JP2009289899A - 半導体発光素子、これを備えたledアレイチップ、及び半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る半導体発光素子1は、基板3と、基板3上に形成され、少なくとも一層からなるバッファ層11と、バッファ層11上の第一の部分に形成され、発光部分となる活性層13と、バッファ層11上において、第一の部分とは異なる第二の部分に形成された第一の電極19と、活性層13上に形成された第二の電極21と、を備え、バッファ層11の最表面層がGaAsからなり、活性層13がAlGaInPからなることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
3 基板
11 バッファ層
13 活性層
15 ウインドウ層
17 コンタクト層
19 共通電極(第一の電極)
21 個別電極(第二の電極)
23 絶縁膜
25 保護膜
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に形成され、少なくとも一層からなるバッファ層と、
前記バッファ層上の第一の部分に形成され、発光部分となる活性層と、
前記バッファ層上において、前記第一の部分とは異なる第二の部分に形成された第一の電極と、
前記活性層上に形成された第二の電極と、
を備え、
前記バッファ層の最表面層がGaAsからなり、前記活性層がAlGaInPからなることを特徴とする、半導体発光素子。 - 前記バッファ層の前記最表面層において、前記第一の部分と、前記第二の部分とが、面一であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記基板は、Siからなることを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 請求項1から3のいずれかに記載の半導体発光素子を備えたことを特徴とする、LEDアレイチップ。
- 半導体発光素子の製造方法であって、
基板上にバッファ層を形成するステップと、
前記バッファ層上に、発光部分となる活性層を形成するステップと、
前記活性層に対するエッチングレートが前記バッファ層に対するエッチングレートより高いエッチャントによって、前記活性層の一部分をエッチングして、前記バッファ層の一部分を露出させるステップと、
露出した前記バッファ層上に第一の電極を形成するステップと、
前記活性層上に第二の電極を形成するステップと、
を備えることを特徴とする、半導体発光素子の製造方法。
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