KR102325660B1 - 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템 - Google Patents

유연디스플레이 소자용 열공정 시스템 Download PDF

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배건수
손민구
이현우
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(주)에스엔에프
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Abstract

본 발명은 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 구성은 유연 디스플레이 필름(2)의 이송 경로상에 배치된 언와인더 유닛(210) 및 리와인더 유닛(310); 상기 언와인더 유닛(210)과 상기 리와인더 유닛(310) 사이에 배치된 레이저 헤드(812); 상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치되어 상기 언와인더 유닛(210)과 상기 리와인더 유닛(310)에 의해 이송 경로상으로 지나가는 유연 디스플레이 필름(2)을 받쳐서 지지하는 본딩 베이스부(820); 상기 레이저 헤드(812)와 상기 본딩 베이스부(820) 사이에 배치되어 상기 유연 디스플레이 필름(2) 위에 탑재된 소자(3)를 상기 유연 디스플레이 필름(2)에 본딩시키는 레이저 본딩 가압부(850);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유연디스플레이 소자용 열공정 시스템{Flexible display device heat process system}
본 발명은 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유연 디스플레이 필름과 반도체 소자와 같은 소자 간의 본딩 정밀도를 높일 수 있는 새로운 구성의 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 엘씨디(LCD)나 엘이디(LED)와 같은 평판 디스플레이들은 점차 경박단소화되어 감에따라 이에 대응하여 글래스의 패턴부에 반도체 소자나 회로기판과 같은 소자들이 직접 본딩되어 제작되는 경우가 많으며, 이러한 본딩작업은 로딩부와 본딩부가 각각 구비된 소자본딩장치에 의해 이루어진다.
상기 소자본딩장치에 글래스와 반도체 소자 등을 본딩하려면 로딩부에 글래스와 반도체 소자를 각각 로딩시켜 셋팅한 후 본딩부에서 본딩헤드로 가압하면서 본딩을 행하게 된다.
그러나, 이러한 종류의 평판 디스플레이 장치가 갖는 문제점은 유리 기판으로 인해 기판이 매우 단단하고 무거울 뿐만 아니라 휨 응력(Bending stress)에 대한 매우 낮은 허용오차를 갖는다는 점이다. 상기 디스플레이 장치가 휨모멘트(Bending moments)를 받으면 기판 사이의 셀갭의 변화로 인해 디스플레이 이미지의 손실이 초래되는데 이것은 액정층의 두께변화가 발생되기 때문이다.
또한, 유비쿼터스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.
따라서, 유연성, 경량화 및 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치의 배선 및 소자를 플라스틱 기판 상에 형성하는 유연디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있다. 유연디스플레이 장치는 롤러(Roll) 투 롤러(Roll) 방식으로 제조되는 경우가 많다. 이러한 유연디스플레이의 제조 공정에서는 유연 디스플레이 필름과 반도체 소자나 플렉시블 인쇄회로기판과 같은 소자 간의 본딩 작업이 수행된다.
그런데, 유연디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 유연 디스플레이 필름과 소자 간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 요구되며, 본딩 단계에서 본딩을 위한 전용 설비가 개발되어야 하고 많은 투자비용이 요구된다. 또한, 공정 수율 및 효율성이 저하되는 경우 등을 방지하기 위한 본딩 작업의 정밀도가 더욱 요구된다.
한국등록특허 제10-1754511호(2017년06월29일 등록) 한국공개특허 제10-1996-0035935호(1996년10월28일 공개) 한국공개특허 제10-2000-0074174호(2000년12월05일 공개) 한국등록실용신안 제20-0311427호(2003년04월11일 등록)
본 발명은 전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 개발된 것으로, 본 발명의 목적은 유연 디스플레이 필름과 반도체 소자와 같은 소자 간의 본딩 정밀도를 높일 수 있고, 본딩 정밀도 향상으로 인하여 유연디스플레이의 품질 보장에 기여하는 새로운 구성의 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 유연 디스플레이 필름을 이송시키는 언와인더 유닛 및 리와인더 유닛; 상기 언와인더 유닛과 상기 리와인더 유닛 사이에 배치되도록 메인 프레임에 설치된 레이저 헤드; 상기 레이저 헤드의 하부에 배치되어 상기 언와인더 유닛과 상기 리와인더 유닛에 의해 이송 경로상으로 지나가는 유연 디스플레이 필름을 받쳐서 지지하는 본딩 베이스부; 상기 레이저 헤드와 상기 본딩 베이스부 사이로 지나가는 상기 유연 디스플레이 필름 위에 소자를 본딩되도록 가압하는 레이저 본딩 가압부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템이 제공된다.
상기 메인 프레임에는 언와인더 가이드롤러부와 리와인더 가이드롤러부가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 메인 프레임에는 상기 언와인더 유닛과 상기 레이저 헤드 사이의 영역에 배치되도록 언와인더 가이드 롤러부가 배치되고, 상기 메인 프레임에는 상기 리와인더 유닛과 상기 레이저 헤드 사이의 영역에 배치되도록 리와인더 가이드 롤러부가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 언와인더 가이드 롤러부는 언와인더 가이드롤러 지지패널과 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러와 하부 언와인더 가이드롤러와 실린더와 텐션 조절패널을 포함하고, 상기 리와인더 가이드 롤러부는 리와인더 가이드롤러 지지패널과 복수개의 상부 리와인더 가이드롤러와 하부 리와인더 가이드롤러와 실린더와 텐션 조절패널을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 메인 프레임에는 상기 언와인더 유닛과 상기 레이저 헤드 사이의 영역에 배치되도록 언와인더 가이드롤러 지지패널이 구비되고, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널에는 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러와 적어도 하나의 하부 언와인더 가이드롤러 및 실린더가 장착되고, 상기 실린더의 실린더 로드에는 텐션 조절패널이 연결되고, 상기 텐션 조절패널은 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널에 승강 가능하게 결합되고, 상기 텐션 조절패널에는 상기 하부 언와인더 가이드롤러가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 메인 프레임에는 상기 리와인더 유닛과 상기 레이저 헤드 사이의 영역에 배치되도록 리와인더 가이드롤러 지지패널이 구비되고, 상기 리와인더 가이드롤러 지지패널에는 복수개의 상부 리와인더 가이드롤러와 적어도 하나의 하부 리와인더 가이드롤러 및 실린더가 장착되고, 상기 실린더의 실린더 로드에는 텐션 조절패널이 연결되고, 상기 텐션 조절패널은 상기 리와인더 가이드롤러 지지패널에 승강 가능하게 결합되고, 상기 텐션 조절패널에는 상기 하부 리와인더 가이드롤러가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 본딩 베이스부는 진공 히팅 플레이트와 진공척을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 진공척은, 상기 진공 히팅 플레이트의 내부에 확보된 진공 형성홀; 상기 진공 형성홀에 연결되어 상기 진공 히팅 플레이트의 상면으로 연통된 복수개의 흡착홀(824SH);을 포함하여 구성되고, 상기 진공 히팅 플레이트은 내부에 히터가 내장되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 진공 히팅 플레이트의 하부에는 상부 슬라이더가 구비되고, 상기 상부 슬라이더의 저면은 상부 업다운 경사면으로 구성되고, 상기 상부 슬라이더의 아래에는 하부 슬라이더가 구비되고, 상기 하부 슬라이더의 상면은 상기 상부 업다운 경사면과 면접촉되는 하부 업다운 경사면으로 구성되며, 상기 하부 슬라이더는 이동 작동수단에 의해 전후진하여 상기 상부 슬라이더와 상기 진공 히팅 플레이트를 승강시키는 것을 특징으로 한다.
상기 레이저 헤드는 메인 프레임의 유연 디스플레이 필름 이송 경로 상에서 포지션 조정 어셈블리에 의해서 위치 조정이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 포지션 조정 어셈블리는 상기 메인 프레임에서 X축 이동부와 Y축 이동부와 Z축 이동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 X축 이동부는, 상기 메인 프레임에 구비된 X축 이동 서보모터와 X축 이동 볼나사 및 X축 이동 볼너트를 포함하고, 상기 Y축 이동부는, 상기 메인 프레임에 구비된 Y축 이동 서보모터와 Y축 이동 볼나사 및 Y축 이동 볼너트를 포함하며, 상기 Z축 이동부는, 상기 메인 프레임에 구비된 Z축 이동 서보모터와 Z축 이동 볼나사 및 Z축 이동 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 메인 프레임에는 유연 디스플레이 필름의 이송 경로와 직교하는 방향으로 Y축 엘엠 가이드가 구비되고, 상기 Y축 엘엠 가이드에는 이동 가이드 패널이 결합되고, 상기 이동 가이드 패널에는 상기 유연 디스플레이 필름의 이송 방향과 나란한 방향으로 X축 엘엠 가이드가 구비되고, 상기 X축 엘엠 가이드에는 기대가 결합되고, 상기 기대에는 수직 방향으로 Z축 엘엠 가이드가 구비되고, 상기 Z축 엘엠 가이드에는 Z축 승강패널이 결합되고, 상기 메인 프레임에는 상기 Y축 엘엠 가이드와 나란한 방향으로 Y축 볼나사가 배치되고, 상기 Y축 볼나사에는 Y축 서보모터의 모터축이 연결되고, 상기 Y축 볼나사에는 상기 이동 가이드 패널에 장착된 Y축 볼너트가 결합되고, 상기 이동 가이드 패널의 상면에는 상기 X축 엘엠 가이드와 나란한 방향으로 X축 볼나사가 배치되고, 상기 X축 볼나사에는 상기 이동 가이드 패널에 장착된 X축 볼너트가 결합되고, 상기 기대에는 상기 Z축 엘엠 가이드와 나란한 수직 방향으로 Z축 볼나사가 장착되고, 상기 Z축 볼나사에는 Z축 서보모터의 모터축이 연결되고, 상기 Z축 볼나사에는 상기 Z축 승강패널에 장착된 Z축 볼너트가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 레이저 본딩 가압부는, 상기 레이저 헤드의 하부에 배치된 슬라이더 바디; 상기 슬라이더 바디에 승강 가능하게 장착된 중공형의 승강 슬라이더; 상기 승강 슬라이더에 장착된 쿼츠; 상기 메인 프레임의 기대에 장착된 가압 서보모터; 상기 가압 서보모터의 모터축에 연결된 가압 캠플랜지; 상기 메인 프레임의 상기 기대에 장착된 가압 힌지 브라켓; 상기 가압 힌지 브라켓에 힌지부를 매개로 결합되고 상기 가압 캠플랜지에 연결되어 상기 슬라이더 바디 위에 배치된 가압 레버;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 가압 레버에는 길이 방향으로 장홀이 형성되고, 상기 장홀에 상기 가압 캠플랜지에 구비된 가압 작동 연결핀이 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 가압 작동 연결핀에는 롤링부재가 구비되고, 상기 롤링부재의 외주면이 상기 가압 레버의 상기 장홀에 접촉된 상태에서 롤링되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 승강 슬라이더에 구비된 쿼츠 홀더(854HD)에 상기 쿼츠가 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 쿼츠의 저면이 유연 디스플레이 필름과 마주하고, 상기 쿼츠의 저면은 수평면으로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 쿼츠의 저면에는 실리콘 블록이 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 승강 슬라이더에는 본딩 가압 플레이트가 구비되고, 상기 가압 레버에는 상기 본딩 가압 플레이트의 상면에 접촉된 가압 캠팔로워 베어링이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 승강 슬라이더에는 본딩 가압 플레이트가 구비되고, 상기 본딩 가압 플레이트는 상기 슬라이더 바디의 상단부에 마주하는 위치에 배치되고, 상기 슬라이더 바디의 상단부와 상기 본딩 가압 플레이트의 저면 사이에는 상승 복귀용 플런저가 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 승강 슬라이더와 상기 슬라이더 바디 사이에 개재된 간극 조절 플레이트;를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이더 바디에는 가압량 확인용 로드셀이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 메인 프레임에는 소재가 탑재된 유연 디스플레이 필름의 위치를 촬영하는 카메라가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템에서는 PI Film 일정 피치량 이동 피딩, PI Film 위치결정 인식마크 확인, 레이저 헤드(812) 조사 정위치로 이동(X,Y,Z축), 진공 히팅 플레이트(822) 상승, 레이저 헤드(812)에서의 레이저 조사, 레이저 본딩 유닛에서 소자를 PI Flim에 압착 본딩하는 과정을 반복함으로써, PI Film에 소자(주로 반도체 소자)를 본딩하게 되며, 이러한 본 발명의 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템은 유연디스플레이 장치를 생산하기 위하여 PI Film(Polyimid Film)과 소자(주로 반도체 소자)간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 가능한 효과가 있고, 본딩 단계에서 본딩을 위한 전용 설비로서 기능을 충실히 수행하며 비교적 적은 비용으로 본딩 전용 설비 개발이 가능한 효과가 있다.
한편, 상기한 효과는 본 발명의 주요 효과에 해당하며, 본 발명은 상기한 효과 이외에 다른 여러 가지 유용한 효과가 있으며, 본 발명은 상기한 효과에 의해서만 특징이 한정되는 것은 아니라는 점을 이해해야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템의 구조를 보여주는 사시도
도 2는 도 1의 배면 사시도
도 3은 도 1의 정면도
도 4는 도 1의 배면도
도 5는 도 1에 도시된 언와인더 유닛의 사시도
도 6은 도 1에 도시된 언와인더 가이드 롤러부의 정면도
도 7은 본 발명의 주요부인 Y축 이동부와 X축 이동부와 Z축 이동부의 배면을 보여주는 사시도
도 8은 도 7에 도시된 Y축 이동부의 배면도
도 9는 도 7에 도시된 X축 이동부의 내부 구조를 보여주는 사시도
도 10은 도 7에 도시된 Y축 이동부의 내부 구조를 보여주는 사시도
도 11은 도 7에 도시된 Y축 이동부와 X축 이동부의 주요 구성을 보여주는 사시도
도 12는 도 7에 도시된 X축 이동부와 Y축 이동부의 구조를 보여주는 평면도
도 13은 도 7에 도시된 주요부인 Y축 이동부와 X축 이동부와 Z축 이동부의 구조를 보여주는 우측 배면 사시도
도 14는 본 발명의 주요부인 본딩 베이스부의 사시도
도 15는 도 14의 측단면도
도 16은 도 14의 주요부의 확대된 정단면도
도 17은 도 14의 본딩 베이스부가 하부 슬라이더에 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 18은 도 17의 정면도
도 19는 도 17의 좌측면도
도 20은 도 17의 우측면도
도 21은 본 발명의 주요부인 레이저 헤드와 레이저 본딩 가압부를 보여주는 사시도
도 22는 도 21의 우측면도
도 23은 본 발명의 주요부인 본딩 베이스부와 레이저 본딩 가압부의 사시도
도 24는 본 발명의 주요부인 레이저 헤드와 레이저 본딩 가압부 및 유연 디스플레이 필름의 일부를 보여주는 사시도
도 25는 도 24의 우측면 사시도
도 26은 도 25의 저면 사시도
도 27은 도 26에 도시된 본딩 베이스부와 레이저 본딩 가압부의 우측면도
도 28은 본 발명의 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템에 의해 소자 본딩 작업이 이루어지는 유연 디스플레이 필름의 일부를 보여주는 평면도
도 29는 도 29의 사시도
도 30은 본 발명의 주요부인 레이저 헤드와 레이저 본딩 가압부 및 유연 디스플레이 필름의 일부를 보여주는 정면도
도 31은 본 발명의 주요부인 레이저 헤드와 레이저 본딩 가압부의 분해된 상태를 보여주는 사시도
도 32는 도 31의 레이저 본딩 가압부와 레이저 헤드 및 유연 디스플레이 필름의 일부를 보여주는 사시도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 도면에서 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 사용한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템은 언와인더 유닛(210)에서 유연 디스플레이 필름(2) 공급(PI Film 공급), 레이저 본딩(PI Film + Solder + 센서 소자(3)), 리와인더 유닛(310)에 의한 유연 디스플레이 필름(2) 리와인딩을 하게 된다. PI Film(2)은 플렉시블 기판의 일종이며, 본 발명에서 기술하는 PI Film(2)과 플렉시블 기판과 유연 디스플레이 필름은 동일한 것으로 이해하면 될 것이다.
본 발명은 유연 디스플레이 필름(2)의 이송 경로상에 배치된 언와인더 유닛(210) 및 리와인더 유닛(310)과, 상기 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 배치되도록 메인 프레임(110)에 설치된 레이저 헤드(812)와, 상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치되어 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310)에 의해 이송 경로상으로 지나가는 유연 디스플레이 필름(2)을 받쳐서 지지하는 본딩 베이스부(820)와, 상기 레이저 헤드(812)와 본딩 베이스부(820) 사이에 배치되어 유연 디스플레이 필름(2) 위에 탑재된 소자(3)를 유연 디스플레이 필름(2)에 본딩시키는 레이저 본딩 가압부(850)를 구비한다.
상기 메인 프레임(110)은 육면체 프레임 형상으로 구성된다. 메인 프레임(110)에는 메인 베이스(112)가 구비된다. 메인 베이스(112)와 메인 프레임(110)의 상면 사이에는 아이솔레이터(114)가 개재되어 있다. 메인 베이스(112)의 저면 네 코너부와 인접한 위치와 메인 프레임(110)의 네 코너부와 인접한 위치에 각각 아이솔레이터(114)가 배치된다. 네 군데의 아이솔레이터(114)가 메인 프레임(110)과 메인 베이스(112) 사이에 배치되어 있다.
상기 메인 프레임(110)의 좌우 양쪽 위치에는 각각 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310)이 배치된다.
상기 언와인더 유닛(210)은 언와인더 모터(212)와 언와인더 롤러(214)를 포함한다. 언와인더 유닛(210)에 언와인더 버퍼롤러(216)가 더 포함될 수 있다.
상기 메인 프레임(110)의 한쪽 위치에는 언와인더 베이스 패널(212BP)이 구비된다. 상기 언와인더 베이스 패널(212BP)에 언와인더 포스트(212PS)가 구비되고, 상기 언와인더 포스트(212PS)에는 언와인더 서포트 패널(212SUP)이 장착된다. 상기 언와인더 모터(212)는 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 언와인더 서포트 패널(212SUP)에 장착된다. 언와인더 모터(212)는 언와인더 서포트 패널(212SUP)의 배면에 장착된다. 언와인더 모터(212)의 모터축은 수평 방향으로 배치된다.
상기 언와인더 롤러(214)는 언와인더 모터(212)의 모터축에 연결된다. 언와인더 롤러(214)의 중심부가 언와인더 모터(212)의 모터축에 연결된다. 상기 언와인더 롤러(214)는 언와인더 모터(212)의 모터축에 연결된 상태에서 언와인더 서포트 패널(212SUP)의 전면에 배치된다. 언와인더 롤러(214)는 언와인더 서포트 패널(212SUP)에 수평 방향으로 배치된다.
상기 언와인더 서포트 패널(212SUP)에는 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)이 구비된다. 언와인더 서포트 패널(212SUP)의 전면에 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)이 배치된다.
상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 수직 방향으로 적어도 두 개의 승강 가이드 레일(212MGR)이 구비되고, 상기 승강 가이드 레일(212MGR)에는 승강 블록(212MBL)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 또한, 상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 실린더(CY)가 장착되고, 실린더(CY)의 실린더 로드는 수직 방향으로 배치된다. 상기 실린더(CY)의 실린더 로드는 상기 승강 블록(212MBL)에 연결된다.
상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 복수개의 언와인더 버퍼롤러(216)가 구비된다. 언와인더 버퍼롤러(216)는 두 개의 상부 언와인더 버퍼롤러(216)와 한 개의 하부 언와인더 버퍼롤러(216)로 구성된다. 두 개의 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 롤러축은 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에 연결된다. 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 롤러축은 상기 승강 블록(212MBL)에 연결된다. 두 개의 상부 언와인더 버퍼롤러(216)는 언와인더 서포트 패널(212SUP)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에서 회전 가능하도록 구성되고, 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)는 승강 블록(212MBL)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 승강 블록(212MBL)에서 회전 가능하도록 구성된다.
상기 리와인더 유닛(310)은 언와인더 유닛(210)과 옆으로 마주하는 위치에 배치된다. 상기 리와인더 유닛(310)은 리와인더 모터(312)와 리와인더 롤러(314)를 포함한다.
상기 메인 프레임(110)의 다른 쪽 위치에 리와인더 베이스 패널(312BP)이 배치된다. 상기 리와인더 베이스 패널(312BP)에 리와인더 포스트(312PS)가 구비되고, 상기 리와인더 포스트(312PS)에는 리와인더 서포트 패널(312SUP)이 장착된다. 상기 리와인더 모터(312)는 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 리와인더 서포트 패널(312SUP)에 장착된다. 리와인더 모터(312)는 리와인더 서포트 패널(312SUP)의 배면에 장착된다. 리와인더 모터(312)의 모터축은 수평 방향으로 배치된다.
상기 리와인더 롤러(314)는 리와인더 모터(312)의 모터축에 연결된다. 리와인더 롤러(314)의 중심부가 리와인더 모터(312)의 모터축에 연결된다. 상기 리와인더 롤러(314)는 리와인더 모터(312)의 모터축에 연결된 상태에서 리와인더 서포트 패널(312SUP)의 전면에 배치된다. 리와인더 롤러(314)는 리와인더 서포트 패널(312SUP)에 수평 방향으로 배치된다.
상기 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에는 메인 프레임(110)이 배치되고, 메인 프레임(110)에는 후술할 레이저 헤드(812)가 장착된다.
본 발명에서는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310)이 동시에 작동되어 유연 디스플레이 필름(2)(본 발명에서 기술하는 유연 디스플레이 필름(2)은 PI Film으로서 이하에서는 유연 디스플레이 필름(2)을 PI Flim이라 칭함)을 메인 프레임(110)에 장착된 레이저 헤드(812)의 아래로 지나가도록 구성될 수 있다.
상기 언와인더 유닛(210)의 언와인더 모터(212)의 구동에 의해 언와인더 롤러(214)의 외주면에 권취되어 있는 PI Film(2)을 두 개의 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 옆쪽에서 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 아래쪽에서 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고, 상기 리와인더 유닛(310)의 리와인더 모터(312)의 구동에 의해 언와인더 롤러(214)에서부터 공급되는 PI Film(2)을 상기 메인 프레임(110)에 구비된 레이저 헤드(812)의 아래쪽으로 지나가도록 하고, 상기 리와인더 중간 롤러(318)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고 리와인더 롤러(314)의 외주면에 PI Film(2)을 리와인딩할 수 있도록 구성된다.
상기 리와인더 서포트 패널(312SUP)에는 리와인더 롤러(314)의 앞쪽에 배치되도록 리와인더 중간 모터(317)가 장착된다. 리와인더 중간 모터(317)는 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 리와인더 서포트 패널(312SUP)에 장착된다. 리와인더 중간 모터(317)는 리와인더 서포트 패널(312SUP)의 배면에 장착된다. 리와인더 중간 모터(317)의 모터축은 수평 방향으로 배치된다.
상기 리와인더 중간 모터(317)의 모터축에는 리와인더 중간롤러(318)가 연결된다. 리와인더 중간롤러(318)의 중심부가 리와인더 중간 모터(317)의 모터축에 연결된다. 상기 리와인더 중간롤러(318)는 리와인더 중간 모터(317)의 모터축에 연결된 상태에서 리와인더 서포트 패널(312SUP)의 전면에 배치된다. 리와인더 중간롤러(318)는 리와인더 서포트 패널(312SUP)에 수평 방향으로 배치된다.
따라서, 상기 리와인더 중간 모터(317)의 작동에 의해 리와인더 중간롤러(318)가 회전하고, 상기 리와인더 중간롤러(318)의 외주면을 PI Film(2)이 경유하여 지나간 다음 상기 리와인더 롤러(314)의 외주면에 리와인딩될 수 있다.
이때, 본 발명에서는 메인 프레임(110)에는 언와인더 유닛(210)과 레이저 헤드(812) 사이의 영역에 배치되도록 언와인더 가이드 롤러부(410)가 배치되고, 상기 메인 프레임(110)에는 리와인더 유닛(310)과 레이저 헤드(812) 사이의 영역에 배치되도록 리와인더 가이드 롤러부(510)가 구비된다.
상기 언와인더 가이드 롤러부(410)는 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)과 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 하부 언와인더 가이드롤러(418)와 실린더(416)와 텐션 조절패널(414)을 포함한다.
상기 메인 프레임(110)에는 언와인더 유닛(210)과 레이저 헤드(812) 사이의 영역에 배치되도록 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)이 구비된다. 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)은 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 메인 프레임(110) 한쪽 측면 위치에 장착된다. 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)은 메인 프레임(110)에 수직 방향으로 장착된다.
상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 수직 방향으로 적어도 두 개의 승강 가이드 레일(412MGR)이 구비되고, 상기 승강 가이드 레일(412MGR)에는 언와인더측 텐션 조절패널(414)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 또한, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 실린더(416)가 장착되고, 실린더(416)의 실린더 로드는 수직 방향으로 배치된다. 상기 실린더(416)의 실린더 로드는 언와인더측 텐션 조절패널(414)에 연결된다.
상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 복수개의 언와인더 가이드롤러(418)가 구비된다. 언와인더 가이드롤러(418)는 두 개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 한 개의 하부 언와인더 가이드롤러(418)로 구성된다. 두 개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 롤러축은 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에 연결된다. 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 롤러축은 상기 언와인더측 텐션 조절패널(514)(414)에 연결된다. 두 개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)는 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에서 회전 가능하도록 구성되고, 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)는 언와인더측 텐션 조절패널(414)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 언와인더측 텐션 조절패널(414)에서 회전 가능하도록 구성된다. 즉, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 적어도 하나의 하부 언와인더 가이드롤러(418) 및 실린더(416)가 장착되고, 상기 실린더(416)의 실린더 로드에는 언와인더측 텐션 조절패널(414)이 연결되고, 상기 언와인더측 텐션 조절패널(414)은 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에 승강 가능하게 결합되고, 상기 언와인더측 텐션 조절패널(414)에는 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 결합된 구조이다.
상기 리와인더 가이드 롤러부(510)는 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)과 피딩롤러(511RO)와 피딩 모터(511MT)와 상부 리와인더 가이드롤러(518)와 하부 리와인더 가이드롤러(518)와 실린더(516) 및 텐션 조절패널(514)을 포함한다.
상기 메인 프레임(110)에는 리와인더 유닛(310)과 레이저 헤드(812) 사이의 영역에 배치되도록 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)이 구비된다. 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)은 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 메인 프레임(110) 한쪽 측면 위치에 장착된다. 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)은 메인 프레임(110)에 수직 방향으로 장착된다.
상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 수직 방향으로 적어도 두 개의 승강 가이드 레일(512MGR)이 구비되고, 상기 승강 가이드 레일(512MGR)에는 리와인더측 텐션 조절패널(514)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 또한, 상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 실린더(516)가 장착되고, 실린더(516)의 실린더 로드는 수직 방향으로 배치된다. 상기 실린더(516)의 실린더 로드는 리와인더측 텐션 조절패널(514)에 연결된다.
상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 복수개의 리와인더 가이드롤러(518)가 구비된다. 리와인더 가이드롤러(518)는 피딩롤러(511RO) 및 상부 리와인더 가이드롤러(518)와 하부 리와인더 가이드롤러(518)로 구성된다.
상기 메인 프레임(110)에는 레이저 헤드(812)와 리와인더 가이드 롤러부(510) 사이에 배치되도록 PI Film 피딩 유닛이 구비된다.
상기 PI Film 피딩 유닛은 피딩 모터(511MT)와 피딩롤러(511RO)를 포함한다.
상기 피딩 모터(511MT)는 메인 프레임(110)의 베이스 패널 위에 장착된다. 피딩 모터(511MT)의 모터축은 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 방향으로 배치된다.
상기 피딩롤러(511RO)는 피딩 모터(511MT)의 모터축에 연결된다. 피딩롤러(511RO)의 중심부가 피딩 모터(511MT)의 모터축에 연결된다. 피딩 모터(511MT)의 모터축이 회전함에 따라 피딩롤러(511RO)의 외주면으로 경유하여 지나가는 PI Film(2)이 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면과 하부 리와인더 가이드롤러(518)외주면을 거쳐서 상기 언와인더 유닛(210) 쪽으로 공급된다.
상기 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 롤러축은 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에 연결된다. 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 롤러축은 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)에 연결된다. 두 개의 상부 리와인더 가이드롤러(518)는 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에서 회전 가능하도록 구성되고, 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)는 리와인더측 텐션 조절패널(514)에 수평 방향으로 배치된 상태에서 리와인더측 텐션 조절패널(514)에서 회전 가능하도록 구성된다. 즉, 상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 복수개의 상부 리와인더 가이드롤러(518)와 적어도 하나의 하부 리와인더 가이드롤러(518) 및 실린더(516)가 장착되고, 상기 실린더(516)의 실린더 로드에는 리와인더측 텐션 조절패널(514)이 연결되고, 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)은 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에 승강 가능하게 결합되고, 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)에는 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 결합된 구조이다.
따라서, 상기 언와인더 유닛(210)의 언와인더 롤러(214)에서 공급되는 PI Film(2)이 언와인더 가이드 롤러부(410)를 경유하여 메인 프레임(110)에 장착된 레이저 헤드(812)의 아래로 지나가고, 상기 레이저 헤드(812)의 아래로 지나온 PI Film(2)은 리와인더 가이드 롤러부(510)를 경유하여 리와인더 유닛(310)의 리와인더 롤러(314)에 권취되도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 언와인더 유닛(210)의 언와인더 모터(212)와 리와인더 유닛(310)의 리와인더 모터(312)의 구동에 의해 상기 언와인더 유닛(210)의 언와인더 롤러(214)에서 공급되는 PI Film(2)을 상기 피딩롤러(511RO)와 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 옆쪽에서 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 아래쪽에서 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고, 상기 언와인더 가이드 롤러부(410)의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 하부 언와인더 가이드롤러(418)를 경유하여 지나온 PI Film(2)이 메인 프레임(110)에 장착된 레이저 헤드(812)의 아래로 지나가도록 하고, 상기 레이저 헤드(812)의 아래에서 지나온 PI Film(2)을 상기 리와인더 가이드 롤러부(510)의 상기 피딩롤러(511RO)와 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 옆쪽에서 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 아래쪽에서 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하고, 상기 리와인더 중간롤러(318)의 외주면을 PI Film(2)이 경유하여 지나가도록 한 다음 상기 리와인더 롤러(314)의 외주면에 리와인딩되도록 할 수 있다.
또한, 상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 실린더(CY)의 실린더 로드에 연결된 승강 블록(212MBL)에 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 장착되고, 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 아래에서 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유하여 PI Film(2)이 지나가는데, 상기 실린더(CY)의 실린더 로드를 신장시키면, 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 승강 블록(212MBL)과 함께 아래로 내려가서 PI Film(2)을 아래로 당겨주기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 커지게 되고, 상기 실린더(CY)의 실린더 로드를 후퇴시키면, 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 승강 블록(212MBL)과 함께 위로 올라와서 PI Film(2)을 아래로 당겨주는 힘을 더 줄이기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 작게 된다. 즉, 상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에서 하부 언와인더 버퍼롤러(216)를 승강시킴에 따라 PI Film(2)의 장력이 조절될 수 있다.
또한, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 실린더(416)의 실린더 로드에 연결된 언와인더측 텐션 조절패널(414)에 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 장착되고, 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 아래에서 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유하여 PI Film(2)이 지나가는데, 상기 실린더(416)의 실린더 로드를 신장시키면, 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 언와인더측 텐션 조절패널(414)과 함께 아래로 내려가서 PI Film(2)을 아래로 당겨주기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 커지게 되고, 상기 실린더(416)의 실린더 로드를 후퇴시키면, 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 언와인더측 텐션 조절패널(414)과 함께 위로 올라와서 PI Film(2)을 아래로 당겨주는 힘을 더 줄이기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 작게 된다. 즉, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에서 하부 언와인더 가이드롤러(418)를 승강시킴에 따라 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 아래에서 경유하여 지나가는 PI Film(2)의 장력이 조절될 수 있다.
또한, 상기 리와인더 가이드롤러 지지패널(512)에는 실린더(516)의 실린더 로드에 연결된 리와인더측 텐션 조절패널(514)에 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 장착되고, 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 아래에서 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유하여 PI Film(2)이 지나가는데, 상기 실린더(516)의 실린더 로드를 신장시키면, 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 리와인더측 텐션 조절패널(514)과 함께 아래로 내려가서 PI Film(2)을 아래로 당겨주기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 커지게 되고, 상기 실린더(516)의 실린더 로드를 후퇴시키면, 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 리와인더측 텐션 조절패널(514)과 함께 위로 올라와서 PI Film(2)을 아래로 당겨주는 힘을 더 줄이기 때문에, PI Film(2)의 장력이 더 작게 된다. 즉, 상기 리와인더 가이드롤러 지지패널(512)에서 하부 리와인더 가이드롤러(518)를 승강시킴에 따라 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 아래에서 경유하여 지나가는 PI Film(2)의 장력이 조절될 수 있다.
상기 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 레이저 헤드(812)가 배치된다. 레이저 헤드(812)는 언와인더 가이드 롤러부(410)와 리와인더 가이드 돌부 사이의 영역에 배치된다. 상기 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 메인 프레임(110)이 배치되고, 메인 프레임(110)에 레이저 헤드(812)가 장착되도록 구성된다.
상기 레이저 헤드(812)는 메인 프레임(110)의 유연 디스플레이 필름(2) 이송 경로 상에서 포지션 조정 어셈블리에 의해서 위치 조정이 가능하도록 구성된다. 이때, 포지션 조정 어셈블리는 메인 프레임(110)에 구비된 X축 이동부(720)와 Y축 이동부(710)와 Z축 이동부(730)를 포함한다.
상기 Y축 이동부(710)는 Y축 엘엠 가이드(712), 이동 가이드 패널(714), Y축 이동 서보모터(716), Y축 이동 볼나사(718), Y축 이동 볼너트(719)를 포함한다.
상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에는 Y축 엘엠 가이드(712)가 구비된다. Y축 엘엠 가이드(712)는 Y축 이동 가이드 레일(712A)에 Y축 이동 가이드 레일블록(712B)이 결합되도록 구성된다. 상기 Y축 이동 가이드 레일(712A)은 PI Film(2)의 이송 경로인 X축 방향과 직교하는 Y축 방향으로 배치된다. 한 쌍의 나란한 Y축 이동 가이드 레일(712A)이 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112) 위에 구비되고, 한 쌍의 Y축 이동 가이드 레일(712A)에 Y축 이동 가이드 레일블록(712B)이 슬라이드 가능하게 결합된다.
상기 Y축 엘엠 가이드(712)의 Y축 이동 가이드 레일블록(712B)에는 이동 가이드 패널(714)이 결합된다. Y축 이동 가이드 레일블록(712B)이 이동 가이드 패널(714)의 저면에 결합된다. 좌우측의 Y축 이동 가이드 레일블록(712B)이 이동 가이드 패널(714)의 저면에 결합된 구조이다. 좌측에 두 개와 우측에 두 개씩 총 네 개의 Y축 이동 가이드 레일블록(712B)이 이동 가이드 패널(714)의 저면에 결합된 구조이다. 상기 이동 가이드 패널(714)은 Y축 엘엠 가이드(712)에 의해 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에 이동 가능하게 결합된 구조가 된다. 즉, 이동 가이드 패널(714)은 Y축 엘엠 가이드(712)에 의해서 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 방향인 Y축 방향으로 이동 가능하도록 메인 프레임(110)에 결합된 구조이다.
상기 메인 베이스(112)에는 Y축 이동 서보모터(716)가 장착된다. Y축 이동 서보모터(716)의 모터축은 상기 Y축 엘엠 가이드(712)와 나란한 방향으로 배치된다. Y축 이동 서보모터(716)의 모터축이 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향으로 배치된다. 상기 Y축 이동 서보모터(716)의 모터축에는 Y축 이동 볼나사(718)가 구비된다. Y축 이동 볼나사(718)도 Y축 방향으로 배치된다.
상기 Y축 이동 볼나사(718)에는 Y축 이동 볼너트(719)가 결합된다. Y축 이동 볼너트(719)는 상기 이동 가이드 패널(714)에 연결된다. 이동 가이드 패널(714)의 저면에 Y축 이동 볼너트(719)가 연결된 구조이다.
따라서, 상기 Y축 이동 서보모터(716)의 모터축이 정역회전하면 Y축 이동 볼나사(718)가 정역회전하여 Y축 이동 볼너트(719)에 연결된 이동 가이드 패널(714)이 Y축 엘엠 가이드(712)에 의해서 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 된다. 상기 Y축 이동 서보모터(716)의 모터축과 Y축 이동 볼나사(718)가 정역회전하면, Y축 이동 볼너트(719)에 연결된 이동 가이드 패널(714)이 Y축 엘엠 가이드(712)의 Y축 이동 가이드 레일(712A)을 따라서 전후진하므로, 상기 Y축 이동 볼너트(719)에 연결된 이동 가이드 패널(714)이 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 되는 것이다. 상기 Y축 이동 서보모터(716)의 모터축의 회전력이 Y축 이동 볼나사(718)와 Y축 이동 볼너트(719)에 의해서 직선운동으로 전환되어 Y축 엘엠 가이드(712)에 의해 상기 이동 가이드 패널(714)이 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향으로 전후진할 수 있게 된다.
상기 X축 이동부(720)는 X축 엘엠 가이드(722), 기대(724), X축 이동 서보모터(726), X축 이동 볼나사(728), X축 이동 볼너트(729)를 포함한다.
상기 이동 가이드 패널(714)에는 X축 엘엠 가이드(722)가 구비된다. 이동 가이드 패널(714)의 상면에 X축 엘엠 가이드(722)가 구비된다. X축 엘엠 가이드(722)는 X축 이동 가이드 레일(722A)에 X축 이동 가이드 레일블록(722B)이 결합되도록 구성된다. 상기 X축 이동 가이드 레일(722A)은 PI Film(2)의 이송 경로인 X축 방향과 나란한 방향으로 배치된다. 한 쌍의 나란한 X축 이동 가이드 레일(722A)이 이동 가이드 패널(714) 위에 구비되고, 한 쌍의 X축 이동 가이드 레일(722A)에 X축 이동 가이드 레일블록(722B)이 슬라이드 가능하게 결합된다.
상기 X축 엘엠 가이드(722)의 X축 이동 가이드 레일블록(722B)에는 기대(724)가 결합된다. X축 이동 가이드 레일블록(722B)이 기대(724)의 저면에 결합된다. 기대(724)는 수직 방향으로 세워진 상태에서 X축 엘엠 가이드(722)의 X축 이동 가이드 레일블록(722B)에 결합된다. 전후 위치에 배치된 X축 이동 가이드 레일블록(722B)이 기대(724)의 저면에 결합된 구조이다. 전방 위치에 두 개와 후방 위치 두 개씩 총 네 개의 X축 이동 가이드 레일블록(722B)이 기대(724)의 저면에 결합된 구조이다. 상기 기대(724)는 X축 엘엠 가이드(722)에 의해 이동 가이드 패널(714)에 이동 가능하게 결합된 구조가 된다. 즉, 기대(724)는 X축 엘엠 가이드(722)에 의해서 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 방향인 X축 방향으로 이동 가능하도록 메인 프레임(110)에 결합된 구조를 취한다.
상기 이동 가이드 패널(714)에는 X축 이동 서보모터(726)가 장착된다. X축 이동 서보모터(726)의 모터축은 상기 X축 엘엠 가이드(722)와 나란한 방향으로 배치된다. X축 이동 서보모터(726)의 모터축이 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 방향인 X축 방향으로 배치된다. 상기 X축 이동 서보모터(726)의 모터축에는 X축 이동 볼나사(728)가 구비된다. X축 이동 볼나사(728)도 X축 방향으로 배치된다.
상기 X축 이동 볼나사(728)에는 X축 이동 볼너트(729)가 결합된다. X축 이동 볼너트(729)는 상기 기대(724)에 연결된다. 기대(724)의 저면에 X축 이동 볼너트(729)가 연결된 구조이다.
따라서, 상기 X축 이동 서보모터(726)의 모터축이 정역회전하면 X축 이동 볼나사(728)가 정역회전하여 X축 이동 볼너트(729)에 연결된 기대(724)가 X축 엘엠 가이드(722)에 의해서 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 X축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 된다. 상기 X축 이동 서보모터(726)의 모터축과 X축 이동 볼나사(728)가 정역회전하면, X축 이동 볼너트(729)에 연결된 기대(724)가 X축 엘엠 가이드(722)의 X축 이동 가이드 레일(722A)을 따라서 전후진하므로, 상기 X축 이동 볼너트(729)에 연결된 기대(724)가 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 X축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 되는 것이다. 상기 X축 이동 서보모터(726)의 모터축의 회전력이 X축 이동 볼나사(728)와 X축 이동 볼너트(729)에 의해서 직선운동으로 전환되어 X축 엘엠 가이드(722)에 의해 상기 기대(724)가 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 X축 방향을 따라 전후진할 수 있게 된다.
상기 Z축 이동부(730)는 Z축 엘엠 가이드(732), Z축 승강패널(734), Z축 이동 서보모터(736), Z축 이동 볼나사(738), Z축 이동 볼너트(739)를 포함한다.
상기 기대(724)에는 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 장착된다. 기대(724)의 전면에는 Z축 엘엠 가이드(732)에 의해 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 장착된다. 기대(724)의 전면에는 수직 방향으로 한 쌍의 Z축 엘엠 가이드(732)의 Z축 이동 가이드 레일(732A)이 장착된다.
상기 Z축 엘엠 가이드(732)는 Z축 이동 가이드 레일(732A)에 Z축 이동 가이드 블록이 결합되도록 구성된다. 상기 Z축 이동 가이드 레일(732A)은 PI Film(2) 위쪽에서 수직 방향으로 배치된 구조를 취한다. 한 쌍의 나란한 Z축 이동 가이드 레일(732A)이 기대(724)의 전면에 구비되고, 한 쌍의 Z축 이동 가이드 레일(732A)에 Z축 이동 가이드 레일블록(732B)이 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 결합된다.
상기 Z축 엘엠 가이드(732)의 Z축 이동 가이드 레일블록(732B)에는 Z축 승강패널(734)이 결합된다. Z축 이동 가이드 레일블록(732B)이 Z축 승강패널(734)의 배면에 결합된다. Z축 승강패널(734)은 수직 방향으로 세워진 상태에서 Z축 엘엠 가이드(732)의 Z축 이동 가이드 레일블록(732B)에 결합된다. 좌우 위치에 배치된 Z축 이동 가이드 레일블록(732B)이 Z축 승강패널(734)의 배면에 결합된 구조이다. 좌측 위치에 두 개와 우측 위치 두 개씩 총 네 개의 Z축 이동 가이드 레일블록(732B)이 Z축 승강패널(734)의 배면에 결합된 구조이다. 상기 Z축 승강패널(734)은 Z축 엘엠 가이드(732)에 의해 상기 기대(724)에 상하 방향으로 이동 가능하게 결합된 구조가 된다. 즉, Z축 승강패널(734)은 Z축 엘엠 가이드(732)에 의해서 PI Film(2)의 위쪽에서 상하 방향으로 이동 가능하도록 메인 프레임(110)에 결합된 구조를 취한다. 이때, 상기 Z축 승강패널(734)은 후술하는 레이저 헤드(812)가 장착되기 때문에, 레이저 헤드(812) 부착 메인 브라켓이라 할 수 있다.
상기 기대(724)에는 Z축 이동 서보모터(736)가 장착된다. Z축 이동 서보모터(736)의 모터축은 상기 Z축 엘엠 가이드(732)와 나란한 방향으로 배치된다. Z축 이동 서보모터(736)의 모터축이 PI Film(2)의 위쪽에 Z축 방향(수직 방향)으로 배치된다. 상기 Z축 이동 서보모터(736)의 모터축에는 Z축 이동 볼나사(738)가 구비된다. Z축 이동 볼나사(738)도 Z축 방향으로 배치된다.
상기 Z축 이동 볼나사(738)에는 Z축 이동 볼너트(739)가 결합된다. Z축 이동 볼너트(739)는 상기 Z축 승강패널(734)에 연결된다. Z축 승강패널(734)의 배면에 Z축 이동 볼너트(739)가 연결된 구조이다. Z축 이동 볼너트(739)는 기대(724)의 양면으로 연통된 승강 가이드홀을 통과하여 상기 Z축 승강패널(734)의 배면에 결합되도록 구성된다.
따라서, 상기 Z축 이동 서보모터(736)의 모터축이 정역회전하면 Z축 이동 볼나사(738)가 정역회전하여 Z축 이동 볼너트(739)에 연결된 Z축 승강패널(734)이 Z축 엘엠 가이드(732)에 의해서 PI Film(2)의 위쪽에서 수직 방향으로 승강된다. 상기 Z축 이동 서보모터(736)의 모터축과 Z축 이동 볼나사(738)가 정역회전하면, Z축 이동 볼너트(739)에 연결된 Z축 승강패널(734)이 Z축 엘엠 가이드(732)의 Z축 이동 가이드 레일(732A)을 따라서 전후진하므로, 상기 Z축 이동 볼너트(739)에 연결된 Z축 승강패널(734)이 PI Film(2) 위에서 Z축 방향을 따라 상승하거나 하강할 수 있다. 상기 Z축 이동 서보모터(736)의 모터축의 회전력이 Z축 이동 볼나사(738)와 Z축 이동 볼너트(739)에 의해서 직선운동으로 전환되어 Z축 엘엠 가이드(732)에 의해 상기 Z축 승강패널(734)이 PI Film(2) 위쪽에서 Z축 방향을 따라 상승 또는 하강할 수 있게 된다.
상기 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 레이저 헤드(812)(Process Head)가 배치된다. 상기 Z축 승강패널(734)에 레이저 헤드(812)가 장착되어, 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이의 영역에 레이저 헤드(812)가 배치된 구조가 된다. 레이저 헤드(812)의 저면에는 렌즈가 구비되어, 레이저 헤드(812) 내부에 구비된 레이저 장치에서 발생한 레이저가 렌즈를 통해서 PI Film(2) 쪽으로 조사되도록 구성된다.
본 발명은 레이저 헤드(812)의 하부에 배치되어 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310)에 의해 이송 경로상으로 지나가는 유연 디스플레이 필름(2)을 받쳐서 지지하는 본딩 베이스부(820)를 포함한다.
상기 본딩 베이스부(820)는 진공 히팅 플레이트(822)와 진공척(824)을 구비하고, 진공 히팅 플레이트(822)와 진공척(824)은 업다운 작동수단에 의해 승강되도록 구성된다. 또한, 상기 본딩 베이스부(820)는 X축 이동 작동부에 의해서 메인 프레임(110)의 X축 방향으로 이동이 가능하도록 구성된다.
상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에 본딩 베이스 서포트 블록(826)이 구비된다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)은 내부에 공간부가 있는 박스 형상으로 구성된다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에는 하부 슬라이더(827)가 구비된다. 상기 하부 슬라이더(827)의 상면은 하부 업다운 경사면(827SF)으로 구성된다. 상기 하부 슬라이더(827)는 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에 이동 가능하게 내장된다. 하부 슬라이더(827)는 PI Film(2)이 지나가는 메인 프레임(110)의 이송 경로인 X축 방향과 직교하는 방향인 Y축 방향으로 전후진 가능하도록 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에 내장된다. 상기 하부 슬라이더(827)의 상면을 이루는 하부 업다운 경사면(827SF)은 한쪽은 상대적으로 다른 쪽보다 높은 경사면이다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 한쪽 옆에서 볼 때에 하부 업다운 경사면(827SF)의 높은 쪽이 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 후방 쪽에 배치되고, 하부 업다운 경사면(827SF)의 낮은 쪽이 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 전방 쪽에 배치된다.
상기 하부 슬라이더(827)는 업다운 엘엠 가이드에 의해 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 하면에 이동 가능하게 결합된다. 업다운 엘엠 가이드는 업다운 가이드 레일과 업다운 가이드 레일블록으로 구성되는데, 업다운 가이드 레일은 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 전후 방향으로 배치된다. 메인 프레임(110)에서 PI Film(2)의 이송 방향인 X축 방향과 직교하는 Y축 방향과 나란한 방향으로 업다운 가이드 레일이 배치된다. 상기 업다운 가이드 레일에는 업다운 가이드 레일블록이 슬라이드 가능하게 결합되고, 상기 업다운 가이드 레일블록은 하부 슬라이더(827)에 연결되어, 상기 하부 슬라이더(827)가 업다운 엘엠 가이드에 의해 메인 프레임(110)의 PI Film(2) 이송 방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구성된다. 이때, 하부 슬라이더(827)의 저면에 업다운 가이드 레일홈이 구비되고, 메인 프레임(110)에서 PI Film(2)의 이송 방향인 X축 방향과 직교하는 Y축 방향과 나란한 방향으로 업다운 가이드 레일이 배치되어, 상기 하부 슬라이더(827)의 업다운 가이드 레일홈이 상기 업다운 가이드 레일에 슬라이드 가능하게 결합되도도록 구성될 수도 있다. 이러한 경우에는 업다운 엘엠 가이드는 상기 업다운 가이드 레일홈과 상기 업다운 가이드 레일로 구성된다.
상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)에는 승강 작동 서보모터(832)가 장착된다. 승강 작동 서보모터(832)의 모터축은 메인 프레임(110)의 PI Film(2) 이송 방향과 직교하는 방향(Y축 방향)과 나란한 방향으로 배치된다. 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축에는 승강 작동 볼나사(833)가 구비된다. 승강 작동 볼나사(833)도 상기 Y축 방향으로 배치된다.
상기 승강 작동 볼나사(833)에는 승강 작동 볼너트(834)가 결합된다. 승강 작동 볼나사(833)가 하부 슬라이더(827)에 구비되고, 상기 승강 작동 볼너트(834)가 승강 작동 서보모터(832)의 모터축에 구비된 승강 작동 볼나사(833)에 결합되도록 구성된다.
상기 하부 슬라이더(827)에는 승강 작동 서보모터(832)의 모터축이 연결된다. 상기 승강 작동 서보모터(832)는 본딩 베이스 서포트 블록(826)에 볼트와 브라켓과 같은 고정수단에 의해 고정되고, 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축에는 승강 작동 볼나사(833)가 구비되고, 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)에는 승강 작동 볼너트(834)가 구비되고, 상기 승강 작동 볼너트(834)가 상기 승강 작동 볼나사(833)에 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축은 PI Film(2)의 이송 경로와 직교하는 방향으로 배치된 상태에서 하부 슬라이더(827)에 연결된다. 하부 슬라이더(827)의 일측면에서 볼 때에 승강 작동 서보모터(832)의 모터축이 하부 슬라이더(827)의 후면에 연결된 구조가 된다. 승강 작동 볼나사(833)는 하부 슬라이더(837)의 내부에 전후 방향으로 연장되어, 상기 승강 작동 볼나사(833)가 하부 슬라이더(837) 내부의 승강 작동 볼너트(834)에 결합되어, 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)의 정역회전에 따라 하부 슬라이더(827)가 전후진되도록 구성될 수 있다.
본 발명에서 하부 슬라이더(827)는 업다운 작동수단에 의해 전후진하도록 구성되는데, 업다운 작동수단은 승강 작동 서보모터(832)와 승강 작동 볼나사(833) 및 승강 작동 볼너트(834)이다.
따라서, 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축이 정역회전하면 승강 작동 볼나사(833)가 정역회전하여 승강 작동 볼너트(834)에 연결된 하부 슬라이더(827)가 업다운 엘엠 가이드에 의해서 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 된다. 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)가 정역회전하면, 하부 슬라이더(827)가 연결된 하부 업다운 이동 볼너트가 하부 업다운 엘엠 가이드의 업다운 가이드 레일을 따라 전후진하므로, 상기 하부 업다운 이동 볼너트에 연결된 하부 슬라이더(827)가 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전진하거나 후진할 수 있게 되는 것이다. 상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축의 회전력이 승강 작동 볼나사(833)와 승강 작동 볼너트(834)에 의해서 직선운동으로 전환되어 업다운 엘엠 가이드에 의해 상기 하부 슬라이더(827)가 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향으로 전후진할 수 있게 된다. 하부 슬라이더(827)가 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 방향으로 이동할 때에 하부 업다운 경사면(827SF)도 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 방향으로 이동할 수 있게 된다.
상기 하부 슬라이더(827)의 위에 상부 슬라이더(828)가 배치된다. 상기 상부 슬라이더(828)는 테이블 업다운 슬라이더라 할 수 있다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에 상부 슬라이더(828)가 구비된다. 상기 상부 슬라이더(828)의 저면은 상부 업다운 경사면(828SF)으로 구성된다. 상기 상부 슬라이더(828)는 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에 승강 가능하게 내장된다. 즉, 상부 슬라이더(828)는 슬라이더 승강 엘엠 가이드에 의해서 본딩 베이스 서포트 블록(826)에 승강 가능하게 결합된다. 상부 슬라이더(828)는 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 지나가는 PI Film(2)의 아래에서 승강되도록 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 내부 공간부에 내장된다. 상기 상부 슬라이더(828)의 저면을 이루는 상부 업다운 경사면(828SF)은 한쪽은 상대적으로 다른 쪽보다 높은 경사면이다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 한쪽 옆에서 볼 때에 상부 업다운 경사면(828SF)의 높은 쪽이 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 후방 쪽에 배치되고, 상부 업다운 경사면(828SF)의 낮은 쪽이 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 전방 쪽에 배치된다. 상기 상부 슬라이더(828) 저면의 상부 업다운 경사면(828SF)은 하부 슬라이드 상면의 하부 업다운 경사면(827SF)에 맞닿아 있다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 일측면에서 볼 때에 상부 슬라이더(828)의 상부 업다운 경사면(828SF)과 하부 슬라이더(827)의 하우 업다운 경사면이 서로 맞닿아 있는 상태에서 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 후방에서 전방 쪽으로 기울어진 경사면으로 형성된다.
상기 업다운 가동수단을 구성하는 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)가 한쪽 방향으로 회전함에 따라 하부 슬라이더(827)가 전진한다. 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 한쪽 측면에서 볼 때에 하부 슬라이더(827)가 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 후방에서 전방 쪽으로 전진한다. 그러면, 하부 슬라이더(827)의 하부 업다운 가이드면과 상부 슬라이더(828)의 상부 업다운 가이드면에 의해서 상부 슬라이더(828)가 상승한다.
상기 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)가 다른 쪽 방향으로 회전함에 따라 하부 슬라이더(827)가 후진한다. 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 한쪽 측면에서 볼 때에 하부 슬라이더(827)가 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 전방에서 후방 쪽으로 전진한다. 그러면, 하부 슬라이더(827)의 하부 업다운 가이드면과 상부 슬라이더(828)의 상부 업다운 가이드면에 의해서 상부 슬라이더(828)가 하강한다.
상기 상부 슬라이더(828)의 상면에는 단열재(835)가 구비된다. 상기 단열재(835) 위에 진공 히팅 플레이트(822)가 구비된다. 진공 히팅 플레이트(822)의 하부와 상부 슬라이더(828)의 상면 사이에 단열재(835)가 개재된다. 즉, 상기 진공 히팅 플레이트(822)의 하부에는 상부 슬라이더(828)가 구비되고, 상기 상부 슬라이더(828)의 저면은 상부 업다운 경사면(828SF)으로 구성되고, 상기 상부 슬라이더(828)의 아래에는 하부 슬라이더(827)가 구비되고, 상기 하부 슬라이더(827)의 상면은 상기 상부 업다운 경사면(828SF)과 면접촉되는 하부 업다운 경사면(827SF)으로 구성되며, 상기 하부 슬라이더(827)는 업다운 작동수단에 의해 전후진하고, 상기 하부 슬라이더(827)가 전후진 작동함에 따라 상부 슬라이더(828)와 진공 히팅 플레이트(822)를 승강시키게 된다. 물론 단열재(835)고 상부 슬라이더(828)와 진공 히팅 플레이트(822)와 함께 승강된다.
상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112) 위에 구비된 본딩 베이스 서포트 블록(826), 상부 슬라이더(828), 하부 슬라이더(827), 단열재(835), 진공 히팅 플레이트(822)가 진공 히팅 테이블을 구성한다. 본 발명에서는 진공 히팅 테이블을 본딩 베이스부(820)라 칭한다.
상기 본딩 베이스부(820)는 진공 히팅 플레이트(822)와 진공척(824)을 포함한다. 본딩 베이스부(820)는 본딩 베이스 서포트 블록(826)을 더 포함한다.
상기 진공 히팅 플레이트(822)는 상기 상부 슬라이더(828) 위에 있는 단열재(835)의 상면에 결합되어 있어서, 상기 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 지나가는 PI Film(2)의 아래에서 진공 히팅 플레이트(822)가 승강될 수 있다. 상기와 같이 하부 슬라이더(827)가 전진하여 상부 슬라이더(828)를 위로 밀어올리면 진공 히팅 플레이트(822)가 상승하고, 하부 슬라이더(827)가 후진하여 상부 슬라이더(828)가 아래로 내려오면 진공 히팅 플레이트(822)가 하강한다. 진공 히팅 플레이트(822)의 내부에는 히터가 내장된다.
상기 진공척(824)은 진공 히팅 플레이트(822)의 내부에 확보된 진공 형성홀(824VH)과, 상기 진공 형성홀(824VH)에 연결되어 진공 히팅 플레이트(822)의 상면으로 연통된 복수개의 흡착홀(824SH)을 포함한다.
상기 진공 형성홀(824VH)은 진공 히팅 플레이트(822)의 내부에 진공을 형성하기 위한 통로를 형성한다. 상기 진공 형성홀(824VH)에는 미도시된 진공장치가 배큐엄 니플과 연결관과 같은 연결수단을 매개로 연결된다.
상기 복수개의 흡착홀(824SH)들은 진공 형성홀(824VH)과 연통된다. 복수개의 흡착홀(824SH)들이 진공 히팅 플레이트(822)에 격자 배열 형태로 분포된다. 복수개의 흡착홀(824SH)들이 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 균일한 간격으로 격자 형태로 배열된 구조가 된다. 상기 진공 형성홀(824VH)에 진공장치의 작동에 의해 진공이 형성되면 상기 복수개의 흡착홀(824SH)들에서는 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 얹혀진 PI Film(2)을 진공압으로 흡착하여 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 고정하게 된다. 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 균일한 격자형으로 배열된 복수개의 흡착홀(824SH)들에 의해서 PI Film(2)을 균일한 진공압으로 흡착하여 진공 흡착 플레이트의 상면에 안정적으로 밀착되도록 고정하는 것이다.
상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에는 본딩 베이스 지지패널(837)이 장착된다. 상기 메인 베이스(112)의 아래에 본딩 베이스 지지패널(837)이 장착된다. 본딩 베이스 지지패널(837)은 브라켓과 볼트 등의 체결구와 같은 고정수단으로 메인 베이스(112)의 아래에 장착될 수 있다.
상기 본딩 베이스부(820)는 엘엠 가이드에 의해 본딩 베이스 지지패널(837)에 이동 가능하게 결합된다.
상기 본딩 베이스 지지패널(837)의 상면에는 가이드 레일(837GR)이 구비된다. 상기 가이드 레일은 메인 프레임(110)의 X축 방향(즉, PI Film(2)이 지나가는 X축 방향)과 나란한 방향으로 배치된다. 적어도 두 개의 가이드 레일이 이동 가이드 패널(714)의 상면에 나란하게 배치된다.
상기 가이드 레일에는 블록(837RB)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 각각의 가이드 레일에 블록이 슬라이드 가능하게 결합된다.
상기 블록(837RB)이 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 하부에 연결된다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 하단부에는 테이블 장착 베이스(826TMB)가 구비되고, 상기 테이블 장착 베이스(837TMB)의 저면에 상기 블록(837RB)이 연결된다. 결국, 상기 블록(837RB)이 본딩 베이스부(820)의 구성인 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 하부에 연결된 구조가 된다. 이때, 상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에는 X축 방향을 따라 길게 연장된 블록 이동 가이드홀이 구비되어, 상기 블록이 메인 베이스(112)의 블록 이동 가이드홀에 의해 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826) 하단부의 테이블 장착 베이스에 볼트와 같은 고정수단으로 연결될 수 있다. 상기 메인 베이스(112)에 블록 이동 가이드홀은 블록의 갯수에 대응되는 갯수로 형성된다. 두 개의 가이드 레일에 두 개의 블록이 결합된 경우, 상기 메인 베이스(112)의 블록 이동 가이드홀은 두 개가 구비된다.
결국, 상기 가이드 레일과 블록이 엘엠 가이드로서, 상기 본딩 베이스부(820)가 엘엠 가이드에 의해 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112) 아래에 있는 본딩 베이스 지지패널(837)에 결합되어, 상기 본딩 베이스부(820)가 메인 프레임(110)의 PI Film(2)이 지나가는 X축 방향으로 이동될 수 있도록 구성된다.
상기 본딩 베이스 지지패널(837)의 상면에는 볼트 등의 체결구과 브라켓으로 지지된 본딩 베이스 이동 볼나사(839)가 장착된다. 본딩 베이스 이동 볼나사(839)는 상기 엘엠 가이드의 가이드 레일과 나란한 방향으로 배치된다. 즉, 본딩 베이스 이동 볼나사(839)가 메인 프레임(110)의 PI Film(2)이 지나가는 X축 방향과 나란한 방향으로 배치된다.
상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)에는 본딩 베이스 이동 볼너트(841)가 구비된다. 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)의 하단부에 결합된 테이블 장착 베이스에 본딩 베이스 이동 볼너트(841)가 결합되므로, 상기 본딩 베이스 서포트 블록(826)에는 본딩 베이스 이동 볼너트(841)가 구비된 구조가 된다.
상기 본딩 베이스 이동 볼너트(841)가 본딩 베이스 이동 볼나사(839)에 결합되어, 상기 본딩 베이스 이동 볼나사(839)의 회전에 따라 본딩 베이스 이동 볼너트(841)와 본딩 베이스부(820)가 메인 프레임(110)의 X축 방향으로 이동될 수 있게 된다.
이때, 상기 메인 베이스(112)의 저면 또는 상기 본딩 베이스 지지패널(837)에는 본딩 베이스 이동 서보모터(843)가 장착되고, 상기 본딩 베이스 이동 서보모터(843)의 모터축은 본딩 베이스 이동 볼나사(839)에 연결되어, 상기 본딩 베이스 이동 서보모터(843)의 모터축이 회전함에 따라 본딩 베이스 이동 볼나사(839)가 회전하고, 본딩 베이스 이동 볼너트(841)와 본딩 베이스부(820)가 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동될 수 있다. 상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에는 X축 방향으로 이동 가이드홀이 구비되어, 상기 본딩 베이스 이동 볼너트(841)와 상기 블록이 메인 베이스(112)에 걸리지 않고 상기 이동 가이드홀을 따라 X축 방향으로 상기 블록과 본딩 베이스 이동 볼너트(841)이 이동할 수 있고, 상기 블록과 본딩 베이스 이동 볼너트(841)가 하부에 연결된 본딩 베이스부(820)가 메인 프레임(110)에서 X축 방향을 따라 이동될 수 있다. 즉, 상기 본딩 베이스 이동 서보모터(843)의 모터축의 회전 운동이 본딩 베이스 이동 볼나사(839)와 본딩 베이스 이동 볼너트(841)에 의해 직선 운동으로 전환되어 상기 본딩 베이스부(820)가 메인 프레임(110)의 X축 방향으로 이동되도록 구성된다.
본 발명은 레이저 헤드(812)와 본딩 베이스부(820) 사이로 지나가는 PI Film(2)(유연 디스플레이 필름)에 소자(3)를 본딩되도록 가압하는 레이저 본딩 가압부(850)를 포함한다. 상기 레이저 본딩 가압부(850)는 슬라이더 바디(852), 승강 슬라이더(854), 쿼츠(855), 가압 서보모터(856), 가압 캠플랜지(857), 가압 힌지 브라켓(858), 가압 레버(859)를 포함한다.
상기 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에 결합된 기대(724)에는 수직 방향으로 Z축 엘엠 가이드(732)가 구비되고, 상기 Z축 엘엠 가이드(732)를 매개로 Z축 승강패널(734)이 상기 기대(724)에 승강 가능하게 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에는 레이저 헤드(812)가 장착되어 있는데, 상기 슬라이더 바디(852)는 레이저 헤드(812)의 아래에 배치되도록 Z축 승강패널(734)에 장착된다. 상기 메인 베이스(112)에 결합된 기대(724)에 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 슬라이더 바디(852)는 Z축 승강패널(734)에 장착되므로, 상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 슬라이더 바디(852)가 장착된 상태에서 상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치된다. 상기 슬라이더 바디(852)는 내부에 승강 슬라이더(854)가 승강가능하게 결합되기 위한 승강 가이드 공간부를 구비하며, 상기 승강 가이드 공간부는 슬라이더 바디(852)의 상단부와 하단부로 연통되도록 구성된다. 상기 슬라이더 바디(852)는 내부에 사각형 승강 가이드 공간부를 구비하고 상하단부는 개방된 사각 박스 형상으로 구성된다.
상기 슬라이더 바디(852)에는 승강 슬라이더(854)가 상하로 승강 가능하게 결합된다. 상기 승강 슬라이더(854)는 내부에 레이저 조사 공간부를 구비한다. 승강 슬라이더(854)는 상하단부로 연통된 중공형 바디 형상으로 구성되어, 승강 슬라이더(854)의 내부에 상기 레이저 조사 공간부가 형성된다. 승강 슬라이더(854)의 상단부와 하단부는 개방된다. 상기 레이저 헤드(812)의 하부에 구비된 렌즈를 통해서 조사되는 레이저가 승강 슬라이더(854)의 상단부에서 하단부를 거쳐서 PI Film(2)까지 도달하도록 개방된 중공형 바디 형상으로 구성된다. 즉, 승강 슬라이더(854) 내부의 레이저 조사 공간부는 승강 슬라이더(854)의 상단부와 하단부로 연통되도록 구성된다. 상기 승강 슬라이더(854)는 내부에 사각형 레이저 조사 공간부를 구비하고 상하단부는 개방된 사각 박스 형상으로 구성된다. 상기 슬라이더 바디(852)와 승강 슬라이더(854)는 레이저 헤드(812)의 하부와 본딩 베이스부(820)를 지나가는 PI Film(2)의 상부 사이에 배치된다. 상기 승강 슬라이더(854)는 단면 사각형 중공형 바디 또는 단면 원형의 중공형 바디 형상으로 구성될 수 있다. 승강 슬라이더(854)는 단면 사각형이나 단면 원형의 중공형 바디 형상 이외에 다양한 중공형 바디 형상으로 구성될 수 있다.
상기 승강 슬라이더(854)에는 본딩 가압 플레이트(854BP)가 구비된다. 승강 슬라이더(854)의 상단부에 본딩 가압 플레이트(854BP)가 구비된다. 이때, 본딩 가압 플레이트(854BP)에는 승강 슬라이더(854) 내부의 레이저 조사 공간부와 연결된 레이저 통과홀이 구비된다. 상기 승강 슬라이더(854)의 레이저 조사 공간부는 승강 슬라이더(854)의 상단부와 하단부로 관통된 개방홀이고 상기 레이저 통과홀은 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에서부터 레이저 조사 공간부로 관통된 개방홀이다.
상기 본딩 가압 플레이트(854BP)는 슬라이더 바디(852)의 상단부에 마주하는 위치에 배치된다. 상기 슬라이더 바디(852)의 상단부와 본딩 가압 플레이트(854BP)의 저면 사이에는 상승 복귀용 플런저(852SP)가 배치된다. 상승 복귀용 플런저(852SP)는 플런저 하우징의 내부에 플런저핀이 슬라이드 가능하게 결합되고, 플런저핀은 플런저 하우징에 내장된 스프링에 의해 탄지되어 상기 플런저 하우징의 상단부에서 플런저핀의 일부가 돌출된 구조이다. 상기 플런저핀을 누르게 되면 플런저 하우징 내부의 스프링이 압축되어 탄성 복원력을 보유하고, 상기 플런저핀을 누르는 힘이 해제되면 압축되었던 스프링이 원래의 상태로 펴지면서 플런지핀을 탄성적으로 밀어서 플런지핀이 눌려져 있던 상태에서 플런저 하우징의 상단부에서 탄성적으로 돌출된다.
상기 상승 복귀용 플런저(852SP)는 슬라이더 바디(852)의 중심부를 기준으로 양쪽 대칭되는 위치에 배치된다. 슬라이더 바디(852)의 내부에 상승 복귀용 플런저(852SP)가 내장되고, 플런저 바디의 상단부에서 돌출되어 있는 플런지핀의 일부가 슬라이더 바디(852)의 상단부에서 돌출되어 있다. 본 발명에서 슬라이더 바디(852)는 사각 박스 형상으로 구성되는데, 두 개의 상승 복귀용 플런저(852SP)가 슬라이더 바디(852)의 중심부를 기준으로 양쪽 대칭되는 위치에 배치된다. 상기 메인 프레임(110)에 장착된 슬라이더 바디(852)의 정면에서 볼 때에 좌우 양쪽에 각각 하나씩 상승 복귀용 플런저(852SP)가 배치된다. 상기 상승 복귀용 플런저(852SP)는 상기 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)의 아래에 배치된다. 상승 복귀용 플런저(852SP)에서 플런저 바디의 상단부에서 일부가 돌출되어 있는 플런저핀은 본딩 가압 플레이트(854BP)의 저면에 접촉되어 있다.
상기 승강 슬라이더(854)와 슬라이더 바디(852) 사이에는 간극 조절 플레이트(853)가 개재된다. 상기 승강 슬라이더(854)의 상승 하강 동작시 유격을 간극 조절 플레이트(853)가 최소화함으로써 슬라이더 바디(852)에서 승강 슬라이더(854)가 위치 틀어짐이 없이 정밀하게 승강될 수 있게 된다.
상기 승강 슬라이더(854)의 하부에는 쿼츠 홀더(854HD)가 고정되고, 상기 쿼츠 홀더(854HD)에는 쿼츠(855)가 결합되어, 상기 승강 슬라이더(854)의 하부에 쿼츠(855)가 배치된다. 이때, 쿼츠(855)는 블록 형상으로 구성되어, 승강 슬라이더(854) 내부의 레이저 조사 공간부와 위아래에서 만나는 위치에 배치된다. 쿼츠(855)는 메인 프레임(110)의 기대(724)에 장착된 레이저 헤드(812)의 렌즈(레이저 광학계 렌즈)와도 위아래에서 만나는 위치에 배치된다. 상기 레이저 헤드(812)에 생성된 레이저가 렌즈를 통과하여 아래로 조사되면, 상기 쿼츠(855)를 통과한 레이저가 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 지나가는 PI Film(2) 쪽에 조사된다. 이때, 상기 쿼츠(855)는 육면체 블록 형상으로 구성되고, 쿼츠(855)의 저면은 PI Film(2)(유연 디스플레이 필름(2))과 마주하고, 상기 쿼츠(855)의 저면은 수평면으로 구성된다. 쿼츠(855)의 저면이 수평면으로서 PI Film(2)을 쿼츠(855)의 저면 전체면이 균일한 힘으로 가압할 수 있도록 구성된다. 쿼츠(855)의 저면 전체면이 균일한 수평면이므로, 쿼츠(855)의 저면 전체면이 PI Film(2)을 위에서 균일한 힘으로 누를 수 있게 되는 것이다.
한편, 상기 상기 상승 복귀용 플런저(852SP)는 상기 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)의 아래에 배치되는데, 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)를 위에서 누르는 힘이 없을 때에는 상승 복귀용 플런저(852SP)의 플런저핀에 의해 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 위로 올라가 있게 된다. 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)를 위에서 누르는 힘이 작용하지 않을 때에는 상승 복귀용 플런저(852SP)의 플런저핀이 스프링의 탄성력으로 밀어올리는 힘에 의해서 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 위로 올라가 있게 되는 것이다. 본 발명에서는 승강 슬라이더(854)의 중심부를 기준으로 양쪽 대칭되는 위치에 상승 복귀용 플런저(852SP)들이 배치되어 있어서, 상승 복귀용 플런저(852SP)들의 플런저핀들이 탄성적으로 밀어올리는 힘에 의해 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 어느 한쪽으로 치우치지 않고 수직 방향으로 정밀하게 올라가도록 구성된다. 한편, 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)를 위에서 누르는 힘이 작용하는 경우에는 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 하강하면서 본딩 가압 플레이트(854BP)가 아래로 내리 누르는 힘에 의해 상승 복귀용 플런저(852SP)의 플런저핀이 아래로 눌려지고 동시에 플런저 하우징에 내장된 스프링은 압축되어 탄성 복원력을 보유하게 된다. 상기 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)가 내리 누르는 힘에 의해서 상승 복귀용 플런저(852SP)의 플런저핀이 플런저 하우징의 내부 쪽으로 들어가도록 눌려지는 것이다. 본 발명에서는 승강 슬라이더(854)의 중심부를 기준으로 양쪽 대칭되는 위치에 상승 복귀용 플런저(852SP)들이 배치되어 있어서, 상승 복귀용 플런저(852SP)들의 플런저핀들이 눌려질 때에도 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 어느 한쪽으로 치우치지 않고 수직 방향으로 정밀하게 하강할 수 있도록 구성된다.
상기 Z축 승강패널(734)의 전면에는 레이저 헤드(812)의 한쪽 옆으로 벗어난 위치에 복수개의 브라켓 서포터(856BS)가 구비된다. 브라켓 서포터(856BS)는 바아 형상이다. 복수개의 브라켓 서포터(856BS)가 Z축 승강패널(734)의 전면에서 돌출되어 있다. 상기 Z축 승강패널(734)을 전면을 앞에서 볼 때에 복수개의 브라켓 서포터(856BS)가 레이저 헤드(812)와 승강 슬라이더(854)의 우측 옆으로 벗어난 위치에 배치된다.
상기 브라켓 서포터(856BS)에는 가압 서보모터 브라켓(856BRK)이 결합된다. 브라켓 서포터(856BS)에 볼트와 같은 체결구에 의해 가압 서보모터 브라켓(856BRK)이 결합될 수 있다.
상기 가압 서보모터 브라켓(856BRK)에는 가압 서보모터(856)가 장착된다. 본 발명에서 가압 서보모터(856)는 소자 가압 서보모터라 할 수 있으며, 소자(3)라 함은 주로 반도체 소자(3)를 의미한다. 가압 서보모터(856)의 모터축은 메인 프레임(110)의 이송 경로로 지나가는 PI Film(2)과 직교하는 방향으로 배치된다. 상기 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)에 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에 브라켓 서포터(856BS)에 지지된 가압 서보모터 브라켓(856BRK)이 장착되고, 상기 가압 서보모터 브라켓(856BRK)에 상기 가압 서보모터(856)가 장착되는데, 상기 Z축 승강패널(734)이 메인 프레임(110)의 기대(724)를 구성하므로, 상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 가압 서보모터(856)가 장착된 구조가 된다.
상기 가압 서보모터(856)의 모터축에는 가압 캠플랜지(857)가 결합된다. 가압 캠플랜지(857)는 판형상으로 구성된다. 가압 캠플랜지(857)의 중심부가 가압 서보모터(856)의 모터축에 동축적으로 결합된다. 가압 서보모터(856)의 모터축이 회전함에 따라 가압 캠플랜지(857)가 회전하게 된다.
상기 메인 프레임(110)에는 기대(724)가 구비되고, 상기 기대(724)에는 Z축 승강패널(734)이 수직 방향(Z축 방향)으로 승강 가능하게 결합되는데, 상기 Z축 승강패널(734)의 전면에는 가압 힌지 브라켓(858)이 장착된다. 상기 가압 힌지 브라켓(858)은 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)와 인접한 위치 및 본딩 가압 플레이트(854BP)의 위쪽 위치에 배치된다. 상기 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)에 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에 가압 힌지 브라켓(858)이 장착되는데, 상기 Z축 승강패널(734)이 메인 프레임(110)의 기대(724)를 구성하므로, 상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 가압 힌지 브라켓(858)이 장착된 구조가 된다.
상기 가압 힌지 브라켓(858)에 힌지부를 매개로 가압 레버(859)가 결합된다. 가압 레버(859)의 앞쪽과 뒤쪽 사이의 영역이 힌지부를 매개로 가압 힌지 브라켓(858)에 결합된다. 가압 레버(859)가 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 시소처럼 위아래로 회동될 수 있다. 상기 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)에 Z축 승강패널(734)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에 가압 힌지 브라켓(858)이 장착되고, 상기 가압 힌지 브라켓(858)에 힌지부를 매개로 가압 레버(859)가 장착되는데, 상기 Z축 승강패널(734)이 기대(724)의 구성 부분이므로, 상기 가압 레버(859)가 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)에 힌지부를 매개로 장착된 구조가 된다.
상기 가압 레버(859)에는 길이 방향으로 장홀(859LH)이 형성된다. 가압 레버(859)의 기단부와 인접한 위치에 장홀(859LH)이 형성된다. 상기 장홀(859LH)은 가압 레버(859)의 기단부와 선단부 사이의 경로를 따라 길게 연장된 홀형상으로 구성된다.
상기 가압 레버(859)에는 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에 접촉된 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)이 더 구비된다. 본 발명에서 가압 레버(859)의 선단부측에는 한 쌍의 나란한 캠팔로워 장착 레버편(859LEP)이 구비된다. 캠팔로워 장착 레버편(859LEP)은 가압 레버(859)의 위에서 볼 때에 가압 레버(859)의 길이 방향 중심선에서 전방과 후방 쪽으로 각각 하나씩 배치된다. 상기 한 쌍의 캠팔로워 장착 레버편(859LEP)에 상기 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)이 구비된다.
따라서, 가압 레버(859)에 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에 접촉된 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)이 구비된 구조를 취한다. 한 쌍의 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)이 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에 전방과 후방 위치에서 접촉된다. 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)의 외주면이 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에 접촉된다.
상기 한 쌍의 캠팔로워 장착 레버편(859LEP) 사이에는 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)에 형성된 레이저 통과홀과 직하방으로 만나는 가압 레버측 레이저 통과홀이 확보된다. 한 쌍의 캠팔로워 장착 레버편(859LEP)은 본딩 가압 플레이트(854BP)의 레이저 통과홀을 벗어난 위치에 배치되면서 한 쌍의 캠팔로워 장착 레버편(859LEP) 사이에 가압 레버측 레이저 통과홀이 확보된다.
상기 레이저 헤드(812)에서 발생한 레이저가 렌즈를 통과하여 가압 레버측 레이저 통과홀과 본딩 가압 플레이트(854BP)의 레이저 통과홀과 승강 슬라이더(854)의 레이저 통과홀을 통과하여 PI Film(2) 쪽으로 조사된다.
상기 가압 캠플랜지(857)에는 가압 작동 연결핀(857PCP)이 구비된다. 가압 캠플랜지(857)의 중심부에서 한쪽으로 편심된 위치에 가압 작동 연결핀(857PCP)이 구비된다.
상기 가압 레버(859)에 형성된 장홀(859LH)에 상기 가압 캠플랜지(857)에 구비된 가압 작동 연결핀(857PCP)이 결합된다. 이때, 가압 작동 연결핀(857PCP)에는 롤링부재(857ROL)가 구비되고, 상기 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)의 장홀(859LH)에 삽입된 상태에서 롤링부재(857ROL)의 외주면이 가압 레버(859)의 상기 장홀(859LH)에 접촉(장홀(859LH)의 내부 상면과 하면에 접촉)된 상태에서 롤링될 수 있도록 구성된다.
정리하면, 본 발명에서 레이저 본딩 가압부(850)는, 메인 프레임(110)의 기대(724)에 장착된 가압 서보모터(856)와, 상기 가압 서보모터(856)의 모터축에 연결된 가압 캠플랜지(857)와, 상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 장착되며 길이 방향으로 장홀(859LH)이 형성된 가압 힌지 브라켓(858)과, 상기 가압 힌지 브라켓(858)에 힌지부를 매개로 결합된 가압 레버(859)와, 상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 장착되어 가압 레버(859)의 하부에 배치된 슬라이더 바디(852)와, 상기 슬라이더 바디(852)에 승강 가능하게 장착된 승강 슬라이더(854)와, 상기 승강 슬라이더(854)에 장착된 쿼츠(855)를 포함하여 구성된다.
한편, 상기 슬라이더 바디(852)에는 가압량 확인용 로드셀(852LOC)이 더 구비된다. 가압량 확인용 로드셀(852LOC)은 슬라이더 바디(852)의 상단부에 구비된다. 슬라이더 바디(852)의 상단부와 본딩 가압 플레이트(854BP)의 저면 사이에 가압량 확인용 로드셀(852LOC)이 배치된다.
상기 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)가 내려와있지 않고 가압 레버(859)에 구비된 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)의 외주면이 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에 접촉되어 있는 상태에서는 가압 캠플랜지(857)에 구비된 가압 작동 연결핀(857PCP)과 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)에 구비된 장홀(612XLH)의 내부 선단부와 기단부 사이의 영역에 배치되어 있다.
상기 가압 서보모터(856)의 모터축을 한쪽 방향으로 회전시켜서 가압 캠팔로워를 한쪽 방향으로 회전시키면, 상기 가압 작동 연결핀(857PCP)에 구비된 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)의 장홀(612XLH)을 따라 가압 레버(859)의 기단부 쪽으로 이동하고 동시에 가압 작동 연결핀(857PCP)과 롤링부재(857ROL)가 상승하면서 상기 가압 레버(859)의 기단부 쪽을 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 위로 들어올려지도록 하고 가압 레버(859)의 선단부 쪽은 아래로 내려가도록 회동시킨다.
그러면, 상기 가압 레버(859)의 선단부에 구비된 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)은 아래의 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에서 롤링되고 동시에 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)를 내리 눌러서 상기 쿼츠(855)가 PI Film(2)에 탑재된 소자(3)(주로, 반도체 소자)를 일정 압력으로 가압하고, 상기 레이저 헤드(812)에서부터 쿼츠(855)의 저면으로 조사된 레이저에 의해서 소자(3)가 본딩 페이스트와 같은 접합제에 의해서 PI Film(2)에 본딩되도록 할 수 있다.
상기 반도체 소자 가압 서보모터(856)에 의해 반도체 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전되고, 가압 레버(859)가 가압 힌지 브라켓(858)에 의해서 회전운동이 가압 레버(859)를 통해 상하 직진운동으로 변환되어 쿼츠(855)가 하강하게 되어 상기 진공 히팅 플레이트(822)에 접촉되어 가압하게 된다. 진공 히팅 플레이트(822) 위에 받쳐진 PI Film(2) 위의 소자(3)(예를 들어, 반도체 소자)를 하강한 쿼츠(855)가 가압하여 본딩 페이스트와 같은 접합제에 의해 PI Film(2) 위에 본딩시키게 되는 것이다.
이때, 상기 쿼츠(855)의 저면에는 실리콘 블록이 구비될 수 있으며, 이러한 경우에는 실리콘 블록이 소자(3)에 접촉되어 PI Film(2) 위에 소자(3)를 본딩시키게 된다.
또한, 상기 슬라이더 바디(852)에 구비된 가압량 확인용 로드셀(852LOC)은 PI Film(2) 위의 소자(3)(반도체 소자(3))를 하강한 쿼츠(855)가 가압하여 본딩 페이스트에 의해 PI Film(2) 위에 본딩시에 소자(3)에 대한 적절한 가압량을 확인하여 소자(3)가 무리한 힘으로 눌리는 것을 방지한다. 상기 본딩 가압 서보보터의 모터축의 회전에 의해서 결과적으로 쿼츠(855) 부분이 소자(3)를 가압하여 PI Fim 위에 본딩되도록 하는데, 가압 확인 로드셀(852LOC)에 의해서 쿼츠(855)가 소자(3)를 가압하여 본딩시키기 위한 가압량을 확인함으로써 상기 본딩 가압 서보모터(856)의 모터축의 회전량을 제어되도록 하고, 상기 본딩 가압 서보모터(856)의 모터축의 회전량이 제어되도록 함으로써 쿼츠(855) 부분이 소자(3)를 PI Film(2)에 가압하는 힘을 적절하게 조절되도록 할 수 있다.
이때, 상기 메인 프레임(110)에는 소재가 탑재된 유연 디스플레이 필름(2)(PI Film: Polyimid Film)의 위치를 촬영하는 카메라(851)가 더 구비된다. 카메라(851)는 브라켓과 같은 고정수단에 의해 PI Film(2)의 위쪽에 배치되도록 메인 프레임(110)에 지지되어 장착될 수 있다. 상기 카메라(851)에 의해 PI Film(2)의 위치와 소자(3)의 위치를 촬영하여 레이저 헤드(812)와 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)의 X축 위치와 Y축 위치와 Z축 위치가 PI Film(2) 위치에 맞춰서 조절될 수 있도록 한다.
한편, 상기 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)가 내려와서 쿼츠(855) 부분이 PI Flim 위에 소자(3)를 누르고 있는 상태에서는 상승 복귀용 플런저(852SP)들의 플런저핀들은 승강 슬라이더(854)에 구비된 본딩 가압 플레이트(854BP)에 의해 눌려지고 상승 복귀용 플런저(852SP)들 내부의 스프링은 압축된 상태로 된다.
상기 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)가 내려가 있는 상태에서 상기 가압 서보모터(856)의 모터축을 다른 쪽 방향으로 회전시켜서 가압 캠팔로워를 다른 쪽 방향으로 회전시키면, 상기 가압 작동 연결핀(857PCP)에 구비된 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)의 장홀(612XLH)을 따라 가압 레버(859)의 기단부에서 선단부 쪽으로 이동하고 동시에 가압 작동 연결편과 롤링부재(857ROL)가 하승하면서 상기 가압 레버(859)의 기단부 쪽을 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 아래로 내리고 가압 레버(859)의 선단부 쪽은 들어올려지도록 회동시킨다.
그러면, 상기 가압 레버(859)의 선단부에 구비된 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)은 아래의 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에서 롤링되고 동시에 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)를 내리 누르는 힘이 해제되며, 이때에 상기 상승 복귀용 플런저(852SP)들의 눌려져 있는 플런저핀들이 스프링이 펼쳐지는 탄성력에 의해서 탄성적으로 올라오면서 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)를 PI Film(2) 위로 상승시키게 된다. 상기 쿼츠(855)가 위로 올라감에 따라 쿼츠(855)가 PI Film(2)에 탑재된 소자(3)를 일정 압력으로 가압하는 상태가 해제되는 것이다.
본 발명에 의한 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템은 레이저 본더 디바이스 가압 시스템이라 할 수 있으며, 언와인더 유닛(210)에서 유연 디스플레이 필름(2) 공급(PI Film(2) 공급), PI Film(2)에 소자(3) 레이저 본딩, 리와인더 유닛(310)에서 PI Film(2) 리와인딩 작업을 진행한다.
본 발명에서는 PI Film(2) 피딩, 레이저 헤드(812) 조사 정위치로 이동(X,Y,Z축), 진공 히팅 플레이트(822) 상승, 레이저 헤드(812) 조사, 레이저 본딩 시스템 하강 압착에 의해서 PI Film(2)에 소자(3)(주로 반도체 소자)를 레이저 본딩 작업하게 된다.
본 발명에서 PI Film(2)은 언와인더 유닛(210)의 언와인더 롤러(214)에 일정량 권취되어 있고, 언와인더 모터(212)의 모터축이 회전함에 따라 언와인더 롤러(214)에서 PI Film(2)이 풀려나와서 공급되도록 구성된다.
상기 언와인더 롤러(214)에서 풀려져 나오는 PI Film(2)은 리와인더 유닛(310)에서 리와인더 모터(312)의 모터축 회전에 의해 리와인더 롤러(314)가 회전함에 따라 리와인더 롤러(314)에 리와인딩(권취)되도록 구성된다.
상기 언와인더 롤러(214)와 리와인더 롤러(314)는 한 피치씩 회전함으로써 PI Film(2)이 메인 프레임(110)에 구비된 승강 슬라이더(854)의 쿼츠(855) 아래에서 일정한 피치씩 이동되도록 구성된다. 즉, 본 발명에서는 언와인더 모터(212)의 모터축과 리와인더 모터(312)의 모터축의 한 피치씩 회전, 스탑을 반복하여 PI Film(2)이 한 피치씩 이동, 스탑을 반복하여 PI Film(2)에 소자(3)의 레이저 본딩이 이루어지고, 소자(3)가 본딩된 PI Film(2)이 리와인더 롤러(314)에 리와인딩되도록 구성된다.
이때, 언와인더 롤러(214)에서부터 풀려져서 공급되는 PI Film(2)은 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 배치된 상기 복수개의 롤러들을 경유한 다음에 리와인더 롤러(314)에 리와인딩(권취)된다. 본 발명에서는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 복수개의 언와인더 버퍼롤러(216), 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 하부 언와인더 가이드롤러(418), 복수개의 상부 리와인더 가이드롤러(518)와 하부 리와인더 가이드롤러(518), 피딩롤러(511RO) 및 리와인더 중간롤러(318)가 배치되어 있으므로, 상기 언와인더 롤러(214)에서부터 풀려져서 공급되는 PI Film(2)이 복수개의 언와인더 버퍼롤러(216), 복수개의 상부 언와인더 가이드롤러(418)와 하부 언와인더 가이드롤러(418), 복수개의 상부 리와인더 가이드롤러(518)와 하부 리와인더 가이드롤러(518), 피딩롤러(511RO) 및 리와인더 중간롤러(318)를 경유한 다음에 리와인더 롤러(314)에 권취되도록 구성된다. 상기 언와인더 롤러(214)와 상기 롤러들과 리와인더 롤러(314)에 의해 PI Film(2)이 상기 쿼츠(855)의 아래에서 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 지나간다.
소자(3)가 탑재된 PI Film(2)이 한 피치씩 이동하여 스탑된 상태에서 승강 작동 서보모터(832)에 의해 진공 히팅 플레이트(822)가 상승한다. 승강 작동 서보모터(832)에 의해 승강 작동 볼나사(833)(테이블 승강 슬라이더 볼나사)가 회전하면 테이블 승강 슬라이더(854)가 상승 또는 하강하게 된다. 상기한 바와 같이, 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)가 한쪽 방향으로 회전함에 따라 하부 슬라이더(827)가 전진하여 상기 상부 슬라이더(828)를 상승시키고, 승강 작동 서보모터(832)의 모터축과 승강 작동 볼나사(833)가 다른 쪽 방향으로 회전함에 따라 하부 슬라이더(827)가 후진하여 상기 상부 슬라이더(828)를 하강시킨다. 상기 하부 슬라이더(827)가 전진하여 상기 상부 슬라이더(828)를 상승시키면, 상부 슬라이더(828)가 저면에 연결된 진공 히팅 플레이트(822)가 상승한다. 진공 히팅 플레이트(822)가 상승하면 PI Film(2)의 저면에 진공 히팅 플레이트(822)의 상면이 접촉된다.
소자 가압 서보모터(856)에 의해 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전되고, 가압 레버(859)가 가압 힌지 브라켓(858)에 의해 회전운동이 가압 레버(859)를 통해 상하 직진운동으로 변환되어 승강 슬라이더(854)와 함께 쿼츠(855)가 하강하게 되어 진공 히팅 플레이트(822)에 접촉되어 가압된다. 상기 쿼츠(855)의 아래에 소자(3)(반도체 소자(3))가 탑재된 PI Film(2)이 있으므로, 상기 쿼츠(855)가 소자(3)와 PI Film(2)을 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 가압되도록 한다. 상기한 바와 같이, 가압 서보모터(856)의 모터축을 한쪽 방향으로 회전시켜서 가압 캠팔로워를 한쪽 방향으로 회전시키면, 상기 가압 작동 연결핀(857PCP)에 구비된 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)의 장홀(612XLH)을 따라 가압 레버(859)의 기단부 쪽으로 이동하고 동시에 가압 작동 연결편과 롤링부재(857ROL)가 상승하면서 상기 가압 레버(859)의 기단부 쪽을 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 위로 들어올려지고 가압 레버(859)의 선단부 쪽은 아래로 내려가도록 회동시켜줌으로써 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)를 내리 눌러서 상기 쿼츠(855)가 PI Film(2)에 탑재된 소자(3)를 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 일정 압력으로 가압하게 된다.
상기와 같이, 승강 작동 서보모터(832)에 의해 승강 작동 볼나사((833)(테이블 업다운 슬라이더 볼나사)가 회전하면서 승강 작동 볼너트(834)에 의해 하부 슬라이더(827)의 전후진에 따라 상부 슬라이더(828)(테이블 업다운 슬라이더)가 상승 또는 하강하는데, 상기 상부 슬라이더(828)의 상승에 의해서 진공 히팅 플레이트(822)의 상면이 소자(3)가 탑재된 PI Film(2)의 저면에 접촉된 상태에서 배큐엄 니플과 진공 형성홀(824VH)을 통해서 진공이 형성되며, 흡착홀(824SH)을 통해서 PI Film(2)을 진공압으로 흡착한다. 상기 배큐엄 니플은 미도시된 진공발생장치에 호스 등의 연결관을 매개로 연결되고, 배큐엄 니플은 진공 히팅 플레이트(822)의 내부에 구비진 진공 형성홀(824VH)에 연결되어, 진공발생장치에서 발생한 진공에 의해 진공 히팅 플레이트(822)의 내부 진공 형성홀(824VH)에 진공압이 형성되고, 진공압은 진공 형성홀(824VH)로부터 진공 히팅 플레이트(822)의 상면으로 연통된 흡착홀(824SH)을 통해서 작용하여 상기 PI Film(2)이 진공압에 의해서 진공 히팅 플레이트(822)의 상면에 안정적으로 흡착 고정된다.
소자 가압 서보모터(856) 및 소자(3) 가압 감속기에 의해 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전운동을 하게 되고, 소자(3) 가압 캠플랜지(857)에 연결된 가압 레버(859)는 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 지렛대 운동 원리에 의해 승강 슬라이더(854)를 밑으로 눌러서 하강시킨다.
상기 승강 슬라이더(854)에는 쿼츠 홀더(854HD) 및 쿼츠(855)가 연결되어 있어서, 상기 승강 슬라이더(854)가 하강하면, PI Film(2)과 소자(3)(반도체 소자)를 가압하게 된다.
한편, 상기 PI Film(2)은 밑에 있는 진공 히팅 플레이트(822)가 받치고 있으면서 진공압으로 고정된 상태로 유지된다.
상기 레이저 헤드(812)에서 렌즈(레이저 광학 렌즈)를 통해 레이저를 조사하여 소자(3)(반도체 소자(3))를 본딩 페이스트와 같은 본딩재에 의해 PI Film(2) 위에 본딩되도록 한다. 이때, 가열용 히터와 온도측청용 센서에 의해 진공 히팅 플레이트(822)가 적정 온도(약 100℃)로 유지되도록 한다. 진공 히팅 플레이트(822)에 가열용 히터와 온도 측정용 센서가 구비되어, 온도 측정용 센서가 감지하는 온도에 따라 제어부 등에서 가열용 히터가 진공 히팅 플레이트(822)를 가열하는 온도가 상기 적정 온도(약 100℃)로 유지되도록 함으로써, 소자(3)가 PI Film(2)에 불량 등의 발생이 없이 안정적으로 본딩되도록 한다.
한편, 상기 쿼츠(855)의 저면에는 실리콘 블록이 구비될 수 있다. 실리콘 블록은 판형상으로서 접착제와 같은 접합수단에 의해 쿼츠(855)의 저면에 부착될 수 있다. 실리콘 블록은 레이저 헤드(812)에서 조사되어 쿼츠(855)를 통과한 레이저가 PI Film(2) 쪽으로 조사될 수 있도록 레이저 투광성 재질로 구성된다. 예를 들어, 실리콘 블록은 레이저가 통과할 수 있는 투명판 또는 반투명판 형상으로 구성될 수 있다. 실리콘 블록이 레이저가 통과할 수 있는 재질로 구성되어, 실리콘 블록을 통과한 레이저가 PI Film(2) 쪽으로 조사될 수 있도록 한다. 상기 쿼츠(855)가 하강할 때에 실리콘 블록이 소자(3)에 접촉되어 PI Film(2)에 소자(3) 가압 본딩 작업을 수행한다.
상기한 구성의 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템은 유연디스플레이 장치를 생산하기 위하여 PI Film(2)(유연 디스플레이 필름)과 소자(3)(주로 반도체 소자(3))간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 가능하며, 본딩 단계에서 본딩을 위한 전용 설비로서 기능을 충실히 수행하며 비교적 적은 비용으로 본딩 전용 설비 개발이 가능하다. 또한, 공정 수율 및 효율성이 저하되는 경우 등을 방지하기 위한 본딩 작업의 정밀도가 더욱 확실하게 달성할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 소자 가압 서보모터(856)에 의해 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전운동을 하게 되고, 소자(3) 가압 캠플랜지(857)에 연결된 가압 레버(859)는 지렛대 운동 원리에 의해 승강 슬라이더(854)를 밑으로 눌러서 하강시키며, 상기 승강 슬라이더(854)에는 쿼츠(855)가 연결되어 있어서, 상기 승강 슬라이더(854)가 하강하면, PI Film(2)과 소자(3)(예를 들어, 반도체 소자)를 적절하게 균일한 힘으로 가압하여 소자(3)를 PI Film(2)에 레이저 본딩이 되도록 하므로, 쿼츠(855)가 PI Film(2) 위에 있는 복수개의 소자(3)들을 정밀하게 PI Film(2)에 본딩되도록 할 수 있다. 예를 들어, 쿼츠(855)가 가압할 수 있는 영역에 네 개의 소자(3)가 들어와 있다면, 상기 쿼츠(855)가 네 개의 소자(3)를 가압하여 PI Film(2)에 본딩되도록 하는데, 쿼츠(855)가 네 개의 소자(3)들을 균일한 힘으로 눌러서 PI Film(2)에 본딩되도록 하기 때문에, PI Film(2)에 소자(3)를 정밀하게 본딩할 수 있도록 한다.
또한, 상기 가압 레버(859)가 시소처럼 지렛대 운동 원리에 의해 승강 슬라이더(854)를 밑으로 눌러서 하강시키는 도중에는 승강 슬라이더(854) 위에 있는 본딩 가압 플레이트(854BP)의 상면에서 가압 캠팔로워 베어링(859CAB)이 롤링되므로, 가압 레버(859)가 승강 슬라이더(854)를 밑으로 눌어주는 프레싱 본딩 작동이 보다 원활하게 이루어질 수 있도록 한다.
또한, 본 발명에서는 X축 이동 서보모터(726)의 모터축과 X축 이동 볼나사(728)가 정역회전하면, X축 이동 볼너트(729)에 연결된 기대(724)가 X축 엘엠 가이드(722)의 X축 이동 가이드 레일(722A)을 따라서 전후진하면서 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)가 PI Film(2)의 이송 방향과 나란한 X축 방향을 따라 이동하고, Y축 이동 서보모터(716)의 모터축과 Y축 이동 볼나사(718)가 정역회전하면, Y축 이동 볼너트(719)에 연결된 기대(724)가 Y축 엘엠 가이드(712)의 Y축 이동 가이드 레일(712A)을 따라서 전후진하면서 메인 프레임(110)에 구비된 기대(724)가 PI Film(2)의 이송 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 이동하고, 상기 기대(724)에 승강 가능하게 장착된 Z축 승강패널(734)은 Z축 이동 서보모터(736)의 모터축과 Z축 이동 볼나사(738)가 정역회전하면, 상기 Z축 승강패널(734)이 수직 방향인 Z축 방향을 따라 승강되며, 상기 Z축 승강패널(734)에는 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)가 장작되어 있으므로, 상기 기대(724)가 메인 프레임(110)의 X축 방향과 Y축 방향으로 이동할 때에는 쿼츠(855)도 X축 방향과 Y축 방향으로 이동하고 상기 Z축 승강패널(734)이 승강할 때에는 쿼츠(855)도 Z축 방향을 따라 승강될 수 있다.
따라서, PI Film(2) 위에 있는 소자(3)를 가압하는 쿼츠(855)가 메인 프레임(110)에서 X축 방향이나 Y축 방향이나 Z축 방향으로 위치 조정이 되므로, PI Film(2)의 위치와 소자(3)의 위치에 따라서 정밀하게 쿼츠(855)가 이동하여 소자(3)를 PI Film(2)의 정위치에 정밀하게 가압하여 본딩되도록 할 수 있다. 소자(3)와 PI Film(2)의 위치에 대응하여 정밀하게 소자(3)를 가압 본딩되도록 함으로써 소자(3)의 본딩 정밀도를 높일 수 있으며, 나아가 유연 디스플레이의 고품질을 보장할 수 있다.
또한, 본딩 베이스부(820)에서 진공 히팅 플레이트(822)에 진공 형성홀(824VH)과 복수개의 흡착홀(824SH)이 구비되어, 상기 진공 히팅 플레이트(822)에 올려져 있는 PI Film(2)을 진공 형성홀(824VH)과 흡착홀(824SH)을 통해서 진공압으로 안정적으로 고정한 상태에서 소자(3)가 PI Film(2) 위에 레이저 본딩되도록 할 수 있으므로, 본딩 작업중에 PI Film(2)과 소자(3)가 유동됨으로 인한 소자(3) 본딩 정밀도가 저하되는 경우를 방지하고, 소자(3)의 본딩(접합) 불량이 발생되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 PI Film(2)을 언와인더 유닛(210)의 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 옆쪽에서 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면과 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 아래쪽에서 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하는데, 언와인더 서포트 패널(212SUP)에는 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)이 승강 가능하게 구비되고, 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 언와인더 서포트 패널(212SUP)에는 상부 언와인더 버퍼롤러(216)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)에는 언와인더 서포트 패널(212SUP)에 장착된 실린더(416)의 실린더 로드가 연결되는데, 상기 언와인더 롤러(214)에서 풀려나오는 PI Film(2)이 상기 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 옆쪽에서 상부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유하여 지나가고 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 아래쪽에서 하부 언와인더 버퍼롤러(216)의 외주면을 경유하여 지나간다.
따라서, 상기 언와인더 유닛(210)의 언와인더 서포트 패널(212SUP)에 장착된 실린더(516)(416)의 실린더 로드를 하강되도록 전진시키면 상기 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널(212BSP)과 함께 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 하강하여 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주게 되므로, PI Film(2)의 장력이 커지고, 상기 언와인더 유닛(210)측의 실린더(516)(416)의 실린더 로드를 상승하도록 후진시키면 상기 하부 언와인더 버퍼롤러(216)가 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주는 힘을 줄이게 게 되므로, PI Film(2)의 장력이 작아진다. 이러한 방식으로 PI Film(2)의 장력을 언와인더 유닛(210)측에서 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 PI Film(2)을 언와인더 가이드 롤러부(410)의 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 옆쪽에서 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면과 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 아래쪽에서 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하는데, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 언와인더측 텐션 조절패널(414)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 언와인더측 텐션 조절패널(414)에는 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에는 상부 언와인더 가이드롤러(418)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 언와인더측 텐션 조절패널(414)에는 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에 장착된 실린더(416)의 실린더 로드가 연결되는데, 상기 언와인더 롤러(214)에서 풀려나오는 PI Film(2)이 상기 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 옆쪽에서 상부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유하여 지나가고 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 아래쪽에서 하부 언와인더 가이드롤러(418)의 외주면을 경유하여 지나간다.
따라서, 상기 언와인더 가이드 롤러부(410)의 언와인더 가이드롤러 지지패널(412)에 장착된 실린더(416)의 실린더 로드를 하강되도록 전진시키면 상기 언와인더측 텐션 조절패널(414)과 함께 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 하강하여 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주게 되므로, PI Film(2)의 장력이 커지고, 상기 언와인더 가이드 롤러부(410)측의 실린더(416)의 실린더 로드를 상승하도록 후진시키면 상기 하부 언와인더 가이드롤러(418)가 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주는 힘을 줄이게 게 되므로, PI Film(2)의 장력이 작아진다. 이러한 방식으로 PI Film(2)의 장력을 언와인더 가이드 롤러부(410)에서 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 PI Film(2)을 리와인더 가이드 롤러부(510)의 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 옆쪽에서 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면과 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 아래쪽에서 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유시켜 지나가도록 하는데, 상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 리와인더측 텐션 조절패널(514)이 승강 가능하게 결합되고, 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)에는 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에는 상부 리와인더 가이드롤러(518)가 회전 가능하게 장착되고, 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)에는 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에 장착된 실린더(516)의 실린더 로드가 연결되는데, 상기 리와인더 롤러(314)에서 풀려나오는 PI Film(2)이 상기 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 옆쪽에서 상부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유하여 지나가고 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 아래쪽에서 하부 리와인더 가이드롤러(518)의 외주면을 경유하여 지나간다.
따라서, 상기 리와인더 가이드 롤러부(510)의 리와인더 가이드 롤러 지지패널(512)에 장착된 실린더(516)의 실린더 로드를 하강되도록 전진시키면 상기 리와인더측 텐션 조절패널(514)과 함께 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 하강하여 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주게 되므로, PI Film(2)의 장력이 커지고, 상기 리와인더 가이드 롤러부(510)측의 실린더(516)의 실린더 로드를 상승하도록 후진시키면 상기 하부 리와인더 가이드롤러(518)가 PI Film(2)을 아래쪽으로 당겨주는 힘을 줄이게 게 되므로, PI Film(2)의 장력이 작아진다. 이러한 방식으로 PI Film(2)의 장력을 리와인더 가이드 롤러부(510)에서 조절할 수 있다.
이처럼 언와이인더 유닛과 언와인더 가이드 롤러부(410)와 리와인더 가이드 롤러부(510) 쪽에서 PI Film(2)이 피딩되는 장력을 적절하게 조절함으로써 PI Film(2)과 소자(3)의 레이저 본딩 작업이 정확하고 정밀하게 이루어지도록 할 수 있으며, 소자(3)의 본딩 작업의 정밀도 향상으로 PI Film(2)의 고품질을 더 확실하게 보장할 수 있으며, 나아가 PI Film(2)을 이용하는 유연 디스플레이의 고품질을 보장할 수 있다. PI Film(2)이 메인 프레임(110)의 이송 라인을 따라 피딩되는 동안 언와이인더 유닛과 언와인더 가이드 롤러부(410)와 리와인더 가이드 롤러부(510) 쪽에서와 같이 여러 군데에서 PI Film(2)의 텐션을 조정함으로써 PI Film(2)의 장력 조절 정밀도를 더 높이게 된다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
2. 유연 디스플레이 필름, PI Film 3. 소자
110. 메인 프레임 112. 메인 베이스
114. 아이솔레이터 210. 언와인더 유닛
212. 언와인더 모터 212BP. 언와인더 베이스 패널
212PS. 언와인더 포스트 212SJP. 언와인더 서포트 패널
212BUP. 언와인더 버퍼롤러 서포트 패널 212MGR. 승강 가이드 레일
212MBL. 승강블록 214. 언와인더 롤러
216. 언와인더 버퍼롤러 218. 실린더
310. 리와인더 유닛 312. 리와인더 모터
312BP. 리와인더 베이스 패널 312PS. 리와인더 포스트
312SUP. 리와인더 서포트 패널 314. 리와인더 롤러
316. 리와인더 버퍼롤러 317. 리와인더 중간 모터
318. 리와인더 중간 롤러 410. 언와인더 가이드 롤러부
412. 언와인더 가이드 롤러 지지패널 412MGR. 승강 가이드 레일
414. 언와인더측 텐션 조절패널 416. 실린더
418. 언와인더 가이드 롤러 510. 리와인더 가이드 롤러부
512. 리와인더 가이드 롤러 지지패널 512MGR. 승강 가이드 레일
514. 리와인더측 텐션 조절패널 516. 실린더
815. 리와인더 가이드 롤러 710. Y축 이동부
712A. Y축 이동 가이드 레일 712B. Y축 이동 가이드 블록
714. 이동 가이드 패널 716. Y축 이동 서보모터
718. Y축 이동 볼나사 719. Y축 이동 볼너트
720. X축 이동부 722. X축 엘엠 가이드
722A. X축 이동 가이드 레일 722B. Y축 이동 가이드 블록
724. 기대 726. X축 이동 서보모터
728. X축 이동 볼나사 729. X축 이동 볼너트
730. Z축 이동부 732. Z축 엘엠 가이드
732A. Z축 이동 가이드 레일 732B. Z축 이동 가이드 블록
734. Z축 승강패널 736. Z축 이동 서보모터
738. Z축 이동 볼나사 739. Z축 이동 볼너트
812. 레이저 헤드 820. 본딩 베이스부
822. 진공 히팅 플레이트 824. 진공척
824VH. 진공 형성홀 824SH. 흡착홀
826. 본딩 베이스 서포트 블록 827. 하부 슬라이더
827SF. 하부 업다운 경사면 828. 상부 슬라이더
828SF. 상부 업다운 경사면 832. 승강 작동 서보모터
833. 승강 작동 볼나사 834. 승강 작동 볼너트
835. 단열재 837. 본딩 베이스 지지패널
839. 본딩 베이스 이동 볼나사 841. 본딩 베이스 이동 볼너트
843. 본딩 베이스 이동 서보모터 850. 레이저 본딩 가압부
851. 카메라 852. 슬라이더 바디
852LOC. 로드셀 852SP. 상승 복귀용 플런저
853. 간극 조절 플레이트 854. 승강 슬라이더
854BP. 본딩 가압 플레이트 854HD. 퀴츠홀더
855. 쿼츠 856. 가압 서보모터
856BS. 브라켓 서포터 856BRK. 가압 서보모터 브라켓
857. 가압 캠플랜지 858. 가압 힌지 브라켓
859. 가압 레버 859CAB. 가압 캠팔로워 베어링
859LH. 장홀

Claims (15)

  1. 유연 디스플레이 필름(2)을 이송시키는 언와인더 유닛(210) 및 리와인더 유닛(310);
    상기 언와인더 유닛(210)과 상기 리와인더 유닛(310) 사이에 배치된 레이저 헤드(812);
    상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치되어 상기 언와인더 유닛(210)과 상기 리와인더 유닛(310)에 의해 이송 경로상으로 지나가는 유연 디스플레이 필름(2)을 받쳐서 지지하는 본딩 베이스부(820);
    상기 레이저 헤드(812)와 상기 본딩 베이스부(820) 사이로 지나가는 상기 유연 디스플레이 필름(2) 위에 소자(3)를 본딩되도록 가압하는 레이저 본딩 가압부(850);를 포함하여 구성되고,
    상기 레이저 헤드(812)는 메인 프레임(110)의 유연 디스플레이 필름(2) 이송 경로 상에서 포지션 조정 어셈블리에 의해서 위치 조정이 가능하도록 구성되고,
    상기 포지션 조정 어셈블리는 상기 메인 프레임(110)에서 X축 이동부(720)와 Y축 이동부(710)와 Z축 이동부(730)를 포함하여 구성되고,
    상기 X축 이동부(720)는, 상기 메인 프레임(110)에 구비된 X축 이동 서보모터(726)와 X축 이동 볼나사(728) 및 X축 이동 볼너트(729)를 포함하고,
    상기 Y축 이동부(710)는, 상기 메인 프레임(110)에 구비된 Y축 이동 서보모터(716)와 Y축 이동 볼나사(718) 및 Y축 이동 볼너트(719)를 포함하며,
    상기 Z축 이동부(730)는, 상기 메인 프레임(110)에 구비된 Z축 이동 서보모터(736)와 Z축 이동 볼나사(738) 및 Z축 이동 볼너트(739)를 포함하며,
    상기 메인 프레임(110)에는 유연 디스플레이 필름(2)의 이송 경로와 직교하는 방향으로 Y축 엘엠 가이드(712)가 구비되고, 상기 Y축 엘엠 가이드(712)에는 이동 가이드 패널(714)이 결합되고, 상기 이동 가이드 패널(714)에는 상기 유연 디스플레이 필름(2)의 이송 방향과 나란한 방향으로 X축 엘엠 가이드(722)가 구비되고, 상기 X축 엘엠 가이드(722)에는 기대(724)가 결합되고, 상기 기대(724)에는 수직 방향으로 Z축 엘엠 가이드(732)가 구비되고, 상기 Z축 엘엠 가이드(732)에는 Z축 승강패널(734)이 결합되고, 상기 메인 프레임(110)에는 상기 Y축 엘엠 가이드(712)와 나란한 방향으로 Y축 볼나사가 배치되고, 상기 Y축 볼나사에는 Y축 서보모터의 모터축이 연결되고, 상기 Y축 볼나사에는 상기 이동 가이드 패널(714)에 장착된 Y축 볼너트가 결합되고, 상기 이동 가이드 패널(714)의 상면에는 상기 X축 엘엠 가이드(722)와 나란한 방향으로 X축 볼나사가 배치되고, 상기 X축 볼나사에는 상기 이동 가이드 패널(714)에 장착된 X축 볼너트가 결합되고, 상기 기대(724)에는 상기 Z축 엘엠 가이드(732)와 나란한 수직 방향으로 Z축 볼나사가 장착되고, 상기 Z축 볼나사에는 Z축 서보모터의 모터축이 연결되고, 상기 Z축 볼나사에는 상기 Z축 승강패널(734)에 장착된 Z축 볼너트가 결합된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본딩 베이스부(820)는 진공 히팅 플레이트(822)와 진공척(824)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진공척(824)은,
    상기 진공 히팅 플레이트(822)의 내부에 확보된 진공 형성홀(824VH);
    상기 진공 형성홀(824VH)에 연결되어 상기 진공 히팅 플레이트(822)의 상면으로 연통된 복수개의 흡착홀(824SH);을 포함하여 구성되고,
    상기 진공 히팅 플레이트(822)은 내부에 히터가 내장되도록 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 본딩 가압부(850)는,
    상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치된 슬라이더 바디(852);
    상기 슬라이더 바디(852)에 승강 가능하게 장착된 중공형의 승강 슬라이더(854);
    상기 승강 슬라이더(854)에 장착된 쿼츠(855);
    상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에 장착된 가압 서보모터(856);
    상기 가압 서보모터(856)의 모터축에 연결된 가압 캠플랜지(857);
    상기 메인 프레임(110)의 상기 기대(724)에 장착된 가압 힌지 브라켓(858);
    상기 가압 힌지 브라켓(858)에 힌지부를 매개로 결합되고 상기 가압 캠플랜지(857)에 연결되어 상기 슬라이더 바디(852) 위에 배치된 가압 레버(859);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 승강 슬라이더(854)에 구비된 쿼츠 홀더(854HD)에 상기 쿼츠(855)가 결합된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 쿼츠(855)의 저면이 유연 디스플레이 필름(2)과 마주하고, 상기 쿼츠(855)의 저면은 수평면으로 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 쿼츠(855)의 저면에는 실리콘 블록이 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 승강 슬라이더(854)와 상기 슬라이더 바디(852) 사이에 개재된 간극 조절 플레이트(853);를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 슬라이더 바디(852)에는 가압량 확인용 로드셀(852LOC)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 메인 프레임(110)에는 소재가 탑재된 유연 디스플레이 필름(2)의 위치를 촬영하는 카메라(851)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 메인 프레임(110)에는 언와인더 가이드 롤러부(410)와 리와인더 가이드 롤러부(510)가 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자용 열공정 시스템.
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Citations (10)

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