JP2009272034A - 情報記録ディスク用成膜装置、及び、情報記録ディスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一列に且つ無終端となるよう連結された複数のチャンバーを備えた磁気記録ディスク用成膜装置に、少なくとも3つのカーボン保護膜作製チャンバー61,62,63を設ける。キャリア90の数を全チャンバーの数より1だけ少なくし、3つのカーボン保護膜作製チャンバーのうちのいずれか一つが常に空き状態となるように、キャリアの移動を制御する。内部にキャリアが位置する2つのカーボン保護膜作製チャンバーでは、それぞれカーボン保護膜を作製する。同時に空き状態のカーボン保護膜作製チャンバーでは、アッシングによる内部クリーニングを行なう。
【選択図】図1
Description
また、本願発明の情報記録ディスク用成膜装置の一形態として、一列に連結された複数のチャンバーと、当該複数のチャンバー各々の内部で基板を保持し、各チャンバーからその隣のチャンバーへと前記基板を順次搬送するために所定方向へ移動可能な複数のキャリアとを備え、前記複数のチャンバー内でそれぞれ所定の処理を行なうことにより、前記基板上にカーボン保護膜を含む複数の膜を形成して情報記録ディスクを作製する情報記録ディスク用成膜装置において、前記複数のチャンバーに含まれる前記カーボン保護膜を形成するためのカーボン保護膜作製チャンバーとして少なくとも3つのチャンバーを設け、常に、これらカーボン保護膜作製チャンバーのうちのいずれか1つが、前記キャリアの存在しない空き状態となるように、前記キャリアの移動を制御する制御装置を備えたことを特徴とする情報記録ディスク用成膜装置が得られる。
H2:100cc/分(1×10−4m3/分)
保護膜作製チャンバー6内の圧力:4Pa
高周波電力:13.56MHz:700W
バイアス電圧:−300V
成膜速度:1.2×10−9m/秒
成膜時間:4秒
以上のようにして、2つのカーボン保護膜作製チャンバー61(62,63)で2層のカーボン保護膜がそれぞれ形成された基板9は、次のキャリア90の移動により予備チャンバー7へと搬送され、その次のキャリア90の移動により方向転換チャンバー3へと搬送され、さらにその次のキャリア90の移動によりアンロードロックチャンバー2へと搬送される。そして、アンロードロックチャンバー2へと搬送された基板9は、回収用ロボット21によりそのアーム211を用いてキャリア90より取り外され、基板回収補助チャンバー210内に回収される。
保護膜作製チャンバー6内の圧力:10Pa
高周波電力:13.56MHz:700W
アッシング速度:〜13Å/秒(〜1.3×10−9m/秒)
成膜時間:4秒
なお、従来の装置では、ガス導入系を一対の高周波電極にそれぞれ接続していた関係で、配管が長くなっており、ガス切り替え(ガス置換)に要する時間が長くなっていた、本実施の形態に係る装置の構造では、配管長を短くすることができ、ガス置換時間を短縮することができる。
2 アンロードロックチャンバー
3 方向転換チャンバー
4 プリヒートチャンバー
7 予備チャンバー
9 基板
90 キャリア
10 ゲートバルブ
11 ロボット
110 基板搭載補助チャンバー
111 アーム
21 回収ロボット
210 基板回収補助チャンバー
211 アーム
51,53 下地膜作製チャンバー
52,54 磁性膜作製チャンバー
55 排気系
56 ガス導入系
57 ターゲット
58 スパッタ電源
59 磁石機構
61、62、63 カーボン保護膜作製チャンバー(CVDチャンバー)
610 排気系
631 高周波電極
632 整合器
633 高周波(RF)電源
635 ガス導入系
636 ガス導入パイプ
641 直流電源
642 高周波(RF)電源
643 スイッチ
644 導入部
645 接点
501 ガイドローラー
502 ガイドベアリング
503 ガイドレール
504 駆動磁石
504a 固定部
504b 可動部
505 傘歯車
506 駆動軸
507 傘歯車
508 キャリア側磁石
Claims (2)
- インライン式の情報記録ディスク用成膜装置であって、
前記カーボン保護膜作製チャンバーは、
前記キャリヤによる基板の搬入位置における基板の両面側に設けられた一対の電極と、
前記搬入位置における基板の側方から前記基板の両面側にガスを噴出するガス導入パイプと、
前記ガス導入パイプに選択的にガスを供給可能なガス導入系と、
前記基板を挟んで前記ガス導入パイプと反対側からチャンバ内部を排気可能な排気系と、
を備え、導入するガスの選択により、基板に対するカーボン膜の作製と、空き状態におけるカーボン膜のアッシングと、を選択的に実行するものであることを特徴とする情報記録ディスク用成膜装置。 - 請求項1に記載の情報記録ディスク用成膜装置を用いて情報記録ディスクを製造することを特徴とする情報記録ディスクの製造方法。
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-
2009
- 2009-08-17 JP JP2009188342A patent/JP4964280B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
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