JP2009244187A - バランス修正装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】高精度なバランス修正加工を行えるバランス修正装置を提供する
【解決手段】回転機械の回転軸7と一体的に回転する部分である除去対象部1を少なくとも部分的に除去加工して回転機械の回転バランスを修正するバランス修正装置10であって、除去対象部を除去加工する加工装置13と、除去加工時に、加工装置を所定の待機位置から所定の位置に固定された回転軸7の除去対象部へ送ることで除去加工を行う制御装置16と、除去対象部の位置を検知する位置検知装置14と、を備える。制御装置16は、除去加工時に、位置検知装置14が計測した除去対象部の位置に基づいた送り量だけ、加工装置13を除去対象部へ送る。
【選択図】図1

Description

本発明は、過給機やターボ圧縮機やガスタービンなどの回転機械の回転軸と一体的に回転する部分である除去対象部を少なくとも部分的に除去加工して回転機械の回転バランスを修正するバランス修正装置に関する。
過給機やターボ圧縮機やガスタービンなどの回転機械においては、回転バランスを修正することが行われている。
過給機を例として、従来における回転バランス修正について説明する。
過給機は、車両や船舶などに搭載されるエンジンの排ガスエネルギーを利用して、エンジンに圧縮空気を供給する装置である。過給機は、エンジンの排ガスにより回転駆動されるタービン翼と、タービン翼と一体的に回転するコンプレッサ翼と、一端部にタービン翼が結合され他端部にコンプレッサ翼が結合される回転軸とを有する。コンプレッサ翼の回転により圧縮空気がエンジンに供給される。
過給機を製品として出荷する前に、その回転バランスを修正することが行われている。回転バランスの修正は、タービン翼側またはコンプレッサ側において回転軸と一体的に回転する部分である除去対象部(例えば、回転軸に固定されたナットなどの固定物)を少なくとも部分的に除去加工することで行う。除去対象部における除去加工する位置および除去加工量は、過給機を高速で回転させた状態で、その回転アンバランス量などを測定して得たデータに基づいて定められる。このような過給機の回転バランス修正は、例えば下記の特許文献1、2に記載されている。
また、除去加工は、例えば、回転軸の一端にある前記除去対象部へ向けて加工具を回転軸の軸方向に送ることで行っている。この加工具の送り量は、例えば次の式により算出する。
(加工具の送り量)=(目標除去加工質量)÷(除去対象部の比重)÷(各軸方向位置における加工具による加工面積)
特開2002−39904号公報 特開2005−207805号公報
しかし、従来の除去加工では、回転機械(例えば、過給機)における各部品の組立て公差などの製作公差により、回転機械の個体が変わると除去対象部(例えば、ナット)の回転軸方向位置も変わってしまう。従って、回転機械と加工具をそれぞれ除去加工用の所定位置に設置した場合に、回転機械毎に、加工具と除去対象部との相対位置が変わってしまう。加工具と除去対象部との相対距離が大きくなった場合には、実際の除去加工質量が目標除去加工質量よりも少なくなり、加工具と除去対象部との相対距離が小さくなった場合には、実際の除去加工質量が目標除去加工質量よりも多くなってしまう。
そのため、例えば、mg単位の除去加工質量精度で除去加工を行うために必要な、1μm単位の除去加工深さ精度を達成することが困難であった。
その結果、除去加工し過ぎは問題となるため、浅めに除去加工を行い、その後、バランス計測を再びを行い、次いで、最終的な除去加工を行うといった複数の段階を踏むことになる。また、1回目の除去加工後の残留アンバランス量を適切に修正することができない可能性もあった。
そこで、本発明の目的は、過給機やターボ圧縮機やガスタービンなどの回転機械に対し高精度なバランス修正加工を行えるバランス修正装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明によると、回転機械の回転軸と一体的に回転する部分である除去対象部を少なくとも部分的に除去加工して回転機械の回転バランスを修正するバランス修正装置であって、
前記除去対象部を除去加工する加工装置と、
前記除去加工時に、前記加工装置を所定の待機位置から所定の位置に固定された前記回転軸の前記除去対象部へ送ることで前記除去加工を行う制御装置と、
前記除去対象部の位置を検知する位置検知装置と、を備え、
前記制御装置は、前記除去加工時に、前記位置検知装置が計測した前記除去対象部の前記位置に基づいた送り量だけ、前記加工装置を前記除去対象部へ送る、ことを特徴とするバランス修正装置が提供される。
上記本発明のバランス修正装置では、前記制御装置は、前記除去加工時に、前記位置検知装置が計測した前記除去対象部の前記位置に基づいた送り量だけ、前記加工装置を前記除去対象部へ送るので、回転機械毎に、所定の位置に固定された除去対象部と前記待機位置にある加工装置との相対位置が変化する影響を受けず、除去加工を行える。
これにより、回転機械に対し高精度なバランス修正加工を行える。例えば、1μm単位の除去加工深さ(切削深さ)精度を達成することが可能となり、目標除去加工質量と実除去加工質量との誤差を数mg以下にすることが可能になる。
本発明の好ましい実施形態によると、前記加工装置は、前記除去対象部を除去加工する加工具と、該加工具が設置される可動部と、該可動部を移動させる駆動装置と、を有し、
前記制御装置は、前記駆動装置を制御することで前記可動部を前記送り量だけ前記除去対象部へ送り、
前記位置検知装置は、前記可動部に設置される接触センサ部を有し、
前記制御装置が行う前記可動部の移動制御によって接触センサ部を前記除去対象部に接触させることで、前記位置検知装置は該除去対象部の位置を検知する。
このように、前記可動部に前記加工装置の加工具と前記位置検知装置の接触センサ部が設置され、前記制御装置が行う前記可動部の移動制御によって接触センサ部を前記除去対象部に接触させることで、前記位置検知装置は該除去対象部の位置を検知するので、回転機械に対してより高精度なバランス修正加工を行える。即ち、除去対象部の位置の検知と該除去加工部の除去加工とを同じ可動部の移動により行うので、除去対象部の検知位置と除去対象部の除去加工位置とのずれを大幅に低減でき、これにより、高精度なバランス修正加工を行うことができる。
本発明の好ましい実施形態によると、前記制御装置が、前記送り量だけ前記加工装置を前記除去対象部へ送ることで前記除去加工を行った後、前記位置検知装置は、該除去加工された除去対象部の加工面の位置を検知し、前記制御装置は、前記加工面の前記位置に基づいて、次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正する。
このように、前記制御装置が、前記送り量だけ前記加工装置を前記除去対象部へ送ることで前記除去加工を行った後、前記位置検知装置は、該除去加工された除去対象部の加工面の位置を検知し、前記制御装置は、前記加工面の前記位置に基づいて、次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正するので、次の除去加工時には、除去加工量の誤差が一層低減される。
即ち、前記加工装置の前記送り量は、待機位置から前記検知位置までの距離に設定加工距離(設定加工深さ)を合わせた距離であるので、前記設定加工距離(設定加工深さ)は、除去加工前の除去対象部の検知位置と、除去加工後の前記加工面の検知位置との差となる。従って、当該差と前記設定加工距離とが一致しない場合には、誤差が発生しているため、当該差と前記設定加工距離とのずれに基づいて、当該ずれが無くなるように次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正する。これにより、除去加工量の誤差が一層低減される。
上述した本発明のバランス修正装置によると、高精度なバランス修正加工を行える。
本発明を実施するための最良の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
図1は、本発明の実施形態による回転機械のバランス修正装置10の概略構成図である。図1の例では、回転機械は過給機である。なお、図1において、符号3は、エンジンの排ガスにより回転駆動される過給機のタービン翼を示し、符号5は、タービン翼3と一体的に回転するコンプレッサ翼を示し、符号7は、一端部にタービン翼3が結合され他端部にコンプレッサ翼5が結合される回転軸を示し、符号8はタービンハウジングを示し、符号17は軸受ハウジングを示す。図1において、過給機はベース27に設置されている。
図1に示すように、バランス修正装置10は、回転軸7、タービン翼3、コンプレッサ翼5を一体的に回転可能な状態に組み立てた回転体部分の回転バランスを修正する装置である。この回転バランス修正のために、バランス修正装置10は、過給機の回転軸7と一体的に回転する部分である除去対象部1を少なくとも部分的に除去加工する。図2は、図1のII−II線矢視図である。
バランス修正装置10は、加工装置13、位置検知装置14および制御装置16およびを有する。
加工装置13は、図2に示すように、除去対象部1を除去加工する装置であり、図2の例では、除去対象部1を除去加工するエンドミルなどの加工具13aと、該加工具13aが設置される可動部13bと、該可動部13bを移動させるサーボモータなどの駆動装置13cと、を有する。
位置検知装置14は、除去対象部1の位置を検知する。図1、図2の例では、位置検知装置14は、可動部13bに設置される接触センサ部14aを有する。後述のように、制御装置16が行う可動部13bの移動制御によって接触センサ部14aを除去対象部1に接触させることで、位置検知装置14は該除去対象部1の位置を検知する。なお、接触センサ部14aは、検知対象物に接触すると、その旨が検知できる公知のセンサであってよい。従って、制御装置16がまず接触センサ部14aを前記待機位置に移動させ、その上で、位置検知装置14は、制御装置16が接触センサ部14aを前記待機位置から回転軸7の軸方向に移動させ始めた時から、接触センサ部14aが除去対象部1に接触する時まで、制御装置16によって接触センサ部14a(即ち、可動部13b)が移動距離した距離を計測し、当該計測距離(または、前記待機位置に当該計測距離を加算した値)を除去対象部1の位置としてよい。なお、加工具13aが除去対象部1を除去加工する時の可動部13bの高さ(鉛直方向位置)と、加工具13aにより当該除去加工される除去対象部1の箇所(位置)を接触センサ部14aが検知する時の可動部13bの高さ(鉛直方向位置)とが同じになるように、加工具13aと接触センサ部14aとが可動部13bに設置・固定される。
制御装置16は、前記除去加工時に、加工装置13を所定の待機位置から所定の位置に固定された回転軸7の除去対象部1へ送ることで、除去加工が行われるようにする。即ち、回転駆動されているエンドミルなどの加工装置13(図2の例では、可動部13bとこれに設置された加工具13a)を除去対象部1へ送ることで、この送り量に対応する量が除去対象部1から除去される。図2の例では、制御装置16は、加工装置13を回転軸7の軸方向に送る。
制御装置16は、除去加工時に、位置検知装置14が検知した除去対象部1の前記位置に基づいた送り量だけ、加工装置13を除去対象部1へ送る。制御装置16が、加工装置13を待機位置から送る量は、前記待機位置から前記検知位置までの距離に設定加工距離(設定加工深さ)を合わせた距離(例えば前記計測距離)である。当該待機位置は、具体的には、加工装置13が前記待機位置にある状態における予め分かっている加工具13aの先端位置(即ち、設定加工具位置)である。
また、制御装置16は、駆動装置13cを制御することで、加工装置13(図2の例では、可動部13b)を回転軸7の軸方向(図2の左右方向)だけでなく、該軸方向と垂直な水平方向(図2の上下方向)にも移動させることができる。除去対象部1の軸方向位置を検知する場合には、除去対象部1(の設定目標加工位置)と位置検知装置14(図2の例では、接触センサ部14a)とが前記軸方向の同一直線上に位置するように可動部13bを移動させた上で、可動部13bを除去対象部1へ向けて前記軸方向に移動させる。即ち、接触センサ部14aが前記待機位置に位置するように可動部13bを移動させた上で、可動部13bを除去対象部1へ向けて前記軸方向に移動させる。一方、除去対象部1の除去加工を行う場合には、除去対象部1(の設定目標加工位置)と加工装置13(図2の例では、加工具13a)とが軸方向の同一直線上に位置するように可動部13bを移動させた上で、可動部13bを除去対象部1へ向けて軸方向に移動させる。即ち、加工具13aが前記待機位置に位置するように可動部13bを移動させた上で、可動部13bを除去対象部1へ向けて前記軸方向に移動させる。
本発明の好ましい実施形態によると、制御装置16が、前記送り量だけ加工装置13を除去対象部1へ送ることで前記除去加工を行った後、位置検知装置14は、該除去加工された除去対象部1の加工面の位置を検知し、制御装置16は、前記加工面の前記位置に基づいて、次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正する。除去加工が誤差無く行われていれば、設定加工距離(設定加工深さ)は、除去加工前の除去対象部1の(軸方向)検知位置と、除去加工後の前記加工面の(軸方向)検知位置との差となる。従って、当該差と前記設定加工距離とが一致しない場合には、誤差が発生しているため、当該差と前記設定加工距離とのずれに基づいて、当該ずれが無くなるように次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正する。
上述した本発明の実施形態によるバランス修正装置では、制御装置16は、前記除去加工時に、位置検知装置14が計測した除去対象部1の前記位置に基づいた送り量だけ、加工装置13を除去対象部1へ送るので、回転機械毎に、所定の位置に固定さにある回転機械(過給機)の除去対象部1と前記待機位置にある加工装置13との相対位置が変化する影響を受けず、除去加工を行える。
これにより、回転機械に対し高精度なバランス修正加工を行える。例えば、1μm単位の除去加工深さ(切削深さ)精度を達成することが可能となり、目標除去加工質量と実除去加工質量との誤差を数mg以下にすることが可能になる。
また、可動部13bに加工装置13の加工具13aと位置検知装置14の接触センサ部14aが設置され、制御装置16が行う可動部13bの移動制御によって接触センサ部14aを除去対象部1に接触させることで、位置検知装置14は該除去対象部1の位置を検知するので、回転機械に対してより高精度なバランス修正加工を行える。即ち、除去対象部1の位置の検知と該除去加工部の除去加工とを同じ可動部13bの移動により行うので、除去対象部1の検知位置と除去対象部1の除去加工位置とのずれを大幅に低減でき、これにより、高精度なバランス修正加工を行うことができる。
このように、制御装置16が、前記送り量だけ加工装置13を除去対象部1へ送ることで除去加工を行った後、位置検知装置14は、該除去加工された除去対象部1の加工面の位置を検知し、制御装置16は、前記加工面の前記位置に基づいて、次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正するので、次の除去加工時には、除去加工量の誤差が一層低減される。
次に、本発明の実施形態によるバランス修正装置の構成についてより詳しく説明する
バランス修正装置10の構成を詳細に説明する。
上述の駆動装置13cは、サーボモータを用いて、例えば可動部13bを1軸方向(回転軸7の軸方向)、2軸方向(回転軸7の軸方向を含む互いに直交する水平2方向)または3軸方向(互いに直交する水平2方向と鉛直方向)に移動させる装置である。図1は、3軸方向の場合を示す。図1、図2において、駆動装置13cは、可動部13bを第1水平方向(図2の左右方向、即ち、回転軸7の軸方向)に移動させる第1の駆動部24と、可動部13bを第1水平方向と直交する第2水平方向(図1の紙面と直交する方向)に移送させる第2の駆動部25(図1を参照)と、可動部13bを鉛直方向(図1の上下方向)に移動させる第3の駆動部26(図1を参照)とを有する。各駆動部24、25,26は、サーボモータを用いて可動部13bを移動させるものである。なお、例えば、可動部13bは第1の駆動部24に設置されてよく、第1の駆動部24は第2の駆動部25に設置されてよく、第2の駆動部25は第3の駆動部26に設置されてよく、第3の駆動部26はベース27に設置されてよい。
また、バランス修正装置10は、回転軸を固定支持するために、回転機械の非回転部分を支持して固定する本体支持部27と、回転機械の回転部分(回転軸7)を固定する回転軸固定装置11と、を備える。
本体支持部27は、過給機のタービンハウジング8が設置固定されることで、過給機の非回転部分を支持するベースであってよい。
回転軸固定装置11は、回転軸把持装置9、固定軸移動装置41、回転位置調節装置43、固定機構45および押え機構47を有する。
回転軸把持装置9は、回転軸7をその回転方向に固定するコレットチャック機構19を有する。図3に、コレットチャック機構19を示している。図3は図1の破線で囲まれた部分の拡大図である。コレットチャック機構19は、図3に示すように、コレットチャック19a、固定軸19bおよびクランプ部材19cを有する。コレットチャック19aは、その周方向に隙間をおいて配置された複数のコレット爪21を有する。各コレット爪21は、コレットチャック19aまたは回転軸7の軸方向(図1、図3の左右方向)から傾いて配置されて、各コレット爪21は、先端部(図3の右端部)のほうが後端部(図3の左端部)よりもコレットチャック19aの中心軸Aに近接している。また、複数のコレット爪21は、後端部において一体的に結合されている。コレットチャック19aの後端部は固定軸19bの先端部(図3の右端部)に固定され、これによりコレットチャック19aが固定軸19bに支持される。クランプ部材19cは、円筒形の部材であり、コレットチャック19aおよび固定軸19bに嵌合している。また、クランプ部材19cは、固定軸19bおよびコレットチャック19aの軸方向に移動可能となっている。クランプ部材19cを、軸方向後方側(図1、図3の左方向)に移動させることで、クランプ部材19cの内面が各コレット爪21をクランプ部材19cの半径方向内側に押圧する。これにより、回転軸7がその回転方向に固定される。即ち、各コレット爪21が前記半径方向内側に撓み、コレットチャック19aの内部空間に挿入されている回転軸7の被把持部7b(この例では、回転軸7の一端部)を強固に把持する。なお、コレットチャック機構19は、回転軸7の軸方向にも回転軸7を摩擦力で固定できる。即ち、この摩擦力は、加工具13aが回転軸7を軸方向に押す力よりも大きくなるようになっている。
回転軸7の被把持部7bは図1と図4に示される。図4は図1のIV−IV線矢視図である。好ましくは、図4に示すように、回転軸7の被把持部7bには、複数のコレット爪21間の前記各隙間にそれぞれ挿入される突起部23が、周方向に複数形成されている。これにより、回転軸7をその回転方向に一層強固に固定できる。
このようなコレットチャック機構19による回転軸7の固定では、回転軸7とコレットチャック機構19との間に回転軸7の回転方向(周方向)に遊びを生じさせることがないので、後述の除去加工中に回転軸7が回転方向にずれることを確実に防止できる。
固定軸移動装置41は、固定軸19bを支持するステージ41aと、このステージ41aを回転軸7の軸方向に移動させる駆動部41bとを有する。ステージ41aは、ステージ41aに取り付けられた支持部材47bおよび支持部材48bにより固定軸19bを鉛直方向に支持する。駆動部41bはサーボモータを用いたものであってよい。ステージ41aが前記軸方向に移動する時に、ステージ41aに固定された支持部材47bまたは支持部材48bが固定軸19bに固定された被支持部47aまたは被支持部材48aを前記軸方向に押すことで、固定軸19bが前記軸方向に移動させられる。
回転位置調節装置43は、除去対象部1を回転軸7の中心の回りに回転させる。図1の例では、回転位置調節装置43は、サーボモータ43aと、サーボモータ43aの回転を減速してサーボモータ43aの回転駆動力を出力する減速機43bと、減速機43bの出力軸に固定されたギヤ43cと、このギヤ43cと噛み合い回転軸把持装置9の固定軸19bに固定された位置調整ギヤ43dと、を有する。回転位置調節装置43は、コレットチャック機構19が回転軸7を強固に把持している状態で、固定軸19bの回転位置を調節する。これにより、除去対象部1の回転位置が調節される。
固定機構45は、回転位置調節装置43が、除去対象部1の回転位置を調節した後、加工具13aが除去対象部1を除去加工している時に固定軸19bが回転してしまわないように、固定軸19bをその回転方向に固定する。例えば、固定機構45は、固定軸19bに固定され固定軸19bから固定軸19bの半径方向に突出したフランジ部45aと、このフランジ部45aを固定軸19bの軸方向に強固に挟み込むクランプ装置45bとを有するものであってよい。このクランプ装置45bはステージ41aに固定されるが、その固定位置が適切な手段によって調節可能になっている。
押え機構47は、加工具13aが除去対象部1を除去加工している時に固定軸19bが軸方向後方側(図1の左方向)に移動しないように固定軸19bを軸方向に支持する。即ち、押え機構47は、押圧装置11bが回転軸7を介して固定軸19bを押圧する力に抗して固定軸19bを軸方向に支持する。例えば、押え機構47は、固定軸19bに固定され固定軸19bから固定軸19bの半径方向に突出した前記被支持部47aと、この被支持部47aに軸方向後方側(図1の左側)から当接して被支持部47aが軸方向後方側に移動することを阻止する前記支持部材47bとを有するものであってよい。
なお、図5は、図1のV−V線矢視図であり、本実施形態のバランス修正装置10により除去加工された除去対象部1を示している。
本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。
上述の実施形態では、除去対象部1は、回転軸7の他端部7aに固定されたナットであったが、本発明はこれに限定されない。即ち、除去対象部1は、回転機械の回転軸と一体的に回転する部分であればよく、回転機械の回転軸に固定された固定物(例えば、過給機の回転軸7の他端部7aに固定された円筒形の部材)であってもよいし、回転機械の回転軸の一部であってもよい。
また、本発明のバランス修正装置は、過給機以外にターボ圧縮機やガスタービンなどの他の回転機械にも適用可能である。即ち、回転バランスの修正が行われる回転機械であれば、本発明のバランス修正装置を適用することができる。
また、上述の実施形態では、位置検知装置14は、接触センサ部14aを用いたものであったが、非接触式(例えば、磁気式、光学式)の位置検知装置であってもよい。この場合、例えば、位置検知装置14は、前記可動部13bに設置してもよいし、他の適切な箇所に設置してもよい。
本発明の実施形態によるバランス修正装置の構成図である。 図1のII−II線矢視図である。 図1の破線で囲まれた部分の拡大図である。 図1のIV−IV線矢視図である。 図1のV−V線矢視図である。
符号の説明
1・・・除去対象部、3・・・タービン翼、5・・・コンプレッサ翼、7・・・回転軸、7a・・・他端部、7b・・・被把持部、8・・・タービンハウジング、9・・・回転軸把持装置、10・・・バランス修正装置、11・・・回転軸固定装置、13・・・加工装置、13a・・・加工具、13b・・・可動部、13c・・・駆動装置、14・・・位置検知装置、14a・・・接触センサ部、15・・・軸受け、16・・・制御装置、17・・・軸受ハウジング、19・・・コレットチャック機構、19a・・・コレットチャック、19b・・・固定軸、19c・・・クランプ部材、21・・・コレット爪、23・・・突起部、24・・・第1の駆動部、25・・・第2の駆動部、26・・・第3の駆動部、27・・・本体支持部(ベース)、33・・・位置調節機構、41・・・固定軸移動装置、41a・・・ステージ、41b・・・駆動部、43・・・回転位置調節装置、43a・・・サーボモータ、43b・・・減速機、43c・・・ギヤ、43d・・・位置調整ギヤ、45・・・固定機構、45a・・・フランジ部、45b・・・クランプ装置、47・・・押え機構、47a・・・被支持部、47b・・・支持部材、48a・・・被支持部、48b・・・支持部材、

Claims (3)

  1. 回転機械の回転軸と一体的に回転する部分である除去対象部を少なくとも部分的に除去加工して回転機械の回転バランスを修正するバランス修正装置であって、
    前記除去対象部を除去加工する加工装置と、
    前記除去加工時に、前記加工装置を所定の待機位置から所定の位置に固定された前記回転軸の前記除去対象部へ送ることで前記除去加工を行う制御装置と、
    前記除去対象部の位置を検知する位置検知装置と、を備え、
    前記制御装置は、前記除去加工時に、前記位置検知装置が計測した前記除去対象部の前記位置に基づいた送り量だけ、前記加工装置を送る、ことを特徴とするバランス修正装置。
  2. 前記加工装置は、前記除去対象部を除去加工する加工具と、該加工具が設置される可動部と、該可動部を移動させる駆動装置と、を有し、
    前記制御装置は、前記駆動装置を制御することで前記可動部を前記送り量だけ前記除去対象部へ送り、
    前記位置検知装置は、前記可動部に設置される接触センサ部を有し、
    前記位置検知装置は、前記制御装置が行う前記可動部の送り制御によって接触センサ部を前記除去対象部に接触させることで、該除去対象部の位置を検知する、ことを特徴とする請求項1に記載のバランス修正装置。
  3. 前記制御装置が、前記送り量だけ前記加工装置を送ることで前記除去加工を行った後、前記位置検知装置は、該除去加工された除去対象部の加工面の位置を検知し、前記制御装置は、前記加工面の前記位置に基づいて、次に除去加工を行う時に使用する前記送り量を補正する、ことを特徴とする請求項1または2に記載のバランス修正装置。
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