JP2009236816A - 距離あるいは変位を検出する検出器およびこれを用いるレール変位量測定装置 - Google Patents
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Abstract
回動ミラーの歪みを改善することにより距離あるいは変位の検出精度を向上させることができる距離あるいは変位を検出する検出器を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、対象物と光式センサとの間に回動ミラーを介在させて回動ミラーが回動することで変動する対象物の特定の測定点に投光し、その反射光を受光して測定点までの距離あるいは変位を検出する検出器において、前記の回動ミラーが、誘電体多層膜が設けられたガラス製基板の裏面側にチタン製基板あるいはチタン合金製基板を張り合わせたものである。
【選択図】 図1
Description
この種のPSD素子を用いてレールの左右の変位量を測定する装置としては出願人によるレール変位量測定装置がすでに公知である(特許文献1)。
一方、レールと光式距離センサとの間に回動ミラーを介在させてレール上の特定の測定点の変動に応じて回動ミラーを回動させて測定点を追従制御することでレールの測定点との距離を検出する距離検出器とその測定技術とが公知である(特許文献2)。
この測定技術は、車体が上下左右に変動する走行車輪のばねより上のシャーシ等に距離検出器を設けて、レールの左右の変位量を高精度に測定することを可能にしかつ距離検出器を小型化することを可能にするものである。
ところで、この発明に関連するものとしてミラーの熱膨張を抑えて温度収縮を防止するレーザ光の反射鏡としてガラス製薄板と金属基板とを張り合わせるものが公知になっている(特許文献3)。
しかし、レール変位量測定装置に設けられる距離検出器は、検測車のシャーシ等に取付けられる屋外使用の機器であるため、外気温に曝され、それに影響され易く、温度管理することが難しいという欠点がある。そのため、特許文献3に記載されるような熱膨張を防止するミラーを使用したとしても膨張がなくなる訳ではなく、回動ミラー等が膨張したときには歪みを発生する。
一方、レール変位測定のための距離検出器の受光系は、レールからの反射光の受光距離が長いので、ミラーの歪みは距離測定に影響を与える。その上に距離検出器を小型化するために前記したような回動ミラーを採用する光式センサにすると、たとえ回動ミラーの歪み量が少なくても受光位置に大きな誤差を生じる。
特に、受光器をPSD素子とするレーザ変位センサでは、回動ミラーの歪みによりレールからの反射光の位置が大きく変化するのでレール変位量の測定精度に与える影響が大きく、それが問題になる。
この発明の他の目的は、PSD素子が対象物からの反射光を回動ミラーを介して受光してレールとの距離についての検出信号を発生するレーザ変位センサを有する距離あるいは変位を検出する検出器において、回動ミラーの歪みを改善することにより距離検出信号の精度を向上し、もってレール変位量の測定精度を向上させることができる距離あるいは変位を検出する検出器およびこれを用いるレール変位量測定装置を提供することにある。
前記の回動ミラーが、誘電体多層膜が設けられたガラス製基板の裏面側にチタン製基板あるいはチタン合金製基板を張り合わせたものである。
そこで、この発明は、対象物と光式センサとの間に回動ミラーを介在させて前記回動ミラーが回動することで前記対象物の特定の測定点との距離あるいは変位を検出する検出器において、回動ミラーのガラス基板にチタン製基板あるいはチタン合金製基板に張り付けるものである。
これによりガラス基板の膨張に合わせてチタン製基板あるいはチタン合金製基板が膨張するので、周囲温度が変化してもガラス基板にほとんど歪みが発生しないで済む。
その結果、対象物からの反射光の受光距離が長い上に距離あるいは変位を検出する検出器を小型化するために光路に回動ミラーを設けた場合に、距離あるいは変位の検出誤差が小さく抑えられ、また、反射光をPSD素子が受ける場合には、特に、反射光の受光位置精度が向上して距離の測定精度を向上させることができる。したがって、この距離あるいは変位を検出する検出器を用いたレール変位量測定装置にあっては、レール変位量の測定精度を向上させることができる。
図2において、10は、レール変位量測定装置であって、その測定基板11にはレーザ変位センサ2とレーザ変位センサ3とが設けられている。レーザ変位センサ2は、レール1の内軌側側面の測定点Aとレーザ変位センサとの変位量(距離)を検出する検出信号を発生し、レーザ変位センサ3は、レール1の頭部面の測定点Bとレーザ変位センサの変位量(距離)を検出する検出信号を発生する。Lはそれぞれ投光光であり、Rは受光光である。
測定基板11は、検測車の車体動揺の影響を受けるばね上のシャーシ12に取付けられ、測定基板11には回動ミラー4がレーザ変位センサ2の投受光光路Laに介在するように設けられ、また、回動ミラー5がレーザ変位センサ3の投受光光路Lbに同様に設けられている。
距離算出回路部8は、レーザ変位センサ2,3の検出信号を受けて検出された変位量からレーザ変位センサ2と測定点A、レーザ変位センサ3と測定点Bとの距離を算出して演算処理・制御回路13に送出する。
なお、ここでの距離検出器は、レーザ変位センサ2と距離算出回路部8とレーザ変位センサ3と距離算出回路部8とによりそれぞれ構成される。
演算処理・制御回路13は、距離算出回路部8から距離算出信号を受けて、回動ミラー4と測定点Aとの距離DA、そして回動ミラー5と測定点Bとの距離DBをそれぞれ算出する。
次に回動ミラー4と測定点Aとの距離DA、回動ミラー5と測定点Bとの距離DB、そして回動ミラー4と回動ミラー5との距離DCとから余弦定理に従って演算して角度制御値を発生し、その角度制御値により回動ミラー4をレール1の上下、左右の移動に応じて回動させて測定点Aの移動に追従させて投受光光路Laを測定点Aに一致させる。同様に、回動ミラー5をレール1の上下、左右の移動に応じて回動させ、レーザ変位センサ3の投受光光路Lbを測定点Bの移動に追従させる。
なお、前記の算出ではレール1の内部の交点Pまでの距離は変化しないものとする。
実測された距離DAも変化しているときには、さらに、この角度θと変化した距離DAと、測定された距離DBと、距離DCとから回動ミラー5の角度αが算出されて、距離DAが再計算される。さらに算出された距離DAと測定された距離DAとが一致する方向に角度θが補正され、回動ミラー5の角度αが算出されて同様な処理が繰り返され、角度αと角度θとが測定された距離DAと測定された距離DBとに適合するように決定される。
逆にレーザ変位センサ2により測定され距離DAが距離DBより大きく変化したときには、この変化に応じて距離DAと、距離DCと距離DBとから同様にして回動ミラー5の角度αを算出する。そこで、前記と同様にして実測値との差を優先させて回動ミラー4の角度θと回動ミラー5の角度αとを算出することで、レール1の測定点A,Bの変動に対して追従させる回動ミラー4,5の角度θ,αを算出する。
このような追従制御については、先に挙げた特開2001−41705号公報に算出式が挙げられて詳細に記載されているので、これを参照すればよいので詳細な説明は割愛する。
投光器6のレーザ光源61は、例えば、数mW〜5mW程度で極めて短い時間幅のレーザパルスを発生する。レーザ光源61は、距離算出回路部8のパルス駆動回路(図示せず)により励起される。
レーザ光源61は、LDを使用し、これからのレーザは、投光レンズ62を通して回動ミラー4あるいは回動ミラー5に照射され、レール1に対して所定の角度でそれぞれに投光される。
受光器7は、回動ミラー4あるいは回動ミラー5を介して集束レンズ71でレール1からの反射光をPSD72が受光する。PSD72の出力は、距離算出回路部8に入力される。
回動ミラー5を例としてその構造を説明すると、回動ミラー5は、ステッピングモータ51の回転軸51aに背面で固定され、回転軸51aが上下の軸受55により軸支され、軸受55がブラケット54に固定されている。そこで、ステッピングモータ51がサーボ回路53により回動駆動されることにより、回動ミラー5が回動し、その角度が角度検出器52により検出されて、算出された所定の角度に回動ミラー4,5が設定される。
なお、上側の軸受55の上部には、角度検出器52が搭載されている。
投光器6の投光光Lは、レーザ光源61から出射され、回動ミラー5に割当てられた図面上側のミラー部分で反射されてレール1に照射される。そして、レール1からの受光光Rは、回動ミラー5に割当てられた図面中央より下側のミラー部分で反射されて集束レンズ71によりPSD72の受光位置に結像される。その受光状態は、図1(b)に示すように回動ミラー5の回動に応じてPSD72の受光位置が相違してくる。
なお、回動ミラー4も同様であるのでその説明を割愛する。
誘電体多層膜93は、ガラス製基板92に蒸着されてレーザ反射鏡とされ、このレーザ反射鏡がチタン製基板91に接着剤で張り合わされて多層膜ミラー9が製造される。
なお、多層膜ミラー9は、先にガラス製基板92をチタン製基板91に熱接触等により張り合わされてから誘電体多層膜93が蒸着されて製造されてもよい。
誘電体多層膜93としては、例えば、数百Åの銀膜あるいアルミニューム膜の上にSiO2,TiO2,HfO2,ZrO2,CeO2などの層を交互多層膜として積層することで形成される。
また、実施例のレーザ変位センサの受光器は、PSD素子が設けられるものを例としているが、PSD素子に換えてCCD素子あるいはその他の受光素子が設けられていてもよい。実施例における距離算出回路部は、レーザ変位センサに内蔵されて全体を距離センサとしてもよい。
さらに、実施例の距離検出器は、レールからの反射光が同じ位置になるように受光角を回動ミラーで調整してレールの位置が変化したときに追従させる制御を行うものであるが、実施例の追従制御は一例であって、同様な追従制御をするものであればこの発明は適用可能であり、さらに測定対象は、レールに限定されるものではない。
4,5…回動ミラー、6…投光器、7…受光器、
8…距離算出回路部、9…多層膜ミラー、
10…レール変位量測定装置、11…測定基板、
13…演算処理・制御回路、
41,51…サーボモータ(ステッピングモータ)、
42,52…角度検出器、43,53…サーボ回路、
61…レーザ光源、62…投光レンズ、
71…集束レンズ、72…PSD、
91…チタン製基板、92…ガラス製基板、
93…誘電体多層膜。
Claims (5)
- 対象物と光式センサとの間に回動ミラーを介在させて前記回動ミラーが回動することで変動する前記対象物の特定の測定点に投光し、その反射光を受光して前記測定点までの距離あるいは変位を検出する検出器において、
前記回動ミラーは、誘電体多層膜が設けられたガラス製基板の裏面側にチタン製基板あるいはチタン合金製基板を張り合わせたものである距離あるいは変位を検出する検出器。 - 前記光式センサは投光器と受光器とを具えるレーザ変位センサを有し、前記受光器には、前記回動ミラーを介して前記対象物からの反射光を受光する受光素子が設けられている請求項1記載の距離あるいは変位を検出する検出器。
- 前記投光器は、前記回動ミラーを介して前記測定点にレーザ光を照射するレーザ光源を有する請求項2記載の距離あるいは変位を検出する検出器。
- 前記受光素子はPSD素子あるいはCCD素子であり、前記対象物は、車両が走行するレールであり、前記回動ミラーは、前記測定点からの反射光を前記受光素子が受光するように回動制御される請求項3記載の距離あるいは変位を検出する検出器。
- 請求項1乃至4のいずれか1項記載の前記距離あるいは変位を検出する検出器を2個有し、そのうちの1つは、前記レールの内軌側側面の前記測定点を第1の点としてこれとの距離あるいは変位を検出するものであり、他の1つは、前記レールの頭部面の前記測定点を第2の点としてこれとの距離あるいは変位を検出するものであり、2つの前記検出器の前記回動ミラーの間の距離と、各前記検出器の検出信号に応じて測定される前記第1の点までの距離および前記第2の点までの距離とにより各前記検出器の回転ミラーの回転量を算出して前記回動ミラーを回動させてレール変位量を測定するレール変位量測定装置。
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