JP2009289955A - 太陽電池及び太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】太陽電池は、ガラス基板12と、該ガラス基板12上に形成され、裏面電極となる裏面電極層14と、該裏面電極層14上に形成されたCIGS光吸収層16と、該CIGS光吸収層16上に緩衝層18を介して形成された透明電極層20とを有する。裏面電極層14は、第1電極層14aと、該第1電極層14a上に形成された酸素を含む第2電極層14bとを有する。さらに、CIGS光吸収層16と裏面電極層14の第2電極層14bとの間に、第2電極層14bを構成する金属とCIGS光吸収層16を構成するセレンとの反応層22が介在されている。
【選択図】図1
Description
裏面電極層と、
前記裏面電極層上に形成されたCIGS光吸収層と、
前記CIGS光吸収層上に緩衝層を介して形成された透明電極とを有し、
前記裏面電極層は、第1電極層と、該第1電極層上に形成された酸素を含む第2電極層とを有し、
前記CIGS光吸収層と前記裏面電極層の前記第2電極層との間に、前記第2電極層を構成する金属と前記CIGS光吸収層を構成するセレンとの反応層が介在されていることを特徴とする。
基板上に第1電極層を形成する第1電極層形成工程と、
前記第1電極層上に酸素を含む第2電極層を形成する第2電極層形成工程と、
前記第2電極層の表面の一部を取り除く表面処理工程と、
前記第2電極層上にCIGS光吸収層の前駆体を形成する前駆体形成工程と、
セレン化処理して前記前駆体をCIGS光吸収層とするセレン化工程とを有することを特徴とする。
12…ガラス基板
14…裏面電極層
14a…第1電極層
14b…酸素を含む第2電極層
16…CIGS光吸収層
18…緩衝層
20…透明電極層
22…反応層(MoSe層)
24…Moの密度が疎である層
26…積層プリカーサ(前駆体)
Claims (12)
- 裏面電極層と、
前記裏面電極層上に形成されたCIGS光吸収層と、
前記CIGS光吸収層上に緩衝層を介して形成された透明電極とを有し、
前記裏面電極層は、第1電極層と、該第1電極層上に形成された酸素を含む第2電極層とを有し、
前記CIGS光吸収層と前記裏面電極層の前記第2電極層との間に、前記第2電極層を構成する金属と前記CIGS光吸収層を構成するセレンとの反応層が介在されていることを特徴とする太陽電池。 - 請求項1記載の太陽電池において、
前記裏面電極層の前記第2電極層を構成する金属は、Mo(モリブデン)であり、
前記反応層は、MoSe層であることを特徴とする太陽電池。 - 請求項1記載の太陽電池において、
前記裏面電極層の前記第1電極層を構成する金属と、前記第2電極層を構成する金属は、共にMo(モリブデン)であり、
前記反応層は、MoSe層であることを特徴とする太陽電池。 - 基板上に第1電極層を形成する第1電極層形成工程と、
前記第1電極層上に酸素を含む第2電極層を形成する第2電極層形成工程と、
前記第2電極層の表面の一部を取り除く表面処理工程と、
前記第2電極層上にCIGS光吸収層の前駆体を形成する前駆体形成工程と、
セレン化処理して前記前駆体をCIGS光吸収層とするセレン化工程とを有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項4記載の太陽電池の製造方法において、
前記第2電極層を構成する金属は、Mo(モリブデン)であることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項4記載の太陽電池の製造方法において、
前記第1電極層を構成する金属と、前記第2電極層を構成する金属は、共にMo(モリブデン)であることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項5又は6記載の太陽電池の製造方法において、
前記第2電極層形成工程は、
スパッタ法を用い、スパッタガス中に酸素、もしくは水蒸気、もしくは酸素を含むエアーを混入させて前記第2電極層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項5又は6記載の太陽電池の製造方法において、
前記第2電極層形成工程は、
前記第1電極層形成工程で使用されたスパッタチャンバーを用い、該スパッタチャンバー内に残留するエアーもしくは水蒸気をMo中に取り込ませる条件下でスパッタを行って前記第2電極層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項4〜8のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法において、
前記表面処理工程は、
アルカリ性溶液によって、前記第2電極層の表面から酸素を取り除くことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項9記載の太陽電池の製造方法において、
前記アルカリ性溶液は、四ホウ酸ナトリウム溶液、四ホウ酸アンモニウム溶液、又はアンモニア溶液であることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項9又は10記載の太陽電池の製造方法において、
前記アルカリ性溶液として、ナトリウム含有のアルカリ性溶液を使用し、
前記表面処理工程の後に、ナトリウムを洗い流す洗浄工程を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項4記載の太陽電池の製造方法において、
前記セレン化工程によって、前記前駆体が前記CIGS光吸収層となり、前記CIGS光吸収層と前記第2電極層との間に、前記第2電極層を構成する金属と前記CIGS光吸収層を構成するセレンとの反応層が形成されることを特徴とする太陽電池の製造方法。
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