JP2009250856A - 赤外線検知素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】梁3を伝導する熱流とp型ポリシリコン層6及びn型ポリシリコン層7を流れる電流の中心が一致しない屈曲部3a,3b,3cにおけるp型ポリシリコン層6及びn型ポリシリコン層7の導電率がその他の部位の導電率より高いので、屈曲部3a,3b,3cにおいて熱流路長が電流路長に比べて短くなることによって信号雑音比が悪化することを抑制できる。
【選択図】図1
Description
感度R = n・a・ Rth ・η … (2)
始めに、図1(a),(b),(c)を参照して、本発明の実施形態となる赤外線検知素子の構成について説明する。
次に、図2を参照して、上記赤外線検知素子1の動作について説明する。
電気抵抗値Re=(ρn*Lthn/Sthn)+(ρp*Lthp/Sthp) …(4)
一方、梁3の熱抵抗Rthは以下の数式(5),(6)に示すように支持体5,p型ポリシリコン層6,及びn型ポリシリコン層7の合成熱抵抗で表される。数式(6)中、χthpはp型ポリシリコン層6の熱伝導率、χthnはn型ポリシリコン層7の熱伝導率、Lthsは支持体5の長さ、Sthsは支持体5の断面積、χthsは支持体5の熱伝導率を示す。梁3が直線である場合、支持体5,p型ポリシリコン層6,及びn型ポリシリコン層7の長さLths,Lthp,Lthnは等しくなるが、図1(a)に示すように梁3が屈曲している場合には、支持体5,p型ポリシリコン層6,及びn型ポリシリコン層7の長さLths,Lthp,Lthnはp型ポリシリコン層6,n型ポリシリコン層7,及び支持体5の順に短くなる。このため梁3が屈曲している場合、熱の伝送経路が短くなることによって梁3が直線である場合よりも信号電圧Sが減るが、電気抵抗は減少しないためにノイズ電圧Nは減少せず信号雑音比が低下する。
=(Lthp/Sthp/χthp)//(Lthn/Sthn/χthn)// (Lths/Sths/χths) …(6)
そこで短くなった支持体5の長さLthsに合わせてp型ポリシリコン層6及びn型ポリシリコン層7の長さLthp,Lthnを短くすれば、ノイズ電圧Nが減少して信号雑音比を改善することができる。具体的には、図1(a)に示す構成ではp型ポリシリコン層6及びn型ポリシリコン層7の長さLthp,Lthnは物理的に短くすることができないので、屈曲部3a,3b,3c表面に形成されたp型ポリシリコン層6とn型ポリシリコン層7への不純物のドーズ量を他の領域への不純物のドーズ量よりも多くすることによって、屈曲部3a,3b,3c表面に形成されたp型ポリシリコン層6とn型ポリシリコン層7の導電率ρp,ρnを高くすることにより梁3全体の電気抵抗値Reを減少させる。例えばイオン注入によって不純物をドープする場合、屈曲部3a,3b,3c表面に形成されたp型ポリシリコン層6とn型ポリシリコン層7への不純物のドーズ量は1E16/cm2とし、直線部3d,3e,3f,3g表面に形成されたp型ポリシリコン層6とn型ポリシリコン層7への不純物のドーズ量は1E15/cm2とする。
次に、図3(a),(b),(c)を参照して、屈曲部3a,3b,3cの製造方法について説明する。
2:受光部
3:梁
3a,3b,3c:屈曲部
3d,3e,3f,3g:直線部
4:基板
5:支持体
6:p型ポリシリコン層
7:n型ポリシリコン層
8:被覆部
9:余裕部
10:温接点
11a,11b:冷接点
Claims (7)
- 赤外線を受光する受光部と、
梁を介して前記受光部を支持する基板と、
前記梁上に形成された導体又は半導体からなる感熱体とを有し、
前記感熱体の導電率が場所によって異なり、前記梁を伝導する熱流と感熱体を流れる電流の中心が一致しない部位における感熱体の導電率がその他の部位の導電率より高いこと
を特徴する赤外線検知素子。 - 請求項1に記載の赤外線検知素子において、
前記梁の屈曲部上に形成された感熱体の導電率がその他の部位の導電率よりも高いことを特徴する赤外線検知素子。 - 請求項2に記載の赤外線検知素子において、
前記梁の屈曲部上に形成された感熱体の周囲に感熱体よりも導電率の高い材料が感熱体と一体的に形成されていることを特徴とする赤外線検知素子。 - 請求項2又は請求項3に記載の赤外線検知素子において、
前記感熱体がシリコンにより形成され、感熱体の屈曲部にシリコンとチタン、コバルト、又はタングステンの合金が形成されていることを特徴とする赤外線検知素子。 - 赤外線を受光する受光部と、
梁を介して前記受光部を支持する基板と、
前記梁上に形成された導体又は半導体からなる感熱体とを有し、
前記感熱体の断面積が場所によって異なり、前記梁の屈曲部上に形成された感熱体の断面積がその他の部位の断面積より大きいこと
を特徴する赤外線検知素子。 - 請求項5に記載の赤外線検知素子において、
前記梁の屈曲部上に形成された感熱体の厚さがその他の部位の厚さよりも厚いことを特徴する赤外線検知素子。 - 請求項5又は請求項6に記載の赤外線検知素子において、
前記梁の屈曲部上に形成された感熱体の幅がその他の部位の幅よりも広いことを特徴する赤外線検知素子。
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2008
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