JP2019132830A - リニア駆動機構 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の形状測定機に相当する真円度測定機10の側面図である。図2は、真円度測定機10を図1中のA方向から見た場合の側面図である。図3は、真円度測定機10の上面図である。なお、図中のX軸方向(本発明の第3軸方向)と、Y軸方向(本発明の第1軸方向)と、Z軸方向(本発明の第2軸方向)とは互いに直交している。
このようにリニア駆動機構18は、X軸方向において駆動軸32を挟み込むように配置された一対のガイド26と、キャリッジ34に設けられ且つ各ガイド26にそれぞれ接触する各摩擦パッド28と、を備えるので、キャリッジ34の停止時に各摩擦パッド28によりキャリッジ34をその停止位置で係止させることができる。その結果、キャリッジ34の停止時にキャリッジ34が僅かな外力で動くことが防止される。その結果、リニアモータ22の位置決め精度を確保することができる。
(Y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に規制することができる。その結果、検出器20によるワークWの真直度測定の際の測定精度の低下が抑えられる。
本実施形態のリニア駆動機構18では、キャリッジ34を介して検出器20をZ軸方向に移動させた場合に、既述の通り検出器20がX軸方向に振動する。このため、真円度測定開始前に検出器20のZ軸方向の位置調整を行った場合、検出器20のX軸方向の振動により、ワークWの外周面に対する触針20aの接触位置が所定の基準位置からX軸方向に位置ずれするおそれがある。しかし、この位置ずれは、以下に詳述するように、真円度測定の測定結果に与える影響は小さい。
図5は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例1を説明するための説明図である。なお、変形例1は、上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成であるので、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図6は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例2を説明するための説明図である。なお、変形例2は、上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成であるので、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図7は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例3を説明するための説明図である。なお、変形例3は、付勢部材38とは異なる付勢部材38aと、調整制御部40とを備える点を除けば、既述の変形例2と基本的に同じ構成である。このため、上記変形例2と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図8は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例4を説明するための説明図である。なお、変形例4は、各摩擦パッド28と同数の摩擦パッド44及びパッド支持部材46を備える点を除けば、上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成である。このため、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図10は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例5を説明するための説明図である。なお、変形例5は、一対のガイド26とは異なる一対のガイド50を備える点を除けば、上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成であるので、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図12は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例6を説明するための説明図である。なお、変形例6は、一対のガイド26とは異なる一対のガイド54を備える点を除けば、上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成であるので、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
図13は、上記実施形態のリニア駆動機構18の変形例7であるリニア駆動機構18aを説明するための説明図である。なお、リニア駆動機構18aは、その一部を除いて上記実施形態のリニア駆動機構18と基本的に同じ構成であるので、上記実施形態と機能又は構成上同一のものについては同一符号を付してその説明は省略する。
上記実施形態及び各変形例では、リニア駆動機構18,18aを有する真円度測定機10を例に挙げて説明を行ったが、ワークWの各種形状を測定する各種の形状測定機に本発明を適用可能である。
上記実施形態及び各変形例では、ガイド対向面34aごとに2個の摩擦パッド28がZ軸方向に並べて設けられているが、ガイド対向面34aごとの摩擦パッド28(パッド支持部材36)の数及び配置パターンは特に限定されない。また同様に、摩擦パッド44(パッド支持部材46)及び摩擦パッド78(パッド支持部材86)の数及び配置パターンについても適宜変更してもよい。
14…テーブル回転機構,
18,18a…リニア駆動機構,
20…検出器,
22…リニアモータ,
26…ガイド,
28…摩擦パッド,
32…駆動軸,
34…キャリッジ,
38,38a…付勢部材,
40…調整制御部,
44…摩擦パッド,
50,54…ガイド,
54a…ベルト体,
54b…テンション付与部,
58…摩擦板,
60…表面形状測定機,
62…検出器,
70…リニア駆動機構,
72…リニアモータ,
74…ガイド,
78…摩擦パッド,
82…駆動軸,
84…キャリッジ
Claims (5)
- 駆動軸と、
前記駆動軸により非接触に支持された可動子であって、且つ前記駆動軸に沿って移動する可動子と、
前記駆動軸に平行なガイドと、
前記可動子及び前記ガイドの一方に設けられ、且つ前記可動子及び前記ガイドの他方と接触しており、前記可動子の移動に対する抵抗力を発生する抵抗力発生部と、
を備えるリニア駆動機構。 - 前記ガイドが、前記駆動軸に対して垂直な方向の一方向側と他方向側とにそれぞれ設けられ、
前記抵抗力発生部が、前記ガイドごとに設けられている請求項1に記載のリニア駆動機構。 - 前記抵抗力発生部が、前記可動子に設けられており、且つ前記ガイドを前記駆動軸に対して垂直な方向において挟持している請求項1又は2に記載のリニア駆動機構。
- 前記抵抗力発生部が摩擦部材である請求項1から3のいずれか1項に記載のリニア駆動機構。
- 前記摩擦部材を前記他方に向けて付勢する付勢部材を備える請求項4に記載のリニア駆動機構。
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