JP2009283464A - 真空素子の密封装置及び真空素子の密封方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の真空素子の密封装置は、真空室と、それぞれ、第一絞り弁及び第二絞り弁により、前記真空室の両端に繋がれた第一収容室及び第二収容室と、前記第一収容室、前記第二収容室及び前記真空室の内部に運動することができた少なくとも、一つの運送装置とを含む。更に、容器及び第一加熱装置を含む。前記容器は、前記真空室の外部に設置され、入力チューブにより前記真空室に繋がれ、複数の密封素子を収容することに用いられる。前記第一加熱装置は、前記入力チューブと前記第二絞り弁との間に位置する前記真空室の壁に設置され、前記密封素子を加熱、軟化することに用いられる。
【選択図】図2
Description
202、302 真空室
204、304 第一収容室
206、306 第二収容室
208、312 第一絞り弁
210、314 第二絞り弁
212、310 運送装置
214、308 真空装置
216 封着装置
218 透光孔
220、330 密封しようとする素子
222 排気チューブ
316 容器
318 第一伝動素子
320 第二伝動素子
322 密封素子
324 第一温度変化空間
326 第二温度変化空間
328 第三温度変化空間
334 入力チューブ
336 第一加熱装置
338 排気孔
340 第二加熱装置
Claims (6)
- 真空室と、第一収容室と、第二収容室と、容器と、運送装置と、少なくとも一つの加熱装置と、を含む密封装置において、
前記真空室が前記第一収容室及び第二収容室の間に設置され、
前記運送装置及び少なくとも一つの加熱装置が前記真空室の中に設置され、
前記容器が前記真空室の外部に設置され、入力チューブにより前記真空室に繋がれ、複数の密封素子を収容することを特徴とする真空素子の密封装置。 - 前記真空室及び第一収容室の間に第一絞り弁が設置され、
前記真空室及び第二収容室の間に第二絞り弁が設置されていることを特徴とする、請求項1に記載の真空素子の密封装置。 - 前記入力チューブ及び前記第二絞り弁の間に一つの前記加熱装置が設置されることを特徴とする、請求項2に記載の真空素子の密封装置。
- 前記入力チューブ及び前記第一絞り弁の間に一つの前記加熱装置が設置されることを特徴とする、請求項2又は3に記載の真空素子の密封装置。
- 少なくとも、一つの密封しようとする素子を提供し、該密封しようとする素子が、ハウジング及び該ハウジングに設置された排気孔を含む第一ステップと、
少なくとも一つの前記密封しようとする素子を前記第一収容室に設置された前記運送装置に置いた後、前記第一収容室を真空化させ、前記密封しようとする素子の内部のガスを排除する第二ステップと、
前記密封しようとする素子を前記真空室の中に進入させ、前記容器から前記密封素子を前記排気孔に落とし、一つの加熱装置により前記密封素子を加熱、軟化し、前記密封しようとする素子を封着する第三ステップと、
前記第二収容室を真空化させ、前記密封しようとする素子を前記第二収容室の中に進入させ、該密封しようとする素子を冷却する第四ステップと、
を含むことを特徴とする真空素子の密封方法。 - 前記第三ステップでは、前記容器から前記密封素子を前記排気孔に落とす前、もう一つの加熱装置を利用して、前記密封しようとする素子の内部のガスを排除することを特徴とする、請求項5に記載の真空素子の密封方法。
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