JP2009250790A - 位置検出装置及び位置検出補正方法 - Google Patents

位置検出装置及び位置検出補正方法 Download PDF

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Abstract

【課題】増幅されたレゾルバの正弦波信号と余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確に位置を検出することができる位置検出装置及び位置検出補正方法を提供する。
【解決手段】回転角検出装置1は、レゾルバ10とマイクロコンピュータ113を備えている。マイクロコンピュータ113は、第2正弦波信号の正極側と負極側の振幅が等しくなるように補正し第3正弦波信号を算出する。第2余弦波信号の正極側と負極側の振幅が等しくなるように補正し第3余弦波信号を算出する。その後、第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅が等しくなるように補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出する。その後、第4正弦波信号と第4余弦波信号に基づいて回転角を算出する。これにより、第2正弦波信号と第2余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確にモータの回転角を検出することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、レゾルバを用いた位置検出装置及び位置検出補正方法に関する。特に、増幅されたレゾルバの正弦波信号と余弦波信号に基づいて位置を検出する位置検出装置及び位置検出補正方法に関する。
従来、レゾルバを用いた位置検出装置として、例えば特許文献1に開示されている位置検出器がある。この位置検出器は、レゾルバと、位置検出手段とから構成されている。位置検出手段は、レゾルバ演算処理I/F回路と、マイクロコンピュータとを備えている。レゾルバから出力されるsin相信号とcos相信号は、レゾルバ演算処理I/F回路によって増幅され、マイクロコンピュータに入力される。マイクロコンピュータは、レゾルバ演算処理I/F回路から出力される増幅されたsin相信号とcos相信号の増幅率の偏差を求める。そして、求めた偏差に基づいてレゾルバ演算処理I/F回路の出力を補正する。これにより、レゾルバ演算処理I/F回路の出力の増幅率のばらつきに伴う角度誤差を抑えることができる。
特開2003−166803号公報
ところで、レゾルバ演算処理I/F回路によってsin相信号とcos相信号を増幅した場合、増幅されたsin相信号とcos相信号の正極側と負極側の振幅がばらつく場合がある。しかし、前述した位置検出器では、増幅されたsin相信号とcos相信号の増幅率の偏差に基づいて補正を行っている。そのため、正極側と負極側の振幅がばらつても、これを補正することはできない。従って、増幅されたsin相信号とcos相信号の正極側と負極側の振幅のばらつきに伴う角度誤差を抑えることができないという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、増幅されたレゾルバの正弦波信号と余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確に位置を検出することができる位置検出装置及び位置検出補正方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段及び発明の効果
そこで、本発明者は、この課題を解決すべく鋭意研究し試行錯誤を重ねた結果、増幅されたレゾルバの正弦波信号と余弦波信号において正極側と負極側の振幅のばらつきを補正した後、増幅率のばらつきを補正することで、前述した課題を解決できることを思いつき、本発明を完成するに至った。
すなわち、請求項1に記載の位置検出装置は、励磁信号が入力されると、位置に応じた第1正弦波信号と第1余弦波信号とを出力するレゾルバと、レゾルバから出力される第1正弦波信号を増幅し、第2正弦波信号として出力する正弦波信号増幅手段と、レゾルバから出力される第1余弦波信号を増幅し、第2余弦波信号として出力する余弦波信号増幅手段と、正弦波信号増幅手段から出力される第2正弦波信号と余弦波信号増幅手段から出力される第2余弦波信号とに基づいて位置を求める信号処理手段と、を備えた位置検出装置において、信号処理手段は、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて第2正弦波信号を補正して第3正弦波信号とするとともに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて第2余弦波信号を補正して第3余弦波信号とし、その後、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて第3正弦波信号と第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とし、その後、第4正弦波信号と第4余弦波信号とに基づいて位置を求めることを特徴とする。ここで、第1〜第4正弦波信号及び第1〜第4余弦波信号は、正弦波信号及び余弦波信号を区別するために便宜的に導入したものである。以下同様である。
この構成によれば、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑え第3正弦波信号とすることができる。同様に、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑え第3余弦波信号とすることができる。その後、この第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて補正することで、振幅のばらつきを抑え第4正弦波信号と第4余弦波信号とすることができる。そのため、第4正弦波信号と第4余弦波信号に基づいて位置を求めることで、レゾルバの出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号を増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確に位置を検出することができる。
請求項2に記載の位置検出装置は、請求項1に記載の位置検出装置において、信号処理手段は、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3正弦波信号とするとともに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3余弦波信号とすることを特徴とする。この構成によれば、第2正弦波信号と第2余弦波信号における正極側振幅と負極側振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
請求項3に記載の位置検出装置は、請求項1又は2のいずれか1項に記載の位置検出装置において、信号処理手段は、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように第3正弦波信号と第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とすることを特徴とする。この構成によれば、第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
請求項4に記載の位置検出装置は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置検出装置において、レゾルバは、モータに配設され、モータの回転角に応じた第1正弦波信号と第1余弦波信号とを出力することを特徴とする。この構成によれば、レゾルバの出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号を増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確にモータの回転角を検出することができる。
請求項5に記載の位置検出補正方法は、レゾルバの出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号とを増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号とに基づいて位置を求める位置検出補正方法において、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて第2正弦波信号を補正して第3正弦波信号を求めるとともに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて第2余弦波信号を補正して第3余弦波信号を求める第1工程と、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて第3正弦波信号と第3余弦波信号とを補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号の少なくとも一方を求める第2工程と、第4正弦波信号と第4余弦波信号とに基づいて位置を求める第3工程と、を順次実施することを特徴とする。
この構成によれば、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑えた第3正弦波信号を求めることができる。同様に、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑えた第3余弦波信号を求めることができる。その後、この第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて補正することで、振幅のばらつきを抑えた第4正弦波信号と第4余弦波信号を求めることができる。そのため、第4正弦波信号と第4余弦波信号に基づいて位置を求めることで、レゾルバの出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号を増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確に位置を検出することができる。
請求項6に記載の位置検出補正方法は、請求項5に記載の位置検出補正方法において、第1工程は、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3正弦波信号を求めるとともに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3余弦波信号を求めることを特徴とする。この構成によれば、第2正弦波信号と第2余弦波信号における正極側振幅と負極側振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
請求項7に記載の位置検出補正方法は、請求項5又は6のいずれか1項に記載の位置検出補正方法において、第2工程は、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように第3正弦波信号と第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とを求めることを特徴とする。この構成によれば、第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
次に実施形態を挙げ、本発明をより詳しく説明する。本実施形態では、本発明に係る位置検出装置及び位置検出補正方法を、モータの回転角を検出する回転角検出装置に適用した例を示す。
まず、図1を参照して回転角検出装置の構成について説明する。ここで、図1は、回転角検出装置のブロック図である。
図1に示す回転角検出装置1(位置検出装置)は、レゾルバ10と、レゾルバ信号処理装置11とから構成されている。
レゾルバ10は、励磁信号が入力されると、回転角に応じた第1正弦波信号と第1余弦波信号とを出力する装置である。具体的には、Ksinωtが入力されると、回転角θに応じて振幅が変化するKcosθsinωtとKsinθcosωtとを出力する。つまり、励磁信号としてKsinωtが入力されると、第1正弦波信号としてKcosθsinωt、第1余弦波信号としてKsinθcosωtを出力する。レゾルバ10は、モータの回転軸(図略)に配設されている。
レゾルバ信号処理装置11は、レゾルバ10に対して励磁信号を出力するとともに、レゾルバ10から出力される第1正弦波信号と第1余弦波信号とに基づいてモータの回転角を算出する装置である。レゾルバ信号処理装置11は、励磁信号生成回路110と、正弦波信号増幅回路111(正弦波信号増幅手段)と、余弦波信号増幅回路112(余弦波信号増幅手段)と、マイクロコンピュータ113(信号処理手段)とから構成されている。
励磁信号生成回路110は、マイクロコンピュータ113からの指令に基づいて励磁信号を生成しレゾルバ10に出力する回路である。励磁信号生成回路110の指令入力端子はマイクロコンピュータに接続されている。また、信号出力端子はレゾルバ10の信号入力端子に接続されている。
正弦波信号増幅回路111は、レゾルバ10から出力される第1正弦波信号を増幅し、第2正弦波信号としてマイクロコンピュータ113に出力する回路である。正弦波信号増幅回路111の信号入力端子は第1正弦波信号を出力するレゾルバの信号出力端子に接続されている。また、信号出力端子はマイクロコンピュータに接続されている。
余弦波信号増幅回路112は、レゾルバ10から出力される第1余弦波信号を増幅し、第2余弦波信号としてマイクロコンピュータ113に出力する回路である。余弦波信号増幅回路112の信号入力端子は第1余弦波信号を出力するレゾルバの信号出力端子に接続されている。また、信号出力端子はマイクロコンピュータ113に接続されている。
マイクロコンピュータ113は、励磁信号生成回路110を制御して励磁信号を出力させるとともに、正弦波信号増幅回路111と余弦波信号増幅回路112の出力する増幅された第1正弦波信号と第1余弦波信号である第2正弦波信号と第2余弦波信号とを補正するとともに、補正結果に基づいてモータの回転角を算出する素子である。マイクロコンピュータの指令出力端子は励磁信号生成回路110の指令入力端子に接続されている。また、2つのアナログ入力端子は正弦波信号増幅回路111と余弦波信号増幅回路112の信号出力端子にそれぞれ接続されている。
次に、図1及び図2を参照して回転角検出装置の動作について説明する。ここで、図2は、レゾルバ信号処理装置の動作を説明するための説明図である。
図1において、電源が供給されると、レゾルバ信号処理装置11は動作を開始する。励磁信号生成回路110は、マイクロコンピュータ113からの指令に基づいてレゾルバ10に励磁信号を出力する。励磁信号が入力されると、レゾルバ10は、回転角に応じた第1正弦波信号と第1余弦波信号とを出力する。正弦波信号増幅回路111は、第1正弦波信号を増幅し第2正弦波信号としてマイクロコンピュータ113に出力する。また、余弦波信号増幅回路112は、第1余弦波信号を増幅し第2余弦波信号としてマイクロコンピュータ113に出力する。
ところで、モータの回転角θが固定している場合、レゾルバ10の出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号の振幅は等しい。しかし、正弦波信号増幅111や余弦波信号増幅112の特性のばらつきや特性の変化によって、第2正弦波信号と第2余弦波信号の振幅に相違を生じる場合がある。さらに、第2正弦波信号や第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅とに相違を生じる場合がある。
マイクロコンピュータ113は、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3正弦波信号を算出する。具体的には、第2正弦波信号の正極側と負極側の少なくとも一方を所定の増幅率で増幅して第3正弦波信号を算出する。さらに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して第3余弦波信号を算出する。具体的には、第2余弦波信号の正極側と負極側の少なくとも一方を所定の増幅率で増幅して第3余弦波信号を算出する(第1工程)。
なお、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅とが等しい場合には、第2正弦波信号を正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて1倍に増幅して第3正弦波信号を算出する。つまり、第2正弦波信号を第3正弦波信号とする。また、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅とが等しい場合には、第2余弦波信号を正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて1倍に増幅して第3余弦波信号を算出する。つまり、第2余弦波信号を第3余弦波信号とする。
その後、マイクロコンピュータ113は、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように第3正弦波信号と第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とを算出する。具体的には、第3正弦波信号と第3余弦波信号の一方を所定の増幅率で増幅するとともに他方をそのままにして、第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出する。又は、第3正弦波信号と第3余弦波信号とをそれぞれ所定の増幅率で増幅して第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出する(第2工程)。
なお、第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅が等しい場合には、第2正弦波信号と第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて第3正弦波信号と第3余弦波信号とを1倍に増幅して第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出する。つまり、第3正弦波信号と第3余弦波信号とを第4正弦波信号と第4余弦波信号とする。
その後、マイクロコンピュータ113は、第4正弦波信号と第4余弦波信号とに基づいて回転角を算出し、モータを制御するためのモータ制御装置(図略)に出力する(第3工程)。
ここで、第2正弦波信号の負極側振幅が正極側振幅より小さい場合を例に挙げ、マイクロコンピュータ113の動作についてより具体的に説明する。図2に示すように、第2正弦波信号の負極側振幅Aが正極側振幅Bより小さい場合、マイクロコンピュータ113は、第2正弦波信号の正極側振幅Bと負極側振幅Aに比率に基づいて負極側のみをB/A倍に増幅して振幅Bの第3正弦波信号を算出する。これにより、第3正弦波信号は正極側と負極側の振幅がBとなり等しくなる。
さらに、マイクロコンピュータ113は、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅とを比較する。第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅が第2正弦波信号の正極側振幅B及び負極側振幅Aより大きく、ともにCであり等しいことから、第2余弦波信号をそのまま第3余弦波信号とする。これにより、正極側振幅と負極側振幅とがともに等しい振幅Bの第3正弦波信号と振幅がBより大きい振幅Cの第3余弦波信号とが算出されることとなる。
その後、マイクロコンピュータ113は、振幅Bの第3正弦波信号と振幅Cの第3余弦波信号との比率に基づいて第3正弦波信号をC/B倍して振幅Cの第4正弦波信号を算出する。さらに、振幅Cの第3余弦波信号をそのまま第4余弦波信号とする。これにより、振幅がともに等しい振幅Cの第4正弦波信号と振幅Cの第4余弦波信号とが算出されることとなる。
その後、マイクロコンピュータ113は、振幅がCでありともに等しい第4正弦波信号と第4余弦波信号とに基づいてモータの回転角を算出して出力する。
最後に、具体的効果について説明する。本実施形態によれば、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑え第3正弦波信号を算出することができる。同様に、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて補正することで、正極側振幅と負極側振幅のばらつきを抑え第3余弦波信号を算出することができる。その後、この第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて補正することで、振幅のばらつきを抑え第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出することができる。そのため、第4正弦波信号と第4余弦波信号に基づいて回転角を求めることで、レゾルバ10の出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号を増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号において正極側と負極側の振幅がばらついていても、正確にモータの回転角を検出することができる。
また、本実施形態によれば、マイクロコンピュータ113は、第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように第2正弦波信号を補正して第3正弦波信号を算出する。さらに、第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように第2余弦波信号を補正して第3余弦波信号とする。そのため、第2正弦波信号と第2余弦波信号における正極側振幅と負極側振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
さらに、本実施形態によれば、マイクロコンピュータ113は、第3正弦波信号の振幅と第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように第3正弦波信号と第3余弦波信号とを補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号を算出する。そのため、第3正弦波信号と第3余弦波信号の振幅のばらつきを確実に抑えることができる。
なお、本実施形態では、第2正弦波信号の負極側振幅Aを、より大きな正極側振幅Bに等しくなるように補正している例を挙げているが、これに限られるものではない。第2正弦波信号の正極側振幅Bを、より小さな負極側振幅Aに等しくなるように補正してもよい。また、第2正弦波信号の正極側振幅Bと負極側振幅Aを、これらとは異なる所定の振幅に等しくなるように補正してもよい。
また、本実施形態では、第3正弦波信号の振幅Bを、より大きな第3余弦波信号の振幅Cに等しくなるように補正している例を挙げているが、これに限られるものではない。第3余弦波信号の振幅Cを、より小さな第3正弦波信号の振幅Bに等しくなるように補正してもよい。また、第3正弦波信号の振幅Bと第3余弦波信号の振幅Cを、これらとは異なる所定の振幅に等しくなるように補正してもよい。
本実施形態における回転角検出装置のブロック図である。 レゾルバ信号処理装置の動作を説明するための説明図である。
符号の説明
1・・・回転角検出装置(位置検出装置)、10・・・レゾルバ、11・・・レゾルバ信号処理装置、110・・・励磁信号生成回路、111・・・正弦波信号増幅回路(正弦波信号増幅手段)、112・・・余弦波信号増幅回路(余弦波信号増幅手段)、113・・・マイクロコンピュータ(信号処理手段)

Claims (7)

  1. 励磁信号が入力されると、位置に応じた第1正弦波信号と第1余弦波信号とを出力するレゾルバと、
    前記レゾルバから出力される前記第1正弦波信号を増幅し、第2正弦波信号として出力する正弦波信号増幅手段と、
    前記レゾルバから出力される前記第1余弦波信号を増幅し、第2余弦波信号として出力する余弦波信号増幅手段と、
    前記正弦波信号増幅手段から出力される前記第2正弦波信号と前記余弦波信号増幅手段から出力される前記第2余弦波信号とに基づいて位置を求める信号処理手段と、
    を備えた位置検出装置において、
    前記信号処理手段は、前記第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて前記第2正弦波信号を補正して第3正弦波信号とするとともに、前記第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて前記第2余弦波信号を補正して第3余弦波信号とし、その後、前記第3正弦波信号の振幅と前記第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて前記第3正弦波信号と前記第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とし、その後、前記第4正弦波信号と前記第4余弦波信号とに基づいて位置を求めることを特徴とする位置検出装置。
  2. 前記信号処理手段は、前記第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して前記第3正弦波信号とするとともに、前記第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して前記第2余弦波信号を補正して前記第3余弦波信号とすることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  3. 前記信号処理手段は、前記第3正弦波信号の振幅と前記第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように前記第3正弦波信号と前記第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して前記第4正弦波信号と前記第4余弦波信号とすることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の位置検出装置。
  4. 前記レゾルバは、モータに配設され、前記モータの回転角に応じた前記第1正弦波信号と前記第1余弦波信号とを出力することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置検出装置。
  5. レゾルバの出力する第1正弦波信号と第1余弦波信号とを増幅した第2正弦波信号と第2余弦波信号とに基づいて位置を求める位置検出補正方法において、
    前記第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて前記第2正弦波信号を補正して第3正弦波信号を求めるとともに、前記第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比較結果に基づいて前記第2余弦波信号を補正して第3余弦波信号を求める第1工程と、
    前記第3正弦波信号の振幅と前記第3余弦波信号の振幅の比較結果に基づいて前記第3正弦波信号と前記第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して第4正弦波信号と第4余弦波信号とを求める第2工程と、
    前記第4正弦波信号と前記第4余弦波信号とに基づいて位置を求める第3工程と、
    を順次実施することを特徴とする位置検出補正方法。
  6. 前記第1工程は、前記第2正弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して前記第3正弦波信号を求めるとともに、前記第2余弦波信号の正極側振幅と負極側振幅の比率に基づいて正極側振幅と負極側振幅とが等しくなるように正極側振幅と負極側振幅の少なくとも一方を補正して前記第3余弦波信号を求めることを特徴とする請求項5に記載の位置検出補正方法。
  7. 前記第2工程は、前記第3正弦波信号の振幅と前記第3余弦波信号の振幅の比率に基づいて互いに振幅が等しくなるように前記第3正弦波信号と前記第3余弦波信号の少なくとも一方を補正して前記第4正弦波信号と前記第4余弦波信号とを求めることを特徴とする請求項5又は6のいずれか1項に記載の位置検出補正方法。
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