JP2009244862A - 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置 - Google Patents

焦点検出装置およびそれを有する撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009244862A
JP2009244862A JP2009049716A JP2009049716A JP2009244862A JP 2009244862 A JP2009244862 A JP 2009244862A JP 2009049716 A JP2009049716 A JP 2009049716A JP 2009049716 A JP2009049716 A JP 2009049716A JP 2009244862 A JP2009244862 A JP 2009244862A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus detection
pixels
electrode
pupil division
pixel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009049716A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009244862A5 (ja
JP5451111B2 (ja
Inventor
Ichiro Onuki
一朗 大貫
Akihiko Nagano
明彦 長野
Makoto Takamiya
誠 高宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2009049716A priority Critical patent/JP5451111B2/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to CN2009801081056A priority patent/CN101960353B/zh
Priority to KR1020107022029A priority patent/KR101240080B1/ko
Priority to EP09719908.7A priority patent/EP2255238A4/en
Priority to PCT/JP2009/054818 priority patent/WO2009113644A1/en
Priority to US12/921,466 priority patent/US8711270B2/en
Publication of JP2009244862A publication Critical patent/JP2009244862A/ja
Publication of JP2009244862A5 publication Critical patent/JP2009244862A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5451111B2 publication Critical patent/JP5451111B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/34Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/34Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane
    • G02B7/346Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane using horizontal and vertical areas in the pupil plane, i.e. wide area autofocusing
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B13/00Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
    • G03B13/32Means for focusing
    • G03B13/34Power focusing
    • G03B13/36Autofocus systems
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/60Control of cameras or camera modules
    • H04N23/67Focus control based on electronic image sensor signals
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/703SSIS architectures incorporating pixels for producing signals other than image signals
    • H04N25/704Pixels specially adapted for focusing, e.g. phase difference pixel sets
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2101/00Still video cameras

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Focusing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

【課題】 撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出用の画素とを備える焦点検出装置において、高精度の焦点検出を実現する。
【解決手段】 入射する光束を信号電荷に変換する光電変換部と、光電変換部の近傍に焦点位置を有するマイクロレンズとを有する画素が複数配列された焦点検出装置である。複数の画素は、撮像画像を生成するための複数の撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出を行うための像信号を生成するための複数の焦点検出用画素とを含む。そして、焦点検出用画素に瞳分割機能を与えるための開口を、光電変換部から信号電荷を読み出すために設けられている電極を用いて形成する。
【選択図】図6

Description

本発明は焦点検出装置に関し、特には、撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出用の画素とを備える焦点検出装置に関する。
本発明はまた、このような焦点検出装置を有する撮像装置に関する。
従来、撮像素子に位相差検出機能を付与し、専用の自動焦点検出(AF)センサを用いずに、位相差検出方式のAF(位相差AF)を実現する技術が知られている。
例えば、特許文献1では、撮像素子の一部の画素に瞳分割機能を付与して焦点検出用画素として構成している。瞳分割機能は、画素の受光部を2分割することにより付与され、2つの受光部の個々の出力を位相差検出用の信号として、加算出力を画素信号として用いる。
また、特許文献2あるいは特許文献3では、撮像素子の一部の画素に対し、マイクロレンズと光電変換部の間の遮光層に、マイクロレンズの光軸に対して中心が偏奇した矩形開口を設けることで瞳分割機能を付与している。そして、瞳分割機能を有するこれらの画素を焦点検出用画素として所定の間隔で配置して位相差検出方式AFを行なう。また、焦点検出用画素が配置された箇所の画像信号は、周辺画素の画像信号から生成している。
特開2001−305415号公報 特開2000−156823号公報 特開2008−134389号公報
しかしながら、特許文献1の技術では、瞳分割機能を付与する画素の受光部を2つの領域に分割するとともに、分割した各領域の光電変換信号を独立して読み出し可能なように撮像素子を構成する必要がある。そのため、撮像素子の構造が複雑になり、画素ピッチの狭小化において不利である。また、分割した領域の間は不感帯となるため、撮像素子の感度低下を招く恐れがある。
特許文献2及び特許文献3の技術では、瞳分割用の遮光層を設ける必要があるが、瞳分割専用の遮光層を設けると撮像素子の構造が複雑化する。さらに、特に近年は撮像素子としてCMOSイメージセンサ(相補性金属酸化膜半導体を用いた固体撮像素子)の普及が著しいが、CMOSイメージセンサはマイクロレンズと光電変換部の間に3層程度の電極層(配線層)が必要である。従って、CMOSイメージセンサに特許文献2もしくは3に開示された技術を適用しようとすると、配線層に加えて遮光層が加わるため、マイクロレンズと光電変換部の距離が増加し、受光効率が低下することが予期される。また、通常、マイクロレンズの焦点位置は光電変換部の表面近傍に設定されている。そのため、瞳分割用の遮光層をマイクロレンズの直下に配置すると、所望の瞳分割性能が得られず、焦点検出精度が低下することも考えられる。
本発明はこのような従来技術の課題に鑑みなされたものであり、撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出用の画素とを備える焦点検出装置において、高精度の焦点検出を実現することを目的とする。
上述の目的は、入射する光束を信号電荷に変換する光電変換部と、光電変換部の近傍に焦点位置を有するマイクロレンズとを有する画素が複数配列された焦点検出装置であって、複数の画素の光電変換部が変換した信号電荷を読み出すための電極群を有し、複数の画素が、撮像画像を生成するための複数の撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出を行うための像信号を生成するための複数の焦点検出用画素とを含み、電極群が、撮像用画素については、マイクロレンズを介して光電変換部に入射する光束を遮らないように配置され、焦点検出用画素については、マイクロレンズを介して光電変換部に入射する光束のうち、予め定められた瞳分割方向における光束を制限するための開口を形成するように、光電変換部とマイクロレンズとの間に配置されることを特徴とする焦点検出装置によって達成される。
このような構成により、本発明によれば、撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出用の画素とを備える焦点検出装置において、高精度の焦点検出を実現できる。
本発明の実施形態に係る焦点検出装置を適用可能な撮像装置の一例としてのデジタルカメラの構成例を示す図である。 本発明の実施形態に係るデジタルカメラにおいて位相差検出方式の焦点検出を行なう際の瞳分割の概念を説明する図である。 本発明の実施形態に係る焦点検出装置を構成する撮像素子における焦点検出用画素の配置例を示す図である。 図3で説明したブロックの1つを撮影光学系から見た状態を拡大して示す平面図である。 本発明の実施形態に係る撮像素子における撮像用画素の構造を説明するための図である。 本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素(水平方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。 本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素(垂直方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。 本発明の実施形態に係る撮像素子の撮像用画素の瞳投影を説明する図である。 本発明の実施形態に係る撮像素子の撮影光学系の水平方向(X方向)の位相差検出用画素(焦点検出用画素)の瞳投影を説明する図である。 本発明の実施形態に係る撮像素子の撮影光学系の垂直方向(Y方向)の位相差検出用画素(焦点検出用画素)の瞳投影を説明する図である。 本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素SHA、SHBと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。 本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素SVC、SVDと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。 本発明の第1の実施形態に係るデジタルカメラにおいて、焦点検出時に取得した画像と焦点検出領域の例を模式的に説明する図である。 本実施形態に係るデジタルカメラの全体的な動作を説明するためのフローチャートである。 図14のS131で行う焦点検出処理の詳細を説明するためのフローチャートである。 図14のS161で行う撮影処理の詳細を説明するためのフローチャートである。 第2の実施形態に係る焦点検出装置を構成する撮像素子のうち、単位ブロックに含まれる8行8列の64画素を撮影光学系から見た状態を拡大して示した平面図である。 本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素(水平方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。 本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素(垂直方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。 本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素SHA、SHBと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。 本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の焦点検出用画素SVC、SVDと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。
以下、図面を参照して本発明の例示的な実施形態について説明する。
〔第1の実施形態〕
図1は本発明の第1の実施形態に係る焦点検出装置を適用可能な撮像装置の一例としてのデジタルカメラの構成例を示す図である。
第1レンズ群101は撮影光学系(結像光学系)の先端に配置され、光軸方向に移動可能に保持される。シャッタ102は、静止画撮影時の露光時間を制御するためのシャッタとしてだけでなく、開口径を調節することで撮影時の光量調節を行なう絞りとしても機能する。シャッタ102の背面(撮像素子側)に配置された第2レンズ群103は、シャッタ102と一体となって光軸方向に移動可能であり、第1レンズ群101とともにズーム機能を実現する。
第3レンズ群105はフォーカスレンズであり、光軸方向に移動可能である。光学ローパスフィルタ106は、撮像素子107の前方に配置され、撮影画像に発生する偽色やモアレを軽減する。焦点検出装置を構成する撮像素子107はCMOSイメージセンサとその周辺回路で構成される。本実施形態において、撮像素子107は、横方向にm個、縦方向にn個の複数の受光素子が2次元的に配列され、その上に、ベイヤー配列の原色カラーモザイクフィルタがオンチップで形成された、2次元単板カラーイメージセンサである。カラーフィルタは受光素子に入射する透過光の波長を画素単位で制限する。
ズームアクチュエータ111は、ズーム駆動回路129の制御に従い、不図示のカム筒を回動して第1レンズ群101及び/又は第3レンズ群105を光軸方向に駆動する。シャッタアクチュエータ112は、シャッタ駆動回路128の制御に従い、所定の開口径で、かつ所定の開閉タイミングでシャッタ102を駆動する。
フォーカスアクチュエータ114は、フォーカス駆動回路126の制御に従い、第3レンズ群105を光軸方向に駆動する。
フラッシュ115は、好ましくはキセノン管を用いた閃光照明装置であるが、連続発光するLEDを備えた照明装置であってもよい。AF補助光出力部116は、所定の開口パターンのマスク像を被写界に投影し、暗所での撮影時や低コントラストの被写体に対する焦点検出を支援する。
CPU121は、デジタルカメラ全体の動作を制御し、図示しない演算部、ROM、RAM、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ、通信インターフェイス回路等を有する。CPU121は、ROMに記憶されたプログラムを実行して、各種回路を制御し、AF、AE、画像処理、記録等、デジタルカメラの機能を実現する。
フラッシュ制御回路122は、撮影動作時にてフラッシュ115を点灯制御する。補助光駆動制御回路123は、焦点検出動作時にAF補助光出力部116を点灯制御する。撮像素子駆動回路124は、撮像素子107の動作を制御するとともに、撮像素子107から読み出した画像信号をA/D変換してCPU121に出力する。画像処理回路125は、画像信号に対してγ変換、色補間、JPEG符号化などの画像処理を適用する。
フォーカス駆動回路126は、焦点検出結果に基づいてフォーカスアクチュエータ114を駆動し、第3レンズ群105を光軸方向に移動させて焦点調節を行なう。シャッタ駆動回路128は、シャッタアクチュエータ112を駆動してシャッタ102の開口径及び開閉タイミングを制御する。ズーム駆動回路129は、例えば操作スイッチ群132に含まれるズーム操作スイッチの押下によって撮影者から入力されるズーム操作に応じてズームアクチュエータ111を駆動する。
表示器131はLCD等であり、デジタルカメラの撮影モードに関する情報、撮影前のプレビュー画像と撮影後の確認用画像、焦点検出時の合焦状態の情報等を表示する。操作スイッチ群132は、電源スイッチ、レリーズ(撮影トリガ)スイッチ、ズーム操作スイッチ、撮影モード選択スイッチ等を含む。記録媒体133は例えば着脱可能な半導体メモリカードであり、撮影画像を記録する。
図2は、本実施形態のデジタルカメラにおいて位相差検出方式の焦点検出を行なう際の瞳分割の概念を説明する図である。以下、第1の瞳分割方向として水平方向、第1の瞳分割方向に直交する第2の瞳分割方向として垂直方向に瞳分割を行うものとして説明する。
撮像素子107の一部の画素には位相差検出のための瞳分割機能が付与されている。EPHA、EPHBは水平方向(X方向)の位相差検出を行なうための瞳領域、EPVC、EPVDは垂直方向(Y方向)の位相差検出を行なうための瞳領域である。これら4個の瞳領域は、後述するように、焦点検出用画素の瞳分割用開口部がオンチップマイクロレンズで撮影光学系の射出瞳TLに投影されたものである。
図3は、本実施形態の焦点検出装置を構成する撮像素子107における焦点検出用画素の配置例を示す図である。
上述の通り、本実施形態の撮像素子107は、画素が2次元的に複数配列されてなる。そして、2行×2列の4画素のうち、対角2画素にG(緑色)の分光感度を有する画素を配置し、他の2画素にR(赤色)とB(青色)の分光感度を有する画素を各1個配置した、ベイヤー配列を採用している。
さらに、8行×8列=64画素をブロックとし、水平方向に瞳分割を行なう1組の焦点検出用画素SHA及びSHBと、垂直方向に瞳分割を行なう1組の焦点検出用画素SVC及びSVDを各ブロックに配置している。また、本実施形態において、各ブロックにおける焦点検出用画素の配置は共通であり、撮像素子107の画素領域にはブロックが繰り返し規則的に配置されている。
次に、焦点検出用画素群の出力信号の利用方法について説明する。図3において、AFLNH1〜AFLNH3は、水平方向の位相差を検出する焦点検出ラインである。そして各ラインに含まれる複数の焦点検出用画素SHAの出力信号からなる第1の像信号と、同じく複数の焦点検出用画素SHBの出力信号からなる第2の像信号との位相差を演算することで、画像の焦点ずれ量(デフォーカス量)を算出する。
同様に、AFLNV1ないしAFLNV3は、垂直方向の位相差を検出する焦点検出ラインである。そして各ラインに含まれる複数の焦点検出用画素SVCの出力信号からなる第3の像信号と、同じく複数の焦点検出用画素SVBの出力信号からなる第4の像信号との位相差を演算することで、画像の焦点ずれ量(デフォーカス量)を算出する。
図4〜図7は撮像素子107における、撮像用画素と焦点検出用画素の構造例を説明するための図である。
図4は、図3で説明したブロックの1つを撮影光学系から見た状態を拡大して示す平面図である。
図4において、黒の矩形で示される光電変換部152は、各画素の最下層に設けられており、すべての画素でほぼ正方形状を有する。なお、後述するように、光電変換部152の全体が見えている画素150が撮像用画素、一部のみが見えている画素SHA、SHB、SVC及びSVDが焦点検出用画素である。光電変換部152の出力は、第1の電極群154及び第2の電極群155によって読み出される。第1の電極群154及び第2の電極群155とは、平面図において互いが重なった部分の所定箇所に形成されたスルーホール(図示せず)によって電気的に接続される。なお、図4には示していないが、実際には、第2の電極群155の上には、下から順に第3の電極群、カラーフィルタ、マイクロレンズ等の構造体が設けられる。
光電変換部152より上層(光の入射側)に配置された第1の電極群154は、Y方向(図中上方向)に延伸し、X方向(図中右方向)に規則的に複数配置された線状の電極154aと、各画素内に配置された島状の電極154bとから構成される。なお、島状の電極154bは、その下層(光電変換部152と同一面内)にある電荷蓄積部やスイッチング素子及び、上層の第2の電極群155と図示しないスルーホールで導通し、上層及び下層の間で信号の中継を行う中継電極として機能する。従って、以下、第1の電極群のうち、154aを信号伝達用主電極群、154bは中継用電極群と称する。また、第1の電極群154より上層に配置された第2の電極群155は、X方向に延伸し、Y方向に規則的に複数配置された線状の電極155aで構成される。光電変換部152で発生した信号電荷は、不図示のフローティングディフュージョン部、第1の電極群154、及び第2の電極群155を介して後段の回路部に出力される。
本実施形態において、第1及び第2の電極群154及び155は、撮像用画素については、光電変換部152に入射する光束を遮らないように必要最小限の幅で形成される。一方、焦点検出用画素SHA、SHB、SVC及びSVDについては、電極の線幅を部分的に拡張し、瞳分割機能を付与するためのスリット開口を形成する。第1及び第2の電極群154及び155によって、スリット開口を形成する構成については図6以降を参照して後で詳細に説明する。
図5は本実施形態の撮像素子107における撮像用画素の構造を説明するための図である。図5(a)は、図4における焦点検出用画素SHA、SHBと2つの撮像用画素150を含む4画素の平面図である。また図5(b)は、図5(a)における撮像用画素150の1つのA−A断面図である。
まず、図5(b)を用いて、撮像用画素150の構造について説明する。
光電変換部152は、シリコン基板151に埋め込まれる形で形成されている。透明ポリシリコン電極153が、光電変換部152とシリコン基板151の上面に設けられる。多層構造を有する第1の電極群154、第2の電極群155及び第3の電極群156は、透明ポリシリコン電極153の上方に設けられている。第3の電極群156は各画素の境界部に配置され、図5(a)では省略されているが、井桁形状をなしている。これら3層の電極群154〜156はアルミニウムもしくは銅の金属膜をエッチングして形成される。また、第1〜第3の電極群154〜156は、二酸化珪素SiO2等からなる透明な層間絶縁膜157によって絶縁されている。158は第3の電極群156の上部を覆うパッシベーション膜、159は第1の平坦化層である。160はカラーフィルタで、当図の場合は緑(G)フィルタである。161は第2の平坦化層、162はオンチップマイクロレンズ(単にマイクロレンズともいう)である。
撮像用画素150に求められる第1の機能は、撮影光学系を通過して入射した光束を効率よく光電変換部152に導くことである。撮像用画素150に求められる第2の機能は、撮影光学系が交換されたり、ズーム操作や焦点調節動作で光学特性が変化しても、光束の伝達効率を低下させないことである。これらの機能を達成するため、通常は、マイクロレンズ162の焦点位置が光電変換部152の上面近傍になるよう、マイクロレンズ162の形状が設定される。また、マイクロレンズ162に入射した光束が第1及び第2の電極群154及び155によって遮蔽されないよう、第1及び第2の電極群154及び155の幅は最小限に形成される。
図6は、本実施形態の撮像素子107における焦点検出用画素(水平方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。
図6(a)は、図5(a)と同じ4画素の平面図である。また図6(b)は、図6(a)における焦点検出用画素SHA、SHBのA−A断面図である。
図5に示した撮像用画素150の構造と、焦点検出用画素SHA、SHBとが異なるのは、画素内における第1及び第2の電極群154及び155の形状である。具体的には、焦点検出用画素SHA、SHBでは、スリット開口を形成するように第1及び第2の電極群154及び155の幅が制御されている。このように、本実施形態では、第1及び第2の電極群154及び155を遮光膜として用いて画素に瞳分割機能を付与し、焦点検出用画素を形成している。
撮影光学系の射出瞳面上での瞳分割を、撮像画素内のマイクロレンズと、遮光部材で形成された開口とによって実現する場合、各部材の寸法が微小なことで生じる光の回折や、マイクロレンズの球面収差のため、瞳結像の尖鋭度(瞳分割特性)が損なわれ易い。そして、一対の瞳領域が重なったり、撮影光学系によるケラレが生ずると、位相差検出方式の焦点検出精度は低下する。従って、特に瞳分割方向においては、一対の瞳が明瞭に分割され、かつ、撮影光学系によるケラレを最小限にすることが望ましい。
図5(b)を参照して説明したように、マイクロレンズ162は、その焦点位置が光電変換部152の最上面近傍になるように設定される。従って、良好な瞳分割特性を得るためには、瞳分割方向の光束を規制するための遮光部材を、マイクロレンズ162の焦点位置に近く配置することが必要である。しかしながら、上述の通り、CMOSイメージセンサにおいては、マイクロレンズと光電変換部との間に複数の電極層が必要である。そのため、さらに専用の遮光層を設けると撮像素子の構造が複雑化する上、マイクロレンズと光電変換部の距離が増加して撮像用画素の受光効率が低下する。
そこで、本実施形態においては、もともとCMOSイメージセンサが有している電極群を遮光膜として利用することにより、撮像素子の構造が複雑化すること及びマイクロレンズと光電変換部152との距離の増加を抑制しながら、良好な瞳分割特性を実現する。なお、図6(a)においても、図5(a)と同様、第3の電極群156及びその上層の構造は図示していない。
図6(a)において、第1及び第2の電極群154及び155の線幅は、撮像用画素150においては必要最小限の幅で形成されている。一方、焦点検出用画素SHA、SHBにおいては、まず第1の電極群154の線幅を、光電変換部152の中心に向けて部分的に拡張している。また、第2の電極群155の線幅も同様に光電変換部152の中心に向けて拡張し、これら2層の電極群により、1対のスリット開口OPHA、OPHBを形成する。
ここで、各々のスリット開口を形成する4辺のうち、瞳分割方向に平行な水平方向(X方向)の光束を規制する2辺(長辺)はマイクロレンズ162の焦点位置に近い第1の電極群154により形成する。また、瞳分割方向と直交する方向(Y方向)の光束を規制する2辺(短辺)は第1の電極群154よりもマイクロレンズ162の焦点位置から遠い第2の電極群155で形成する。このように、瞳分割方向の光束は多層構造を有する電極群のうち、マイクロレンズ162の焦点位置に近くに配置された部材で規制することで、位相差検出方向の瞳尖鋭度が高くなるようにしている。また、一対のスリット開口中心を、各々のマイクロレンズの光軸に対して互いに反対方向に所定量偏倚させることで、撮影光学系に投影される一対の瞳が所定の間隔を有することとなり、画素に位相差検出のための瞳分割機能が付与される。
なお、多層構造を有する電極群のうち、異なる層の電極群を用いて開口を形成する場合、瞳分割方向に平行な方向の光束を規制する辺を形成する電極群は、多層構造を有する電極群のうち、マイクロレンズ162の焦点位置から最も遠い層以外の電極群であればよい。また、瞳分割方向に直交する方向の光束を規制する辺を形成する電極群は、多層構造を有する電極群のうち、瞳分割方向に平行な方向の光束を規制する辺を形成する電極群よりもマイクロレンズ162の焦点位置から遠い層の電極群であればよい。
また、本実施形態において、3層の電極群154〜156のうち、第1の電極群154はマイクロレンズ162から最も遠い位置にある。そのため、良好な瞳尖鋭度が得られるだけでなく、マイクロレンズ162の光軸と電極パターンのアライメント誤差に起因する瞳中心軸の角度ずれも軽微で済む、という効果も有する。
図7は、本実施形態の撮像素子107における焦点検出用画素(垂直方向位相差検出用)の構造を説明するための図である。
図7(a)は、図4における焦点検出用画素SVC、SVDと2つの撮像用画素150を含む4画素を拡大した平面図である。また、図7(b)は、図7(a)における焦点検出用画素SVC、SVDのA−A断面図である。図7(b)に示す断面構成は、図5(b)及び図6(b)で示した構成と実質上同一のため、説明は省略する。
図7(a)を用いて、垂直方向位相差検出用の焦点検出用画素の瞳分割用スリット開口の構成を説明する。
垂直方向位相差検出用の焦点検出用画素SVC、SVDは、図6に示した水平方向位相差検出用の焦点検出用画素SHA、SHBと、第1及び第2の電極群154及び155の走向方向は同一だが、瞳分割方向は90度異なる。そのため、瞳分割用のスリット開口を形成するための電極の形状が以下の通り異なる。
まず、瞳分割方向、すなわちY方向の光束を規制する部材は、第1の電極群154のうち、Y方向に走向する信号伝達用主電極群154a(図4参照)ではなく、各画素の境界部に設けられた島状の中継用電極群154bを用いている。図7(a)の平面図に示すように、中継用電極群154bの幅を光電変換部152の中心に向かって拡張し、光電変換部152上部を覆う。また、瞳分割方向と直交する方向、すなわちX方向の光束を規制する部材は、Y方向に走向する第2の電極群155の一部の幅を拡張させることによって形成する。ただし、水平方向位相差検出用の焦点検出用画素におけるY方向の光束を規制するための部材を形成する際とは形状が異なる。また、図7に示すように、スリット開口のY方向の2辺を1つの電極から延びる1対の拡張部155cで形成しており、光電変換部152を挟んで対向する電極155dの形状は変更されていない。なお、1対の拡張部155cを光電変換部152を挟んで対向する1対の電極で1つずつ形成してもよい。
以上の構成により、瞳分割用のスリット開口OPVC、OPVDを形成するが、これら一対の開口形状は、図6(a)に示したスリット開口OPHA、OPHBをZ軸まわりに90度回転した形状と実質的に同一になる。
次に、図8ないし図10を用いて、撮影光学系と各画素の瞳投影関係について説明する。
図8は撮像用画素の瞳投影を説明する図で、図5と同じ撮影用画素の平面図(図8(a))及び断面図(図8(b))を示しているが、断面図における画素内構造は要部のみを簡略化して示している。
図8(b)に示すように、光電変換部152の上面はマイクロレンズ162を介して撮影光学系の瞳面に投影される。前述の通り、撮像用画素は撮影光学系の射出瞳TL全域を通過した光束を高効率に取り込むように構成されている。よって、光電変換部152が投影された瞳EPNRMは、撮影光学系の射出瞳TLをほぼカバーする形状を有する。
図9は、撮影光学系の水平方向(X方向)の位相差検出用画素(焦点検出用画素)の瞳投影を説明する図であり、図6に対応する。
図9(a)におけるA−A断面図である図9(b)に示すように、画素SHAのスリット開口OPHAは、マイクロレンズ162を介して、撮影光学系の射出瞳TLに瞳EPHAとして投影される。同様に、画素SHBのスリット開口OPHBは瞳EPHBとして投影される。すなわち、撮影光学系の射出瞳TLは焦点検出用の一対の瞳EPHA及びEPHBに分割され、分割された瞳EPHAを通過した光束を画素SHAで、瞳OPHBを通過した光束を画素SHBで受光する。
そして、画素SHA及び画素SHBは図3に示すように水平方向に規則的に配列されている。そこで、複数の画素SHAの出力を連ねて生成した第1の像信号と、複数の画素SHBの出力を連ねて生成した第2の像信号との像ずれ量、すなわち位相差を検出することで、被写体像のピントずれ量(デフォーカス量)が検出できる。
図10は、撮影光学系の垂直方向(Y方向)の位相差検出用画素の瞳投影を説明する図であり、図7に対応する。
図9(b)と同様、図10(b)においても、画素SVCのスリット開口OPVCは、マイクロレンズ162を介して、撮影光学系の射出瞳TL上に瞳EPVCとして投影される。同様に、画素SVDのスリット開口OPVDは瞳EPVDとして投影される。すなわち、撮影光学系の射出瞳TLは焦点検出用の一対の瞳EPVC及びEPVDに分割され、分割された瞳EPVCを通過した光束を画素SVCで、EPVDを通過した光束を画素SVDで受光する。
そして画素SVC及び画素SVDは図3に示すように垂直方向に規則的に配列されている。そこで、複数の画素SVCの出力を連ねて生成した第3の像信号と、複数の画素SVDの出力を連ねて生成した第4の像信号との像ずれ量、すなわち位相差を検出することで、被写体像のピントずれ量(デフォーカス量)が検出できる。
図11及び図12は、射出瞳TLに投影された画素の瞳の尖鋭度を説明する図で、図11は焦点検出用画素SHA、SHBと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。図11(a)は撮影光学系の射出瞳面を撮像素子側から見た平面図で、上述の通り、TLは撮影光学系の射出瞳である。また、EPNRMは撮像用画素に対応した瞳形状、EPHA及びEPHBは焦点検出用画素SHA及び画素SHBに対応した瞳形状である。
画素内での光の回折やマイクロレンズの収差のため、投影された瞳の尖鋭度は低下している。すなわち図11(a)に示した瞳の像は理想的な尖鋭像ではなく、所定のボケを有している。
図11(b)は図11(a)に示した平面図において、光軸を通る水平方向(x軸方向)の断面における、各瞳の尖鋭度を説明する図で、横軸は撮影光学系の瞳面における水平座標、縦軸は各瞳における光束の透過率である。ここで、図11(b)は各画素における光の受光効率の角度依存性を表わすため、便宜上「瞳強度分布」と称する。図11(b)において、INTNRM-H、INTHA-H、INTHB-Hはそれぞれ撮像用画素、焦点検出用画素SHA、及びSHBの、水平方向断面における瞳強度分布である。また、各瞳強度分布において、最大値の1/2の強度における幅を瞳強度分布の幅W、同じく1/2の強度における傾き角θを瞳強度分布の尖鋭度と定義し、図11(b)のごとく添え字にて区別する。
図11(c)は、図11(b)と同様、図11(a)に示した平面図において、光軸を通る垂直方向(y軸方向)の断面における、各瞳の尖鋭度を説明する図である。そして、INTNRM-V、INTHA-V、INTHB-Vはそれぞれ撮像用画素、焦点検出用画素SHA、及びSHBの、垂直方向断面における瞳強度分布である。また、各画素における瞳強度分布の幅Wと尖鋭度θは図示のごとく添え字にて区別する。
次に図11における各瞳強度分布の特徴について説明する。まず、撮像用画素においては図5(a)に示したように、光電変換部152は第1及び第2の電極群154及び155によって覆われることなく、光電変換領152の全体が露出している。そこでその瞳強度分布は幅が広く、かつ水平方向の幅WNRM-H及び垂直方向の幅WNRM-Vはほぼ同一である。また、光電変換部152はその外縁部において光電変換効率が漸減するため、瞳強度分布の尖鋭度θNRM-H及びθNRM-Vは低く、裾はなだらかである。
一方、焦点検出用画素においては、図11(b)に示すように、水平方向における瞳強度分布の幅WHA-H及び幅WHB-Hは狭く、また尖鋭度θHA-H及びθHB-Hは高い。これに対し、図11(c)に示すように、垂直方向における瞳強度分布の幅WHA-V及び幅WHB-Vは広く、また尖鋭度θHA-V及びθHB-Vは低い。
すなわち、焦点検出用画素においては、瞳分割方向の各瞳の瞳強度分布は先鋭度が高く、一対の瞳は明瞭に分離されている。一方で、瞳分割と直交する方向には広範囲の光束を取り込むことで、焦点検出画素の受光量低下を軽減している。
図12は焦点検出用画素SVC、SVDと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。図11に対して図12は瞳分割方向が90度異なっているため、図12(b)と図12(c)の特性が反転しているが、瞳分割方向の特性同士を比較すると、両者は実質上同一の特性である。また、瞳分割方向と直交する方向の特性も両者は実質上同一となっている。
図13は、本実施形態のデジタルカメラにおいて、焦点検出時に取得した画像と焦点検出領域の例を模式的に説明する図である。
図13において、撮像素子107の撮像面に形成された被写体像には、中央に人物、左側に近景の樹木、右側に遠景の山並みが写っている。
本実施形態の撮像素子107は、水平方向の位相差を検出するための第1の焦点検出用画素対SHA及びSHBと、垂直方向の位相差を検出するための第2の焦点検出用画素対SVC及びSVDを有する。そして、第1の焦点検出用画素対及び第2の焦点検出用画素対は、図3に示したように、均等な密度で撮像素子107の全体に分散して配置されている。
そして、位相差検出の際には、焦点検出用画素の信号を、図3で示したようにグループ化処理する。これにより、撮像領域の任意位置において、水平方向及び垂直方向の位相差検出のための焦点検出領域を設定可能である。
図13においては、画面中央に人物の顔が存在している。例えば画像処理回路125において撮像画像に対して公知の顔認識技術を適用し、顔の存在が検出された場合には、顔領域を中心に焦点検出領域を設定することができる。
具体的には、図13に示すように、顔領域を中心として、水平方向の位相差検出のための焦点検出領域AFARh(x1, y1)と、垂直方向の位相差検出のための焦点検出領域AFARv(x3, y3)を設定することができる。なお、添え字のhは水平方向を表わし、(x1, y1)及び(x3, y3)はそれぞれ、焦点検出領域の左上隅の画素座標値を表わす。そして、焦点検出領域AFARh(x1, y1)に含まれる焦点検出用画素SHAで得られた画像信号を水平方向に連結した位相差検出用のA像信号をAFSIGh(A1)とする。また、同様に、焦点検出領域AFARh(x1, y1)に含まれる焦点検出用画素SHBで得られた画像信号を水平方向に連結した位相差検出用のB像信号をAFSIGh(B1)とする。
そして、A像信号AFSIGh(A1)とB像信号AFSIGh(B1)の位相差を公知の相関演算によって計算することで、水平方向における焦点ずれ量(デフォーカス量)を求めることができる。
焦点検出領域AFARv(x3, y3)についても同様にして、焦点検出用画素SVCとSVDから得たC像信号AFSIGv(C3)とD像信号AFSIGv(D3)を求め、さらに垂直方向における焦点ずれ量を求める。
そして、2つの焦点検出領域AFARh(x1, y1)及びAFARv(x3, y3)で検出した2つの焦点ずれ量を比較し、信頼性の高い値を採用すればよい。
一方、画面左側の樹木の幹部は、縦線成分が主体、すなわち水平方向に輝度分布を有しているため、水平方向の位相差検出に適した被写体と判断し、水平方向の位相差検出のための焦点検出領域AFARh(x2, y2)を設定する。また、画面右側の山並みの稜線部は、横線成分が主体、すなわち縦方向の輝度分布が主体であるため、垂直方向の位相差検出のための焦点検出領域AFARv(x4, y4)を設定する。
このように、本実施形態においては、水平方向及び垂直方向の位相差検出のための焦点検出領域を画面(撮像素子)の任意領域に設定可能なため、被写体の画面内位置や輝度分布の方向性が様々であっても、適切な焦点検出を行うことができる。
図14〜図16は、本実施形態におけるデジタルカメラの焦点調節及び撮影動作を説明するためのフローチャートである。
図14は、本実施形態に係るデジタルカメラの全体的な動作を説明するためのフローチャートである。
撮影者が操作スイッチ132の電源スイッチをオン操作すると、S103においてCPU121はカメラ内の各アクチュエータや撮像素子の動作確認を行ない、メモリ内容や実行プログラムの初期化を行なうと共に、撮影準備動作を実行する。
S105でCPU121は撮像素子駆動回路124を通じて撮像素子107の撮像動作を開始する。また、画像処理回路125によって撮像画像を処理し、表示用(記録用よりも低解像度)の画像を生成する。画像処理回路125はさらに、表示用画像から人物の顔を検出する。
S107でCPU121は、画像処理回路125が生成する表示用の画像を表示器131に逐次出力して、表示器131をEVFとして機能させる。撮影者は表示器131に表示される画像を見ながら、撮影時の構図決定を行なう。
S109で、CPU121は、画像処理回路125から、顔検出結果と、顔が検出されていれば顔領域に関する情報を取得する。そして、顔が検出されている場合には、S111からS113に移行し、CPU121は焦点調節モードを顔AFモードに設定する。ここで顔AFモードとは、顔領域に焦点検出領域を設定するAFモードを指す。
一方、表示用画像から顔が検出されなかった場合、S111からS115に移行し、CPU121は焦点調節モードを多点AFモードに設定する。ここで多点AFモードとは、撮影領域を複数の領域(例えば縦3、横5の15領域)に分割し、各分割領域で焦点検出を行ない、焦点検出結果と被写体の輝度情報から推定される主被写体の存在する分割領域を最終的な焦点検出領域とするモードを指す。
S113あるいはS115でAFモードを決定したら、CPU121は、S117で焦点検出領域を決定する。S121では、撮影準備スイッチがオン操作されたか否かを判別し、オン操作されていなければS105に戻り、撮像素子駆動からS117の焦点検出領域の決定を繰り返し実行する。
S121でCPU121は操作スイッチ132の撮影準備スイッチの状態を検出し、オンであればS131へ、オンでなければS105へ処理を移す。撮影準備スイッチは、例えばレリーズボタンが半押しされるとオンするスイッチであって良い。
図15は、S131で行う焦点検出処理の詳細を説明するためのフローチャートである。
S132において、CPU121は、S117で決定した焦点検出領域に含まれる撮像用画素と焦点検出用画素を読み出す。S133において、CPU121は、読み出した撮像用画素の情報から、焦点検出領域における被写体輝度変化の方向依存性(被写体パターン)を認識する。S134でCPU121は、S133で認識した被写体パターンから、焦点検出に適した位相差検出方向を選択する。具体的には、被写体像の輝度変化が水平方向のみに存在する場合は、水平方向の位相差を検出する焦点検出用画素のみを用いた焦点検出を行なう。同様に、被写体像の輝度変化が垂直方向のみに存在する場合は、垂直方向の位相差を検出する焦点検出用画素のみを用いた焦点検出を行なう。また、被写体像の輝度変化が水平及び垂直の両方向に存在する場合は、水平方向の位相差を検出する焦点検出用画素と垂直方向の位相差を検出する焦点検出用画素の両方を用いた焦点検出(クロス測距)を行なう。
S141でCPU121は、焦点検出領域内の焦点検出画素の出力を画素位置に応じて連結し、AF画素信号を得る。S142でCPU121は、S141で得たAF画素信号に、シェーディング補正(周辺画面の光量落ち補正)や、ビネッティングによる2像の歪みの復元補正等を施し、相関演算用の1対の像信号を生成する。具体的には、図13に示したA像信号AFSIGh(A1)とB像信号AFSIGh(B1)、あるいはC像信号AFSIGv(C3)とD像信号AFSIGv(D3)などの1対の像信号を生成する。
S143でCPU121は位相差検出用の像信号対の相関演算を行ない、像信号の位相差を計算する。
S144でCPU121は、相関演算結果の信頼性を判定する。ここで信頼性とは、像信号対の一致度(波形の類似度)を指し、一致度が良い場合は一般的に焦点検出結果の信頼性が高い。そこで、複数の焦点検出領域が選択されている場合は、信頼性の高い像信号対に基づく位相差を優先的に使用する。
S145でCPU121は、信頼性の高い像信号対から求められた位相差に基づいて最終的な焦点ずれ量を演算し、焦点検出処理を終了する。
図14に戻り、S151でCPU121は、焦点検出処理で計算した焦点ずれ量が許容値以下か(合焦と判定可能か)否かを判断する。焦点ずれ量が許容値より大きい場合、CPU121は非合焦と判断し、S153でフォーカス駆動回路126を通じてフォーカスレンズ(第3レンズ群)105を所定方向に所定量駆動する。そして、S151で合焦と判定されるまでS131〜S153の処理を繰り返し実行する。
そしてS151にて合焦状態に達したと判定されると、CPU121はS155にて表示器131に合焦表示を行ない、S157に移行する。
S157でCPU121は、撮影開始スイッチがオン操作されたか否かを判別し、オン操作されていなければS157にて撮影待機状態を維持する。S157で撮影開始スイッチがオン操作されるとS161に移行し、撮影処理を実行する。撮影開始スイッチは、例えばレリーズボタンが全押しされるとオンするスイッチであって良い。
図16はS161で行う撮影処理の詳細を説明するためのフローチャートである。
S163でCPU121はシャッタ駆動回路128を通じてシャッタ102の開口量と開閉タイミングを制御し、露光処理を行う。なお、特に説明しなかったが、一般的に行われているように、焦点検出処理と並行して自動露出制御処理も行われ、絞り値及びシャッタースピードが決定されているものとする。
S165でCPU121は、撮像素子駆動回路124を介して記録用画像生成のための画像読み出し、すなわち全画素の読み出しを行なう。
S167でCPU121は、画像処理回路125を用い、読み出した画像信号の欠損画素補間を行なう。ここで、欠損画素には、撮像素子107の製造時に生じた欠陥画素と、焦点検出用画素が含まれる。上述の通り、焦点検出用画素にはRGBのカラーフィルタが設けられておらず、また射出瞳の一部からしか受光しないので、通常の欠陥画素と同様、周囲の撮像用画素の情報から補間により画像信号を生成する。
S169でCPU121は、画像処理回路125により、色補間、画像のγ補正、エッジ強調等の所謂現像処理と、設定に応じて符号化等の画像処理を行う。
S171において、CPU121は、記録媒体133に撮影画像を記録する。
S173でCPU121は、表示器131に撮影済み画像を表示し、撮影処理を終了する。
以上説明したように、本実施形態によれば、もともと撮像素子が備えている電極群を瞳分割方向の光束を制限する部材(遮光膜)として利用するため、専用の遮光膜を設ける必要が無く、撮像素子の構造が複雑化する程度を抑制することができる。
また、電極群はマイクロレンズの焦点近傍に位置しているため、瞳分割方向の瞳強度分布が尖鋭になる。その結果、瞳分離性能が良好になって位相差検出用の像信号の劣化が抑制され、良好な焦点検出精度が得られる。
電極群がマイクロレンズの焦点近傍に位置していることは、瞳分割方向の光束を制限する部材とマイクロレンズ間の距離が大きいことに等しい。そのため、光束を制限する部材とマイクロレンズのアライメント誤差に起因する瞳強度分布の位置ずれ誤差を低くすることができる。その結果、焦点検出用瞳が撮影レンズにケラレる場合であっても、一対の瞳におけるケラレ量がほぼ同一となり、光量アンバランスが生じにくいため、焦点検出精度の低下を抑制できる。
〔第2の実施形態〕
第1の実施形態では、マイクロレンズ162の焦点位置との距離が異なる第1及び第2の電極群154及び155のうち、焦点検出用画素で瞳分割方向の光束を規制する部材はマイクロレンズ162の焦点位置により近い第1の電極群154を用いて形成した。そして、焦点検出用画素で瞳分割方向と直交する方向の光束を規制する部材はマイクロレンズ162の焦点位置に対して第1の電極群154よりも遠い第2の電極群155を用いて形成した。
これに対し、第2の実施形態では、第2の電極群155を用いずに、第1の電極群154で瞳分割方向とこれに直交する方向の光束を規制する部材を形成する。
図17は第2の実施形態に係る焦点検出装置を構成する撮像素子のうち、単位ブロックに含まれる8行8列の64画素を撮影光学系から見た状態を拡大して示した平面図である。
黒の矩形で示される光電変換部152は、各画素の最下層に設けられており、すべての画素でほぼ正方形状を有する。なお、後述するように、光電変換部152の全体が見えている画素150が撮像用画素、一部のみが見えている画素SHA、SHB、SVC及びSVDが焦点検出用画素である。光電変換部152の出力は、第1の電極群254及び第2の電極群255によって読み出される。なお、第1の実施形態に係る撮像素子と第2の実施形態に係る撮像素子は、第1及び第2の電極群の形状のみが異なり、他の部材の形状は同一なため、異なる点のみ説明する。
光電変換部152より上層(光の入射側)に配置された第1の電極群254は、Y方向(図中上方向)に延伸し、X方向(図中右方向)に規則的に複数配置された線状の信号伝達用主電極群254aと、各画素内に配置された島状の中継用電極群254bとから構成される。また、第1の電極群254より上層に配置された第2の電極群255は、X方向に延伸し、Y方向に規則的に複数配置された線状の電極255aで構成される。光電変換部152で発生した信号電荷は、不図示のフローティングディフュージョン部、第1の電極群254、及び第2の電極群255を介して後段の回路部に出力される。
ここで、第1及び第2の電極群254及び255の形状は、撮像用画素の周囲に対応する箇所においては第1の実施形態の第1及び第2の電極群154及び155と同一形状である。しかし、焦点検出用画素SHA、SHB、SVC及びSVDの周囲に位置する箇所の形状は、以下に説明するように第1の実施形態と異なっている。
図18は本実施形態の撮像素子107における焦点検出用画素(水平方向位相差検出用)の構造を説明するための図であり、第1の実施形態の図6に対応する。図18(a)は、図17における焦点検出用画素SHA、SHBと2つの撮像用画素150を含む4画素を拡大した平面図である。また図18(b)は、図18(a)における焦点検出用画素SHA、SHBのA−A断面図である。
第2の実施形態においても、焦点検出用画素SHA及びSHBは瞳分割用のスリット開口OPHA及びOPHBを備えるが、それぞれの開口を形成するすべての辺は、第1の電極群254で形成されている。一方で、第1の電極群254はY方向に走向するが、焦点検出用画素の光電変換部152のうち、第1の電極群254で遮光されていない領域(無電極部)が存在する。光電変換部152の近傍に存在する無電極部を透過した光束が回折によって光電変換部152に到達すると、焦点検出用画素の瞳強度分布に有害な二次ピークが発生してしまう。そこで第2の実施形態においては、第2の電極群255の一部の幅を無電極部の遮光するように拡張した突出部255H及び255Sを設け、無電極部から光電変換部への光束の入射を抑制する。この構成により、焦点検出用画素にスリット開口以外から入射する不要光を効果的に減少させることができる。
このように、第2の実施形態においては、撮像素子が備える電極群のうち、マイクロレンズの焦点位置の近くに設けられている第1の電極群のみを用いて焦点検出用画素用のスリット開口を形成する。さらに、焦点検出用画素の光電変換部の、第1の電極群で遮光されていない領域を第1の電極群よりもマイクロレンズの焦点位置から遠くに配置された第2の電極群を用いて遮光し、焦点検出用画素の光電変換部にスリット開口以外から入射する光束を制限する。
図19は、本実施形態の撮像素子107における焦点検出用画素(垂直方向位相差検出用)の構造を説明するための図であり、第1の実施形態の図7に対応する。図19(a)は、図17における焦点検出用画素SVC、SVDと2つの撮像用画素150を含む4画素を拡大した平面図である。また、図19(b)は、図19(a)における焦点検出用画素SVC、SVDのA−A断面図である。図19(a)を用いて、垂直方向位相差検出用の焦点検出用画素における瞳分割用スリット開口の構成を説明する。
垂直方向位相差検出用の焦点検出用画素SVC、SVDは、図18に示した水平方向位相差検出用の焦点検出用画素SHA、SHBと、第1及び第2の電極群254及び255の走向方向は同一だが、瞳分割方向は90度異なる。そのため、瞳分割用のスリット開口を形成するための電極の形状が以下の通り異なる。
まず、図18に示した水平方向位相差検出用の焦点検出用画素においては、第1の電極群254のうち、Y方向に走向する線状の信号伝達用主電極254aの幅を光電変換部152を覆うように拡張し、その拡張部にスリット開口を設けていた。これに対し、垂直方向位相差検出用の焦点検出用画素においては、図19(a)に示すように、第1の電極群254のうち、島状の中継用電極群254bをY方向に拡張した拡張部によって光電変換部152を覆い、拡張部にスリット開口OPVD又はOPVCを設ける。また、第1の電極群254のうち、Y方向に走向する信号伝達用主電極群254aと島状の中継用電極群254bの間に存在する無電極部を遮蔽するよう、第2の電極群255の突出部255V及び255Sを設け、光束が入射可能な無電極部を減少させている。これにより、瞳分割にとって有害な不要光が無電極部を通じて光電変換部152に到達することを効果的に抑制している。
図20及び図21は、第2の実施形態における各画素の瞳の尖鋭度を説明する図で、第1の実施形態の図11及び図12に対応する。図20は、図18に示した焦点検出用画素SHA、SHBと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。
第2の実施形態の焦点検出用画素では、瞳分割方向とこれに直交する方向の光束を規制するスリット状開口を、共に第1の電極群で形成する。つまり、スリット開口が、マイクロレンズ162の焦点位置からの距離が等しい電極で形成される。そのため、図20(b)における水平方向の断面での瞳強度分布の尖鋭度θHA-H及びθHB-Hと、図20(c)における垂直方向の断面での瞳強度分布の尖鋭度θHA-V及びθHB-Vは同一となる。一方、瞳強度分布の幅Wは、第1の実施形態と同様、瞳分割方向である水平方向で狭く(図20(a))、垂直方向で広い(図20(b))。そのため、本実施形態においても、瞳分離の明瞭性と、受光量低下の軽減の両立が実現されている。
また、図20(b)において破線で示した瞳強度分布INTHA-X及びINTHB-Xは、図18(a)における第2の電極群255の突出部255H及び255Sが無いと仮定した場合の、無電極部を通じて光電変換部152に到達した洩れ光による二次ピークである。このような洩れ光による二次ピークがあると、Fナンバの小さい、すなわち明るい撮影光学系を用いた際の瞳分割性能が悪化する。その結果、位相差検出用の一対の像信号の位相差とピントずれ量の相関が不規則になり、正確な焦点検出が困難となる。これに対して第2の実施形態では、図18(a)に示したように、第2の電極群255に、突出部255H及び255Sを設けて不要光を遮断しているため、洩れ光による二次ピークINTHA-X及びINTHB-Xの発生を抑制でき、瞳分割特性の悪化を軽減できる。
図21は焦点検出用画素SVC、SVDと撮像用画素の瞳尖鋭度を説明する図である。図20に対して図21は瞳分割方向が90度異なっているため、図21(b)及び図21(c)の特性が図20(b)及び図20(c)と反転しているが、瞳分割方向の特性同士を比較すると、両者は実質上同一の特性である。また、瞳分割方向と直交する方向の特性も両者は実質上同一である。
なお、第2の実施形態における焦点検出領域の選択や、位相差検出用画像は図13に示したものと同一である。また、焦点検出や撮像に係る動作は第1の実施形態において図14ないし図16を参照して説明したとおりであるため、説明は省略する。
以上説明したように、本実施形態によれば、第1の実施形態の効果に加え、マイクロレンズの焦点位置の近くに設けられる電極群によって瞳分割用の開口部を形成するため、瞳分割方向とこれに直交する方向の瞳強度分布が尖鋭になる。
さらに、瞳分割用の開口部を形成する電極群とは異なる電極群により、無電極部から入射して光電変換部に到達する光を遮断することで、瞳分離特性を一層向上させることができる。その結果、位相差検出用の像信号の劣化が抑制され、焦点検出精度を向上させることができる。
また、瞳分割方向の光束を制限する開口部を形成する全ての部材とマイクロレンズ間の距離が大きいので、光束を制限する部材とマイクロレンズのアライメント誤差に起因する瞳強度分布の位置ずれ誤差を一層低くすることができる。その結果、焦点検出用瞳が撮影レンズにケラレる場合であっても、一対の瞳におけるケラレ量がほぼ同一となり、光量アンバランスが生じにくいため、焦点検出精度の低下を一層抑制できる。
なお、上述の実施形態では、本発明に係る焦点検出装置をデジタルスチルカメラに適用した場合を説明した。しかし、CMOSイメージセンサを代表とする、光電変換部とマイクロレンズとの間に光遮蔽が可能な物質による層が形成される撮像素子に対して本発明は広く利用可能である。従って、そのような撮像素子を利用可能な任意の装置に対して本発明を適用可能である。具体的には、動画撮影を行なうカムコーダ(ムービーカメラ)、各種検査カメラ、監視カメラ、内視鏡カメラ、ロボット用カメラ等、デジタルカメラの機能を有する任意の装置に適用可能である。
なお、上述の実施形態において、焦点検出用画素を有する撮像素子以外の構成は本発明に必須でない。焦点検出用画素の出力から位相差検出用の1対の像信号を生成する構成や、位相差検出用の1対の像信号からフォーカスのずれ量を求める構成は公知の任意の構成を利用することができる。

Claims (8)

  1. 入射する光束を信号電荷に変換する光電変換部と、前記光電変換部の近傍に焦点位置を有するマイクロレンズとを有する画素が複数配列された焦点検出装置であって、
    前記複数の画素の前記光電変換部が変換した信号電荷を読み出すための電極群を有し、
    前記複数の画素が、撮像画像を生成するための複数の撮像用画素と、位相差検出方式による焦点検出を行うための像信号を生成するための複数の焦点検出用画素とを含み、
    前記電極群が、前記撮像用画素については、前記マイクロレンズを介して前記光電変換部に入射する光束を遮らないように配置され、前記焦点検出用画素については、前記マイクロレンズを介して前記光電変換部に入射する光束のうち、予め定められた瞳分割方向における光束を制限するための開口を形成するように、前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に配置されることを特徴とする焦点検出装置。
  2. 前記電極群が、前記光電変換部の周囲に設けられた複数の電極から構成され、前記焦点検出用画素の周囲に設けられた電極の幅を前記焦点検出用画素の光電変換部の中心に向かって拡張して形成することにより、前記開口を形成することを特徴とする請求項1記載の焦点検出装置。
  3. 前記電極群が多層構造を有するとともに、
    前記開口が、前記瞳分割方向に直交する辺と、前記瞳分割方向と平行な辺とを有する形状を有し、
    前記開口の、少なくとも前記瞳分割方向に直交する辺を形成する電極が、前記電極群のうち、前記マイクロレンズの焦点位置から最も遠い層以外の層の電極であることを特徴とする請求項2記載の焦点検出装置。
  4. 前記開口の前記瞳分割方向に直交する辺を形成する電極が、前記電極群のうち、前記マイクロレンズの焦点位置から最も遠い層以外の層の電極であり、前記開口の前記瞳分割方向に平行な辺を形成する電極が、前記電極群のうち、前記開口の前記瞳分割方向に直交する辺を形成する電極よりも、前記マイクロレンズの焦点位置から遠い層の電極であることを特徴とする請求項3記載の焦点検出装置。
  5. 前記開口の前記瞳分割方向に直交する辺と、前記瞳分割方向と平行な辺を形成する電極が、いずれも、前記電極群のうち、前記マイクロレンズの焦点位置から最も遠い層以外の1つの層の電極であり、
    前記焦点検出用画素の周囲に設けられた電極のうち、前記開口の辺を形成する電極よりも、前記マイクロレンズの焦点位置から遠い層の電極が、前記焦点検出用画素の光電変換部のうち、前記開口の辺を形成する電極で遮光されていない領域を遮光するように形成されることを特徴とする請求項3記載の焦点検出装置。
  6. 前記複数の焦点検出用画素が均等な密度となるように配置されるとともに、第1の瞳分割方向を有する焦点検出用画素対と、当該第1の瞳分割方向と直交する第2の瞳分割方向を有する焦点検出用画素対とを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の焦点検出装置。
  7. 前記複数の焦点検出用画素から読み出された信号電荷に基づいて、前記瞳分割方向における位相差を検出するための1対の像信号を生成する生成手段と、
    前記生成手段が生成した1対の像信号から、焦点ずれ量を算出する算出手段とをさらに有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の焦点検出装置。
  8. フォーカスレンズを有する撮影光学系と、
    請求項7記載の焦点検出装置と、
    前記算出手段が算出したフォーカスずれ量に応じて前記フォーカスレンズを駆動する駆動手段と、
    前記焦点検出装置の前記撮像用画素から読み出した信号電荷に基づいて画像を生成する画像処理手段とを有することを特徴とする撮像装置。
JP2009049716A 2008-03-11 2009-03-03 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置 Active JP5451111B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009049716A JP5451111B2 (ja) 2008-03-11 2009-03-03 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置
KR1020107022029A KR101240080B1 (ko) 2008-03-11 2009-03-06 초점 검출 장치 및 그것을 갖는 촬상 장치
EP09719908.7A EP2255238A4 (en) 2008-03-11 2009-03-06 FOCUS DETECTION DEVICE AND IMAGE FORMING APPARATUS PROVIDED THEREWITH
PCT/JP2009/054818 WO2009113644A1 (en) 2008-03-11 2009-03-06 Focus detection device and imaging apparatus having the same
CN2009801081056A CN101960353B (zh) 2008-03-11 2009-03-06 焦点检测装置和具有焦点检测装置的成像设备
US12/921,466 US8711270B2 (en) 2008-03-11 2009-03-06 Focus detection device and imaging apparatus having the same

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008061845 2008-03-11
JP2008061845 2008-03-11
JP2009049716A JP5451111B2 (ja) 2008-03-11 2009-03-03 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009244862A true JP2009244862A (ja) 2009-10-22
JP2009244862A5 JP2009244862A5 (ja) 2012-03-29
JP5451111B2 JP5451111B2 (ja) 2014-03-26

Family

ID=41065305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009049716A Active JP5451111B2 (ja) 2008-03-11 2009-03-03 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8711270B2 (ja)
EP (1) EP2255238A4 (ja)
JP (1) JP5451111B2 (ja)
KR (1) KR101240080B1 (ja)
CN (1) CN101960353B (ja)
WO (1) WO2009113644A1 (ja)

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010213253A (ja) * 2009-02-13 2010-09-24 Nikon Corp 撮像素子、撮像装置及び撮像素子の製造方法
JP2011114553A (ja) * 2009-11-26 2011-06-09 Nikon Corp 撮像装置
US8558940B2 (en) 2008-11-27 2013-10-15 Nikon Corporation Image sensor and image-capturing device
US8848096B2 (en) 2011-04-19 2014-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Image-pickup apparatus and control method therefor
JP2014228671A (ja) * 2013-05-22 2014-12-08 ソニー株式会社 信号処理装置および信号処理方法、固体撮像装置、並びに、電子機器
US8937361B2 (en) 2011-02-03 2015-01-20 Digitaloptics Corporation BSI image sensor package with variable-height silicon for even reception of different wavelengths
US9025060B2 (en) 2011-04-01 2015-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image sensor having a shielding unit for shielding some of photo-electric converters and image capturing apparatus including the solid-state image sensor
US9041133B2 (en) 2011-02-03 2015-05-26 Nan Chang O-Film Optoelectronics Technology Ltd BSI image sensor package with embedded absorber for even reception of different wavelengths
WO2015087515A2 (en) 2013-12-12 2015-06-18 Sony Corporation Solid state imaging device, manufacturing method of the same, and electronic equipment
US9654681B2 (en) 2013-12-03 2017-05-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Electronic apparatus and method of controlling the same
JP2017085484A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 日本放送協会 撮像素子、合焦位置検出器及び撮像装置
JP2017092499A (ja) * 2017-02-10 2017-05-25 キヤノン株式会社 固体撮像装置、及び撮像システム
JP2017143517A (ja) * 2017-02-09 2017-08-17 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
US9786714B2 (en) 2014-02-18 2017-10-10 Sony Corporation Solid-state imaging element, method for manufacturing solid-state imaging element, and electronic device
US10115756B2 (en) 2012-02-24 2018-10-30 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image pickup device and image pickup system having light shielding portion with first and second films on respective under face and upper face sides
JP2019086789A (ja) * 2019-01-10 2019-06-06 オリンパス株式会社 撮像素子
US11102392B2 (en) 2019-02-15 2021-08-24 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus detecting focus with phase difference detection method, control method therefor, and storage medium storing control program therefor
US11496665B2 (en) 2019-10-30 2022-11-08 Canon Kabushiki Kaisha Image capturing apparatus and control method thereof
US11791353B2 (en) 2013-12-12 2023-10-17 Sony Group Corporation Solid state imaging device, manufacturing method of the same, and electronic equipment

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5552214B2 (ja) * 2008-03-11 2014-07-16 キヤノン株式会社 焦点検出装置
JP5451111B2 (ja) * 2008-03-11 2014-03-26 キヤノン株式会社 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置
JP2012032723A (ja) * 2010-08-03 2012-02-16 Sony Corp 撮像装置、撮像素子、撮像方法およびプログラム
JP5764884B2 (ja) * 2010-08-16 2015-08-19 ソニー株式会社 撮像素子および撮像装置
WO2012073728A1 (ja) * 2010-11-30 2012-06-07 富士フイルム株式会社 撮像装置及びその合焦位置検出方法
US8742309B2 (en) 2011-01-28 2014-06-03 Aptina Imaging Corporation Imagers with depth sensing capabilities
JP6016396B2 (ja) * 2011-03-24 2016-10-26 キヤノン株式会社 撮像素子および撮像装置
JP5331945B2 (ja) 2011-03-31 2013-10-30 富士フイルム株式会社 撮像装置及びその駆動方法
JP5404693B2 (ja) * 2011-05-18 2014-02-05 キヤノン株式会社 撮像素子、それを具備した撮像装置及びカメラシステム
JP5751946B2 (ja) * 2011-06-15 2015-07-22 キヤノン株式会社 焦点調節装置およびその制御方法
JP5845023B2 (ja) 2011-08-08 2016-01-20 キヤノン株式会社 焦点検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮像装置
US10015471B2 (en) 2011-08-12 2018-07-03 Semiconductor Components Industries, Llc Asymmetric angular response pixels for single sensor stereo
JP5755111B2 (ja) * 2011-11-14 2015-07-29 キヤノン株式会社 撮像装置の駆動方法
JP2013145779A (ja) * 2012-01-13 2013-07-25 Sony Corp 固体撮像装置及び電子機器
JP5955000B2 (ja) * 2012-01-25 2016-07-20 キヤノン株式会社 固体撮像素子、該固体撮像素子を備えた距離検出装置、及びカメラ
JP2013157883A (ja) * 2012-01-31 2013-08-15 Sony Corp 固体撮像素子およびカメラシステム
US9554115B2 (en) * 2012-02-27 2017-01-24 Semiconductor Components Industries, Llc Imaging pixels with depth sensing capabilities
JP5542249B2 (ja) * 2012-03-28 2014-07-09 富士フイルム株式会社 撮像素子及びこれを用いた撮像装置及び撮像方法
US20150062391A1 (en) * 2012-03-30 2015-03-05 Nikon Corporation Image sensor, photographing method, and image-capturing device
WO2013161944A1 (ja) * 2012-04-25 2013-10-31 株式会社ニコン 焦点検出装置、焦点調節装置およびカメラ
JP6004768B2 (ja) * 2012-06-14 2016-10-12 キヤノン株式会社 焦点検出のための信号処理装置、信号処理方法およびプログラム、ならびに焦点検出装置を有する撮像装置
JP6045214B2 (ja) * 2012-06-19 2016-12-14 キヤノン株式会社 焦点調節装置及びその制御方法
JP5997541B2 (ja) * 2012-08-10 2016-09-28 キヤノン株式会社 画像信号処理装置およびその制御方法
JP5942697B2 (ja) 2012-08-21 2016-06-29 株式会社ニコン 焦点検出装置および撮像装置
JP2014106476A (ja) 2012-11-29 2014-06-09 Canon Inc 焦点検出装置、撮像装置、撮像システム、焦点検出方法、プログラム、および、記憶媒体
CN103024199A (zh) * 2012-12-28 2013-04-03 天津三星光电子有限公司 一种智能拍照手机
WO2014106935A1 (ja) * 2013-01-04 2014-07-10 富士フイルム株式会社 画像処理装置、撮像装置、プログラム及び画像処理方法
JP5886781B2 (ja) * 2013-03-26 2016-03-16 キヤノン株式会社 焦点検出装置、焦点検出方法およびプログラム、並びに撮像装置
WO2014208047A1 (ja) * 2013-06-24 2014-12-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 固体撮像装置およびその製造方法
JP6127869B2 (ja) * 2013-09-25 2017-05-17 ソニー株式会社 固体撮像素子及びその駆動方法、並びに電子機器
KR102149463B1 (ko) 2014-02-19 2020-08-28 삼성전자주식회사 이미지를 처리하기 위한 전자 장치 및 방법
US9445018B2 (en) * 2014-05-01 2016-09-13 Semiconductor Components Industries, Llc Imaging systems with phase detection pixels
US9888198B2 (en) 2014-06-03 2018-02-06 Semiconductor Components Industries, Llc Imaging systems having image sensor pixel arrays with sub-pixel resolution capabilities
JP6466656B2 (ja) * 2014-06-19 2019-02-06 オリンパス株式会社 撮像素子および撮像装置
JP2016006449A (ja) * 2014-06-20 2016-01-14 キヤノン株式会社 撮像装置およびその制御方法
US9749556B2 (en) 2015-03-24 2017-08-29 Semiconductor Components Industries, Llc Imaging systems having image sensor pixel arrays with phase detection capabilities
KR102374112B1 (ko) 2015-07-15 2022-03-14 삼성전자주식회사 오토 포커싱 픽셀을 포함하는 이미지 센서, 및 이를 포함하는 이미지 처리 시스템
US11012604B2 (en) * 2016-01-08 2021-05-18 Nikon Corporation Image-capturing device and electronic camera
JP6907029B2 (ja) * 2017-05-31 2021-07-21 キヤノン株式会社 撮像装置
JP2019106634A (ja) * 2017-12-13 2019-06-27 オリンパス株式会社 撮像素子及び撮像装置
JP2019168661A (ja) * 2018-03-26 2019-10-03 キヤノン株式会社 制御装置、撮像装置、制御方法、プログラム、および、記憶媒体
WO2020012860A1 (ja) * 2018-07-09 2020-01-16 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像素子および撮像素子の製造方法
KR20220156332A (ko) * 2021-05-18 2022-11-25 삼성전자주식회사 오토 포커스 픽셀을 포함하는 이미지 센서

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000156823A (ja) * 1998-08-20 2000-06-06 Canon Inc 固体撮像装置及びその制御方法及び撮像装置及び光電変換セルの基本配列及び記憶媒体
JP2005072364A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Fuji Film Microdevices Co Ltd 固体撮像素子及びその製造方法
JP2007184716A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 Nikon Corp 撮像素子および撮像兼焦点検出装置
JP2008015215A (ja) * 2006-07-06 2008-01-24 Nikon Corp 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58150920A (ja) * 1982-03-04 1983-09-07 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 焦点検出装置
JPH08106041A (ja) 1994-10-06 1996-04-23 Asahi Optical Co Ltd 焦点検出装置
JP4011710B2 (ja) 1998-01-23 2007-11-21 キヤノン株式会社 撮像装置
US6995800B2 (en) 2000-01-27 2006-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus utilizing a plurality of converging lenses
JP4908668B2 (ja) 2000-04-19 2012-04-04 キヤノン株式会社 焦点検出装置
JP4500434B2 (ja) * 2000-11-28 2010-07-14 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム、並びに撮像方法
US20060125945A1 (en) * 2001-08-07 2006-06-15 Satoshi Suzuki Solid-state imaging device and electronic camera and shading compensaton method
JP4532800B2 (ja) * 2001-11-08 2010-08-25 キヤノン株式会社 撮像装置及びシステム
JP2006126652A (ja) 2004-10-29 2006-05-18 Canon Inc 撮像装置
WO2006129677A1 (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Nikon Corporation 結像状態検出装置
JP4797606B2 (ja) 2005-12-01 2011-10-19 株式会社ニコン 撮像装置
US7751700B2 (en) * 2006-03-01 2010-07-06 Nikon Corporation Focus adjustment device, imaging device and focus adjustment method
JP5045012B2 (ja) 2006-07-20 2012-10-10 株式会社ニコン 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置
JP4321579B2 (ja) * 2006-11-28 2009-08-26 ソニー株式会社 撮像装置
JP5076528B2 (ja) * 2007-02-06 2012-11-21 株式会社ニコン 光電変換部の連結/分離構造、固体撮像素子及び撮像装置
JP5098405B2 (ja) * 2007-04-11 2012-12-12 株式会社ニコン 撮像素子、焦点検出装置および撮像装置
JP5028154B2 (ja) * 2007-06-20 2012-09-19 キヤノン株式会社 撮像装置及びその制御方法
JP5040700B2 (ja) * 2008-02-12 2012-10-03 ソニー株式会社 撮像素子および撮像装置
JP5552214B2 (ja) * 2008-03-11 2014-07-16 キヤノン株式会社 焦点検出装置
JP5451111B2 (ja) * 2008-03-11 2014-03-26 キヤノン株式会社 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置
JP5276371B2 (ja) * 2008-07-09 2013-08-28 キヤノン株式会社 撮像装置
JP5317562B2 (ja) * 2008-07-17 2013-10-16 キヤノン株式会社 位相差検出装置、撮像装置、位相差検出方法、位相差検出プログラム
JP5230388B2 (ja) * 2008-12-10 2013-07-10 キヤノン株式会社 焦点検出装置及びその制御方法
JP5517514B2 (ja) * 2009-07-16 2014-06-11 キヤノン株式会社 撮像装置及びその制御方法
JP2011197080A (ja) * 2010-03-17 2011-10-06 Olympus Corp 撮像装置及びカメラ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000156823A (ja) * 1998-08-20 2000-06-06 Canon Inc 固体撮像装置及びその制御方法及び撮像装置及び光電変換セルの基本配列及び記憶媒体
JP2005072364A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Fuji Film Microdevices Co Ltd 固体撮像素子及びその製造方法
JP2007184716A (ja) * 2006-01-05 2007-07-19 Nikon Corp 撮像素子および撮像兼焦点検出装置
JP2008015215A (ja) * 2006-07-06 2008-01-24 Nikon Corp 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8558940B2 (en) 2008-11-27 2013-10-15 Nikon Corporation Image sensor and image-capturing device
JP2010213253A (ja) * 2009-02-13 2010-09-24 Nikon Corp 撮像素子、撮像装置及び撮像素子の製造方法
JP2011114553A (ja) * 2009-11-26 2011-06-09 Nikon Corp 撮像装置
US9041133B2 (en) 2011-02-03 2015-05-26 Nan Chang O-Film Optoelectronics Technology Ltd BSI image sensor package with embedded absorber for even reception of different wavelengths
US8937361B2 (en) 2011-02-03 2015-01-20 Digitaloptics Corporation BSI image sensor package with variable-height silicon for even reception of different wavelengths
US9025060B2 (en) 2011-04-01 2015-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image sensor having a shielding unit for shielding some of photo-electric converters and image capturing apparatus including the solid-state image sensor
US8848096B2 (en) 2011-04-19 2014-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Image-pickup apparatus and control method therefor
US10115756B2 (en) 2012-02-24 2018-10-30 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image pickup device and image pickup system having light shielding portion with first and second films on respective under face and upper face sides
US10277830B2 (en) 2013-05-22 2019-04-30 Sony Corporation Solid-state imaging apparatus and light-shielding pixel arrangements thereof
JP2014228671A (ja) * 2013-05-22 2014-12-08 ソニー株式会社 信号処理装置および信号処理方法、固体撮像装置、並びに、電子機器
US9571762B2 (en) 2013-05-22 2017-02-14 Sony Corporation Signal processor and signal processing method, solid-state imaging apparatus, and electronic device
US9654681B2 (en) 2013-12-03 2017-05-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Electronic apparatus and method of controlling the same
US9780139B2 (en) 2013-12-12 2017-10-03 Sony Corporation Solid state imaging device, manufacturing method of the same, and electronic equipment
WO2015087515A2 (en) 2013-12-12 2015-06-18 Sony Corporation Solid state imaging device, manufacturing method of the same, and electronic equipment
KR20160097121A (ko) 2013-12-12 2016-08-17 소니 주식회사 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법, 및 전자 기기
JP2015133469A (ja) * 2013-12-12 2015-07-23 ソニー株式会社 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器
US11791353B2 (en) 2013-12-12 2023-10-17 Sony Group Corporation Solid state imaging device, manufacturing method of the same, and electronic equipment
US9786714B2 (en) 2014-02-18 2017-10-10 Sony Corporation Solid-state imaging element, method for manufacturing solid-state imaging element, and electronic device
JP2017085484A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 日本放送協会 撮像素子、合焦位置検出器及び撮像装置
JP2017143517A (ja) * 2017-02-09 2017-08-17 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JP2017092499A (ja) * 2017-02-10 2017-05-25 キヤノン株式会社 固体撮像装置、及び撮像システム
JP2019086789A (ja) * 2019-01-10 2019-06-06 オリンパス株式会社 撮像素子
US11102392B2 (en) 2019-02-15 2021-08-24 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus detecting focus with phase difference detection method, control method therefor, and storage medium storing control program therefor
US11496665B2 (en) 2019-10-30 2022-11-08 Canon Kabushiki Kaisha Image capturing apparatus and control method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100116710A (ko) 2010-11-01
US8711270B2 (en) 2014-04-29
CN101960353A (zh) 2011-01-26
WO2009113644A1 (en) 2009-09-17
JP5451111B2 (ja) 2014-03-26
EP2255238A1 (en) 2010-12-01
CN101960353B (zh) 2012-09-26
EP2255238A4 (en) 2014-04-02
US20110025904A1 (en) 2011-02-03
KR101240080B1 (ko) 2013-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5451111B2 (ja) 焦点検出装置およびそれを有する撮像装置
JP5552214B2 (ja) 焦点検出装置
JP5825817B2 (ja) 固体撮像素子及び撮像装置
JP5159700B2 (ja) 光学装置及び焦点検出方法
RU2585235C2 (ru) Устройство захвата изображения
JP5901246B2 (ja) 撮像装置
US8634015B2 (en) Image capturing apparatus and method and program for controlling same
JP5276374B2 (ja) 焦点検出装置
JP5676962B2 (ja) 焦点検出装置および撮像装置
JP4992481B2 (ja) 焦点検出装置および撮像装置
WO2011045850A1 (ja) 焦点調節装置及び焦点調節方法
JP5947601B2 (ja) 焦点検出装置、その制御方法および撮像装置
JP2010204263A (ja) 光学機器及び信号処理装置
JP2014153509A (ja) 撮像装置及び撮像方法
JP5067148B2 (ja) 撮像素子、焦点検出装置および撮像装置
JP2010181485A (ja) 撮像装置および撮像素子
US11006036B2 (en) Image sensor and image capturing apparatus
JP2012220790A (ja) 撮像装置
JP5852371B2 (ja) 撮像装置及びその制御方法
JP2017188633A (ja) 撮像素子及び撮像装置
JP5858683B2 (ja) 焦点検出装置および撮像装置
JP7387265B2 (ja) 撮像素子、撮像装置、及び制御方法、並びにプログラム
JP2016071275A (ja) 撮像装置およびフォーカス制御プログラム
JP6748529B2 (ja) 撮像素子及び撮像装置
JP2016045322A (ja) 撮像装置及びその制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120213

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130204

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130403

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131226

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5451111

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151