JP2009267399A - 半導体装置,半導体装置の製造方法,表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11と、チャネル領域を有する半導体層18とを備え、チャネル領域が、結晶成分の体積率をVcとし、非結晶成分の体積率をVaとしたときVc/Va>4を満たす酸化物半導体で構成されている。
【選択図】図1
Description
(1)基板と、チャネル領域を有する半導体層とを備え、
前記チャネル領域が、結晶成分の体積率をVcとし、非結晶成分の体積率をVaとしたときVc/Va>4を満たす酸化物半導体で構成されている半導体装置。
(2)前記酸化物半導体がInと、Znとを含む(1)に記載の半導体装置。
(3)前記酸化物半導体が、さらに、GaとAlとのうち少なくともいずれか1つを含む(2)に記載の半導体装置。
(4)前記半導体層の膜厚が300nm未満である(1)から(3)のいずれか1つに記載の半導体装置。
(5)前記半導体層の移動度μが0.5cm2/Vs以上である(1)から(4)のいずれか1つに記載の半導体装置。
(6)前記半導体層の移動度μが10cm2/Vs以上である(1)から(5)のいずれか1つに記載の半導体装置。
(7)上記(1)から(6)のいずれか1つに記載の半導体装置を備えた表示装置。
(8)光透過型ディスプレイまたはボトムエミッション型発光ディスプレイである(7)に記載の表示装置。
(9)光透過性を有するゲート電極を備え、入射光の少なくとも一部が前記チャネル領域と前記ゲート電極とを透過する(7)又は(8)に記載の表示装置。
(10)入射光の少なくとも50%が前記チャネル領域を透過する(7)から(9)のいずれか1つに記載の表示装置。
(11)前記半導体装置を複数備え、該複数の半導体装置のうち少なくとも一部がスイッチング素子として機能する(7)から(10)のいずれか1つに記載の表示装置。
(12)前記スイッチング素子のオン電流とオフ電流の比が106以上で駆動する(11)に記載の表示装置。
(13)前記半導体装置を複数備え、該複数の半導体装置のうち少なくとも一部が発光素子の電流駆動素子として機能する(7)から(10)に記載の表示装置。
(14)前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域400nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層が設けられている(7)から(13)のいずれか1つに記載の表示装置。
(15)前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域350nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層が設けられている(7)から(13)のいずれか1つに記載の表示装置。
(16)前記光吸収層が前記基板もしくは偏光板の少なくとも一方を兼ねる(14)又は(15)に記載の表示装置。
(17)基板と、チャネル領域を有する半導体層とを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記チャネル領域を、結晶成分の体積率をVcとし、該半導体層の非結晶成分の体積率をVaとしたときVc/Va>4を満たす酸化物半導体で形成する半導体装置の製造方法。
(18)前記酸化物半導体がInと、Znとを含む(17)に記載の半導体装置の製造方法。
(19)前記酸化物半導体が、さらに、GaとAlとのうち少なくともいずれか1つを含む(18)に記載の半導体装置の製造方法。
(20)前記半導体層の膜厚が300nm未満である(17)から(19)のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(21)前記半導体層が、該半導体層の前駆体溶液又は微粒子分散液から膜を形成し、その後、該膜を熱又は光を用いたアニール処理することにより形成される(17)から(20)のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(22)前記半導体層が、Vc/Va<0.25の膜を形成し、その後、該膜を熱又は光を用いたアニール処理することにより形成される(17)から(21)のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(23)前記半導体層の移動度μが0.5cm2/Vs以上である(17)から(22)のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(24)前記半導体層の移動度μが10cm2/Vs以上である(17)から(23)のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
(25)上記(17)から(24)によって形成された半導体装置を備えた表示装置の製造方法であって、
光透過性を有するゲート電極を形成し、入射光の少なくとも一部が前記チャネル領域と前記ゲート電極とを透過する表示装置の製造方法。
(26)入射光の少なくとも50%が前記チャネル領域を透過する(25)に記載の表示装置の製造方法。
(27)前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域400nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層を形成する(25)又は(26)に記載の表示装置の製造方法。
(28)前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域350nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層を形成する(25)から(27)のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。
(29)前記光吸収層が前記基板もしくは偏光板の少なくとも一方を兼ねる(27)又は(28)に記載の表示装置の製造方法。
図1は、本発明にかかる半導体装置の基本的な構成の一例を示す断面図である。
本実施形態の半導体装置10は、透明のガラス基板などの基板上にマトリクス状に配置した複数の画素形成領域を備え、各画素形成領域に、TFT構造を有する半導体素子が構成されている。
基板11は、例えば、ガラス基板や石英基板や、PET、PEN、PES等のフィルムを用いることができる。
光入射側の透明なガラス基板11の上に透明な絶縁層12が形成され、絶縁層12上にゲート電極13が所定のパターンで画素形成領域ごとに形成されている。ゲート電極13を覆うようにゲート絶縁膜14が形成されている。ゲート絶縁膜14の上面において、下層のゲート電極13の上に位置する領域に無機酸化物の半導体層18が所定のパターンで形成されている。
先ず、図4(a)に示すように、基板11上(例えばガラス基板や、PET、PEN、PES等のフィルム基板上)に、ITO、IZO、GZO等による透明のゲート電極13をフォトリソグラフィ工程、または、インクジェット、スクリーン印刷等の印刷技術で形成する。
例えば、上記実施形態の半導体装置は、基板側にゲート電極を構成した、所謂、ボトムゲート型の構成を例に説明したが、基板の上部側にゲート電極を配置した、所謂、トップゲート型の構成とすることできる。
また、本発明かかる半導体装置は、上記表示装置に限定されず、半導体センサに適用することもできる。
13 ゲート電極
15 電極層(ソース電極,ドレイン電極)
18 半導体層
Claims (29)
- 基板と、チャネル領域を有する半導体層とを備え、
前記チャネル領域が、結晶成分の体積率をVcとし、非結晶成分の体積率をVaとしたときVc/Va>4を満たす酸化物半導体で構成されている半導体装置。 - 前記酸化物半導体がInと、Znとを含む請求項1に記載の半導体装置。
- 前記酸化物半導体が、さらに、GaとAlとのうち少なくともいずれか1つを含む請求項2に記載の半導体装置。
- 前記半導体層の膜厚が300nm未満である請求項1から3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記半導体層の移動度μが0.5cm2/Vs以上である請求項1から4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記半導体層の移動度μが10cm2/Vs以上である請求項1から5のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 上記請求項1から6のいずれか1つに記載の半導体装置を備えた表示装置。
- 光透過型ディスプレイまたはボトムエミッション型発光ディスプレイである請求項7に記載の表示装置。
- 光透過性を有するゲート電極を備え、入射光の少なくとも一部が前記チャネル領域と前記ゲート電極とを透過する請求項7又は8に記載の表示装置。
- 入射光の少なくとも50%が前記チャネル領域を透過する請求項7から9のいずれか1つに記載の表示装置。
- 前記半導体装置を複数備え、該複数の半導体装置のうち少なくとも一部がスイッチング素子として機能する請求項7から10のいずれか1つに記載の表示装置。
- 前記スイッチング素子のオン電流とオフ電流の比が106以上で駆動する請求項11に記載の表示装置。
- 前記半導体装置を複数備え、該複数の半導体装置のうち少なくとも一部が発光素子の電流駆動素子として機能する請求項7から10に記載の表示装置。
- 前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域400nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層が設けられている請求項7から13のいずれか1つに記載の表示装置。
- 前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域350nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層が設けられている請求項7から13のいずれか1つに記載の表示装置。
- 前記光吸収層が前記基板もしくは偏光板の少なくとも一方を兼ねる請求項14又は15に記載の表示装置。
- 基板と、チャネル領域を有する半導体層とを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記チャネル領域を、結晶成分の体積率をVcとし、該半導体層の非結晶成分の体積率をVaとしたときVc/Va>4を満たす酸化物半導体で形成する半導体装置の製造方法。 - 前記酸化物半導体がInと、Znとを含む請求項17に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物半導体が、さらに、GaとAlとのうち少なくともいずれか1つを含む請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体層の膜厚が300nm未満である請求項17から19のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体層が、該半導体層の前駆体溶液又は微粒子分散液から膜を形成し、その後、該膜を熱又は光を用いたアニール処理することにより形成される請求項17から20のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体層が、Vc/Va<0.25の膜を形成し、その後、該膜を熱又は光を用いたアニール処理することにより形成される請求項17から21のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体層の移動度μが0.5cm2/Vs以上である請求項17から22のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体層の移動度μが10cm2/Vs以上である請求項17から23のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 上記請求項17から24によって形成された半導体装置を備えた表示装置の製造方法であって、
光透過性を有するゲート電極を形成し、入射光の少なくとも一部が前記チャネル領域と前記ゲート電極とを透過する表示装置の製造方法。 - 入射光の少なくとも50%が前記チャネル領域を透過する請求項25に記載の表示装置の製造方法。
- 前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域400nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層を形成する請求項25又は26に記載の表示装置の製造方法。
- 前記チャネル領域に対して光入射側に、入射光のうち波長域350nm以下の光の少なくとも一部を吸収する光吸収層を形成する請求項25から27のいずれか1つに記載の表示装置の製造方法。
- 前記光吸収層が前記基板もしくは偏光板の少なくとも一方を兼ねる請求項27又は28に記載の表示装置の製造方法。
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