KR20230068767A - 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 구성은 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠(855)의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서, 상기 메인 프레임(110)에 장착되어 크린 테이프(7)가 권취되어 있는 언와인딩 스풀(872); 상기 언와잉딩 스풀에서 상기 크린 테이프(7)가 풀려나오도록 하면서 상기 쿼츠(855)의 아래로 상기 크린 테이프(7)가 지나가도록 권취하는 리와인딩롤러(874); 상기 리와인딩롤러(874)를 회전 작동시켜서 상기 크린 테이프(7)가 상기 리와인딩롤러(874)에 감겨지도록 하는 테이프 리와인더 서보모터(878);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플렉시블 필름에 소자를 본딩하기 위해 쿼츠로 눌러서 반복적인 본딩 작업을 수행하더라도 쿼츠의 오염이 방지되어 플렉시블 필름과 소자 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 경우를 미연에 방지할 수 있는 새로운 구성의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 엘씨디(LCD)나 엘이디(LED)와 같은 평판 디스플레이들은 점차 경박단소화되어 감에따라 이에 대응하여 글래스의 패턴부에 반도체 소자나 회로기판과 같은 소자들이 직접 본딩되어 제작되는 경우가 많으며, 이러한 본딩작업은 로딩부와 본딩부가 각각 구비된 소자본딩장치에 의해 이루어진다.
상기 소자본딩장치에 글래스와 반도체 소자 등을 본딩하려면 로딩부에 글래스와 반도체 소자를 각각 로딩시켜 셋팅한 후 본딩부에서 본딩헤드로 가압하면서 본딩을 행하게 된다.
그러나, 이러한 종류의 평판 디스플레이 장치가 갖는 문제점은 유리 기판으로 인해 기판이 매우 단단하고 무거울 뿐만 아니라 휨 응력(Bending stress)에 대한 매우 낮은 허용오차를 갖는다는 점이다. 상기 디스플레이 장치가 휨모멘트(Bending moments)를 받으면 기판 사이의 셀갭의 변화로 인해 디스플레이 이미지의 손실이 초래되는데 이것은 액정층의 두께변화가 발생되기 때문이다.
또한, 유비쿼터스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.
따라서, 유연성, 경량화 및 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치의 배선 및 소자를 플라스틱 기판 상에 형성하는 유연디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있다. 유연디스플레이 장치는 롤러(Roll) 투 롤러(Roll) 방식으로 제조되는 경우가 많다. 이러한 유연디스플레이의 제조 공정에서는 플렉시블 필름과 반도체 소자나 플렉시블 인쇄회로기판과 같은 소자 간의 본딩 작업이 수행된다. 이때, 본딩 테이블 위에서 승강하는 승강 프레임에는 쿼츠가 장착되어, 상기 승강 프레임과 쿼츠가 하강하여 본딩 테이블 위에 있는 플렉시블 필름 위에 소자(주로, 반도체 소자)를 가압하여 본딩을 하게 된다.
그런데, 기존에는 쿼츠(855)에 의해 소자를 눌러서 플렉시블 필름에 부착시키는 본딩 작업을 반복하다 보면, 쿼츠(855)에 가스나 본딩 페이스트 잔류물과 같은 이물질이 묻는 것과 같이 오염되기 때문에, 반복적인 본딩 작업을 수행할 경우 오염된 쿼츠(855)에 의해 플렉시블 필름과 소자 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기게 된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 개발된 것으로, 본 발명의 목적은 플렉시블 필름에 소자를 본딩하기 위해 쿼츠로 눌러서 반복적인 본딩 작업을 수행하더라도 쿼츠의 오염이 방지되어 플렉시블 필름과 소자 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 경우를 미연에 방지할 수 있는 새로운 구성의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 메인 프레임의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서, 상기 메인 프레임에 장착되어 크린 테이프가 권취되어 있는 언와인딩 스풀; 상기 언와잉딩 스풀에서 상기 크린 테이프가 풀려나오도록 하면서 상기 쿼츠의 아래로 상기 크린 테이프가 지나가도록 권취하는 리와인딩롤러; 상기 리와인딩롤러를 회전 작동시켜서 상기 크린 테이프가 상기 리와인딩롤러에 감겨지도록 하는 테이프 리와인더 서보모터;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템이 제공된다.
상기 메인 프레임의 기대에는 상기 플렉시블 필름의 위쪽에서 승강되는 Z축 승강패널이 결합되고, 상기 Z축 승강패널에 상기 언와인딩 스풀과 상기 리와인딩롤러 및 상기 테이프 리와인더 서보모터가 장착되된 것을 특징으로 한다.
상기 쿼츠의 양쪽에 배치되도록 상기 Z축 승강패널에 장착된 피딩 가이드롤러;를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 Z축 승강패널에 상기 테이프 리와인더 서보모터가 장착되고, 상기 테이프 리와인더 서보모터의 모터축이 상기 리와인딩롤러에 결합된 것을 특징으로 한다.
상기 Z축 승강패널에는 테이프 이동 가이드가 구비되고, 상기 쿼츠의 양쪽 측면과 한 쌍의 피딩 가이드롤러 사이에 상기 테이프 이동 가이드가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 승강 슬라이더가 승강 가능하게 장착되고, 상기 승강 슬라이더에 구비된 쿼츠 홀더에 상기 쿼츠가 결합되어, 상기 메인 프레임의 이송 경로를 따라 이송되는 상기 플렉시블 필름 위쪽 위치에 상기 쿼츠가 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 쿼츠의 저면이 플렉시블 필름과 마주하고, 상기 쿼츠의 저면은 수평면으로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 메인 프레임의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서, 상기 쿼츠의 저면에 구비된 실리콘 블록;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템이 제공된다.
본 발명의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템에서는 쿼츠에 의해 PI Film 위의 소자를 가압하여 본딩하는 작업을 할 때에 크린 테이프(주로, 테프론 테이프)가 소자(3)에 접촉되고 쿼츠(855)를 밑에서 가려주기 때문에 쿼츠(855)가 가스나 본딩 페이스트 잔류물과 같은 이물질이 묻는 것과 같이 오염되는 것을 방지하므로, 반복적인 본딩 작업을 수행하더라도 오염된 쿼츠(855)에 의해 PI Film(2)과 소자(3) 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 것을 미연에 방지하게 된다.
한편, 상기한 효과는 본 발명의 주요 효과에 해당하며, 본 발명은 상기한 효과 이외에 다른 여러 가지 유용한 효과가 있으며, 본 발명은 상기한 효과에 의해서만 특징이 한정되는 것은 아니라는 점을 이해해야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템을 채용한 유연디스플레이 열공정 시스템의 정면도
도 2는 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템과 메인 프레임의 일부를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명에 의한 크린 쿼츠 시스템의 사시도
도 4는 도 3에 도시된 레이저 헤드와 본딩 가압부의 좌측면 사시도
도 5는 도 3에 도시된 레이저 헤드와 본딩 가압부의 우측면 사시도
도 6은 도 4의 저면을 보여준 사시도
도 7은 도 6에 도시된 쿼츠와 본딩 베이스 부분을 보여주는 측면도
도 8은 본 발명의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템의 사시도
도 9는 도 8의 주요부를 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 10은 도 8의 주요부인 리와인딩롤러 부분을 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 11은 도 8의 주요부인 언와인딩 스풀 부분을 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 12는 본 발명의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템에 의해 소자 본딩 작업이 이루어지는 플렉시블 필름의 일부를 보여주는 평면도
도 13은 도 12의 사시도
도 2는 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템과 메인 프레임의 일부를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명에 의한 크린 쿼츠 시스템의 사시도
도 4는 도 3에 도시된 레이저 헤드와 본딩 가압부의 좌측면 사시도
도 5는 도 3에 도시된 레이저 헤드와 본딩 가압부의 우측면 사시도
도 6은 도 4의 저면을 보여준 사시도
도 7은 도 6에 도시된 쿼츠와 본딩 베이스 부분을 보여주는 측면도
도 8은 본 발명의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템의 사시도
도 9는 도 8의 주요부를 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 10은 도 8의 주요부인 리와인딩롤러 부분을 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 11은 도 8의 주요부인 언와인딩 스풀 부분을 확대하여 절개한 상태를 보여주는 사시도
도 12는 본 발명의 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템에 의해 소자 본딩 작업이 이루어지는 플렉시블 필름의 일부를 보여주는 평면도
도 13은 도 12의 사시도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 도면에서 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 사용한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
유연디스플레이 열공정 시스템은 언와인더 유닛(210)에서 플렉시블 필름(2)(PI Film이라고도 함)을 레이저 헤드(812) 아래와 본딩 테이블 상면 사이에 공급하고, 상기 본딩 테이블에서는 플렉시블 필름(2)을 밑에서 받쳐주고 레이저 헤드(812)에서는 레이저를 조사한 상태에서 플렉시블 필름 위에 소자(주로 반도체 소자)를 쿼츠(855)에 이해 가압하여 본딩하고, 소자(3)가 본딩된 플렉시블 필름(2)은 리와인더 유닛(310)에 의해서 리와인딩하게 되는데, 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템은 쿼츠(855)가 소자를 눌러줄 때에 크린 테이프(7)(주로 크린 테이프(7))가 쿼츠(855)의 아래에서 소자에 접촉된 상태에서 쿼츠(855)로 소자를 눌러서 플레시블 필름(주로 PI Film)에 본딩되도록 할 수 있는 것이다. 즉, 본 발명은 플렉시블 필름(2)을 이송시키는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 배치되도록 메인 프레임(110)에 설치되는 것으로서, 소자(3)를 플렉시블 필름(2)에 본딩시킬 때에 크린 테이프(7)가 밑에서 쿼츠(855)의 저면에 밀착된 상태에서 소자(3)를 쿼츠(855)로 눌러줄 수 있도록 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 의한 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템은 메인 프레임(110)에 장착되며 외주면에는 크린 테이프(7)(주로, 테프론 테이프)가 권취되어 있는 언와인딩 스풀(872)과, 상기 언와잉딩 스풀에서 크린 테이프(7)가 풀려나오도록 하면서 쿼츠(855)의 아래로 크린 테이프(7)가 지나가도록 권취하는 리와인딩롤러(874)와, 상기 리와인딩롤러(874)를 회전 작동시켜서 크린 테이프(7)가 리와인딩롤러(874)에 감겨지도록 하는 테이프 리와인더 서보모터(878)를 포함한다. 본 발명은 피딩 가이드롤러(876)와 테이프 이동 가이드를 더 포함한다. 상기 언와인딩 스풀(872)과 같은 본 발명의 주요부들은 메인 프레임(110)의 기대에 직접 장착될 수도 있고, 메인 프레임(110)의 기대에 승강 가능하게 결합된 Z축 승강패널(734)에 장착될 수도 있다. 본 발명에서는 상기한 주요부들이 Z축 승강패널(734)에 장착된 실시예를 설명하기로 한다.
상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에는 Z축 승강패널(734)이 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에는 쿼츠(855)의 저면으로 크린 테이프(7)가 지나가도록 공급하는 언와인딩 스풀(872), 리와인딩롤러(874), 피딩 가이드롤러(876), 테이프 리와인더 서보모터(878)가 장착된다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 스풀 플랜지축 지지판(882)이 장착된다. 스풀 플랜지축 지지판(882)이 Z축 승강패널(734)에 볼트와 같은 체결구로 장착된다. 스풀 플랜지축 지지판(882)의 중심부에 축보스가 구비된다.
상기 스풀 플랜지축 지지판(882)의 내부와 Z축 승강패널(734) 사이에 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)가 결합된다. 상기 스풀 플랜지축(884)은 기단부에 플랜지부(884FL)가 구비되는데, 상기 스풀 플랜지축 지지판(884)의 안쪽면과 Z축 승강패널(734)의 전면 사이에 확보된 플랜지부 수용 스페이스에 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)가 내장된다. 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)는 원형판 형상으로서 상기 플랜지부 수용 스페이스에 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)가 회전 가능하게 내장된다. 상기 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)의 전면은 스풀 플랜지축 지지판(882)의 안쪽면과 마주하도록 배치된다.
상기 스풀 플랜지축 지지판(882)의 축보스의 내주면에 스풀 플랜지축(884)의 외주면 일부가 베어링을 매개로 결합된다. 상기 스풀 플랜지축(884)이 상기 스풀 플랜지축 지지판(882)에 구비된 축보스에 동축적으로 결합된다.
상기 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에는 원주 방향을 따라 복수개의 볼플런저 걸림홈(884HS)이 구비된다.
상기 스풀 플랜지축 지지판(882)에는 바깥면에서 안쪽면으로 연통된 볼플런저 결합홀이 구비된다. 볼플런저 결합홀은 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 형성된 볼플런저 걸림홈(884HS)과 마주한다.
상기 스풀 플랜지축 지지판(882)의 볼플런저 결합홀에 볼플런저(883)가 결합된다. 볼플런저(883)는 플런저 하우징의 내부에 마찰볼(883SB)이 결합되고, 상기 마찰볼(883SB)은 플런저 하우징에 내장된 스프링에 의해 탄지되어, 마찰볼(883SB)의 일부가 스프링의 탄성력에 의해 플런저 하우징의 선단부 쪽으로 돌출되어 있다. 상기 플런지 하우징의 외주면에 나사부가 구비되고, 상기 스풀 플랜지축 지지판(882)의 볼플런저 결합홀의 내주면에도 나사부가 구비되어, 상기 플런저 하우징의 나사부를 스풀 플랜지축 지지판(882)이 볼플런저 결합홀의 나사부에 결합함으로써, 상기 볼플런저(883)를 스풀 플랜지축 지지판(882)의 볼플런저 결합홀에 볼트 결합식으로 결합할 수 있다. 상기 볼플런저(883)가 스풀 플랜지축 지지판(882)에 결합되어 있는 상태에서 볼플런저(883)의 플런저 하우징 선단부로 일부가 나와있는 마찰볼(883SB)은 스프링의 힘에 의해 탄성적으로 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL) 저면에 밀착되고, 상기 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 구비된 볼플런저 걸림홈(884HS)과 마찰볼(883SB)이 만난 상태에서는 마찰볼(883SB)의 일부가 스프링의 힘에 의해 탄성적으로 상기 플랜지부(884FL)의 볼플런저 걸림홈(884HS)에 들어가서 걸려진 상태로 된다. 다시 말해, 상기 스풀 플랜지축 지지판(882)과 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL) 사이에는 복수개의 볼플런저(883)가 배치되어, 상기 볼플런저(883)의 마찰볼(883SB)이 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 구비된 볼플런저 걸림홈(884HS)에 탄지수단에 의해 탄성적으로 결합되도록 구성된다. 여기서, 탄지수단은 볼플런저(883) 내부의 스프링이다.
상기 스풀 플랜지축(884)은 언와인딩 스풀(872)의 중심부에 동축적으로 결합된다. 상기 언와인딩 스풀(872)은 중심부에 축결합홀이 구비된 원형 보빈 형상으로 구성되는데, 상기 언와인딩 스풀(872)의 중심부에 구비된 축결합홀이 스풀 플랜지축(884)에 결합됨으로써, 상기 언와인딩 스풀(872)의 중심부가 스풀 플랜지축(884)과 동축적으로 결합된 구조가 된다. 상기 언와인딩 스풀(872)과 함께 상기 스풀 플랜지축(884)과 플랜지부(884FL)가 회전된다. 상기 스풀 플랜지축(884)에 구비된 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에 스풀 플랜지축 지지판(882)에 의해 회전 가능하게 장착되고, 상기 언와인딩 스풀(872)의 중심부에 스풀 플랜지축(884)이 동축적으로 결합되어 있어서, 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전될 수 있다.
상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전될 때에 상기 마찰볼(883SB)이 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL) 전면에 접촉된 상태에서는 볼플런저(883) 내부의 스프링은 압축되어 탄성 복원력을 보유하고, 상기 마찰볼(883SB)은 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL) 전면에 스프링의 압축된 탄성력으로 인하여 탄성적으로 접촉되는데, 이러한 상태에서 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전한다.
그리고, 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전될 때에 상기 마찰볼(883SB)이 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 형성된 볼플런저 걸림홈(884HS)과 만난 상태에서는 볼플런저(883) 내부의 압축되어 있던 스프링이 펴지면서 상기 플랜지부(884FL)의 볼플런저 걸림홈(884HS)에 탄성적으로 블플런저의 마찰볼(883SB)의 일부가 들어가서 결합되며, 계속해서 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전될 때에 상기 마찰볼(883SB)이 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 형성된 볼플런저 걸림홈(884HS)에서 빠져나오며, 이처럼 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 형성된 볼플런저 걸림홈(884HS)에서 볼플런저(883)의 걸림볼이 빠져나올 때에도 마찰력이 작용함으로써, 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 일정한 마찰력이 작용한 상태에서 Z축 승강패널(734)에서 회전된다.
따라서, 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884) 및 플랜지부(884FL)가 Z축 승강패널(734)에서 회전할 때에 상기 스풀 플랜지축(884)의 플랜지부(884FL)에 형성된 복수개의 볼플런저 걸림홈(884HS)에서 볼플런저(883)의 마찰볼(883SB)이 탄성적으로 결합되는 과정을 계속 반복하여 상기 언와인딩 스풀(872)과 스풀 플랜지축(884)이 일정한 마찰력을 가지고 Z축 승강패널(734)에서 회전될 수 있다.
상기 메인 프레임(110)의 Z축 승강패널(734)에는 테이프 리와인더 서보모터(878)가 장착된다. Z축 승강패널(734)에 볼트와 같은 체결구와 브라켓 등의 고정수단에 의해서 테이프 리와인더 서보모터(878)가 장착된다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 피딩 가이드롤러(876)가 회전 가능하게 장착된다. 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876)가 Z축 승강패널(734)에 장착된다. 상기 쿼츠(855)의 양쪽에 각각 하나씩 피딩 가이드롤러(876)가 배치된다. 상기 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 쿼츠(855)의 좌우 양쪽에 각각 하나씩 피딩 가이드롤러(876)가 배치된다. 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876)가 PI Film(2)의 이송 라인을 따라 배치된 구조가 된다. 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876)가 PI Film(2)의 위쪽에 배치된다.
상기 테이프 리와인더 서보모터(878)의 모터축에는 리와인딩롤러(874)가 결합된다. 테이프 리와인더 서보모터(878)의 모터축에 리와인딩롤러(874)의 중심부가 감속기어를 매개로 결합되어, 상기 테이프 리와인더 서보모터(878)의 모터축이 회전하면 리와인딩롤러(874)가 회전할 수 있다. 리와인딩롤러(874)가 메인 프레임(110)에 구비된 Z축 승강패널(734)에서 회전할 수 있도록 구성된다.
한편, 상기 Z축 승강패널(734)에는 테이프 이동 가이드(886)가 구비된다. Z축 승강패널의 전면에서 앞으로 돌출되어 있는 슬라이더 바디(852)의 저면에 쿼츠 홀더(855HD)가 결합되고, 쿼츠 홀더(855HD)의 상하면으로 연통된 쿼츠 결합홀에 쿼츠(855)가 브라켓과 볼트와 같은 고정수단에 의해 고정되고, 상기 쿼츠 홀더(855HD)의 저면에 볼트와 같은 고정수단에 의해 테이프 이동 가이드가 고정되어 있다. 따라서, Z축 승강패널(734)에는 테이프 이동 가이드(886)가 구비된 구조를 취한다.
상기 쿼츠(855)의 양쪽 측면과 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876) 사이에 테이프 이동 가이드(886)가 구비된다. 상기 Z축 승강패널(734)을 정면에서 볼 때에 쿼츠(855)의 좌측면과 좌측의 피딩 가이드롤러(876) 사이에 테이프 이동 가이드(886)가 배치되고, 쿼츠(855)의 우측면과 우측의 피딩 가이드롤러(876) 사이에 테이프 이동 가이드(886)가 배치된다. 한 쌍의 테이프 이동 가이드(889)가 쿼츠(855)의 좌우측에 배치된다. 상기 테이프 이동 가이드(886)는 PI Film(2)과 마주하는 저면에 테이프 가이드홈이 구비되도록 구성된다. 상기 테이프 가이드홈으로 크린 테이프(7)가 수용된 상태에서 테이프 이동 가이드(886)로 크린 테이프(7)가 지나갈 수 있도록 구성된다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 크린 테이프 버퍼 유닛이 구비된다. 크린 테이프 버퍼 유닛은 테이프 버퍼패널(912), 테이프 버퍼 실린더(913), 테이프 텐션 조절롤러(914), 테이프 가이드 롤러(915)를 포함한다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 수직 방향으로 적어도 두 개의 승강 가이드 레일(912GR)이 구비되고, 상기 승강 가이드 레일(912GR)에는 테이프 버퍼패널(912)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 또한, 상기 Z축 승강패널(734)에는 테이프 버퍼 실린더(913)가 장착되고, 테이프 버퍼 실린더(913)의 실린더 로드는 수직 방향으로 배치된다. 상기 테이프 버퍼 실린더(913)의 실린더 로드는 상기 테이프 버퍼패널(912)에 연결된다. 따라서, 상기 Z축 승강패널(734)에는 테이프 버퍼 실린더(913)가 장착되고, 상기 테이프 버퍼 실린더(913)의 실린더 로드에 연결된 테이프 버퍼패널(912)은 Z축 승강패널(734)에 승강 가능하게 결합된 구조가 된다. 상기 테이프 버퍼 실린더(913)와 테이프 버퍼패널(912)은 상기 레이저 헤드(812)의 한쪽 옆에 배치된다. 상기 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 테이프 버퍼 실린더(913)와 테이프 버퍼패널(912)이 레이저 헤드(812)의 좌측에 배치된다. 상기 언와인딩 스풀(872)의 아래쪽에 테이프 버퍼 실린더(913)(에어 실린더)와 테이프 버퍼패널(912)이 배치된다.
상기 테이프 버퍼패널(912)에는 테이프 텐션 조절롤러(914)가 구비된다. 테이프 텐션 조절롤러(914)의 외주면이 수평 방향으로 배치된다. 상기 테이프 버퍼 실린더(913)의 아래에 테이프 텐션 조절롤러(914)가 배치된다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 테이프 가이드 롤러(915)가 구비된다. Z축 승강패널(734)에 복수개의 테이프 가이드 롤러(915)가 구비된다. 복수개의 테이프 가이드 롤러(915)는 상기 언와인딩 스풀(872)의 아래쪽에 배치된다. 상기 테이프 텐션 조절롤러(914)의 좌우측에 테이프 가이드 롤러(915)가 배치된다. 상기 피딩 가이드롤러(876) 위쪽에 테이프 가이드 롤러(915)가 배치된다. 이때, 상기 복수개의 테이프 가이드 롤러(915) 중에서 적어도 두 개의 테이프 가이드 롤러(915)가 테이프 텐션 조절롤러(914) 위에 배치된다. 테이프 텐션 조절롤러(914) 위에 배치된 테이프 가이드 롤러(915)는 상부 테이프 가이드 롤러(915)라 할 수 있다. 상기 상부 테이프 가이드 롤러(915)의 아래쪽에 배치된 나머지 테이프 가이드 롤러(915)는 하부 테이프 가이드 롤러(915)라 할 수 있다. 복수개의 테이프 가이드 롤러(915)들은 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 레이저 헤드(812)의 한쪽 옆에서 좌우 지그 재그 방향으로 배치된다.
상기 복수개의 테이프 가이드 롤러(915)의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나가고, 상기 테이프 텐션 조절롤러(914)의 아래쪽에서 테이프 텐션 조절롤러(914)로의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나간다.
상기 Z축 승강패널(734)에는 크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛이 더 구비된 것을 특징으로 한다. 상기 크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛은 이송 가이드롤러(917)와 테이프 측정 엔코더(918)를 포함한다.
상기 Z축 승강패널(734)에 복수개의 이송 가이드롤러(917)가 구비된다. 이송 가이드롤러(917)들의 외주면이 수평 방향으로 배치된다. 상기 테이프 리와인딩 롤러(874)의 아래에 복수개의 이송 가이드롤러(917)들이 배치된다. 상기 이송 가이드롤러(917)는 Z축 승강패널(734)에 장착된 레이저 헤드(812)의 다른 쪽 옆에 배치된다. 상기 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 이송 가이드롤러(917)들은 레이저 헤드(812)의 오른쪽에 배치된다. 상기 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 복수개의 이송 가이드롤러(917)들은 레이저 헤드(812)의 옆에서 좌우 지그 재그 방향으로 배치된다.
상기 복수개의 이송 가이드롤러(917) 중에서 어느 하나의 이송 가이드롤러(917)의 롤러축에 동축적으로 테이프 측정 엔코더(918)가 결합되도록 구성된다. 상기 테이프 측정 엔코더(918)가 결합된 이송 가이드롤러(917)는 엔코더 이송 가이드롤러(917)라 할 수 있다. 상기 엔코더 이송 가이드롤러(917)의 좌우 양쪽 위치에 배치되도록 상기 Z축 승강패널(734)에 복수개의 이송 가이드롤러(917)가 배치된다.
상기 복수개의 이송 가이드롤러(917)와 엔코더 이송 가이드롤러(917)의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나간다.
상기 Z축 승강패널(734)의 정면에서 볼 때에 레이저 헤드(812)를 기준으로 양쪽에 크린 테이프 버퍼 유닛과 크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛이 배치되고, 크린 테이프 버퍼 유닛과 크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛의 위쪽에는 각각 테이프 언와인딩 롤러(873)와 테이프 리와인딩 롤러(874)가 배치되어, 테이프 언와인딩 롤러(873)와 테이프 리와인딩 롤러(874)의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나가도록 구성된다.
상기 언와인딩 스풀(872)과 크린 테이프 버퍼 유닛과 크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛과 피딩 가이드롤러(876) 및 테이프 이동 가이드(886)를 합쳐서 크린 쿼츠 시스템이라 할 수 있다.
상기 크린 쿼츠 시스템의 프로세스를 설명하면 다음과 같다.
언와인딩 스풀(872)에서 크린 테이프(7)가 풀려나오게 되는데, 상기 스풀 플랜지축(884)과 볼플런저(883)에 의해서 크린 테이프(7)의 장력을 조절하면서 풀린다.
크린 테이프 버퍼 유닛(Teflon Tape Buffer System)에서 테이프 버퍼 실린더(913)(Air Cylinder)에 의해 크린 테이프(7)의 적당한 장력을 유지한다. 상기 테이프 버퍼 실린더(913)의 실린더 로드가 하강하면, 상기 테이프 버퍼패널(912)과 테이프 텐션 조절롤러(914)가 하강하여 크린 테이프(7)를 당겨주므로, 크린 테이프(7)의 장력을 높일 수 있고, 상기 테이프 버퍼 실린더(913)의 실린더 로드가 상승하면, 상기 테이프 버퍼패널(912)과 테이프 텐션 조절롤러(914)가 상승하여 크린 테이프(7)를 상대적으로 덜 당겨주므로, 크린 테이프(7)의 장력을 낮출 수 있으며, 이러한 방식으로 크린 테이프(7)의 적당한 장력을 유지하게 된다.
상기 쿼츠(855)는 본딩 프레싱부에 의해서 소자를 플렉시블 필름 위에 가압하여 본딩 작업이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 본딩 프레싱부는, 상기 레이저 헤드(812)의 하부에 배치된 슬라이더 바디(852)와, 상기 슬라이더 바디(852)에 승강 가능하게 장착된 중공형의 승강 슬라이더(854)와, 상기 메인 프레임(110)의 기대에 장착된 가압 서보모터(856)와, 상기 가압 서보모터(856)의 모터축에 연결된 가압 캠플랜지(857)와, 상기 메인 프레임(110)의 기대에 장착된 가압 힌지 브라켓(858)과, 상기 가압 힌지 브라켓(858)에 힌지부를 매개로 결합되고 상기 가압 캠플랜지(857)에 연결되어 슬라이더 바디(852) 위에 배치된 가압 레버(859)를 포함한다. 상기 승강 슬라이더(854)의 저면에는 쿼츠 홀더(855HD)가 구비되고, 상기 쿼츠 홀더(855HD)는 상하면으로 연통된 쿼츠 결합홀이 구비되어, 상기 쿼츠 결합홀에 쿼츠(855)가 브라켓과 같은 고정수단에 의해 고정된 구조가 된다.
상기 가압 레버(859)에는 길이 방향으로 장홀이 형성되고, 상기 장홀에 가압 캠플랜지(857)에 구비된 가압 작동 연결핀이 결합된다.
상기 가압 작동 연결핀에는 롤링부재가 구비되고, 상기 롤링부재의 외주면이 가압 레버(859)의 장홀에 접촉된 상태에서 롤링되도록 구성된다.
본 발명에서는 소자 가압 서보모터(856)에 의해 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전되고, 가압 레버(859)가 가압 힌지 브라켓(858)에 의해 회전운동이 가압 레버(859)를 통해 상하 직진운동으로 변환되어 승강 슬라이더(854)와 쿼츠 홀더(855HD)와 함께 쿼츠(855)가 하강하게 되어 본딩 테이블(822)에 접촉되어 가압된다. 상기 쿼츠(855)의 아래에 소자(3)(주로 반도체 소자)가 탑재된 PI Film(2)(플렉시블 필름)이 있으므로, 상기 쿼츠(855)가 소자(3)와 PI Film(2)을 본딩 테이블(822)의 상면에 가압되도록 한다. 상기한 바와 같이, 가압 서보모터(856)의 모터축을 한쪽 방향으로 회전시켜서 가압 캠플랜지(857)를 한쪽 방향으로 회전시키면, 상기 가압 작동 연결핀(857PCP)에 구비된 롤링부재(857ROL)가 가압 레버(859)의 장홀(612XLH)을 따라 가압 레버(859)의 기단부 쪽으로 이동하고 동시에 가압 작동 연결편과 롤링부재(857ROL)가 상승하면서 상기 가압 레버(859)의 기단부 쪽을 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 위로 들어올려지고 가압 레버(859)의 선단부 쪽은 아래로 내려가도록 회동시켜줌으로써 본딩 가압 플레이트(854BP)와 승강 슬라이더(854) 및 쿼츠(855)를 내리 눌러서 상기 쿼츠(855)가 PI Film(2)에 탑재된 소자(3)를 본딩 테이블(822)의 상면에 일정 압력으로 가압하게 된다.
상기 소자 가압 서보모터(856) 및 소자(3) 가압 감속기에 의해 소자(3) 가압 캠플랜지(857)가 회전운동을 하게 되고, 소자(3) 가압 캠플랜지(857)에 연결된 가압 레버(859)는 가압 힌지 브라켓(858)에서 힌지부를 기준으로 지렛대 운동 원리에 의해 승강 슬라이더(854)를 밑으로 눌러서 하강시킨다.
상기 승강 슬라이더(854)에는 쿼츠 홀더(855HD) 및 쿼츠(855)가 연결되어 있어서, 상기 PI Film(2)은 밑에 있는 본딩 테이블이 받치고 있는 상태에서 상기 승강 슬라이더(854)가 하강하면, PI Film(2)(기판)과 소자(3)(반도체 소자)를 가압하게 된다.
상기 레이저 헤드(812)에서 렌즈(레이저 광학 렌즈)를 통해 레이저를 조사하여 소자(3)(반도체 소자)를 본딩 페이스트와 같은 본딩재에 의해 PI Film(2) 위에 본딩되도록 한다.
한편, 상기 본딩 프레스부는 쿼츠(855)가 하강하여 소자를 플레시블 필름 위에 눌러줄 수 있는 구성은 모두 채용이 가능하다. 예를 들어, 상기 승강 슬라이더(854)를 벗어난 위치에 실린더나 모터가 배치되고, 실린더의 실린더 로드는 연결수단을 매개로 승강 슬라이더(854)에 연결되어, 상기 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)를 승강시킬 수도 있고, 모터의 모터축에도 연결수단을 매개로 승강 슬라이더(854)에 연결되어, 모터의 모터축의 회전에 따라 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)를 승강시킬 수도 있다.
본 발명은 쿼츠(855)가 직접 소자(3)에 접촉되어 소자(3)와 PI Film(2)(기판)을 가압하는 것이 아니라 크린 쿼츠 시스템에서 공급된 크린 테이프(7)가 쿼츠(855)의 아래로 공급되도록 하고, 쿼츠(855)가 하강할 때에 크린 테이프(7)가 소자(3)에 접촉된 상태에서 소자(3)와 PI Film(2)이 가압되도록 할 수 있다는 것에 주요 특징이 있다.
크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛에서 테이프 측정 엔코더에 의한 크린 테이프(7)의 필요 이송량을 측정(100mm/1회전)하여 Data 값을 테이프 리와인더 서보모터(878)측에 전송한다.
크린 테이프(7) 리와인더 유닛(310)에서 테이프 측정 엔코더에 의한 크린 테이프(7) 필요 이송량을 측정(100mm/1회전)하여 Data 값을 통신하여 테이프 리와인더 서보모터(878)가 회전한다.
그러면, 상기 크린 테이프(7)가 상기 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876)와 테이프 이동 가이드(886)에 의해 쿼츠(855)의 저면에서 한 피치씩 이동하여 쿼츠(855)가 하강할 때에 크린 테이프(7)도 같이 하강하여 크린 테이프(7)가 PI Film(2)에 탑재된 소자(3)(반도체 소자)에 접촉된 상태에서 소자(3)를 PI Film(2)에 본딩 작업을 수행할 수 있도록 한다.
상기 쿼츠(855)와 크린 테이프(7)가 함께 소자(3)를 가압하여 PI Film(2)에 소자(3)가 본딩되는 작업이 끝나면 쿼츠(855)는 상승하고 크린 테이프(7)에서 이미 소자(3)에 접촉되었던 부분은 쿼츠(855)의 저면을 벗어나도록 상기한 크린 테이프(7)의 한 피치 이동 과정을 다시 수행한다. 이처럼 크린 테이프(7)의 한 피치씩 이동, 쿼츠(855)와 크린 테이프(7)에 의한 PI Film(2)에 소자(3) 가압 본딩 작업을 반복하게 된다.
따라서, 본 발명은 플렉시블 필름에 소자를 본딩하기 위해 쿼츠(855)로 눌러서 반복적인 본딩 작업을 수행하더라도 쿼츠(855)의 오염이 방지되어 플렉시블 필름과 소자 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 경우를 미연에 방지할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 언와인딩 스풀(872)에서 크린 테이프(7)(원자재)가 풀려져서 피딩될 때에 스풀 플랜지축(884)과 볼플런저(883)에 의해 크린 테이프(7)의 장력을 조절하면서 풀리고, 크린 테이프 버퍼 유닛에서 버퍼 실린더(516)(에어 실린더)에 의해 적당한 장력을 유지한다. 버퍼 실린더(516)의 실린더 로드에 연결된 버퍼롤러의 아래쪽에서 버퍼롤러의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나가므로, 상기 버퍼 실린더(516)의 실린더 로드를 하강되도록 전진시키면 상기 버퍼롤러가 하강하여 크린 테이프(7)를 당겨주게 되므로, 크린 테이프(7)의 장력이 커지고, 상기 버퍼 실린더(516)의 실린더 로드를 상승하도록 후진시키면 상기 버퍼롤러가 크린 테이프(7)를 아래쪽으로 당겨주는 힘을 줄이게 게 되므로, 크린 테이프(7)의 장력이 작아진다. 이러한 방식으로 크린 테이프(7)의 장력을 조절할 수 있다.
크린 테이프(7) 이송거리 측정 유닛에서 테이프 측정 엔코더에 의한 크린 테이프(7)의 필요 이송량을 측정(100mm/1회전)하여 Data 값을 테이프 리와인더 서보모터(878)측에 전송한다.
크린 테이프(7) 리와인더 롤러(314)에서 테이프 측정 엔코더에 의한 필요 이송량을 측정(100mm/1회전)하여 Data 값을 통신하여 상기 테이프 리와인더 서보모터(878)의 모터축이 회전한다.
그러면, 상기 쿼츠(855)의 아래에 크린 테이프(7)가 한 피치씩 필요 이송량만큼 피딩되어 배치된다.
따라서, 크린 테이프(7)가 쿼츠(855)에 의해 PI Film(2) 위의 소자(3)를 가압하여 본딩하는 작업을 할 때에 크린 테이프(7)가 소자(3)에 접촉되고 쿼츠(855)를 밑에서 가려주기 때문에 쿼츠(855)가 가스나 본딩 페이스트 잔류물과 같은 이물질이 묻는 것과 같이 오염되는 것을 방지하므로, 반복적인 본딩 작업을 수행하더라도 오염된 쿼츠(855)에 의해 PI Film(2)과 소자(3) 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 것을 미연에 방지하게 된다. 크린 테이프(7)가 소자(3)에 접촉되어 PI Film(2)에 소자(3)를 본딩한 다음에 쿼츠(855)가 상승하고, 다음 순서의 소자(3)와 PI Film(2)이 쿼츠(855) 밑으로 이동되었을 때에 크린 테이프(7)는 한 피치씩 이동하여 소자(3)에 이미 접촉된 크린 테이프(7)를 치우고, 다음 순서의 소자(3)를 새롭게 피딩된 크린 테이프(7)가 쿼츠(855)에 의해 다음 순서의 소자(3)에 접촉된 상태로 PI Film(2)과 소자(3) 본딩 작업이 이루어지도록 하므로, 쿼츠(855)의 오염에 의해 소자(3) 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량 요소를 미연에 방지하는 것이다.
한편, 상기 쿼츠(855)의 좌우 양쪽 위치에 테이프 이동 가이드(886)들이 배치되고, 테이프 이동 가이드(886)들에 형성된 가이드홈에 크린 테이프(7)가 수용된 상태에서 피딩되므로, 크린 테이프(7)가 제위치를 벗어나지 않고 안정적으로 쿼츠(855)의 밑에 피딩될 수 있으며, 상기 테이프 이동 가이드(886)들에 의해서 크린 테이프(7)가 쿼츠(855)의 아래에서 보다 원활하게 지나가도록 피딩될 수 있게 된다.
또한, 상기 테이프 이동 가이드(886)들의 옆에는 테이프 피딩 가이드롤러(876)가 더 구비되어, 상기 테이프 피딩 가이드롤러(876)의 외주면으로 크린 테이프(7)가 경유하여 지나가면서 더욱 원활하게 크린 테이프(7)가 지나가도록 할 수 있다. 크린 테이프(7)가 지나갈 때에 테이프 피딩 가이드롤러(876)가 회전하므로, 크린 테이프(7)가 마찰 저항이 없이 더욱 원활하게 피딩되도록 할 수 있는 것이다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠(855)의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서, 상기 쿼츠(855)의 저면에 구비된 실리콘 블록을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템이 제공된다.
상기 쿼츠(855)의 저면에는 실리콘 블록이 구비될 수 있는 것이다. 실리콘 블록은 판형상으로서 접착제와 같은 접합수단에 의해 쿼츠(855)의 저면에 부착될 수 있다. 실리콘 블록은 레이저 헤드(812)에서 조사되어 쿼츠(855)를 통과한 레이저가 PI Film(2) 쪽으로 조사될 수 있도록 레이저 투광성 재질로 구성된다. 예를 들어, 실리콘 블록은 레이저가 통과할 수 있는 투명판 또는 반투명판 형상으로 구성될 수 있다. 실리콘 블록이 레이저가 통과할 수 있는 재질로 구성되어, 실리콘 블록을 통과한 레이저가 PI Film(2) 쪽으로 조사될 수 있도록 한다.
상기 실리콘 블록이 구비된 경우에는 쿼츠(855)가 하강할 때에 실리콘 블록이 소자(3)에 접촉되어 PI Film(2)에 소자(3) 가압 본딩 작업을 수행한다. 실리콘 블록은 필요한 경우에는 새것으로 교체하여 상기 쿼츠(855)가 오염(즉, 쿼츠(855)에서 소자를 눌러주는 저면이 오염)되는 것을 방지한다. 이러한 본 발명의 다른 실시예는 주기적으로 교체되는 실리콘 블록으로 인하여 쿼츠(855)의 오염을 방지함으로써 쿼츠(855)의 오염에 따른 플렉시블 필름과 소자 사이의 본딩 불량과 같은 여러 가지 불량이 생기는 경우를 미연에 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
2. 플렉시블 필름(PI Film)
3. 소자
110. 메인 프레임 210. 언와인더 유닛
310. 리와인더 유닛 724. 기대
812. 레이저 헤드 820. 본딩 베이스부
822. 본딩 테이블 854. 승강 슬라이더
854HD. 쿼츠 홀더 855. 쿼츠
856. 가압 서보모터 857. 가압 캠플랜지
858. 가압 힌지 브라켓 859. 가압 레버
872. 언와인딩 스풀 874. 리와인딩 롤러
876. 피딩 가이드롤러 878. 테이프 리와인더 서보모터
882. 스풀 플랜지축 지지판 883. 볼플런저
884. 스풀 플랜지축 884FL. 플랜지부
884HS. 볼플런저 걸림홈 886. 테이프 이동 가이드
812. 테이프 버퍼패널 913. 테이프 버퍼 실린더
914. 테이프 텐션 조절롤러 915. 테이프 가이드 롤러
917. 이동 가이드 롤러 918. 테이프 측정 엔코더
110. 메인 프레임 210. 언와인더 유닛
310. 리와인더 유닛 724. 기대
812. 레이저 헤드 820. 본딩 베이스부
822. 본딩 테이블 854. 승강 슬라이더
854HD. 쿼츠 홀더 855. 쿼츠
856. 가압 서보모터 857. 가압 캠플랜지
858. 가압 힌지 브라켓 859. 가압 레버
872. 언와인딩 스풀 874. 리와인딩 롤러
876. 피딩 가이드롤러 878. 테이프 리와인더 서보모터
882. 스풀 플랜지축 지지판 883. 볼플런저
884. 스풀 플랜지축 884FL. 플랜지부
884HS. 볼플런저 걸림홈 886. 테이프 이동 가이드
812. 테이프 버퍼패널 913. 테이프 버퍼 실린더
914. 테이프 텐션 조절롤러 915. 테이프 가이드 롤러
917. 이동 가이드 롤러 918. 테이프 측정 엔코더
Claims (8)
- 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠(855)의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서,
상기 메인 프레임(110)에 장착되어 크린 테이프(7)가 권취되어 있는 언와인딩 스풀(872);
상기 언와잉딩 스풀에서 상기 크린 테이프(7)가 풀려나오도록 하면서 상기 쿼츠(855)의 아래로 상기 크린 테이프(7)가 지나가도록 권취하는 리와인딩롤러(874);
상기 리와인딩롤러(874)를 회전 작동시켜서 상기 크린 테이프(7)가 상기 리와인딩롤러(874)에 감겨지도록 하는 테이프 리와인더 서보모터(878);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 메인 프레임(110)의 기대(724)에는 상기 플렉시블 필름의 위쪽에서 승강되는 Z축 승강패널(734)이 결합되고, 상기 Z축 승강패널(734)에 상기 언와인딩 스풀(872)과 상기 리와인딩롤러(874) 및 상기 테이프 리와인더 서보모터(878)가 장착되된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 쿼츠(855)의 양쪽에 배치되도록 상기 Z축 승강패널(734)에 장착된 피딩 가이드롤러(876);를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제2항에 있어서,
상기 Z축 승강패널(734)에 상기 테이프 리와인더 서보모터(878)가 장착되고, 상기 테이프 리와인더 서보모터의 모터축이 상기 리와인딩롤러(874)에 결합된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제2항에 있어서,
상기 Z축 승강패널(734)에는 테이프 이동 가이드(886)가 구비되고, 상기 쿼츠(855)의 양쪽 측면과 한 쌍의 피딩 가이드롤러(876) 사이에 상기 테이프 이동 가이드(886)가 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제2항에 있어서,
상기 Z축 승강패널(734)에는 승강 슬라이더(854)가 승강 가능하게 장착되고, 상기 승강 슬라이더(854)에 구비된 쿼츠 홀더(855HD)에 상기 쿼츠(855)가 결합되어, 상기 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 이송되는 상기 플렉시블 필름 위쪽 위치에 상기 쿼츠(855)가 배치된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 제6항에 있어서,
상기 쿼츠(855)의 저면이 플렉시블 필름과 마주하고, 상기 쿼츠(855)의 저면은 수평면으로 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
- 메인 프레임(110)의 이송 경로를 따라 이송되는 플레시블 필름에 소자를 본딩할 때에 상기 소자를 눌러주는 쿼츠(855)의 오염을 방지하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템으로서,
상기 쿼츠(855)의 저면에 구비된 실리콘 블록;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210154881A KR20230068767A (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210154881A KR20230068767A (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230068767A true KR20230068767A (ko) | 2023-05-18 |
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ID=86545350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210154881A KR20230068767A (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 유연디스플레이 소자 본딩용 크린 쿼츠 시스템 |
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR960035935A (ko) | 1995-03-23 | 1996-10-28 | 릭. 헬싱 | 반도체 소자의 다이 본딩 방법 |
| KR20000074174A (ko) | 1999-05-18 | 2000-12-05 | 구자홍 | 접합 구조물 및 그를 이용한 디스플레이 소자의 접합방법 |
| KR200311427Y1 (ko) | 2002-12-30 | 2003-04-30 | 한동희 | 평판디스플레이의 회로기판본딩기의 로딩장치 |
| KR101754511B1 (ko) | 2014-10-22 | 2017-07-05 | 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 | 어레이 기판 및 그 제조 방법, 유연 디스플레이 패널 및 디스플레이 디바이스 |
-
2021
- 2021-11-11 KR KR1020210154881A patent/KR20230068767A/ko active IP Right Grant
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