JP2009236178A - 移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方向に延びた固定体と、前記固定体と離間して前記一方向に沿って移動する可動体とを備え、前記可動体には、前記固定体と対向して配置された板部材によって閉塞された空洞領域が設けられており、前記板部材が、前記空洞領域内の気圧と外部の気圧との差に応じて変形することを特徴とする移動装置を提供する。
【選択図】図2
Description
2 移動ステージ
3 リニアモータ
4 ガイドレール
5 スライド
6 位置測定手段
7 コントローラ
8 可動子
9 固定子
10 板部材
11 空気室
12 開口
13 流体制御機構
14 気体噴出口
15 排気口
16 気体供給源
17 排気機構
18 圧力調整弁
22 管路
24 管路
26 開口
28 管路
Claims (8)
- 一方向に延びた固定体と、
前記固定体と離間して前記一方向に沿って移動する可動体とを備え、
前記可動体には、前記固定体と対向して配置された板部材によって閉塞された空洞領域が設けられており、
前記板部材が、前記空洞領域内の気圧と外部の気圧との差に応じて変形することを特徴とする移動装置。 - 前記空洞領域内への気体の流入、および前記空洞領域内からの気体の流出を制御して、前記空洞領域の気圧を変化させる圧力調整機構を、さらに有することを特徴とする請求項1記載の移動装置。
- 前記板部材は、前記可動体の側から前記固定体の側に向けて突出して変形し、前記固定体と当接することを特徴とする請求項1または2記載の移動装置。
- 前記可動体は前記固定体と対向する側の表面部分に気体噴出口を備え、
前記気体噴出口から気体が噴出されて形成された、前記固定体と前記可動体との間隙の流体層の静圧力によって、前記可動体が前記固定体から浮上することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の移動装置。 - 前記板部材は、単結晶サファイアからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の移動装置。
- 前記板部材が、前記固定体を挟んで対向するように少なくとも2つ設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の移動装置。
- 前記板部材は、前記一方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の移動装置。
- 前記可動体を前記一方向に沿って移動させる移動機構を備え、
前記圧力調整機構は、前記移動機構による前記可動体の移動が停止した状態で、前記空洞領域に気体を流入させて前記板部材を変形させることを特徴する請求項2〜7のいずれかに記載の移動装置。
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