JP2009285828A - アミン含有ポリマーを用いるcmpシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、液体キャリヤー、ポリッシングパッドおよび/または研磨材、および少なくとも1種のアミン含有ポリマーを含み、そのアミン含有ポリマーが、アミノ官能基の窒素原子を区別する5個以上の連続した原子を有するもの、または1種以上のアミン官能基を含む少なくとも1種のポリマーブロックといかなるアミン官能基も含まない少なくとも1種のポリマーブロックを有するブロックコポリマーである、化学的−機械的ポリッシングシステムおよび方法を提供する。
【選択図】なし
Description
Claims (24)
- (a)液体キャリヤー、
(b)ポリッシングパッドおよび/または研磨材、および
(c)アミノ官能基の窒素原子を区別する5個以上の連続した原子を有する少なくとも 1種のアミン含有ポリマー
を含む、化学的−機械的ポリッシングシステム。 - 少なくとも1種のアミン含有ポリマーが、アミノ官能基を含有する繰り返し単位を含む縮合ポリマーである、請求項1に記載のシステム。
- 該縮合ポリマーがポリアミノアミドである、請求項2に記載のシステム。
- 該縮合ポリマーがジエチレントリアミン/アジピン酸縮合ポリマーである、請求項3に記載のシステム。
- 少なくとも1種のアミン含有ポリマーが、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロライドである、請求項1に記載のシステム。
- 少なくとも1種のアミン含有ポリマーが、アミン官能基を含有する繰り返し単位、および、アミド、ビニルアセテート、エチレンオキシドおよびプロピレンオキシドからなる群より選択される繰り返し単位を含むコポリマーである、請求項1に記載のシステム。
- 少なくとも1種のアミン含有ポリマーが、アミノ官能基の窒素原子を区別する7個以上の連続した原子を有する、請求項1に記載のシステム。
- 少なくとも1種のアミン含有ポリマーが、アミノ官能基の窒素原子を区別する10個以上の連続した原子を有する、請求項1に記載のシステム。
- 過−タイプ(per-type)の酸化剤を更に含む、請求項1に記載のシステム。
- 該過−タイプの酸化剤が、過酸化物類、過硫酸塩類、過ヨウ素酸塩類、過マンガン酸塩類からなる群より選択されるものである、請求項9に記載のシステム。
- 錯生成剤を更に含む、請求項1に記載のシステム。
- (a)液体キャリヤー、
(b)ポリッシングパッドおよび/または研磨材、および
(c)1種以上のアミン官能基を含む少なくとも1種のポリマーブロックといかなるア ミン官能基も含まない少なくとも1種のポリマーブロックを有する、少なくとも 1種のアミン含有ブロックコポリマー
を含む、化学的−機械的ポリッシングシステム。 - 少なくとも1種のアミン含有ブロックコポリマーが、ABジブロック、ABAトリブロック、またはABCトリブロックのコポリマーである、請求項12に記載のシステム。
- 1種以上のアミン官能基を含むポリマーブロックが、該アミン含有ブロックコポリマーの10重量%以上である、請求項12に記載のシステム。
- 1種以上のアミン官能基を含むポリマーブロックが、該アミン含有ブロックコポリマーの20重量%以上である、請求項14に記載のシステム。
- 1種以上のアミン官能基を含むポリマーブロックが、該アミン含有ブロックコポリマーの40重量%以上である、請求項12に記載のシステム。
- 少なくとも1種のアミン含有ブロックが、アミノ官能基の窒素原子を区別する5個以上の連続した原子を有するものである、請求項12に記載のシステム。
- (i)第1の金属含有層および第2の層を含む基板を提供する工程、尚、そこでは該第 1および第2の層が同一ではない、
(ii)(a)液体キャリヤー、
(b)ポリッシングパッドおよび/または研磨材、および
(c)(1)アミノ官能基の窒素原子を区別する少なくとも5個以上の連続した原 子を有する少なくとも1種のアミン含有ポリマー、または(2)1種以上の アミン官能基を含む少なくとも1種のポリマーブロックといかなるアミン官 能基も含まない少なくとも1種のポリマーブロックを有する少なくとも1種 のアミン含有ブロックコポリマー
を含む化学的−機械的ポリッシングシステムを提供する工程、
(iii)該基板を該化学的−機械的ポリッシングシステムと接触させる工程、および
(iv)該基板の少なくとも一部を研磨して、該基板をポリッシングする工程
を含む、多層基板の1層以上の層をポリッシングする方法。 - 該第1の金属含有層が、銅、タンタル、チタンまたはタングステンを含む、請求項18に記載の方法。
- 該第1の金属含有層が、白金、イリジウム、レ二ウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、オスミウムおよび金からなる群より選択される貴金属を含む、請求項18に記載の方法。
- 該貴金属が白金である、請求項20に記載の方法。
- 該貴金属がイリジウムである、請求項20に記載の方法。
- 該貴金属がルテニウムである、請求項20に記載の方法。
- 該第2の層が金属酸化物を含む、請求項18に記載の方法。
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