gが載置される。その後、密閉された処理容器4内において所定のプラズマ処理が行われる。
処理容器4内に生成されるプラズマPの誘電率は、εr′−jεr″で表わされる。プラズマPの誘電率には損失成分もあるため複素数で表現される。プラズマPの誘電率の実部εr′は通常−1よりも小さい。プラズマPの誘電率は、次式(1)で表される。
δ=−1/Im(k)・・・(4)
kは、前述したように波数である。
nc = ε0 me ω2/e2・・・(5)
式(4)によれば、進入長δは、数mm〜数10mmとなり、電子密度が高いほど短くなる。また、電子密度neが、カットオフ密度ncより充分大きい場合、進入長δは、周波数にあまり依存しない。
ここで、Vpはプラズマ電位、kBはボルツマン定数、Teは電子温度、λDは次式(7)で表されるデバイ長(Debye length)である。デバイ長λDは、プラズマ中の電位の乱れがいかに迅速に減衰するかを示す。
導体表面波の伝搬モデルとして、図7に示すように、導体である表面波伝搬部(金属カバー45、金属電極27またはサイドカバー内側部分58)の下面とプラズマPとの間に形成された無限に広い厚さtのシースgをz方向に導体表面波Wが伝搬する場合について説明する。シースgの誘電率をεr=1、プラズマPの誘電率をεr’−jεr’'とする。マクスウェルの方程式から、図9のy方向の磁界Hyが満たす方程式を導くと、次のようになる。
E=E0×e−jγz=E0e−αzejβz・・・(14)
1Np/m=20/ln(10)dB/m=8.686dB/m
なお、溝の代わりに凸部を連続状に形成し、凸部で囲まれた領域内に導体表面波を形成しても良い。その場合、凸部の高さはシース厚さtよりも高く導体表面波の波長λの1/2より小さくする。また、凸部は一重でも良いし、二重以上でもよい。
処理容器4の内部において行われるプラズマ処理においては、サセプタ10上に載置された基板Gの表面へのイオン入射が重要な役割を担っている。例えば、プラズマ成膜処理では、基板Gの表面にプラズマ中のイオンを入射させながら成膜を行うことにより、基板Gの温度が低温でも高品質な薄膜を短時間で形成することができる。また、プラズマエッチング処理では、基板Gの表面へのイオンの垂直入射による異方性エッチングにより、微細なパターンを正確に形成することが可能になる。このように、何れのプラズマ処理においても、良好なプロセスを行うには基板Gの表面へのイオン入射エネルギをプロセス毎に最適な値に制御することが不可欠となる。基板Gの表面へのイオン入射エネルギは、高周波電源13からサセプタ10を通して基板Gに印加される高周波バイアス電圧によって制御することができる。
(Vs/Vg)=(Ag/As)4 (15)
Brian Chapman、
"Glow Discharge Processes、" A Wiley Interscience Publication、 1980.
誘電体25の端部まで誘電体25中を伝搬したマイクロ波は、誘電体25に隣接した金属表面上(即ち、金属カバー45下面、金属電極27下面およびサイドカバー内側部分58下面)を導体表面波として伝搬していく。このとき、図8に示したように、処理容器4内に露出している誘電体25の部分の両側に形成される2つの表面波伝搬部部分aを対称な形状にするとともに、これら2つの表面波伝搬部部分aにマイクロ波のエネルギが等分に分配されるようにすれば、2つの表面波伝搬部部分aには密度および分布が等しいプラズマが励起され、表面波伝搬部全体として均一なプラズマが得られやすい。
この実施の形態では、誘電体25および金属電極27が、接続部材30によって蓋体3の下面に取り付けられているが、金属電極27を蓋体3に電気的に接続させている接続部材30の周辺では、誘電体25中をマイクロ波が伝搬することができない。接続部材30の周辺を抜けたマイクロ波は、誘電体25の角部まで回折の効果である程度は回り込むが、誘電体25の角部のマイクロ波電界強度は、他の部分より弱くなる傾向がある。あまり弱くなると、プラズマの均一性が悪化してしまう。
電子密度が高くなるとシースに印加されるマイクロ波電界強度が大きくなる。表面波伝搬部である金属カバー45下面、金属電極27下面およびサイドカバー内側部分58下面に微小な角部があると、角部に電界が集中して過熱され、異常放電(アーク放電)が発生することがある。一度異常放電が発生すると、金属表面を溶かしながら放電部が動き回り、金属表面に大きな損傷を与えてしまう。表面波伝搬部である金属カバー45下面、金属電極27下面およびサイドカバー内側部分58下面の中心線平均粗さがシースの厚さよりも十分小さければ、微小な角部があっても金属表面に平均的に電界がかかるから、電界が集中することはなく、異常放電も起こらない。
以下、プラズマ処理装置1の他の実施の形態を説明する。なお、先に図1等で説明したプラズマ処理装置1と共通の構成要素については、同一の符号を付することにより、重複説明を省略する。
図15は、変形例1にかかるプラズマ処理装置1の蓋体3の下面図である。この変形例1にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。先と同様、図7に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
また、本実施形態においては、溝56は処理容器内部から見ると8角形の形状になっているが、4角形の形状になっていてもよい。こうすれば、4角形の溝56の角と誘電体25との間にも、同様の直角二等辺三角形の領域が形成される。また溝56で仕切られた外側の領域において、サイドカバー55には、蓋体3下面の周辺部を覆うサイドカバー外側部分59が形成されている。
図16は、変形例2にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図17中のD−O’−O−E断面)である。図17は、図16中のA−A断面図である。この変形例2にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。先と同様、図7に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
図18は、変形例3にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図19中のD−O’−O−E断面)である。図19は、図18中のA−A断面図である。この変形例3にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる4つの誘電体25が取付けられている。先と同様、図7に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面中央には、誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが形成される。
図20は、変形例4にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図21中のD−O’−O−E断面)である。図21は、図20中のA−A断面図である。この変形例4にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。先と同様、図7に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
図1等では、誘電体25の外縁が金属電極27の外縁より外側にあり、金属カバー45の側面と隣接している例を示した。ここで、図22〜28は、誘電体25、金属電極27、金属カバー45(金属カバー45a)の外縁部分の形状を示す断面図(断面の位置は、図2中の断面Fに相当する。)である。図22に示すように、誘電体25の外縁25’が、処理容器4の内部から見て、金属電極27の外縁27’よりも内側にあり、誘電体25の側面(外縁25’)のみが処理容器4の内部に露出していても良い。また、誘電体25の外縁25’が、処理容器4の内部から見て、金属電極27の外縁27’と同じ位置でも良い。
図1等では、平面形状の蓋体3、金属カバー45を取り付けた例を示した。図24、25に示すように、蓋体3に、金属カバー45と同様の形状の金属カバー45aを一体的に形成し、蓋体3下面において、金属カバー45aに隣接して設けられた凹部45bに誘電体25を挿入しても良い。この場合、金属カバー45a下面の中心線平均粗さを、2.4μm以下、さらには0.6μm以下とすることが望ましい。
図1等では、正方形の誘電体25を例示した。図29に示すように、菱形の誘電体25を用いても良い。この場合、誘電体25の下面に取り付けられる金属電極27は、誘電体25の相似の僅かに小さい菱形とすれば、金属電極27の周囲において、誘電体25の周辺部が菱形の輪郭を現す状態で処理容器4の内部に露出することとなる。誘電体25の中心と接続部材46の中心間の距離は、隣り合う誘電体25の中心間の距離L'の1/4よりも短く設定されているが、等しくても良い。
なお、上述したように、誘電体25および金属電極27は蓋体3の下面に対して接続部材30によって取り付けられている。この場合、図31に示すように、弾性部材35の下部に配置される下部ワッシャー35aと螺子(接続部材30)の隙間を小さくする必要がある。なお、弾性部材35には、ウェーブワッシャ、皿バネ、バネワッシャ、金属バネ等が用いられる。また、弾性部材35を省略しても良い。
なお、本発明のプラズマ処理装置を用いてプラズマドーピング処理(イオン注入処理)を行うこともできる。ここで、RLASプラズマ処理装置では、蓋体下面が上部誘電体に覆われているため、サセプターに対する対抗電極が基板上方に無く、グランドはチャンバーウォールとなる。そのため、RLASプラズマ処理装置では、基板上方に対抗電極となるグランドプレートを設けることで、イオンを基板に真直ぐ引き込む必要がある。しかしながら、プラズマ中にグランドプレートを設けると、基板に打ち込まれるイオンがグランドプレートに衝突し、グランドプレートにダメージを与え熱を生じさせる。つまり、プラズマドーピングによるイオンの効率が失われると事と、衝突によるスパッタリングと熱に変換される為コンタミの問題が生じる。
総ドーズ量は1×1015cm−2となる。10万回に分けると1回のドーズ量は、1×1010cm−2となる。このとき、図36に示すように、イオン注入により2次電子が発生するが、1個のイオン注入が10個の2次電子を発生させるとすると、表面発生正電荷密度1.1×1011個/cm2となる。この正電荷量は1×1017cm−3の濃度のn領域の電子が11nmの厚さ分、すべて再結合して消滅する量である。この正電荷を90μsecの間のプラズマ中からの電子注入で打ち消していく。なお、サセプタ10上の基板G表面に発生させる負バイアスの周期(イオン注入/電子注入の期間)は、10μsec /90μsecの代わりに、もちろん20μsec / 80μsecでもよい。また、-5kV〜-10kVの基板バイアスは、1MHz程度の高周波のパルスを給電部11に印加することで発生させることができる。
1×1015cm-2のドーズ量を連続注入すると、蓄積される正電荷は1.1×1016コ/cm2となり、発生する電界は
E=1.7×109V/cm
=1.7×106kV/cm
となり、Siの絶縁破壊電界強度300kV/cmをはるかに越えており、強烈なダメージが入る。このため、イオン注入は細かく分けて注入し、発生する正電荷を打消さなければならない。
図37は、変形例5にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図である。この変形例5にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3下面(金属カバー45下面、金属電極27下面およびサイドカバー55下面)に設けられたガス放出孔42、52、72に加えて、下段ガスノズル120が設けられている。下段ガスノズル120は、蓋体3の下面(金属カバー45下面、金属電極27下面およびサイドカバー55下面)と基板Gとの空間に設けられている。下段ガスノズル120の下面には、複数のガス放出孔121が分散して開口されている。
1 プラズマ処理装置
2 容器本体
3 蓋体
4 処理容器
10 サセプタ
11 給電部
12 ヒータ
20 排気口
25 誘電体
27 金属電極
30、46、65 接続部材
32 空間部
37 Oリング
42、52、72 ガス放出孔
45 金属カバー
55 サイドカバー
56、57 溝
58 サイドカバー内側部分
59 サイドカバー外側部分
85 マイクロ波源
86 同軸管
90 分岐板
92 金属棒
102 ガス供給源
103 冷媒供給源
Claims (42)
- プラズマ処理される基板を収納する金属製の処理容器と、前記処理容器内にプラズマを励起させるために必要な電磁波を供給する電磁波源とを備え、
前記電磁波源から供給される電磁波を前記処理容器の内部に透過させる、前記処理容器の内部に一部を露出させた複数の誘電体を、前記処理容器の蓋体下面に備えたプラズマ処理装置であって、
前記誘電体の下面に金属電極が設けられ、
前記金属電極と前記蓋体下面の間に露出する前記誘電体の部分の異なる二つの側に、電磁波を伝搬させる表面波伝搬部分が設けられ、前記二つの側の表面波伝搬部分が互いに実質的に相似形状または実質的に対称形状である、プラズマ処理装置。 - プラズマ処理される基板を収納する金属製の処理容器と、前記処理容器内にプラズマを励起させるために必要な電磁波を供給する電磁波源とを備え、
前記電磁波源から供給される電磁波を前記処理容器の内部に透過させる、前記処理容器の内部に一部を露出させた複数の誘電体を、前記処理容器の蓋体下面に備えたプラズマ処理装置であって、
前記誘電体の下面に金属電極が設けられ、
前記金属電極と前記蓋体下面の間に露出する前記誘電体の部分の少なくとも一部に隣接して電磁波を伝搬させる表面波伝搬部分が設けられ、前記隣接する表面波伝搬部分は前記誘電体の形状と実質的に相似をなす形状を有するか、または前記誘電体の形状と実質的に対称となる形状を有する、プラズマ処理装置。 - プラズマ処理される基板を収納する金属製の処理容器と、前記処理容器内にプラズマを励起させるために必要な電磁波を供給する電磁波源とを備え、
前記電磁波源から供給される電磁波を前記処理容器の内部に透過させる、前記処理容器の内部に一部を露出させた複数の誘電体を、前記処理容器の蓋体下面に備えたプラズマ処理装置であって、
前記誘電体の下面に金属電極が設けられ、
前記金属電極と前記蓋体下面の間に露出する前記誘電体の部分が、前記処理容器の内部から見て実質的に多角形の輪郭をなし、
前記複数の誘電体は、前記多角形の輪郭の頂角同士を隣接させて配置され、
前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面と前記金属電極下面に、電磁波を伝搬させる表面波伝搬部が設けられている、プラズマ処理装置。 - 前記誘電体は、実質的に四角形の板状である、請求項1〜3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記四角形は、正方形、菱形、角の取れた正方形または角の取れた菱形である、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体は、実質的に三角形の板状である、請求項1〜3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記三角形は、正三角形または角の取れた正三角形である、請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部から見て、前記複数の誘電体で囲まれている前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面の形状と、前記金属電極下面の形状が実質的に同じである、請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部から見て、前記誘電体の外縁が、前記金属電極の外縁より外側にある、請求項1〜8のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部から見て、前記誘電体の外縁が、前記金属電極の外縁と同じか、もしくは内側にある、請求項1〜8のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の厚さが、隣り合う前記誘電体の中心間の距離の1/29以下である、請求項1〜10のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の厚さが、隣り合う前記誘電体の中心間の距離の1/40以下である、請求項1〜10のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体は、前記蓋体下面に形成された凹部に挿入されている、請求項1〜12のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面と、前記金属電極下面が同一面に配置されている、請求項13に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面と前記金属電極下面は、不働態保護膜で覆われている、請求項13に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面と前記金属電極下面の中心線平均粗さが、2.4μm以下である、請求項1〜15のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記蓋体下面と前記金属電極下面の中心線平均粗さが、0.6μm以下である、請求項1〜15のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体下面において、前記誘電体に隣接する領域に、前記蓋体と電気的に接続された金属カバーが取り付けられ、
前記処理容器の内部に露出した前記金属カバー下面に、電磁波を伝搬させる表面波伝搬部が設けられている、請求項1〜12のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記誘電体の側面が、前記金属カバーの側面と隣接している、請求項18に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記金属カバー下面と、前記金属電極下面が同一面に配置されている、請求項18または19に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部から見て、前記金属カバー下面の形状と、前記金属電極下面の形状が実質的に同じである、請求項18〜20のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記金属カバー下面と前記金属電極下面の中心線平均粗さが、2.4μm以下である、請求項18〜21のいずれか記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出した前記金属カバー下面と前記金属電極下面の中心線平均粗さが、0.6μm以下である、請求項18〜21のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体に形成された穴を貫通し、前記金属電極を前記蓋体に固定する複数の接続部材を備える、請求項1〜23のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体に形成された穴の少なくとも一部には、前記蓋体と前記金属電極とを電気的に接続させる弾性部材が設けられている、請求項24に記載のプラズマ処理装置。
- 前記接続部材は、金属からなる、請求項24または25に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内部に露出する前記接続部材の下面が、前記金属電極の下面と同一面に配置されている、請求項24〜26のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体は、実質的に四角形の板状であり、
前記接続部材は、前記四角形の対角線上に配置されている、請求項24〜27のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記接続部材は、1つの前記誘電体あたり4つ設けられている、請求項28に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体および前記金属電極を、前記蓋体に向けて付勢する弾性部材を有する、請求項1〜29のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体下面には、連続する溝が設けられており、
前記表面波伝搬部および前記複数の誘電体は、溝で囲まれた領域内に配置される、請求項1〜30のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記溝により、前記表面波伝搬部が区画されている、請求項31に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内面には、連続する凸部が設けられており、
前記表面波伝搬部および前記複数の誘電体は、凸部で囲まれた領域内に配置される、請求項1〜30のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記凸部により、前記表面波伝搬部が区画されている、請求項33に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の上部には、前記誘電体を貫通せずに、前記誘電体の上面に下端が隣接または近接した、電磁波を前記誘電体に伝える1または複数の金属棒を備えている、請求項1〜34のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記金属棒は、前記誘電体の中央部に配置されている、請求項35に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体と前記蓋体との間に、前記処理容器の内部と外部との雰囲気を隔てる封止部材を備えている、請求項35または36に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の露出部分の面積が、前記表面波伝搬部の面積の1/2以下である、請求項1〜37のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の露出部分の面積が、前記表面波伝搬部の面積の1/5以下である、請求項1〜37のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記表面波伝搬部に、処理容器に所定のガスを放出させるガス放出部を有する請求項1〜39のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の露出部分の面積が、基板上面の面積の1/5以下である、請求項1〜40のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記電磁波源から供給される電磁波の周波数が2GHz以下である、請求項1〜41のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
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