JP2001059710A - トロリ線摩耗量測定装置 - Google Patents

トロリ線摩耗量測定装置

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JP2001059710A
JP2001059710A JP11238528A JP23852899A JP2001059710A JP 2001059710 A JP2001059710 A JP 2001059710A JP 11238528 A JP11238528 A JP 11238528A JP 23852899 A JP23852899 A JP 23852899A JP 2001059710 A JP2001059710 A JP 2001059710A
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mirror
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JP11238528A
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Shigeki Makino
茂樹 牧野
Hiroyuki Kato
博之 加藤
Seihachiro Nakano
清八郎 中野
Yoshihei Sugaya
由平 菅谷
Nobuyuki Kobayashi
信之 小林
Takao Yoshizawa
孝夫 吉沢
Motonari Kanetani
元就 金谷
Shojiro Takei
正二郎 武井
Atsushi Osone
淳 大曽根
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Central Japan Railway Co
Hitachi High Tech Corp
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Central Japan Railway Co
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高い精度が要求されるトロリ線の摩耗測定に適
するトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。 【解決手段】回転多面鏡の回転を水平面とし、光学検出
器が受光するまでの光路にレンズを挿入して光学検出器
の受光面に焦点が合うようにパンタグラフの高さの変化
に合わせてレンズを追従移動させることで摺面について
の信号の検出レベルが向上し、精度の高い検出信号を得
るもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、トロリ線摩耗量
測定装置に関し、詳しくは、電気鉄道への電力供給用と
して、線路に沿って架設されたトロリ線の摩耗量を測定
するためのトロリ線の摩耗測定装置において、試験車あ
るいは検測車等に搭載され、高い精度が要求される新幹
線などの高速車両におけるトロリ線の摩耗測定に適する
ようなトロリ線摩耗量測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電車線路における電車等の車両は、パン
タグラフがトロリ線に摺動接触し、これより電力を受電
して走行する。パンタグラフの上部には、摺板が取付け
られていてトロリ線がこれに接触する。この摺板は、通
常、トロリ線に比べて軟質の銅線により形成されてい
る。車両は、この摺板を介してトロリ線から所要の電力
を得る。トロリ線の下面(摺動面または摺面)とパンタ
グラフ上面(摺板)とは、互いの摺動接触により漸次に
摩耗する。パンタグラフ側の摩耗が一部分に集中しない
ように、トロリ線は支持電柱ごとに左右方向に交互に偏
位されている。トロリ線の摩耗量と偏位量は、電気検測
車等に測定装置を搭載し、定期的に走行測定してそれぞ
れの良否が検査されている。
【0003】図4は、特開平5−34113号に記載さ
れる従来のトロリ線摩耗測定装置の一例である。これ
は、ダイオードYAGレーザからの平行光を光チョッパ
ーにより断続光線としてトロリ線上に集光させて垂直な
光を長焦点距離でトロリ線摺動面に当てる。その戻り反
射光を光チョッパーに合わせて同期検出する構成であ
る。このような構成を採ることでノイズの混入を防止
し、S/N比の低下と受光素子の破壊を防止している。具
体的には、1は、小型高出力のダイオードYAGレーザ
を用いたレーザ光源、2は、レーザ光源1の出力光路上
に配置された光チョッパー、3は、レーザ光源1から発
せられる平行光線の光軸上に対して所定角度傾斜させて
設けられた第1の反射鏡、4は、第1の反射鏡3の反射
光軸と直交するように所定角度傾斜させて設けられた第
2の反射鏡、5は、第2の反射鏡4の反射光軸と直交す
るように設けられた第1の集光レンズ、そして6は、第
1のレンズ5の光軸上に設けられたシリンダレンズであ
る。
【0004】7は、集光レンズ5とシリンダレンズ6か
らなる第1のレンズ系によって集光されて形成された仮
想光原Sからの集束光路上に配置された第3の反射鏡、
8は、中央部に透過穴8aを備え、この透過穴8aの中
心を仮想光源Sによる光ビームの光路に対して所定角度
額斜させて設けられた光ビームスプリッタ、9は、トロ
リ線14からの反射光束を集束する第2の集光レンズ、
10は、回転面に光ビームスブリッタ8の透過穴8aを
通過した光ビームが入射するように設けてある回転多面
鏡〈走査鏡)である.11は、回転多面鏡10の反射光
軸上に所定角度領斜させて設けた第4の反射鏡、12
は、回転多面鏡10の反射点を焦点とする凹形の球面鏡
又は放物面鏡等からなる第5の反射鏡、13は、第5の
反射鏡12による反射光を上方に反射する平面鏡として
の第6の反射鏡、14はトロリ線、15は、トロリ線1
4からの反射光のみを通過させるフイル夕、16は、フ
イルタ15を通して入射する光を受光する受光素子であ
る。なお、14aは、トロリ線の摺動面である。
【0005】このような構成において、レーザ光源1か
ら回転多面鏡10に到る光ビームを断続的に遮断する光
チョツパー2は、回転多面鏡10に同一の回転軸17に
よって連結された回転円板2aを有している。この回転
円板2aには回転多面鏡10の反射鏡片10aと対応さ
せてその個数と同数の透過穴2bが所定間隔を置いて設
けられている.また、回転多面鏡10における反射鏡片
10aの隣接するもの同士の間には境界スリット10b
が形成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上のような構成のト
ロリ線摩耗量測定装置にあっては、回転多面鏡10は、
水平面に対して直角となる垂直面内で回転する。この場
合、長焦点距離でトロリ線の摺動面14aに照射される
光ビームの回転多面鏡10の反射面は、回転多面鏡10
の上部に配置され、回転軸により支持されて回転するた
めに、重力による回転中心の偏心と、この軸の回転芯ぶ
れとが回転多面鏡10の反射光に大きく作用する。これ
により検出位置にずれを生じて、S/N比が低下し、実際
にこのような構造で摩耗測定について検討したところ、
高い精度が要求されるトロリ線の摩耗測定には適用でき
ないことが分かった。特に、前記の技術では、S/N比等
を向上させるために回転多面鏡10と同じ回転軸に光チ
ョッパー2の円板までくっついていて、これの影響も問
題になる。このようなことを回避するために回転多面鏡
10を垂直方向に設定することも考えられるが、通常、
回転多面鏡の反射面は、ミラーを貼り付けることから、
ミラーの取り付けばらつきと厚さのばらつきが各反射面
で生じるために精度の高い反射光を得ることは難しい。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決
するものであって、高い精度が要求されるトロリ線の摩
耗測定に適するトロリ線摩耗量測定装置を提供すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的と達成す
るためのこの発明のトロリ線摩耗量測定装置の特徴は、
測定光学系は、レーザビームを発生するレーザ光源と、
水平面内で回転し前記レーザビームを受ける回転多面鏡
と、この回転多面鏡の多面の1つの反射面から反射光を
受けてこれをトロリ線に下側から照射する光に変換して
トロリ線に照射し、トロリ線からの反射光を回転多面鏡
の反射面に戻す複数の反射鏡と、レーザ光源と回転多面
鏡との間の光路上に穴が配置される穴あき鏡と、穴あき
鏡と回転多面鏡との間の光路に配置されパンタグラフの
高さの変化に応じて移動するレンズと、穴あき鏡からの
反射光を受けて摺面についての信号を出力する光検出器
とを備えていて、回転多面鏡の反射面が多面鏡と一体物
として形成され、前記のレンズが、光学検出器の受光面
に焦点合わせするものであり、パンタグラフの高さの変
化に応じて光学検出器の受光面に焦点が合うように追従
して移動するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】このように、回転多面鏡の回転を
水平面とし、光学検出器が受光するまでの光路にレンズ
を挿入して光学検出器の受光面に焦点が合うようにパン
タグラフの高さの変化に合わせてレンズを追従移動させ
ることで摺面についての信号の検出レベルが向上し、精
度の高い検出信号を得ることができる。その結果、S/N
比が向上し、さらに、これと合わせて回転多面鏡の反射
面を一体物で形成しているので、ミラーを貼り付けをし
なくて済み、ミラーの取り付けばらつきと厚さのばらつ
きが各反射面で生じることがなく、新幹線などの高速車
両における高い精度が要求されるトロリ線の摩耗測定に
も適する高精度の測定装置を実現することができる。
【0009】
【実施例】図1は、この発明のトロリ線摩耗量測定装置
の一実施例の説明図、図2は、パンタグラフ高さ検出機
構の説明図、そして図3は、車両と測定のためのガラス
窓との関係の説明図である。なお、図4と同一あるいは
同等の構成要素は、同一の符号で示し、その説明を割愛
する。先に説明した図4の測定装置とこの発明の測定装
置との大きな相違点は、回転多面鏡10に換えて、垂直
方向に立った形で水平面内で回転する回転多面鏡20が
設けられていること。この回転多面鏡20の材質自体で
多面の反射面を形成すること。そのため反射面は、回転
多面体として削りだしされて鏡面仕上げで回転多面体と
一体物となっていること。さらに、光ビームのトロリ線
14からの反射光を受ける光路にトロリ線14の高さに
追従して焦点を光学検出器の検出面に設定するための追
従機構21が設けられていること。最後に、図4の第5
の反射鏡12と第6反射鏡13との位置が入れ替わって
いることである。また、図1では、図4のような光ビー
ムを断続的に遮断する光チョツパー2と、これに関係す
る部分の構成は存在していない。言い換えれば、同期検
出の技術によるS/N比の向上は、回転多面鏡10と同じ
回転軸に光チョッパー2の円板を装着することになるの
で、その分、かえって精度の高い測定が困難になるから
である。この部分を排除した関係でミラーやレンズにつ
いての光学系に多少相違があるが、これらは発明の基本
原理には本質的に関係するものではない。
【0010】図1において、固体レーザとしてのダイオ
ードYAGレーザを用いたレーザ光源1からの光ビーム
は、反射鏡4、レンズ5、補助レンズ5aを経て穴あき
ミラー22の穴22a、追従機構21のレンズ21aを
経て回転多面鏡20の反射面20aに照射される。反射
面20aからの反射光は、反射鏡11、反射鏡13、凹
面鏡12を経てガラス窓23を通り、トロリ線14の摺
動面14aに照射される。なお、レーザ光の波長として
は、1064nm程度のものを使用する。トロリ線14の
摺動面14aからの反射光は、逆に、ガラス窓23を通
り、凹面鏡12、反射鏡13、反射鏡11を経て回転多
面鏡20の反射面20aに至る。そして、ここで反射さ
れた光が、レンズ21aを経て穴あきミラー22に照射
され、その反射光がNDフィルタ(減光フィルタ)2
4、干渉フィルタ25、ピンホール26、拡散板27を
経て、光検出器として設けられたフォトマルチプライア
(PMT、光電子増倍管)28に入射する。このPMT
28において、入射した検出光が、その光強度に応じた
電気信号に変換され、プリアンプ(PREAMP)29を経て
信号処理・測定装置30に入力される。なお、この実施
例では、凹面鏡12を最終段の反射鏡としているので、
トロリ線14の摺動面14aに直接凹面鏡により集光さ
せ、また、その反射光を逆に集束させて戻すことができ
るので、その分、S/N比が向上し、無駄がなくなる。ま
た、12aは、凹面鏡12の前面に設けられた保護ガラ
スであり、これは、放物鏡であってもよい。
【0011】信号処理・測定装置30は、内部にA/D
変換回路(A/D)30aとインタフェース30b、M
PU30c、そしてメモリ30d等を有していて、PM
T28により検出された電気信号をA/D30aにより
デジタル値に変換してインタフェース30bを介してM
PU30cが受ける。MPU30cは、さらに回転多面
鏡20による回転位置信号をインタフェース30bを介
して受け、メモリ30dに記憶された所定の処理プログ
ラムに従って、検出された信号の強弱と検出タイミング
に応じて所定の強度で反射光が得られた幅から摺動面の
幅の測定値を得る。このような処理の下で摺動面14a
に幅を算出し、算出された幅に応じて摩耗量を算出す
る。また、前記の幅の検出位置からトロリ線の偏位量や
位置も検出される。ところで、ガラス窓23の両端に
は、受光素子23a、23bが設けられている。これの
検出信号がインタフェース30bを介して信号処理・測
定装置30に入力される。これにより、回転多面鏡20
の回転制御による光ビームのトロリ線14に対する走査
範囲が検出され、受光素子23a、23bの検出信号が
この範囲のスタート位置とストップ位置を信号処理・測
定装置30のMPU30cに与える。そこで、この範囲
において前記の摺動面14aに幅を算出する処理が行わ
れる。なお、受光素子23a、23bの幅は、トロリ線
14が蛇行偏位する範囲をカバーする範囲に設定されて
いる。したがって、トロリ線14の偏位範囲に対してレ
ーザビームでトロリ線14を走査することになる。
【0012】追従機構21は、信号処理・測定装置30
からの移動制御信号Mに応じてレンズ21aの位置を光
路に沿って移動させる。これにより、トロリ線14の高
さに応じてPMT28の受光面に適正に焦点が形成され
るように移動機構21bによりレンズ21aの位置を制
御する。トロリ線14の高さが低いときには、PMT2
8の受光面の手前に焦点が来るので、レンズ21aの位
置を光路上において、PMT28の受光面に近い側に移
動させることで、受光面に焦点を一致させるように制御
する。逆に、トロリ線14の高さが高いときには、PM
T28の受光面の後ろに焦点が来るので、レンズ21a
の位置を光路上において、PMT28の受光面から遠い
側に移動させることで、受光面に焦点を一致させるよう
に制御する。なお、その追従速度としては、700〜1
200mm/sec程度であれば十分である。このようなパン
タグラフの高さに合わせての焦点位置の受光面に一致さ
せる追従制御をすることで、PMT28(光学検出器)
の検出レベルが向上し、S/N比がよくなり、高い精度で
検出信号を得ることができる。信号処理・測定装置30
は、このような移動制御信号Mをパンタグラフ高さ検出
装置31から高さ検出信号をインタフェース30bを介
してMPU30cが受けることで発生する。パンタグラ
フ高さ検出装置31は、図2に示すように、パンタグラ
フ32の主軸33の回転を絶縁ロッド34aをもつ平行
クランク34を介して回転検出器35が受けて、回転検
出器35がその回転量に応じた検出信号Hを発生する。
この検出信号Hを受けて信号処理・測定装置30のMP
U30cがパタグラフ32の高さに応じた信号を得る。
この検出信号Hに応じてMPU30cは、前記の移動制
御信号Mを発生する。なお、回転検出器35は、通常、
平行クランク34の回転検出器35側のリンク34bの
回動量に応じて回転に対応する電圧を発生するポテンシ
ョメータで構成される。
【0013】ここで、先に説明した回転多面鏡20の反
射面20aの形成と、その材質について説明する。回転
ミラー20自体は、アルミニユム製である。その側面
を、例えば、24面の多角形となるように削り出しによ
り一体物として形成し、鏡面仕上げをする。そして、S
iOの保護膜を形成して反射面とする。これにより、反
射面20aの24面は、回転中心に対して高精度に形成
できる。ところで、先に説明したように、レーザ光の波
長としては、1064nm程度のものを使用する。この場
合には、回転多面鏡20の反射面20a、反射鏡11、
反射鏡13、そして凹面鏡12の各反射面は、波長10
64nmを含む範囲を選択的に反射するコーティングを施
すとよい。このことによりさらにS/N比の向上させるこ
とができる。この場合、SiOの保護膜のほかに、誘電
体多層コーティングを行うことでその厚さ、層数によっ
て波長の選択性を持たせることができる。このような波
長の選択性は、さらに前記の測定光学系のレンズ5,2
1a等においても行うとよく、レンズを誘電体多層コー
ティングすることによりレーザ光の波長を選択するよう
にすることで、いっそうのS/N比の向上を図ることがで
きる。
【0014】また、この実施例では、試験車あるいは検
測車等に搭載される関係で、トロリ線14側のある外部
と測定装置とを遮断することが必要になる。そのため
に、図3に示すように、特に、車両36の天井面にはガ
ラス窓23を設けてある。これを通して光ビームをトロ
リ線14の摺動面14aに照射し、これからの反射光を
得る構成を採っている。これにより埃等からくる測定に
対する悪影響、測定部材に対する悪影響を排除できる。
しかし、ガラス窓23を設けると、ガラス窓23による
反射による外乱光を受け易くなり、また不要な反射光が
発生し、さらには、これらによる迷光を受けて、その
分、S/N比の低下をまねく。このような問題はガラス窓
23に角度を持たせることで回避できる。これは、図3
に示すように、車両36にはガラス窓23が測定窓とし
て設けられるが、このガラス窓23を下側に図示するよ
うに、水平面に対して3゜〜7゜程度下方に傾斜させる
ものである。
【0015】以上説明してきたが、実施例では、光検出
器としてPMTを使用しているが、APD(アバランシ
ーフォトダイオード)等の半導体の受光素子を使用でき
ることはもちろんである。また、穴あき鏡22は、穴あ
きビームスプリッタであってもよい。
【0016】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、回転多面鏡の回転を水平面とし、光学検出器が受光
するまでの光路にレンズを挿入して光学検出器の受光面
に焦点が合うようにパンタグラフの高さの変化に合わせ
てレンズを追従移動させることで摺面についての信号の
検出レベルが向上し、精度の高い検出信号を得ることが
できる。その結果、S/N比が向上し、さらに、これと合
わせて回転多面鏡の反射面を一体物で形成しているの
で、ミラーを貼り付けをしなくて済み、ミラーの取り付
けばらつきと厚さのばらつきが各反射面で生じることが
なく、新幹線などの高速車両における高い精度が要求さ
れるトロリ線の摩耗測定にも適する高精度の測定装置を
実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明のトロリ線摩耗量測定装置の
一実施例の説明図である。
【図2】図2は、パンタグラフ高さ検出機構の説明図で
ある。
【図3】図3は、測定車両と測定のためのガラス窓との
関係の説明図である。
【図4】図4は、従来のトロリ線摩耗測定装置の一例の
説明図である。
【符号の説明】
1…レーザ光源、4…反射鏡、5,21a…レンズ、5
a…補助レンズ、10,20…回転多面鏡、11、13
…反射鏡、12…凹面鏡、14…トロリ線、14a…摺
動面、20a…反射面、21…追従機構、22…穴あき
ミラー、23…ガラス窓、24…NDフィルタ(減光フ
ィルタ)、25…干渉フィルタ、26…ピンホール、2
7…拡散板、28…フォトマルチプライア(PMT)、
29…プリアンプ、30…信号処理・測定装置、31…
パンタグラフ高さ検出装置、32…パンタグラフ、33
…主軸、34…平行クランク、35…回転検出器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 博之 愛知県名古屋市中村区名駅一丁目1番4号 東海旅客鉄道株式会社内 (72)発明者 中野 清八郎 愛知県名古屋市中村区名駅一丁目1番4号 東海旅客鉄道株式会社内 (72)発明者 菅谷 由平 愛知県名古屋市中村区名駅一丁目1番4号 東海旅客鉄道株式会社内 (72)発明者 小林 信之 愛知県名古屋市中村区名駅一丁目1番4号 東海旅客鉄道株式会社内 (72)発明者 吉沢 孝夫 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 金谷 元就 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 武井 正二郎 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 大曽根 淳 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA04 AA06 AA07 AA22 AA63 BB12 CC34 DD04 DD05 FF10 FF44 GG04 HH04 JJ05 JJ17 JJ18 LL04 LL12 LL15 LL19 LL22 LL25 LL30 MM06 PP01 PP22 QQ04 UU05 UU07 2F069 AA04 AA24 AA49 BB26 BB34 CC09 DD19 GG04 GG07 GG52 GG62 HH09 JJ08 JJ25 MM04 MM32 NN08 RR03 5H105 AA11 BA02 BB01 CC02 CC12 DD04 EE02 EE13 GG05 GG14

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】トロリ線の偏位範囲に対応してレーザビー
    ムを走査し、前記トロリ線の摺面からの反射光を受光し
    て摺面についての信号を出力する測定光学系と、前記信
    号を受けてトロリ線の摩耗量を測定する測定装置とを備
    えるトロリ線摩耗量測定装置において、 前記測定光学系は、前記レーザビームを発生するレーザ
    光源と、 水平面内で回転し前記レーザビームを受ける回転多面鏡
    と、 この回転多面鏡の多面の1つの反射面から反射光を受け
    てこれを前記トロリ線に下側から照射する光に変換して
    前記トロリ線に照射し、前記トロリ線からの反射光を前
    記回転多面鏡の反射面に戻す複数の反射鏡と、 前記レーザ光源と前記回転多面鏡との間の光路上に穴が
    配置される穴あき鏡と、 前記穴あき鏡と前記回転多面鏡との間の光路に配置され
    パンタグラフの高さの変化に応じて移動するレンズと、 前記穴あき鏡からの反射光を受けて摺面についての信号
    を出力する光検出器とを備え、 前記回転多面鏡の反射面は、前記多面鏡と一体物として
    形成され、前記レンズは、前記光学検出器の受光面に焦
    点合わせするものであり、パンタグラフの高さの変化に
    応じて前記光学検出器の受光面に焦点が合うように追従
    して移動するトロリ線摩耗量測定装置。
  2. 【請求項2】前記レーザ光源は、固体レーザ光源であ
    り、前記回転多面鏡は、SiOの保護膜がコーティング
    されたアルミニユム製であり、その反射面は削り出した
    面において形成され、前記複数の反射鏡のうち前記トロ
    リ線の下側に設けられる反射鏡は凹面鏡であり、前記ト
    ロリ線と前記凹面鏡との間にガラス窓が設けられている
    請求項1記載のトロリ線摩耗量測定装置。
  3. 【請求項3】前記ガラス窓は、水平面に対して3゜〜7
    ゜程度下方に傾斜し、前記回転多面鏡の反射面と前記複
    数の反射鏡とはそれぞれ前記レーザビームの波長を選択
    するコーティングがなされている請求項2記載のトロリ
    線摩耗量測定装置。
  4. 【請求項4】前記穴あき鏡は、穴あきビームスプリッタ
    である請求項1記載のトロリ線摩耗量測定装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007024683A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量測定光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2010243274A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2010243275A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2011180116A (ja) * 2010-02-08 2011-09-15 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線測定用投光装置及びトロリ線測定装置
JP2014110736A (ja) * 2012-12-04 2014-06-12 Railway Technical Research Institute すり板の局部摩耗検出装置とその局部摩耗検出プログラム
KR101446061B1 (ko) 2013-10-15 2014-10-01 기가비스주식회사 투명 기판의 표면 패턴 불량 측정 장치
WO2015045743A1 (ja) 2013-09-27 2015-04-02 株式会社日立ハイテクファインシステムズ トロリ線測定装置及びトロリ線測定方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007024683A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量測定光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2010243274A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2010243275A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置
JP2011180116A (ja) * 2010-02-08 2011-09-15 Hitachi High-Technologies Corp トロリ線測定用投光装置及びトロリ線測定装置
JP2014110736A (ja) * 2012-12-04 2014-06-12 Railway Technical Research Institute すり板の局部摩耗検出装置とその局部摩耗検出プログラム
WO2015045743A1 (ja) 2013-09-27 2015-04-02 株式会社日立ハイテクファインシステムズ トロリ線測定装置及びトロリ線測定方法
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