JP2009231672A - 電力用半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電力用の半導体素子43と、半導体素子43の発熱を外部に伝える伝熱性のモジュール基板41を有する複数の電力用の半導体モジュール13と、半導体モジュール13のモジュール基板41に接触して固定される伝熱性の伝熱板15、放熱面24から熱を放散し、放熱面24に対向する取付面18に伝熱板15が伝熱可能に立設される放熱板16とを備える。
【選択図】図2
Description
電力用の半導体素子と、上記半導体素子の発熱を外部に伝える伝熱性のモジュール基板を有する複数の電力用の半導体モジュールと、
上記半導体モジュールの上記モジュール基板に接触して固定される伝熱性の伝熱板と、
放熱面から熱を放散し、上記放熱面に対向する取付面に上記伝熱板が伝熱可能に立設される放熱板とを備える。
図1及び図2に、本発明の実施の形態1に係る電力用半導体装置を示す。図1は、実施の形態1の電力用半導体装置の斜視図であり、図2は、同断面図である。電力用半導体装置11は、比較的大きな電力を制御、整流するための装置であり、半導体モジュール13と、伝熱板15と、放熱板16と、水冷部27とを備える。
また、水冷の場合は、前述の伝熱抵抗が無視できなくなるため、熱伝導性グリース、熱伝導性ゲル、銀粒子分散ペースト、銀粒子分散液等を挟持部23および支持部19との接触面に予め塗布した状態で、又は、薄いグラファイトシートを挟持部23と伝熱板15との間に挟んだ状態で、第2支持部21を押し潰すことによって、伝熱板15と放熱板16との接続部分の伝熱抵抗を低減させることができる。
本実施の形態の電力用半導体装置は、実施の形態1の電力用半導体装置11と概ね同じ構成であり、第2支持部の形状に特徴を有する。図4は、実施の形態2の放熱板116が有する第2支持部71の側面図である。変形前の第2支持部71は、図示するように、パンチ75によって押圧される上面に、押圧溝73を有する。押圧溝73は、第2支持部71の長手方向に沿って形成される。第2支持部71は、パンチ75で上方から伝熱板15に平行な方向(図の矢印の方向)に押圧されることによって、塑性変形する。変形した第2支持部81は、伝熱板15を第1支持部19の方向に押し付ける。
本実施の形態の電力用半導体装置は、実施の形態2の電力用半導体装置と概ね同じ構成であり、伝熱板の固定部及びその近傍の形状に特徴を有する。図5は、実施の形態3の伝熱板115aの側面図である。伝熱板115aは、第1及び第2支持部19,71により挟持される部分である固定部に、変形部分を有する。変形部分は、変形した第2支持部119aに当接する位置及びその近傍に設けられる、帯状の窪み部分117aである。
本実施の形態の電力用半導体装置は、実施の形態2の電力用半導体装置と概ね同じ構成であり、放熱板に特徴を有する。放熱板216の平板部217は、取付面218に、図7に示すように、伝熱板15の固定部を挿入するための挿入溝219を有する。挿入溝219は、切削等によって、平板部217の取付面218に設けられた溝である。また、第1支持部19と第2支持部71とは、挿入溝219の両端部のそれぞれに立設される。すなわち、第1支持部19と第2支持部71とは、第1支持部19及び第2支持部71のそれぞれの対向する面と、挿入溝219を形成する対向する面とが、それぞれ平らに連続するように、取付面218に設けられる。これにより、第2支持部71の変形量は、点線で示す第2支持部281のように、大きくなる。そのため、伝熱板15と放熱板216との接触面積を広く確保することができ、接続部分での伝熱抵抗を減らすことが可能になる。
本実施の形態の電力用半導体装置は、実施の形態2の電力用半導体装置と概ね同じ構成であり、放熱板に特徴を有する。放熱板317の平板部317は、図8に示すように、伝熱板15の固定部を挿入するための挿入溝319と、パンチ75の先端77の位置決め及び押圧による取付面318の変形を容易にする押圧溝321とを有する。すなわち、放熱板317は、実施の形態2と異なり、第2支持部を有しない。
本実施の形態の電力用半導体装置は、実施の形態1の電力用半導体装置と概ね同じ構成であり、放熱板に特徴を有する。放熱板416は、図9の側方断面図及び図10の斜視図に示すように、平板部417にスロット421を備える。本実施の形態の電力用半導体装置は、スロット421を備えるため、空冷方式に適する。なお、放熱板416は、放熱面424に、フィンを備えてもよい。
Claims (12)
- 使用時に発熱する電力用の半導体素子と、上記半導体素子と接触する伝熱性のモジュール基板を有する複数の電力用の半導体モジュールと、
上記モジュール基板に固定される伝熱性の伝熱板と、
放熱面から熱を放散し、上記放熱面に対向する取付面に上記伝熱板が立設される放熱板とを備えることを特徴とする電力用半導体装置。 - 上記放熱板は、上記伝熱板を挟持する第1支持部及び第2支持部を上記取付面に有し、
上記第2支持部は、挟持された上記伝熱板を上記第1支持部側に押し付けるように塑性変形していることを特徴とする請求項1に記載の電力用半導体装置。 - 上記第2支持部は、上記第1支持部と変形前の第2支持部との間に上記伝熱板が配置された状態で、上記変形前の第2支持部を上記伝熱板と平行な方向に押圧することによって塑性変形していることを特徴とする請求項2に記載の電力用半導体装置。
- 上記変形前の第2支持部は、押圧される部分に押圧溝を有することを特徴とする請求項3に記載の電力用半導体装置。
- 上記放熱板は、上記取付面に、上記伝熱板が挿入される挿入溝を有し、
上記第1支持部及び上記第2支持部は、上記挿入溝の長手方向の両側面と連続する面を有するように設けられることを特徴とする請求項2から請求項4までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。 - 上記放熱板は、上記第1支持部に隣接する平行な細長い開口を上記取付面に含むスロットを有し、
上記第2支持部は、上記第1支持部のスロット側の支持面を支持する支持部材が上記スロットを介して挿入された状態で、上記変形前の第2支持部を上記第1支持部の方向に押圧することによって形成されることを特徴とする請求項2に記載の電力用半導体装置。 - 上記放熱板は、
上記取付面に形成され、上記伝熱板が挿入される挿入溝を有し、
上記挿入溝は、
上記伝熱板と当接する第1面部と、
上記第1面部と対向する第2面部とを有し、
上記第2面部は、上記挿入溝の深さ方向に上記第2面部の近傍が押圧されることによって、上記第1面部に上記伝熱板を押し付けるように塑性変形していることを特徴とする請求項1に記載の電力用半導体装置。 - 上記伝熱板は、変形した上記第2支持部と当接する部分に、変形した上記第2支持部と係合する変形部分を有することを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 上記半導体モジュールは、上記モジュール基板を挟んで上記放熱板とは反対側にのみ配置される端子を有することを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 上記放熱板は、上記放熱面に、上記放熱面の近傍を流れる熱媒体の流路中に突出する複数の放熱フィンを有することを特徴とする請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載の電力用半導体装置。
- 使用時に発熱する電力用の半導体素子と、上記半導体素子と接触する伝熱性のモジュール基板を有する複数の電力用の半導体モジュールと、
上記モジュール基板に固定される伝熱性の伝熱板と、
放熱面から熱を放散し、上記放熱面に対向する取付面に上記伝熱板が立設される放熱板と、
上記放熱板の上記取付面に、上記伝熱板を挟持する第1支持部及び第2支持部とを備える電力用半導体装置の製造方法であって、
上記第1支持部及び第2支持部の間に上記伝熱板を垂直に取り付けるステップと、
上記第2支持部を押圧することによって、上記第2支持部が挟持された上記伝熱板を上記第1支持部側に押し付けるように、上記第2支持部を塑性変形させるステップとを含むことを特徴とする電力用半導体装置の製造方法。 - 使用時に発熱する電力用の半導体素子と、上記半導体素子と接触する伝熱性のモジュール基板を有する複数の電力用の半導体モジュールと、
上記モジュール基板に固定される伝熱性の伝熱板と、
放熱面から熱を放散し、上記放熱面に対向する取付面に上記伝熱板が立設される放熱板と、
上記放熱板の上記取付面に形成され、上記伝熱板が挿入される挿入溝とを備え、
上記挿入溝は、上記伝熱板と当接する第1面部と、上記第1面部と対向する第2面部とを有する電力用半導体装置の製造方法であって、
上記挿入溝に上記伝熱板を垂直に取り付けるステップと、
上記第2面部の近傍を押圧することによって、上記第2面部が挟持された上記伝熱板を上記第1面部側に押し付けるように、上記第2面部を塑性変形させるステップとを含むことを特徴とする電力用半導体装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102136472A (zh) * | 2010-01-27 | 2011-07-27 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置模块 |
JP2013058809A (ja) * | 2012-12-26 | 2013-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置モジュール |
US11855528B2 (en) | 2018-12-26 | 2023-12-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power conversion apparatus |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02206688A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Hitachi Ltd | 粉末固体燃料噴出バーナ |
JPH04177775A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 固体スイッチ |
JPH05299576A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | マルチチップ型半導体装置及びその製造方法 |
JPH0621282A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-28 | Nippon Light Metal Co Ltd | ヒートシンク及びその製造方法 |
JPH0794669A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | 半導体パッケ−ジモジュ−ル |
JPH1187574A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Samsung Electron Co Ltd | 垂直実装形半導体チップパッケージ及びそれを含むパッケージモジュール |
JPH1197870A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電子装置 |
JP2002026200A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Mizutani Denki Kogyo Kk | 電子部品の放熱器 |
JP2002289771A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 並列mosfet回路の電極構造 |
JP2004158682A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Niwano:Kk | ヒートシンク |
JP2004296663A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Denso Corp | 半導体装置 |
-
2008
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02206688A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Hitachi Ltd | 粉末固体燃料噴出バーナ |
JPH04177775A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 固体スイッチ |
JPH05299576A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | マルチチップ型半導体装置及びその製造方法 |
JPH0621282A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-28 | Nippon Light Metal Co Ltd | ヒートシンク及びその製造方法 |
JPH0794669A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | 半導体パッケ−ジモジュ−ル |
JPH1187574A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Samsung Electron Co Ltd | 垂直実装形半導体チップパッケージ及びそれを含むパッケージモジュール |
JPH1197870A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電子装置 |
JP2002026200A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Mizutani Denki Kogyo Kk | 電子部品の放熱器 |
JP2002289771A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 並列mosfet回路の電極構造 |
JP2004158682A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Niwano:Kk | ヒートシンク |
JP2004296663A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Denso Corp | 半導体装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102136472A (zh) * | 2010-01-27 | 2011-07-27 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置模块 |
US20110180809A1 (en) * | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device module |
JP2011155088A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置モジュール |
KR101173927B1 (ko) * | 2010-01-27 | 2012-08-16 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 반도체장치 모듈 |
US8610263B2 (en) | 2010-01-27 | 2013-12-17 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device module |
DE102011003205B4 (de) * | 2010-01-27 | 2014-01-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtungsmodul |
JP2013058809A (ja) * | 2012-12-26 | 2013-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置モジュール |
US11855528B2 (en) | 2018-12-26 | 2023-12-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power conversion apparatus |
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