JP2009233945A - 液体吐出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ノズルプレート3の各ノズル4は、ノズルプレート3の表面側の開口が円形で、ノズルプレート3の裏面側の開口が楕円形で、その楕円形の開口の長手方向が各圧力室6における液体の流れ方向と一致している。
【選択図】 図2
Description
図1に示すように、基板1の各辺に沿って枠板2が立設され、これら枠板2の上にノズルプレート(オリフィスプレートともいう)3が支持されている。ノズルプレート3には、インク吐出用(液体吐出用)の複数のノズル4が所定間隔で一列に形成されている。この図1のA−A線に沿う断面を図2に示し、B−B線に沿う断面を図3に示している。
Claims (13)
- ノズルプレートと、
このノズルプレートに設けられた液体吐出用の複数のノズルと、
前記ノズルプレートの裏面側において前記各ノズルの配列方向に沿って且つ各ノズルの相互間にそれぞれ壁状に設けられ、前記各ノズルの配列方向と直交する方向に液体が流れる圧力室を同各ノズルと対応する位置にそれぞれ形成するとともに、これら圧力室の周面となる電極およびこれら電極への電圧の印加により動作して前記各圧力室に液体吐出用の圧力を加える圧電部材からなる複数の駆動部と、
これら駆動部の各電極上に設けられた保護膜とを備え、
前記各ノズルは、前記ノズルプレートの表面側の開口が円形で、前記ノズルプレートの裏面側の開口が楕円形で、その楕円形の開口の長手方向が前記各圧力室における液体の流れ方向と一致する、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 前記各ノズルは、前記ノズルプレートの表面側から照射されるレーザビームにより形成されることを特徴とする液体吐出装置。
- 前記各駆動部の圧電部材は、分極方向が互いに対向する状態に重ね合わされた一対の圧電素子であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記各駆動部の電極は、前記各圧力室の壁面および底面を成すことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記保護膜は、前記各電極を被覆する絶縁膜であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記各駆動部は、前記ノズルプレートの裏面に、接着剤により貼り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 供給される液体を前記各圧力室に通して排出する液室、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 基板と、
この基板上に設けられ、前記ノズルプレートを支持しながら、その基板およびノズルプレートと共に前記液室を形成する枠板と、
前記基板に形成され、液体を前記液室へ供給するための供給口と、
前記基板に形成され、前記液室内の液体を排出するための排出口と、
をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出装置。 - 前記供給口および前記排出口は、前記各圧力室における液体の流れ方向に沿って同各圧力室を挟む位置にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出装置。
- 前記液体は、インクであることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の液体吐出装置。
- 前記請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の液体吐出装置において、円形の光通過孔を有する第1マスク、および楕円形の光通過孔を有する第2マスクを用意し、裏面側に前記各圧力室が形成された状態の前記ノズルプレートに対し、ノズル形成用のレーザビームを前記第1マスク、前記第2マスク、および投影レンズを順に通して照射することにより、前記各ノズルを形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
- 前記請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の液体吐出装置において、前記各ノズルの楕円形の開口に対応する楕円形の非遮蔽部を有する第1アレイレンズ、および非遮蔽部を有しない第2アレイレンズを用意し、裏面側に前記各圧力室が形成された状態の前記ノズルプレートに対し、ノズル形成用のレーザビームを前記第1アレイレンズ、前記第2アレイレンズ、および投影レンズを順に通して照射することにより、前記各ノズルを形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
- 前記液体は、インクであることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の液体吐出装置の製造方法。
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