JP2010165714A - 半導体モジュールの冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】冷却管と半導体モジュールとの密着性を向上でき、冷却効率を上げることができる冷却装置を提供する。
【解決手段】通電により発熱する半導体モジュール2を備える。また、半導体モジュール2に接触し、内部に流れる冷媒4により半導体モジュール2を冷却する冷却管3を備える。これら半導体モジュール2と冷却管3とが交互に複数個積層されている。また、冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。
【選択図】図3
【解決手段】通電により発熱する半導体モジュール2を備える。また、半導体モジュール2に接触し、内部に流れる冷媒4により半導体モジュール2を冷却する冷却管3を備える。これら半導体モジュール2と冷却管3とが交互に複数個積層されている。また、冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。
【選択図】図3
Description
本発明は、冷却性能に優れた、半導体モジュールの冷却装置に関する。
従来から、半導体モジュールを用いたインバータが知られている。半導体モジュールには大電流が流れるため発熱量が大きく、この熱を冷却するために冷却装置が用いられる。
例えば、半導体モジュールと冷却管とを交互に複数個積層した冷却装置が知られている(下記特許文献参照)。この冷却装置では、冷却管に流れる冷媒により、半導体モジュールから発生する熱を冷却する。
例えば、半導体モジュールと冷却管とを交互に複数個積層した冷却装置が知られている(下記特許文献参照)。この冷却装置では、冷却管に流れる冷媒により、半導体モジュールから発生する熱を冷却する。
図10に、従来の冷却装置90の部分断面図を示す。この冷却装置90は半導体モジュール94と冷却管91とを交互に複数個(一部のみ図示する)積層したもので、冷却管91の内部に流れる冷媒95によって半導体モジュール94を冷却している。また、図示しない板バネによって積層方向に力fを加えており、これによって、半導体モジュール94と冷却管91とを一体化し、分離を防止している。
しかしながら従来の冷却装置90は、図10に示すごとく、力fによって冷却管91の壁部92が内側に湾曲する場合がある。これにより、半導体モジュール94と冷却管91との間に隙間96ができ、冷却効率が低下する問題が生じている。そのため、冷却管91と半導体モジュール94との密着性を向上でき、冷却効率を上げることができる冷却装置が望まれている。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、冷却管と半導体モジュールとの密着性を向上でき、冷却効率を上げることができる冷却装置を提供しようとするものである。
本発明は、通電により発熱する半導体モジュールと、
該半導体モジュールに接触し、内部に流れる冷媒により該半導体モジュールを冷却する冷却管とを交互に複数個積層してなり、
上記冷却管は、上記冷媒に接触する内側層と、上記半導体モジュールに接触する外側層とを積層してなり、上記外側層の熱膨張率が、上記内側層の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっていることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置にある(請求項1)。
該半導体モジュールに接触し、内部に流れる冷媒により該半導体モジュールを冷却する冷却管とを交互に複数個積層してなり、
上記冷却管は、上記冷媒に接触する内側層と、上記半導体モジュールに接触する外側層とを積層してなり、上記外側層の熱膨張率が、上記内側層の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっていることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置にある(請求項1)。
次に、本発明の作用効果につき説明する。
本発明では、冷却管は、冷媒に接触する内側層と、半導体モジュールに接触する外側層とを積層してなり、外側層の熱膨張率が、内側層の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。そのため、半導体モジュールの発熱により温度が上昇した場合、冷却管が外側へ膨らむように変形しようとする。これにより、たとえ、冷却管の積層方向に力が付与されていたとしても、冷却管と半導体モジュールとの圧接力および接触面積が増加する方向に冷却管が変形しようとするので、半導体モジュールの冷却効率を高めることが可能となる。
また、冷却効率が高まれば、半導体モジュールの面積を小さくでき、小型化とコスト低減を達成することも可能となる。
本発明では、冷却管は、冷媒に接触する内側層と、半導体モジュールに接触する外側層とを積層してなり、外側層の熱膨張率が、内側層の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。そのため、半導体モジュールの発熱により温度が上昇した場合、冷却管が外側へ膨らむように変形しようとする。これにより、たとえ、冷却管の積層方向に力が付与されていたとしても、冷却管と半導体モジュールとの圧接力および接触面積が増加する方向に冷却管が変形しようとするので、半導体モジュールの冷却効率を高めることが可能となる。
また、冷却効率が高まれば、半導体モジュールの面積を小さくでき、小型化とコスト低減を達成することも可能となる。
以上のごとく、本発明は、冷却管と半導体モジュールとの密着性を向上でき、冷却効率を上げることができる冷却装置を提供することができる。
上述した本発明における好ましい実施の形態につき説明する。
本発明において、上記外側層はアルミニウム合金であり、上記内側層は鉄合金、又は鉄−ニッケル合金、又は銅合金であることが好ましい(請求項2)。
このようにすると、内側層が熱伝導率の高い金属で構成されているので、半導体モジュールの熱を効率よく冷媒に伝えることが可能になる。そのため、半導体モジュールの冷却効率を一段と向上できる。また、これらの金属からなる外側層と内側層とを接合したクラッド材を用いれば、上記の熱膨張率に差があるバイメタル構造を容易に得ることができる。
本発明において、上記外側層はアルミニウム合金であり、上記内側層は鉄合金、又は鉄−ニッケル合金、又は銅合金であることが好ましい(請求項2)。
このようにすると、内側層が熱伝導率の高い金属で構成されているので、半導体モジュールの熱を効率よく冷媒に伝えることが可能になる。そのため、半導体モジュールの冷却効率を一段と向上できる。また、これらの金属からなる外側層と内側層とを接合したクラッド材を用いれば、上記の熱膨張率に差があるバイメタル構造を容易に得ることができる。
また、上記外側層はアルミニウム合金からなり、内部に上記冷媒が流れる流路を備えた本体部を構成し、該本体部の内面に銅合金からなる上記内側層が取り付けられていることが好ましい(請求項3)。
このようにすると、熱伝導率が高い銅合金を内側層として用いるので、半導体モジュールの冷却効率を高めることができる。また、外側層として、従来から用いられているアルミニウム合金製の本体部を利用することも可能となる。
このようにすると、熱伝導率が高い銅合金を内側層として用いるので、半導体モジュールの冷却効率を高めることができる。また、外側層として、従来から用いられているアルミニウム合金製の本体部を利用することも可能となる。
また、アルミニウム合金からなる上記外側層と、銅合金からなる上記内側層との電食を抑制する腐食抑制剤が、上記冷媒に添加されていることが好ましい(請求項4)。
このようにすると、アルミニウム合金と銅合金との電食を抑制することが可能になる。本発明では半導体モジュールの熱によって温度が上昇するため、アルミニウム合金と銅合金との電食が進行しやすいが、冷媒に腐食抑制剤を添加することにより、この問題を解決することができる。腐食抑制剤としては、リン酸を好適に用いることができる。リン酸を添加すると、外側層と内側層との表面にリン酸塩の皮膜が形成され、これにより、電食を効果的に抑制できる。
このようにすると、アルミニウム合金と銅合金との電食を抑制することが可能になる。本発明では半導体モジュールの熱によって温度が上昇するため、アルミニウム合金と銅合金との電食が進行しやすいが、冷媒に腐食抑制剤を添加することにより、この問題を解決することができる。腐食抑制剤としては、リン酸を好適に用いることができる。リン酸を添加すると、外側層と内側層との表面にリン酸塩の皮膜が形成され、これにより、電食を効果的に抑制できる。
また、複数個の上記半導体モジュールは接続され、車両用のインバータを構成していることが好ましい(請求項5)。
車両用のインバータは、特に大きな電流が流れ、発熱量が大きいため、本発明によって得られる効果が特に高い。
車両用のインバータは、特に大きな電流が流れ、発熱量が大きいため、本発明によって得られる効果が特に高い。
(実施例1)
本発明の実施例にかかる冷却装置につき、図1〜図7を用いて説明する。
図1は本例に係る冷却装置1の分解斜視図であり、図2は平面図である。また、図3は図2のa−a断面図であり、図4は図2のb−b断面図である。そして、図5は図2のc−c断面図である。
図示するごとく、本例の冷却装置1は、通電により発熱する半導体モジュール2を備える。また、半導体モジュール2に接触し、内部に流れる冷媒4(図3参照)により半導体モジュール2を冷却する冷却管3を備える。そして図1、図2に示すごとく、これら半導体モジュール2と冷却管3とを交互に複数個積層して構成されている。
図3、図4に示すごとく、冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。
以下、さらに詳説する。
本発明の実施例にかかる冷却装置につき、図1〜図7を用いて説明する。
図1は本例に係る冷却装置1の分解斜視図であり、図2は平面図である。また、図3は図2のa−a断面図であり、図4は図2のb−b断面図である。そして、図5は図2のc−c断面図である。
図示するごとく、本例の冷却装置1は、通電により発熱する半導体モジュール2を備える。また、半導体モジュール2に接触し、内部に流れる冷媒4(図3参照)により半導体モジュール2を冷却する冷却管3を備える。そして図1、図2に示すごとく、これら半導体モジュール2と冷却管3とを交互に複数個積層して構成されている。
図3、図4に示すごとく、冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。
以下、さらに詳説する。
図1に示すごとく、冷却管3には冷媒4の導入口10と導出口11とが接続されている。個々の冷却管3の間には、接続部12が設けられている。導入口10から冷媒4を導入すると、各々の冷却管3に冷媒4が流れ、半導体モジュール2が冷却される。
なお、冷却装置1には、図示しない板バネが設けられており、この板バネにより、冷却管3と半導体モジュール2とを積層方向に押圧し、一体化している。
なお、冷却装置1には、図示しない板バネが設けられており、この板バネにより、冷却管3と半導体モジュール2とを積層方向に押圧し、一体化している。
図3、図4に示すごとく、冷却管3は、上記内側層5を内側に備えた2枚の外側層6を成形して管状にした本体部60を構成してある。両者の間には平板状の仕切層7が挟持され、冷却管3の内部が2つの流路40に区画されている。上記外側層6はアルミニウム合金よりなり、その内側に積層された内側層5は銅合金よりなる。なお、内側層5は、鉄合金または鉄−ニッケル合金に変更することもできる。
より具体的には、同図に示すごとく、外側層6は、平板状の半導体接触部6aと、両端に形成された接続部6bと、これら半導体接触部6aと接続部6bとを繋ぐ折曲部6cとを備える。そして、2枚の外側層6と、平板状の仕切層7とを重ね合わせ、接続部6bにてロウ付けする。これにより、冷媒4が流れる流路40を備えた本体部60が形成される。
なお、本例では、外側層6の厚さと、内側層5の厚さは、共に約0.5mmである。
なお、本例では、外側層6の厚さと、内側層5の厚さは、共に約0.5mmである。
また、図3、図5に示すごとく、冷却管3のうち、半導体モジュール2に隣接する部分にのみ、半導体モジュール2を冷却するためのフィン8が設けられている。このフィン8は、図3に示すごとく、波板からなり、内側層5と仕切層7とに接触している。
また、本例では、アルミニウム合金からなる外側層6と、銅合金からなる内側層5との電食を抑制する腐食抑制剤が、冷媒4に添加されている。
図6は、半導体モジュール2が存在しなかった場合の、温度上昇時における冷却管3の変形状態を示す図である。上述したように、冷却管3は外側層6の熱膨張率が内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタルになっているため、温度上昇によって外側へ膨らむように変形する。
また本例では、図7に示すごとく、複数個の半導体モジュール2が接続され、車両用のインバータ20を構成している。
各々の半導体モジュール2には、IGBT素子23とフライホイールダイオード24が封止されている。一方の半導体モジュール2aのコレクタ端子26aと、他方の半導体モジュール2bのエミッタ端子27bとが直流入力端子となっている。また、一方の半導体モジュール2aのエミッタ端子27aと、他方の半導体モジュール2bのコレクタ端子26bとは交流出力端子になっている。そして、この交流出力端子に三相交流モータ21が接続されている。車両には、インバータ20の他、直流電源25、コンバータ22、コンデンサ28が搭載されている。直流電源25の電圧をコンバータ22にて昇圧し、半導体モジュール2a,2bの直流入力端子に印加する。IGBT素子23をオンオフ制御すると交流出力端子から交流電圧が出力され、この交流電圧によって三相交流モータ21を駆動して車両を走行させる。
各々の半導体モジュール2には、IGBT素子23とフライホイールダイオード24が封止されている。一方の半導体モジュール2aのコレクタ端子26aと、他方の半導体モジュール2bのエミッタ端子27bとが直流入力端子となっている。また、一方の半導体モジュール2aのエミッタ端子27aと、他方の半導体モジュール2bのコレクタ端子26bとは交流出力端子になっている。そして、この交流出力端子に三相交流モータ21が接続されている。車両には、インバータ20の他、直流電源25、コンバータ22、コンデンサ28が搭載されている。直流電源25の電圧をコンバータ22にて昇圧し、半導体モジュール2a,2bの直流入力端子に印加する。IGBT素子23をオンオフ制御すると交流出力端子から交流電圧が出力され、この交流電圧によって三相交流モータ21を駆動して車両を走行させる。
次に、本例の作用効果につき説明する。
図3に示すごとく、本例における冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。そのため、半導体モジュール2の発熱により温度が上昇した場合、冷却管3が、外側へ膨らむように変形しようとする(図6参照)。これにより、たとえ、板バネにより冷却管3の積層方向に力が付与されていたとしても、冷却管3と半導体モジュール2との圧接力および接触面積が増加する方向に冷却管3が変形しようとするので、半導体モジュール2の冷却効率を高めることが可能となる。
また、冷却効率が高まれば、半導体モジュール2の面積を小さくでき、小型化とコスト低減を達成することも可能となる。
図3に示すごとく、本例における冷却管3は、冷媒4に接触する内側層5と、半導体モジュール2に接触する外側層6とを積層してなり、外側層6の熱膨張率が、内側層5の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっている。そのため、半導体モジュール2の発熱により温度が上昇した場合、冷却管3が、外側へ膨らむように変形しようとする(図6参照)。これにより、たとえ、板バネにより冷却管3の積層方向に力が付与されていたとしても、冷却管3と半導体モジュール2との圧接力および接触面積が増加する方向に冷却管3が変形しようとするので、半導体モジュール2の冷却効率を高めることが可能となる。
また、冷却効率が高まれば、半導体モジュール2の面積を小さくでき、小型化とコスト低減を達成することも可能となる。
また、本例では外側層6はアルミニウム合金からなり、内側層5は銅合金からなる。
このようにすると、内側層5が熱伝導率の高い銅により構成されているので、半導体モジュール2の熱を効率よく冷媒4に伝えることが可能になる。そのため、半導体モジュール2の冷却効率を一段と向上できる。また、アルミニウム合金製の外側層6と、銅合金製の内側層5とを接合したクラッド材を用いれば、熱膨張率に差があるバイメタル構造を有する冷却管を容易に得ることができる。
このようにすると、内側層5が熱伝導率の高い銅により構成されているので、半導体モジュール2の熱を効率よく冷媒4に伝えることが可能になる。そのため、半導体モジュール2の冷却効率を一段と向上できる。また、アルミニウム合金製の外側層6と、銅合金製の内側層5とを接合したクラッド材を用いれば、熱膨張率に差があるバイメタル構造を有する冷却管を容易に得ることができる。
本例では、図3に示す外側層6はアルミニウム合金からなり、内部に冷媒4が流れる流路40を備えた本体部60を構成し、本体部60の内面に銅合金からなる内側層5が取り付けられている。
このようにすると、熱伝導率が高い銅合金を内側層5として用いるので、熱抵抗を下げることができ、半導体モジュール2の冷却効率を高めることができる。また、外側層6として、従来から用いられているアルミニウム合金製の本体部60を利用することも可能となる。
このようにすると、熱伝導率が高い銅合金を内側層5として用いるので、熱抵抗を下げることができ、半導体モジュール2の冷却効率を高めることができる。また、外側層6として、従来から用いられているアルミニウム合金製の本体部60を利用することも可能となる。
また、本例では、アルミニウム合金からなる外側層6と、銅合金からなる内側層5との電食を抑制する腐食抑制剤が、冷媒4に添加されている。
このようにすると、アルミニウム合金と銅合金との電食を抑制することが可能になる。本発明では半導体モジュール2の熱によって温度が上昇するため、アルミニウム合金と銅合金との電食が進行しやすいが、冷媒4に腐食抑制剤を添加することにより、この問題を解決することができる。腐食抑制剤としては、リン酸を好適に用いることができる。
冷媒4にリン酸が添加されていると、外側層6および内側層5の表面にリン酸塩の皮膜が形成され、これにより電食を効果的に抑制することが可能となる。
このようにすると、アルミニウム合金と銅合金との電食を抑制することが可能になる。本発明では半導体モジュール2の熱によって温度が上昇するため、アルミニウム合金と銅合金との電食が進行しやすいが、冷媒4に腐食抑制剤を添加することにより、この問題を解決することができる。腐食抑制剤としては、リン酸を好適に用いることができる。
冷媒4にリン酸が添加されていると、外側層6および内側層5の表面にリン酸塩の皮膜が形成され、これにより電食を効果的に抑制することが可能となる。
また、本例では、図7に示すごとく、複数個の半導体モジュール2が接続され、車両用のインバータ20を構成している。
車両用のインバータ20は、特に大きな電流が流れ、発熱量が大きいため、本発明によって得られる効果が特に高い。
車両用のインバータ20は、特に大きな電流が流れ、発熱量が大きいため、本発明によって得られる効果が特に高い。
また、図5に示すごとく、冷却管3のうち、半導体モジュール2に隣接する部分に、波板からなるフィン8が設けられている。
このフィン8により冷媒4との接触面積を大きくすることができ、半導体モジュール2の熱を効率よく冷媒4に伝えることができる。また、半導体モジュール2に隣接する部分にのみフィン8を設けているため、冷却管3の内側全体にフィン8を設けた場合と比較して、冷媒4の抵抗を小さくすることができる。
このフィン8により冷媒4との接触面積を大きくすることができ、半導体モジュール2の熱を効率よく冷媒4に伝えることができる。また、半導体モジュール2に隣接する部分にのみフィン8を設けているため、冷却管3の内側全体にフィン8を設けた場合と比較して、冷媒4の抵抗を小さくすることができる。
以上のごとく、本発明は、冷却管3と半導体モジュール2との密着性を向上でき、冷却効率を上げることができる冷却装置1を提供することができる。
(実施例2)
本例は、冷却管3の構造を変更した例である。図8に示すごとく、本例では2枚の内側層5と、1枚の仕切層7とを重ね合わせ、ロウ付けすることにより本体部50を構成している。そして、この本体部50の外面に外側層6を取り付けている。外側層6の熱膨張率は、内側層5の熱膨張率5よりも大きい。内側層5は、鉄合金、又は鉄−ニッケル合金、又は銅合金からなる。また、外側層6はアルミニウム合金製である。
本例は、冷却管3の構造を変更した例である。図8に示すごとく、本例では2枚の内側層5と、1枚の仕切層7とを重ね合わせ、ロウ付けすることにより本体部50を構成している。そして、この本体部50の外面に外側層6を取り付けている。外側層6の熱膨張率は、内側層5の熱膨張率5よりも大きい。内側層5は、鉄合金、又は鉄−ニッケル合金、又は銅合金からなる。また、外側層6はアルミニウム合金製である。
この構成を採用した場合も、図9に示すごとく、温度上昇に伴って、冷却管3は外側に膨れるように変形する。これにより、半導体モジュール2と冷却管3との密着性が向上し、半導体モジュール2を効率よく冷却することが可能となる。
その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。
その他、実施例1と同様の構成および作用効果を有する。
1 冷却装置
10 導入口
11 導出口
12 接続部
2 半導体モジュール
3 冷却管
4 冷媒
40 流路
5 内側層
6 外側層
60 本体部
7 仕切層
8 フィン
10 導入口
11 導出口
12 接続部
2 半導体モジュール
3 冷却管
4 冷媒
40 流路
5 内側層
6 外側層
60 本体部
7 仕切層
8 フィン
Claims (5)
- 通電により発熱する半導体モジュールと、
該半導体モジュールに接触し、内部に流れる冷媒により該半導体モジュールを冷却する冷却管とを交互に複数個積層してなり、
上記冷却管は、上記冷媒に接触する内側層と、上記半導体モジュールに接触する外側層とを積層してなり、上記外側層の熱膨張率が、上記内側層の熱膨張率よりも大きいバイメタル構造になっていることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置。 - 請求項1において、上記外側層はアルミニウム合金であり、上記内側層は鉄合金、又は鉄−ニッケル合金、又は銅合金であることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置。
- 請求項1または請求項2において、上記外側層はアルミニウム合金からなり、内部に上記冷媒が流れる流路を備えた本体部を構成し、該本体部の内面に銅合金からなる上記内側層が取り付けられていることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置。
- 請求項3において、アルミニウム合金からなる上記外側層と、銅合金からなる上記内側層との電食を抑制する腐食抑制剤が、上記冷媒に添加されていることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置。
- 請求項1〜請求項4のいずれか1項において、複数個の上記半導体モジュールが接続され、車両用のインバータを構成していることを特徴とする半導体モジュールの冷却装置。
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2009
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