JP2009267349A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ部1の最上に位置し開口部K3を有するYテーブル12上に第1の被保持物としての基板60を載置する。そして、前記ステージ部1の支持台8、Xテーブル10、Yテーブル12の各開口部K1〜K3の上方に備えられたヘッド部2に、第2の被保持物としてのチップ62を保持する。さらに、ヘッド部2を下降するとともに、ステージ部1の各開口部K1〜K3の下方に備えられたバックアップ部3を上昇して、基板60とチップ62を当接して局所的に挟持し、加熱して基板60とチップ62の接合を行う。
【選択図】 図1
Description
本発明における保持装置の第1実施形態について、図1ないし図5を参照して説明する。なお、図1は本発明の一実施形態における保持装置の概略構成図、図2はステージ部を分解した斜視図、図3は接合動作を示す概略構成図、図4はバックアップ部の変形例を示す概略構成図、図5は位置検出部の変形例を示す概略構成図である。本実施形態では、大基板にチップを当接して挟持し、加熱により接合するための保持装置について説明する。
本実施形態における保持装置は、第1の被保持物を載置するステージ部1と、第2の被保持物を保持するヘッド部2と、バックアップ部3と、第1の被保持物および第2の被保持物の所定の位置を検出する位置検出部4とを備えている。ここで、ステージ部1が本発明におけるステージ、ヘッド部2が上部保持手段、バックアップ部3が下部保持手段に相当する。
次に、本保持装置の動作について説明する。本実施形態では、保持動作の具体例として、第1の被保持物である基板60と第2の被保持物である金属溶融バンプ61を有するチップ62を重ね合わせて挟持し、さらに加熱によって接合する接合動作について説明する。
なお、バックアップ部3の昇降機構は、図1に示した昇降機構40のような構成に限らず、図4(a)に示すような構成であってもよい。
次に、本発明の第2実施形態について、図6を参照して説明する。図6は第2実施形態における保持装置の概略構成図である。以下に、第1実施形態との相違点について詳細に説明する。なお、図6において、図1ないし図5と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。
次に、本発明の第3実施形態について、図7および図8を参照して説明する。図7は第3実施形態の保持装置の部分概略構成図、図8はその変形例を示す部分概略構成図である。以下に、第1実施形態との相違点について詳細に説明する。なお、図7および図8において、図1ないし図5と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。また、ステージ部1、バックアップ部3の駆動モーターやガイド部等は図示を省略している。
次に、本発明の第4実施形態について、図9および図10を参照して説明する。図9は第4実施形態の保持装置の部分概略構成図、図10は図9の保持装置の動作を示す概略構成図である。以下に、第1実施形態との相違点について詳細に説明する。なお、図9および図10において、図1ないし図8と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。また、ステージ部1、バックアップ部3の駆動モーターやガイド部等は図示を省略している。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
2 ヘッド部(上部保持手段、加圧手段)
3 バックアップ部(下部保持手段)
4 位置検出部(位置調整手段)
9 X移動機構(位置調整手段)
11 Y移動機構(位置調整手段)
27 水平移動機構(位置調整手段)
28 ヒーター(予備加熱手段)
34 上下移動機構(第1負荷手段)
40 昇降機構(第2負荷手段)
41 平面調整機構
49 ヒーター(加熱手段)
60 基板(第1の被保持物)
62 チップ(第2の被保持物)
102 認識カメラ(検出手段)
103 透明樹脂基板(第1の被保持物)
104 チップ(第2の被保持物)
109 IRカメラ(検出手段)
110 光源部(検出手段)
111 基板(第1の被保持物)
112 基板(第2の被保持物)
120 基板(第1の被保持物)
122 チップ(第2の被保持物)
130 制御機構(荷重制御手段)
Claims (8)
- 被保持物を保持する保持装置において、
開口部を有し、上面の前記開口部の周縁に第1の被保持物の周縁部が載置されるステージと、
第2の被保持物を保持する保持部を有し、前記ステージの前記開口部の上方に配置された上部保持手段と、
前記ステージの前記開口部の下方に昇降自在に配置された下部保持手段と、
前記開口部において、前記上部保持手段および前記下部保持手段が、前記第1の被保持物および前記第2の被保持物の所定位置を重ね合わせた状態に挟持するように、前記第1の被保持物および前記第2の被保持物の位置調整を行う位置調整手段とを備え、
前記下部保持手段の上昇によって、前記上部保持手段および前記下部保持手段の間に、前記第1の被保持物および前記第2の被保持物を重ね合わせた状態に挟持することを特徴とする保持装置。 - 前記上部保持手段に配設され、前記上部保持手段に所定の荷重を与える第1負荷手段と、
前記下部保持手段に配設され、前記下部保持手段に所定の荷重を与える第2負荷手段と、
前記第1の被保持物および第2の被保持物を重ね合わせた状態で前記上部保持手段および前記下部保持手段のいずれか一方の荷重が他方の荷重よりも大きくなるように、前記第1負荷手段および第2負荷手段による荷重を制御する荷重制御手段とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。 - 前記上部保持手段および前記下部保持手段の少なくとも一方に設けられ、前記第1の被保持物の当接面と前記第2の被保持物の当接面を所定の倣い面に倣わせる平面調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の保持装置。
- 前記上部保持手段および前記下部保持手段の少なくとも一方に、加熱手段を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の保持装置。
- 前記ステージは、前記第1の被保持物を予備加熱する予備加熱機構をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の保持装置。
- 少なくとも前記上部保持手段に加圧手段を備えることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の保持装置。
- 前記下部保持手段は、前記下部保持手段と前記第1の被保持物の下面との距離を計測する測長手段をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の保持装置。
- 前記下部保持手段の一部が透明部材からなり、前記位置調整手段は、前記透明部材を通して少なくとも第1の被保持物の位置を検出する検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の保持装置。
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