JP2009274901A - シリコン単結晶の育成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン単結晶の育成方法であって、チョクラルスキー法によって炭素及び抵抗調整用ドーパントをドーピングしてシリコン単結晶を育成する際に、炭素ドープに伴って発生する抵抗率のシフト量を予め計算し、前記抵抗調整用ドーパントのドープ量を前記シフト分に応じて調整することを特徴とするシリコン単結晶の育成方法。
【選択図】図7
Description
その様なウェーハの製造方法として、結晶育成段階で結晶欠陥を形成しないように引上げた無欠陥結晶からウェーハを切り出す方法がある。これは結晶育成時のパラメータのコントロールが難しく、結晶コストは高くなる特徴がある。
その付加価値としては、ウェーハ内部にBMD(Bulk Micro Defect)を形成して、ゲッタリング能力を付加することなどが多い。アニールウェーハの場合はアニール処理条件の工夫によりBMDを形成することが可能である。
これらを改善するために、特許文献2や特許文献3などに示されるような炭素ドープエピタキシャルウェーハが古くから提案され、現在までに実用化されてきている。
上述のように、本発明の育成方法によって育成されたシリコン単結晶は、熱処理によってウェーハ中にドナーが発生しても、抵抗調整用ドーパントがドナー発生分だけ調整されてドープされているため、抵抗率が所望の値からずれることが抑制されたものである。このため、このようなシリコン単結晶から加工されたシリコン単結晶ウェーハの主表面上にエピタキシャル層を形成することによって、熱処理を行っても抵抗率が所望の値からずれることが抑制されたシリコンエピタキシャルウェーハを得ることできる。また、炭素がドープされているため、酸素析出熱処理を行うことによって比較的容易にBMDを形成することができるため、ゲッタリング能力を高いものとすることができる。
更に本発明によれば、上記本発明のシリコン単結晶ウェーハの主表面上にエピタキシャル層が形成されたものであることを特徴とするエピタキシャルウェーハを提供することができる(請求項7)。
前述のように、シリコン単結晶ウェーハ中にドープされた炭素によってデバイス製造工程等における熱処理時にドナーが発生しても、所望の抵抗率を有するシリコン単結晶ウェーハとすることのできるシリコン単結晶の育成方法の開発が待たれていた。
(実験1)
図1に示したような、メインチャンバー1及び引上げチャンバー2からなる単結晶育成装置11に、直径22インチ(550mm)の石英ルツボ5と、それを支える黒鉛ルツボ6を装備させて、直径8インチ(200mm)のシリコン単結晶3を育成した。
この石英ルツボ5中に種結晶を浸漬した後、溶融液4から棒状の単結晶3が引上げられる。ルツボは結晶成長軸方向に昇降可能であり、結晶成長中に減少した原料融液の液面下降分を補うように該ルツボを上昇させる。
その後、シリコン単結晶の数箇所からウェーハ状のサンプルを切り出し、FT−IR(フーリエ変換赤外分光光度計)による炭素濃度測定、四探針測定器による抵抗率測定を行った。この抵抗率測定の前に、650℃でドナーキラー処理を行った。
その結果、BMDは十分発生していることがわかった。
その結果、当初測定した値からずれていることが判った。その結果を図3に示す。
固化率の高いほうでは、当初は15Ωcm以上有り、規格内に収まっていたが、熱処理後には規格を割り込んでしまっていることが判った。これはデバイスの動作範囲の抵抗率から外れており、デバイスを作製する際の不良要因となる可能性がある。
以上のような経験を踏まえ、先ずは抵抗率のシフト量を予想することが大事であると言う考えに至った。
前述のように、炭素起因のドナーによって抵抗率が変化したものと考えられるため、炭素濃度とドナー発生量との関係を調べることにした。そこで、実験1と同じ装置・方法で、炭素濃度の異なるリンドープシリコン単結晶を育成した。
この図4において、発生ドナー量を[C]d、初期炭素濃度を[C]c0とすると
[C]d=5.4×10−21([C]c0)2−1.5×10−4([C]c0)+3.5×1012
という関係が得られる。この関係から、熱処理条件:(1150℃/1h + 700℃/5h + 1000℃/8h)に対しては、初期の炭素ドープ量から熱処理後のドナー発生量を計算することができる。
図5の関係から発生ドナー量を[C]d、炭素濃度変化量を[C]ccとすると、
[C]d=6.5×10−21([C]cc)2−3.6×10−4[C]cc+3.4×1012
という関係が得られる。この関係から、熱処理条件:(1150℃/1h + 700℃/5h + 1000℃/8h)に対しては、熱処理前後の炭素濃度変化量から熱処理後のドナー発生量を計算することができる。
そして実験1、2と全く同じ装置・方法を用い、炭素濃度が4〜10×1016atoms/cc、シリコン単結晶ウェーハの抵抗率が15〜30Ωcm狙いのシリコン単結晶を引上げることにした。但し、今回は熱処理後の抵抗率が15〜30Ωcmとなるように制御した。
そして、これらのサンプルに熱処理条件:(1150℃/1h + 700℃/5h + 1000℃/8h)の熱処理を施した後、再度抵抗率を測定した。その結果を図7に示した。図7に示したように、抵抗率が狙いの15〜30Ωcmに入っていることが判った。
抵抗率の測定には、一般的な手法によって測定すればよいが、四探針法によって測定すれば、容易に測定することができる。
また、炭素濃度の測定は一般的な手法を用いればよいが、簡易に測定できる等の利点を有するFT−IRによって評価することが望ましい。
このデバイス工程を模擬した熱処理は、作製したシリコン単結晶から切り出したシリコン単結晶ウェーハ上に作製するデバイスによって異なるため、作製デバイス毎に適宜熱処理条件を選択すればよい。
この抵抗率・炭素濃度の測定は、熱処理前に測定した方法と同じ測定方法によって評価する。
このように、炭素濃度とドナー発生量の関係もしくは炭素濃度変化量とドナー発生量の関係を求め、その関係から抵抗率シフト量を計算すると、精度よく抵抗率シフト量を見積もることができる。そしてこのように見積もられたシフト量を基に抵抗調整用ドーパントのドープ量を調整することによって、デバイス工程後に所望の抵抗率を有したシリコン単結晶ウェーハとすることができるシリコン単結晶を育成することができる。
上述のように、本発明の育成方法によって育成したシリコン単結晶は、ドープされた炭素によってデバイス製造工程等における熱処理時にドナーが発生しても、所望の抵抗率を有するものであるため、このようなシリコン単結晶を加工して得られたシリコン単結晶ウェーハも、所望の抵抗率とすることのできるものとなっている。
この、エピタキシャル層の形成には一般的な条件を用いることができる。例えば、H2をキャリアガスとしてSiHCl3等のソースガスをチャンバー内に導入し、サセプタ上に配置した上記シリコン単結晶ウェーハ上に、1050〜1250℃程度でCVD法により、エピタキシャル成長させればよい。
(実施例)
図1に示したような単結晶育成装置に、直径22インチ(550mm)の石英ルツボと、それを支える黒鉛ルツボを装備させて、直径8インチ(200mm)の予備シリコン単結晶を育成した。
この時、予備シリコン単結晶中の炭素濃度が4〜10×1016atoms/cc、抵抗率が15〜30Ωcmとなるように、それぞれ炭素およびP(リン)をドープした。
その後、これらのサンプルウェーハに熱処理(今回も1150℃/1h + 700℃/5h + 1000℃/8hを用いた)を施し、再度四探針法およびFT−IRにより抵抗率および炭素濃度を測定した。
図4の関係から発生ドナー量を[C]d、初期炭素濃度を[C]c0とすると
[C]d=5.4×10−21([C]c0)2−1.5×10−4([C]c0)+3.5×1012
という関係が得られた。
この計算に基づき、実際にシリコン単結晶を育成した。そのシリコン単結晶から、ウェーハ状サンプルを切り出し、ドナーキラー後に四探針法にて抵抗率を測定した結果を図7に示した。当然抵抗率シフト量を見込んでいるため、固化率の低い側では30Ωcmを超える値となっていることが判った。
実施例と同様の装置を用い、炭素濃度が4〜10×1016atoms/cc、シリコン単結晶ウェーハの抵抗率が15〜30Ωcm狙いの単結晶を引上げた。
その後、このサンプルシリコン単結晶ウェーハに実施例と同様の熱処理を施し、この熱処理後のウェーハの抵抗率を測定した。
固化率の高いほうでは、当初は15Ωcm以上有り、規格内に収まっていたが、熱処理後には規格を割り込んでしまっていることが判った。
Claims (7)
- シリコン単結晶の育成方法であって、
チョクラルスキー法によって炭素及び抵抗調整用ドーパントをドーピングしてシリコン単結晶を育成する際に、炭素ドープに伴って発生する抵抗率のシフト量を予め計算し、前記抵抗調整用ドーパントのドープ量を前記シフト分に応じて調整することを特徴とするシリコン単結晶の育成方法。 - 前記計算する方法を、チョクラルスキー法によって炭素及び抵抗調整用ドーパントをドープして予備シリコン単結晶を育成し、該予備シリコン単結晶をスライスして予備シリコン単結晶ウェーハに加工した後、該予備ウェーハの抵抗率及び炭素濃度を測定し、その後、該予備ウェーハにデバイス工程での熱処理を模擬した熱処理を行った後に、該熱処理予備ウェーハの抵抗率を測定し、前記熱処理前後の抵抗率の変化量からドナー発生量を求め、該ドナー発生量と前記熱処理前の炭素濃度との関係から、シリコン単結晶ウェーハ中の炭素ドープ量に対する抵抗率シフト量を計算するものとすることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の育成方法。
- 前記計算する方法を、チョクラルスキー法によって炭素及び抵抗調整用ドーパントをドープして予備シリコン単結晶を育成し、該予備シリコン単結晶をスライスして予備シリコン単結晶ウェーハに加工した後、該予備ウェーハの抵抗率及び炭素濃度を測定し、その後、該予備ウェーハにデバイス工程での熱処理を模擬した熱処理を行った後に、該熱処理予備ウェーハの抵抗率及び炭素濃度を測定し、前記熱処理前後の該予備ウェーハの炭素濃度変化量と抵抗率の変化量からドナー発生量を求め、前記ドナー発生量と前記炭素濃度変化量との関係から、シリコン単結晶ウェーハ中の炭素ドープ量に対する抵抗率シフト量を計算するものとすることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の育成方法。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の育成方法によって育成されたシリコン単結晶を、スライスしてシリコン単結晶ウェーハに加工した後、該ウェーハの主表面にエピタキシャル層を形成することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の育成方法によって育成されたものであることを特徴とするシリコン単結晶。
- 請求項5に記載のシリコン単結晶から切り出されたものであることを特徴とするシリコン単結晶ウェーハ。
- 請求項6に記載のシリコン単結晶ウェーハの表面にエピタキシャル層が形成されたものであることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハ。
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