JP2009224572A - I−iii−vi族カルコパライト型薄膜系太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属裏面電極の結晶配向性を改善してI−III−VI族カルコパライト化合物の結晶配向性を改善し、光電変換効率を向上させた太陽電池の提供を目的とする。
【解決手段】
基板1上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極10、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、透明電極7を、この順で積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池において、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】
基板1上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極10、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、透明電極7を、この順で積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池において、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池及びその製造方法に関する。
I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、Inなどの希少金属を構成材料の一部として用いるものの薄膜であることから、その使用量は極めて少なく、低コストの太陽電池として期待されている。さらに、単結晶シリコン太陽電池や単結晶化合物半導体太陽電池のように単結晶基板を用いる必要がないので、この点においてもコスト面で有利である。I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池用の基板には、ガラス基板、金属基板などの低コスト基板が一般的に使用される。
さらに近年では、I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の光電変換効率も向上しており、単結晶シリコン太陽電池の効率に近づきつつある。I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の光電変換効率を向上させる方法としてアルカリ金属を添加することが効果的であると開示されている(特許文献1参照)。
この特許文献1においてはアルカリ金属を添加する理由としてI−III−VI族カルコパライト化合物Cu(In+Ga)Seの結晶性が促進されていることが挙げられている。
この特許文献1においてはアルカリ金属を添加する理由としてI−III−VI族カルコパライト化合物Cu(In+Ga)Seの結晶性が促進されていることが挙げられている。
I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の金属裏面電極にはMoを用いることが一般的である。その理由としては、Moが後処理工程で一般的に用いられるH2Seガス、H2SガスあるいはSe、Sに対して耐食性を有すること、比較的高い導電性を有することなどが挙げられる。
前述したようにI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の光電変換効率を向上させるためにはI−III−VI族カルコパライト化合物の結晶性を向上させることが重要であるが、金属裏面電極のMoの結晶配向性を制御して、I−III−VI族カルコパライト化合物の結晶性を促進させようと試みる研究は現状では見受けられない。
また、以下の特許文献2において、c軸配向した下地CdSを成膜することによりその膜上に形成したCuInSe2層を(112)配向できることが開示されているが、この特許文献2においては下地のCdS層を如何にc軸配向させるかについては明示されていない。
特開2006−210424号公報
特開平5−48140号公報
前述したようにI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の光電変換効率を向上させるためにはI−III−VI族カルコパライト化合物の結晶性を向上させることが重要であるが、金属裏面電極のMoの結晶配向性を制御して、I−III−VI族カルコパライト化合物の結晶性を促進させようと試みる研究は現状では見受けられない。
また、以下の特許文献2において、c軸配向した下地CdSを成膜することによりその膜上に形成したCuInSe2層を(112)配向できることが開示されているが、この特許文献2においては下地のCdS層を如何にc軸配向させるかについては明示されていない。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、金属裏面電極のMoあるいはその代替となる材料(例えばW、Ta、Nb、Mo合金、W合金、Ta合金、Nb合金)の結晶配向性に着目し、金属裏面電極の結晶配向性を改善することによりI−III−VI族カルコパライト化合物の結晶配向性を改善し、光電変換効率を向上させた太陽電池の提供を目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
1)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、基板上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、透明電極を、積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池において、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することを特徴とする。
1)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、基板上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、透明電極を、積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池において、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することを特徴とする。
2)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記積層構造の金属裏面電極が、少なくとも2層構造を有し、それらの2層が基板側から配向制御層、配向層であることを特徴とする。
3)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、1)において前記積層構造の金属裏面電極が、少なくとも3層構造を有し、それらの3層が基板側からシード層、配向制御層、配向層であることを特徴とする。
4)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記配向制御層が、Cr、V、Cr合金、V合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
3)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、1)において前記積層構造の金属裏面電極が、少なくとも3層構造を有し、それらの3層が基板側からシード層、配向制御層、配向層であることを特徴とする。
4)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記配向制御層が、Cr、V、Cr合金、V合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
5)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記配向制御層が、RuAl合金からなることを特徴とする。
6)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記配向層が、Mo、W、Ta、Nb、Mo合金、W合金、Ta合金、Nb合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
7)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記シード層が、Co、NiおよびFeから選ばれる何れか1種類以上と、W、Mo、TaおよびNbから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする。
8)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記シード層が、Mo、Wから選ばれる何れか1種類以上と、Ru、Reから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする。
6)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記配向層が、Mo、W、Ta、Nb、Mo合金、W合金、Ta合金、Nb合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
7)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記シード層が、Co、NiおよびFeから選ばれる何れか1種類以上と、W、Mo、TaおよびNbから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする。
8)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記シード層が、Mo、Wから選ばれる何れか1種類以上と、Ru、Reから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする。
9)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記シード層が、NiP合金、MoP合金、CrP食金、FeP合金、MnP合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
10)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体がI族元素としてCu、Agから選ばれるいずれか1種以上から、III族元素としてGa、In、Alから選ばれるいずれか1種以上から、VI族元素としてS、Se、Teから選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
11)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体上にn型バッファー層が積層され、前記n型バッファー層上に前記透明電極が積層されていることを特徴とする。
12)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記n型バッファー層が、CdS合金、InS合金、ZnS合金、ZnMgO合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
13)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記透明電極がITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−A12O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
10)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体がI族元素としてCu、Agから選ばれるいずれか1種以上から、III族元素としてGa、In、Alから選ばれるいずれか1種以上から、VI族元素としてS、Se、Teから選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
11)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体上にn型バッファー層が積層され、前記n型バッファー層上に前記透明電極が積層されていることを特徴とする。
12)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記n型バッファー層が、CdS合金、InS合金、ZnS合金、ZnMgO合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
13)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、前記透明電極がITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−A12O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする。
14)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法は、基板上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、n型バッファー層、透明電極を積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法において、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、体心立方構造を有し、その結晶構造を主として(002)配向とした配向層を形成することを特徴とする。
15)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法は、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、配向制御層と配向層の2層を形成し、前記配向制御層により配向層の結晶構造を主として(002)配向とし、該配向層の結晶配向性に前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体の結晶構造を配向させることを特徴とする。
16)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法は、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、シード層と配向制御層と配向層の3層を形成することを特徴とする。
15)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法は、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、配向制御層と配向層の2層を形成し、前記配向制御層により配向層の結晶構造を主として(002)配向とし、該配向層の結晶配向性に前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体の結晶構造を配向させることを特徴とする。
16)本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法は、前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、シード層と配向制御層と配向層の3層を形成することを特徴とする。
本発明のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池においては、積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層(配向層)が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することによりI−III−VI族カルコパライト化合物の結晶配向性を改善し、光電変換効率に優れたI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池が得られる。さらに積層構造の金属裏面電極に配向制御層、シード層を用いることにより、更に(002)配向性を向上させた配向層を得ることができる。
また、本発明のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法によれば、(002)配向性を向上させた配向層により、光電変換効率に優れたI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池を製造することができる。
更に、配向制御層により配向層の結晶構造を主として(002)配向とし、該配向層の結晶配向性に前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体の結晶構造を配向させることで光電変換効率の優れたI−III−VI族カルコパライト型の太陽電池を製造することができる。
また、本発明のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法によれば、(002)配向性を向上させた配向層により、光電変換効率に優れたI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池を製造することができる。
更に、配向制御層により配向層の結晶構造を主として(002)配向とし、該配向層の結晶配向性に前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体の結晶構造を配向させることで光電変換効率の優れたI−III−VI族カルコパライト型の太陽電池を製造することができる。
以下に、本発明のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の一実施形態について、図1を適宜参照しながら説明する。
但し、本発明は以下の実施形態の各々に限定されるものではなく、例えば、これら実施形態の構成要素同士を適宜組み合わせても良い。
[I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の全体構成]
図1は本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の一実施形態の断面構造を模式的に示した図である。
図1において、符号1は基板、2はシード層、3は配向制御性、4は配向層、5はp型I−III−VI族カルコパライト層、6はn型バッファー層、7は透明電極、8は負極、9が正極である。
この実施形態において金属裏面電極10は、シード層2、配向制御性3、配向層4により構成され、金属裏面電極10の上面の一部上にp型I−III−VI族カルコパライト層5とn型バッファー層6と透明電極7とが積層され、透明電極7の上面の一部上に負極8が形成されている。なお、本実施形態の太陽電池構造において、基板1の構成材料の選択によりシード層2は省くことも可能である。
但し、本発明は以下の実施形態の各々に限定されるものではなく、例えば、これら実施形態の構成要素同士を適宜組み合わせても良い。
[I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の全体構成]
図1は本発明に係るI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の一実施形態の断面構造を模式的に示した図である。
図1において、符号1は基板、2はシード層、3は配向制御性、4は配向層、5はp型I−III−VI族カルコパライト層、6はn型バッファー層、7は透明電極、8は負極、9が正極である。
この実施形態において金属裏面電極10は、シード層2、配向制御性3、配向層4により構成され、金属裏面電極10の上面の一部上にp型I−III−VI族カルコパライト層5とn型バッファー層6と透明電極7とが積層され、透明電極7の上面の一部上に負極8が形成されている。なお、本実施形態の太陽電池構造において、基板1の構成材料の選択によりシード層2は省くことも可能である。
「基板1」
この実施形態において用いる基板1にはガラス基板、金属基板、プラスチック基板あるいは金属ロール、プラスチックロールなど周知の材料をなんら制限なく用いることができる。好ましくはS、SeやTeに対して耐食性の強いガラス基板、あるいは耐食性を向上させるためにシリカコートやNiPメッキを施した金属基板、プラスチック基板、金属ロール、プラスチックロールなどが用いられる。さらに好ましくはガラス基板としてソーダライムガラスを用いることが安価であるので好ましい。
この実施形態において用いる基板1にはガラス基板、金属基板、プラスチック基板あるいは金属ロール、プラスチックロールなど周知の材料をなんら制限なく用いることができる。好ましくはS、SeやTeに対して耐食性の強いガラス基板、あるいは耐食性を向上させるためにシリカコートやNiPメッキを施した金属基板、プラスチック基板、金属ロール、プラスチックロールなどが用いられる。さらに好ましくはガラス基板としてソーダライムガラスを用いることが安価であるので好ましい。
「シード層2」
シード層2にはCo、NiおよびFeから選ばれる何れか1種類以上と、W、Mo、TaおよびNbから選ばれる何れか1種類以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。あるいは、Mo、Wから選ばれる何れか1種類以上と、Ru、Reから選ばれる何れか1種類以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。あるいは、NiP合金、MoP合金、CrP合金、FeP合金、MnP合金から選ばれるいずれか1種以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。
シード層2にはCo、NiおよびFeから選ばれる何れか1種類以上と、W、Mo、TaおよびNbから選ばれる何れか1種類以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。あるいは、Mo、Wから選ばれる何れか1種類以上と、Ru、Reから選ばれる何れか1種類以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。あるいは、NiP合金、MoP合金、CrP合金、FeP合金、MnP合金から選ばれるいずれか1種以上の成分から構成される合金層を用いることが出来る。
上述のシード層2に用いられる合金層の組成は特に限定されるものではない。しかし、好ましくは、Co、Ni及びFeの合計含有率が20at%〜80at%の範囲内であり、W、Mo、Ta及びNbの合計含有率が20at%〜80at%の範囲内である合金組成が望ましい。Co、Ni及びFeの合計含有率が20at%未満および80at%を超える範囲では、配向制御層3の結晶配向が十分ではなく配向層4の結晶性が劣化してしまう。同様の理由でM、Wの合計含有率が20at%〜80at%の範囲内であり、Ru、Reの合計含有率が20at%〜80at%の範囲内であることが望ましい。NiP合金、MoP合金、CrP合金、FeP合金、MnP合金も組成は特に限定されるものではないが、好ましくはPの含有量が5〜30at%の範囲であることが望ましい。Pの含有量が5%未満では配向制御層3の結晶配向が十分ではなく配向層4の結晶性が劣化してしまう。P含有量が30%を超えると電気抵抗率が上昇してしまい電極材料としては好ましくない。
上述のシード層2には、より好ましくはCo−W系合金、Co−Mo系合金、Co−Ta系合金、Co−Nb系合金、Ni−Ta系合金、Ni−Nb系合金、Fe−W系合金、Fe−Mo系合金、Fe−Nb系合金、Mo−Ru系合金、Mo−Re系合金、W−Ru系合金、W−Re系合金、NiP系合金、MoP系合金、CrP系合金、FeP系合金、MnP系合金の中から選択される少なくとも1つの合金からなる層を用いることが望ましい。
Co−W系合金、Co−Mo系合金、Co−Ta系合金、Co−Nb系合金、Ni−Ta系合金、Ni−Nb系合金、Fe−W系合金、Fe−Mo系合金、Fe−Nb系合金はそれぞれ単独でも特性は発揮するし、これらのいくつかが組み合わさった合金でも同様の特性を発現する。例えば、Co−W−Mo系合金、Co−Ni−Nb系合金、Co−W−Mo−Ta系合金などでも同様の特性を発現する。同様にMo−Ru系合金、Mo−Re系合金、W−Ru系合金、W−Re系合金それぞれ単独でも特性は発揮するし、これらのいくつかが組み合わさった合金でも同様の特性を発現する。例えば、Mo−W−Ru合金、Mo−W−Re合金などでも同様の特性を発揮する。
Co−W系合金、Co−Mo系合金、Co−Ta系合金、Co−Nb系合金、Ni−Ta系合金、Ni−Nb系合金、Fe−W系合金、Fe−Mo系合金、Fe−Nb系合金はそれぞれ単独でも特性は発揮するし、これらのいくつかが組み合わさった合金でも同様の特性を発現する。例えば、Co−W−Mo系合金、Co−Ni−Nb系合金、Co−W−Mo−Ta系合金などでも同様の特性を発現する。同様にMo−Ru系合金、Mo−Re系合金、W−Ru系合金、W−Re系合金それぞれ単独でも特性は発揮するし、これらのいくつかが組み合わさった合金でも同様の特性を発現する。例えば、Mo−W−Ru合金、Mo−W−Re合金などでも同様の特性を発揮する。
本発明におけるシード層2の膜厚は1nm〜1000nmが好ましい。1nm未満では薄すぎて配向制御層3の結晶配向性が十分ではなく配向層4の結晶性が劣化してしまう。膜厚の上限は特に限定はないが生産性の観点から1000nm以下が好ましい。
本発明におけるシード層2には、補助的効果を有する元素を添加しても良い。添加元素としてはTi、V、Cr、Mn、Zr、Hf、Ru、B、Al、Si、Pなどが例示される。これらの添加元素の合計含有率は20at%以下であることが好ましい。合計含有率が20at%を超えると上述の配向調整膜の効果が低下してしまう。合計含有量の下限は、0.1at%であり、含有量が0.1at%未満では添加元素の効果が無くなる。
シード層2は、p型I−III−VI族カルコパライト層に含まれるS、Se、Teと直接接することはないため配向層4に要求されるS、Se、Teに対する耐食性を有する必要性はないが、側面からの腐食を防ぐためにS、Se、Teに対する耐食性は有していたほうが好ましい。なお、上記物質はいずれもS、Se、Teに対して側面からの腐食を起こさない程度の耐食性を有する。
本発明におけるシード層2には、補助的効果を有する元素を添加しても良い。添加元素としてはTi、V、Cr、Mn、Zr、Hf、Ru、B、Al、Si、Pなどが例示される。これらの添加元素の合計含有率は20at%以下であることが好ましい。合計含有率が20at%を超えると上述の配向調整膜の効果が低下してしまう。合計含有量の下限は、0.1at%であり、含有量が0.1at%未満では添加元素の効果が無くなる。
シード層2は、p型I−III−VI族カルコパライト層に含まれるS、Se、Teと直接接することはないため配向層4に要求されるS、Se、Teに対する耐食性を有する必要性はないが、側面からの腐食を防ぐためにS、Se、Teに対する耐食性は有していたほうが好ましい。なお、上記物質はいずれもS、Se、Teに対して側面からの腐食を起こさない程度の耐食性を有する。
「配向制御層3」
配向制御層3にはCr、Vまたは、Cr合金、とりわけCrとMn、Ti、Mo、A1、Ta、W、Ni、B、SiおよびVから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるCr合金層あるいは、V合金とりわけVとMn、Ti、Mo、A1、Ta、W、Ni、B、SiおよびCrから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるV合金層を用いることが好ましい。また配向制御層3としてRuA1合金を用いることもできる。
配向制御層3は体心立方構造あるはB2構造を取ることが好ましい。さらに、いずれの
場合も(002)配向することがより好ましい。
配向制御層3にはCr、Vまたは、Cr合金、とりわけCrとMn、Ti、Mo、A1、Ta、W、Ni、B、SiおよびVから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるCr合金層あるいは、V合金とりわけVとMn、Ti、Mo、A1、Ta、W、Ni、B、SiおよびCrから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるV合金層を用いることが好ましい。また配向制御層3としてRuA1合金を用いることもできる。
配向制御層3は体心立方構造あるはB2構造を取ることが好ましい。さらに、いずれの
場合も(002)配向することがより好ましい。
本発明における配向制御層3の膜厚は1nm〜1000nmが好ましい。1nm未満では薄すぎて配向層4の結晶配向性が十分ではない。膜厚の上限は特に限定はないが生産性の観点から1000nm以下が好ましい。
配向制御層3は、p型I−III−VI族カルコパライト層5に含まれるS,Seと直接接することはないため配向層4に要求されるS、Se、Teに対する耐食性を有する必要性はないが、側面からの腐食を防ぐためにS、Se、Teに対する耐食性は有していたほうが好ましい。なお、上記物質はいずれもS、Se、Teに対して側面からの腐食を起こさない程度の耐食性を有する。
配向制御層3は、p型I−III−VI族カルコパライト層5に含まれるS,Seと直接接することはないため配向層4に要求されるS、Se、Teに対する耐食性を有する必要性はないが、側面からの腐食を防ぐためにS、Se、Teに対する耐食性は有していたほうが好ましい。なお、上記物質はいずれもS、Se、Teに対して側面からの腐食を起こさない程度の耐食性を有する。
「配向層4」
配向層4はMo、W、Ta、NbまたはMo合金、とりわけMoとW、Ta、Nb、Cr、V、Ti、Mn、AI、Ni、SI、Bから選ぱれる1種もしくは2種類以上とからなるMo合金層、あるいはW合金、とりわけWとMo、Ta、Nb、Cr、V、Ti、Mn、Al、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるW合金層、あるいはTa合金、とりわけTaとMo、W、Nb、Cr、V、Ti、Mn、A1、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるTa合金層、あるいはNb合金、とりわけNbとMo、W、Ta、Cr、V、Ti、Mn、Al、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるNb合金層を用いることが好ましい。
配向層4はMo、W、Ta、NbまたはMo合金、とりわけMoとW、Ta、Nb、Cr、V、Ti、Mn、AI、Ni、SI、Bから選ぱれる1種もしくは2種類以上とからなるMo合金層、あるいはW合金、とりわけWとMo、Ta、Nb、Cr、V、Ti、Mn、Al、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるW合金層、あるいはTa合金、とりわけTaとMo、W、Nb、Cr、V、Ti、Mn、A1、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるTa合金層、あるいはNb合金、とりわけNbとMo、W、Ta、Cr、V、Ti、Mn、Al、Ni、SI、Bから選ばれる1種もしくは2種類以上とからなるNb合金層を用いることが好ましい。
配向層4は体心立方構造を取ることが好ましい。さらに(002)配向することがより
好ましい。
本発明における配向層4の膜厚はlnm〜10000nmが好ましい。1nm未満では薄すぎてp型I−III−VI族カルコパライト層5の結晶配向性が十分ではない。膜厚の上限は特に限定はないが生産性の観点から10000nm以下が好ましい。
シード層2、配向制御層3、配向層4の成膜は従来公知のいずれの方法も用いることができるが、好ましくはスパッタ法、蒸着法など従来公知の真空装置を用いることが望ましい。さらに好ましくはスパッタ法が用いることが、より緻密で結晶配向性の優れた膜を成
膜することが可能である。
シード層2、配向制御層3、配向層4はそれぞれ別の装置で成膜することも可能であるが、結晶配向性を向上させるために真空中で連続成膜することが好ましい。また、シード層2を用いる場合は、シード層2を成膜したのち、配向制御層3を成膜する前に、シード層2の表面を酸素雰囲気に曝露する工程を有することが好ましい。曝露する酸素雰囲気は、例えぱ5×10−4Pa以上の酸素ガスを含む雰囲気とするのが好ましい。また曝露用の雰囲気ガスを水と接触させたものを用いることもできる。また曝露時間は、0.5秒〜15秒の範囲内とするのが好ましい。酸素雰囲気に曝露することにより、結晶配向性を向上させることができる。
好ましい。
本発明における配向層4の膜厚はlnm〜10000nmが好ましい。1nm未満では薄すぎてp型I−III−VI族カルコパライト層5の結晶配向性が十分ではない。膜厚の上限は特に限定はないが生産性の観点から10000nm以下が好ましい。
シード層2、配向制御層3、配向層4の成膜は従来公知のいずれの方法も用いることができるが、好ましくはスパッタ法、蒸着法など従来公知の真空装置を用いることが望ましい。さらに好ましくはスパッタ法が用いることが、より緻密で結晶配向性の優れた膜を成
膜することが可能である。
シード層2、配向制御層3、配向層4はそれぞれ別の装置で成膜することも可能であるが、結晶配向性を向上させるために真空中で連続成膜することが好ましい。また、シード層2を用いる場合は、シード層2を成膜したのち、配向制御層3を成膜する前に、シード層2の表面を酸素雰囲気に曝露する工程を有することが好ましい。曝露する酸素雰囲気は、例えぱ5×10−4Pa以上の酸素ガスを含む雰囲気とするのが好ましい。また曝露用の雰囲気ガスを水と接触させたものを用いることもできる。また曝露時間は、0.5秒〜15秒の範囲内とするのが好ましい。酸素雰囲気に曝露することにより、結晶配向性を向上させることができる。
また、シード層2成膜後、基板を加熱することにより、さらに良好な配向制御層3、配向層4の結晶配向性を得ることができる。基板の加熱は100℃〜500℃が好ましい。前述のシード層2、配向制御層3、配向層4は電気的に直列に接続するためにレーザスクライブ法などを用いて分割することがあるが、この際、シード層2、配向制御層3、配向層4は良好に除去されることが好ましい。上記、シード層2、配向制御層3、配向層4はいずれもこの条件を満たす。
なお、I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、通常の構成において起電力が1.3V程度であるので、実用的に太陽電池として用いる起電力としては不十分である。実用的な太陽電池の起電力は用途により様々であるが、5Vから100Vの間が一般的であるので、この起電力を実現するためには複数の電池を直列接続する必要がある。
ここで基板1の上に上述の薄膜を積層して太陽電池構造を実現する場合、基板1を含めた積層膜をスクライブして複数の太陽電池ユニットに分割し、これら分割した複数の太陽電池ユニットを接続する必要がある。この際に上述の如くレーザスクライブ法などにより分割するなどの方法を実施する場合、成膜装置の成膜室から積層膜を大気中に取り出す必要が生じる。
なお、I−III−VI族カルコパライト層5は比較的軟質であるので、スクライブラインを入れることは容易に実施できる。また、スクライブすることを考慮すると、I−III−VI族カルコパライト層5の下層側に位置する他の層は硬質であることが好ましいが前述の各層はその条件を満たしている。
なお、I−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池は、通常の構成において起電力が1.3V程度であるので、実用的に太陽電池として用いる起電力としては不十分である。実用的な太陽電池の起電力は用途により様々であるが、5Vから100Vの間が一般的であるので、この起電力を実現するためには複数の電池を直列接続する必要がある。
ここで基板1の上に上述の薄膜を積層して太陽電池構造を実現する場合、基板1を含めた積層膜をスクライブして複数の太陽電池ユニットに分割し、これら分割した複数の太陽電池ユニットを接続する必要がある。この際に上述の如くレーザスクライブ法などにより分割するなどの方法を実施する場合、成膜装置の成膜室から積層膜を大気中に取り出す必要が生じる。
なお、I−III−VI族カルコパライト層5は比較的軟質であるので、スクライブラインを入れることは容易に実施できる。また、スクライブすることを考慮すると、I−III−VI族カルコパライト層5の下層側に位置する他の層は硬質であることが好ましいが前述の各層はその条件を満たしている。
また、p型I−III−VI族カルコパライト層5、n型バッファー層6を成膜後、同じく電気的に直列に接続するためにメカニカルスクライブ法によりp型1−IH−VI族カルコパライト層5、n型バッファー層6のみを除去することがあるが、この際、シード層2、配向制御層3、配向層4はメカニカルスクライブ法で除去されてはいけないために、十分な密着性および硬度を持っていることが好ましい。上記、シード層2、配向制御層3、配向層4はいずれもこの条件を満たす.好ましくはスパッタ法を用いて成膜することにより密着性の高いシード層2、配向制御層3、配向層4を得ることができる。
「p型I−III−VI族カルコパライト層5」
p型I−III−VI族カルコパライト層5は、I族元素としてCu、Agから選ばれるいずれか1種以上、III族元素としてGa、In、Alから選ばれるいずれか1種以上、VI族元素としてS、Se、Teから選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが好ましい。更に好ましくは、Cu(In+Ga)(S+Se)2を用いることにより、光電変換効率を向上させることが可能である。また、Inは希少金属であるのでInの代替としてFeを用いてCu(Fe+Ga)(S十Se)2を用いることも可能である。
p型I−III−VI族カルコパライト層5はカルコパライト型結晶構造を取ることが好ましい。カルコパライト型結晶構造は等軸晶のセン亜鉛鉱構造の単位胞を縦に2つ積み重ねた構造を持っている。カルコパライト型結晶構造にはさまざまな組成があるが、a軸の格子定数は5.3〜6.4Åの範囲に存在している。カルコパライト型結晶構造を取るCuInSe2(002)面の断面図を図2に示す。CuInSe2のa軸の格子定数は5.78Åであり、その単位ユニットは図2の実線に示された正方形である。さらに断面構造を詳細に見ると破線で示された小さい正方形が存在することがわかる。この正方形の一辺の長さはa軸の格子定数の1/(2)1/2倍であるので、4.09Åである。
一方、Mo、W、Ta、Nbの格子定数は3.1〜3.3Åであり、例えば上記4.09Åとは整合性が悪いように見える。しかしながら図3のMo(002)面の断面図から分かるように、実線で示された正方形の単位ユニットよりも大きい破線で示される正方形が存在していることが分かる。この正方形の一辺の長さはa軸の格子定数の21/2倍であるので4.48Åである。
4.48/4.09=1.095であるので、両者は約9.5%の格子不整合性を持つことになる。不整合性が15%以下であれば、結晶成長は促進されるので、Mo(0002)面上にCuInSe2(002)面を結晶成長させることが可能となる。
以上説明のために、CuInSe2とMoを用いたが、不整合性が15%以内であれば、いずれのカルコパライト型結晶構造にも、Mo、W、Ta、Nbを用いることが可能である。
なお、カルコパライト型結晶構造は(200)面と(002)面の構造が類似しているので、カルコパライト型結晶構造およびMo、Ta、Nbの選び方によっては(200)面が配向する場合がある。
p型I−III−VI族カルコパライト層5は、I族元素としてCu、Agから選ばれるいずれか1種以上、III族元素としてGa、In、Alから選ばれるいずれか1種以上、VI族元素としてS、Se、Teから選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが好ましい。更に好ましくは、Cu(In+Ga)(S+Se)2を用いることにより、光電変換効率を向上させることが可能である。また、Inは希少金属であるのでInの代替としてFeを用いてCu(Fe+Ga)(S十Se)2を用いることも可能である。
p型I−III−VI族カルコパライト層5はカルコパライト型結晶構造を取ることが好ましい。カルコパライト型結晶構造は等軸晶のセン亜鉛鉱構造の単位胞を縦に2つ積み重ねた構造を持っている。カルコパライト型結晶構造にはさまざまな組成があるが、a軸の格子定数は5.3〜6.4Åの範囲に存在している。カルコパライト型結晶構造を取るCuInSe2(002)面の断面図を図2に示す。CuInSe2のa軸の格子定数は5.78Åであり、その単位ユニットは図2の実線に示された正方形である。さらに断面構造を詳細に見ると破線で示された小さい正方形が存在することがわかる。この正方形の一辺の長さはa軸の格子定数の1/(2)1/2倍であるので、4.09Åである。
一方、Mo、W、Ta、Nbの格子定数は3.1〜3.3Åであり、例えば上記4.09Åとは整合性が悪いように見える。しかしながら図3のMo(002)面の断面図から分かるように、実線で示された正方形の単位ユニットよりも大きい破線で示される正方形が存在していることが分かる。この正方形の一辺の長さはa軸の格子定数の21/2倍であるので4.48Åである。
4.48/4.09=1.095であるので、両者は約9.5%の格子不整合性を持つことになる。不整合性が15%以下であれば、結晶成長は促進されるので、Mo(0002)面上にCuInSe2(002)面を結晶成長させることが可能となる。
以上説明のために、CuInSe2とMoを用いたが、不整合性が15%以内であれば、いずれのカルコパライト型結晶構造にも、Mo、W、Ta、Nbを用いることが可能である。
なお、カルコパライト型結晶構造は(200)面と(002)面の構造が類似しているので、カルコパライト型結晶構造およびMo、Ta、Nbの選び方によっては(200)面が配向する場合がある。
p型I−III−VI族カルコパライト層5の成膜方法は従来公知の方法を用いることができる。例えばCu(In+Ga)(S+Se)2の場合、CuGa,Inをスパッタ法により成膜し、その後、硫化水素、セレン化水素を用いて高温(400〜800℃)にて硫化セレン化することによりp型I−III−VI族カルコパライト層5を得ることができる。また、S、Seを蒸着した後に、高温(400〜800℃〉にてアニールすることによってもp型I−III−VI族カルコパライト層5を得ることができる。また、真空成膜法を用いずCu(In+Ga)(S+Se〉2粉末を作成し、それを塗布して高温(400〜800℃)にて焼成することによってもp型I−III−VI族カルコパライト層5を得ることができる。
本発明におけるp型I−III−VI族カルコパライト層5の膜厚は0,1μm〜10μmが好ましい。0.1μm未満では薄すぎて光吸収が十分ではない。上限は特に限定されないが、生産性の観点から10μm以下が好ましい。
本発明におけるp型I−III−VI族カルコパライト層5の膜厚は0,1μm〜10μmが好ましい。0.1μm未満では薄すぎて光吸収が十分ではない。上限は特に限定されないが、生産性の観点から10μm以下が好ましい。
「n型バッファー層6」
n型バッファー層6は、CdS合金、InS合金、ZnS合金、ZnMgO合金から選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが好ましい。
n型バッファー層6の役割としては、CdやZnのp型I−III−VI族カルコパライト層5への拡散により、p型I−III−VI族カルコパライト層5の表層だけn型化されることよりpnホモ接合を形成する点にある。あるいは、高抵抗層が形成されるためにシャントパスが低減されるなど、様々なことが提言されているが正確にその役割は解明されていない。従って、今後n型バッファー層6に代替する新たな物質が開発される可能性があるが、本発明においてはp型I−III−VI族カルコパライト層5の結晶性を向上させて光電変換効率を向上させることを目的としているので、例え、n型バッファー層6に代替する新たな物質が開発されても、本発明の効果が無くなるわけではない。
n型バッファー層6は、CdS合金、InS合金、ZnS合金、ZnMgO合金から選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが好ましい。
n型バッファー層6の役割としては、CdやZnのp型I−III−VI族カルコパライト層5への拡散により、p型I−III−VI族カルコパライト層5の表層だけn型化されることよりpnホモ接合を形成する点にある。あるいは、高抵抗層が形成されるためにシャントパスが低減されるなど、様々なことが提言されているが正確にその役割は解明されていない。従って、今後n型バッファー層6に代替する新たな物質が開発される可能性があるが、本発明においてはp型I−III−VI族カルコパライト層5の結晶性を向上させて光電変換効率を向上させることを目的としているので、例え、n型バッファー層6に代替する新たな物質が開発されても、本発明の効果が無くなるわけではない。
「透明電極7」
透明電極7は、可視光において十分な透過性と、導電性を持っていればいずれの物質も使用可能であるが、好ましくはITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−A I2O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが望ましい。
透明電極7は、可視光において十分な透過性と、導電性を持っていればいずれの物質も使用可能であるが、好ましくはITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−A I2O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれるいずれか1種以上からなる構成を用いることが望ましい。
次に、本発明のI−III−VI型薄膜系太陽電池を、実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
「実施例1」
基板1にソーダライムガラス(板厚0.7mm)を用い、基板表面を洗浄、乾燥したのちスパッタ装置に投入し、シード層2として、CoW合金(100nm)、配向制御層3として、Cr(10nm)、配向層4として、Mo(500nm)、Cu、Inを連続成膜した。なお、シード層2のCoW合金成膜後に基板を250℃まで加熱し、その後、酸素暴露を0.05Paで5秒間実施した。真空装置から基板を取り出した後、セレン化法によりp型I−III−VI族カルコパライト層5としてCuInSe2を作成した。そのときの膜厚は1.5μmであった。
その後、スパッタ装置に基板を投入し、n型バッファー層6としてZnS(20nm)、透明電極7としてAZO(300nm)を成膜した。
その後、メカニカルスクライブ法により、裏面電極層を露出させ裏面電極層の一部に正極9を形成した。また、透明電極7上の一部に負極8を形成した。電極の形成にはスパッタ装置を用いA1層(50nm)、Ag層(300nm)を形成し電極とした。
「実施例1」
基板1にソーダライムガラス(板厚0.7mm)を用い、基板表面を洗浄、乾燥したのちスパッタ装置に投入し、シード層2として、CoW合金(100nm)、配向制御層3として、Cr(10nm)、配向層4として、Mo(500nm)、Cu、Inを連続成膜した。なお、シード層2のCoW合金成膜後に基板を250℃まで加熱し、その後、酸素暴露を0.05Paで5秒間実施した。真空装置から基板を取り出した後、セレン化法によりp型I−III−VI族カルコパライト層5としてCuInSe2を作成した。そのときの膜厚は1.5μmであった。
その後、スパッタ装置に基板を投入し、n型バッファー層6としてZnS(20nm)、透明電極7としてAZO(300nm)を成膜した。
その後、メカニカルスクライブ法により、裏面電極層を露出させ裏面電極層の一部に正極9を形成した。また、透明電極7上の一部に負極8を形成した。電極の形成にはスパッタ装置を用いA1層(50nm)、Ag層(300nm)を形成し電極とした。
「比較例1」
基板1にソーダライムガラス(板厚0.7mm)を用い、基板表面を洗浄、乾燥したのちスパッタ装置に投入し、配向層4としてMo(500nm)層、次いでCu層、In層を連続成膜した。真空装置から基板を取り出した後、セレン化法によりp型I−III−VI族カルコパライト層5CuInSe2を作成した。そのときの膜厚は1.5μmであった。
その後、スパッタ装置に基板を投入し、n型バッファー層6としてZnS層(20nm)、透明電極7としてAZO(ZnO+Al2O3:5wt%:300nm)層を成膜した。
その後、メカニカルスクライブ法により、裏面電極層を露出させ裏面電極層の一部に正極9を形成した。また、透明電極7上の一部に負極8を形成した。電極の形成にはスパッタ装置を用いAl層(50nm)、Ag層(300nm)を形成した。
基板1にソーダライムガラス(板厚0.7mm)を用い、基板表面を洗浄、乾燥したのちスパッタ装置に投入し、配向層4としてMo(500nm)層、次いでCu層、In層を連続成膜した。真空装置から基板を取り出した後、セレン化法によりp型I−III−VI族カルコパライト層5CuInSe2を作成した。そのときの膜厚は1.5μmであった。
その後、スパッタ装置に基板を投入し、n型バッファー層6としてZnS層(20nm)、透明電極7としてAZO(ZnO+Al2O3:5wt%:300nm)層を成膜した。
その後、メカニカルスクライブ法により、裏面電極層を露出させ裏面電極層の一部に正極9を形成した。また、透明電極7上の一部に負極8を形成した。電極の形成にはスパッタ装置を用いAl層(50nm)、Ag層(300nm)を形成した。
(評価)
実施例1および比較例1について、変換効率の測定を実施した。評価条件としてはエア・マス(AM)1.5、100mW/cm2の擬似太陽光を透明電極側から照射した。結果を表1に示す。また、X線測定装置において配向層Moの結晶性をθ−2θ法にて測定した。
なお、表1の変換効率とは、(Isc・Voc・FF)/100mWの式で示される値を%表示したものであり、100mWの当入電力に対してどの程度の出力が得られたのかを意味する規格化された指標として知られている。
実施例1および比較例1について、変換効率の測定を実施した。評価条件としてはエア・マス(AM)1.5、100mW/cm2の擬似太陽光を透明電極側から照射した。結果を表1に示す。また、X線測定装置において配向層Moの結晶性をθ−2θ法にて測定した。
なお、表1の変換効率とは、(Isc・Voc・FF)/100mWの式で示される値を%表示したものであり、100mWの当入電力に対してどの程度の出力が得られたのかを意味する規格化された指標として知られている。
「表1」
実施例1 比較例1
Mo X線強度(110) 25 240
Mo X線強度(002) 2120 120
変換効率(%) 15.2 12.6
短絡電流Isc(mA/cm2) 32.5 31.1
開放電圧 Voc(V) 0.612 0.602
曲線因子FF 0.755 0.671
実施例1 比較例1
Mo X線強度(110) 25 240
Mo X線強度(002) 2120 120
変換効率(%) 15.2 12.6
短絡電流Isc(mA/cm2) 32.5 31.1
開放電圧 Voc(V) 0.612 0.602
曲線因子FF 0.755 0.671
比較例1は裏面電極としてMoのみを使用した場合である。一方、実施例1は裏面電極として、シード層にCoW、配向制御層にCr、配向層にMoを使用した。実施例1の変換効率は比較例と比べて改善している。実施例1においてシード層、配向制御層を用いることによりMoの(002)配向が著しく改善していることがわかる。このことが太陽電池としての変換効率を向上させていると考えられる。
1…基板、
2…シード層、
3…配向制御層、
4…配向層、
5…p型I−III−VI族カルコパライト層、
6…n型バッファー層、
7…透明電極、
8…負極、
9…正極、
10…金属裏面電極。
2…シード層、
3…配向制御層、
4…配向層、
5…p型I−III−VI族カルコパライト層、
6…n型バッファー層、
7…透明電極、
8…負極、
9…正極、
10…金属裏面電極。
Claims (16)
- 基板上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、透明電極を積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池において、
前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層が体心立方構造を有し、その結晶配向性が主として(002)配向を有することを特徴とするI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。 - 前記積層構造の金属裏面電極が、少なくとも2層構造を有し、それらの2層が基板側から配向制御層、配向層であることを特徴とする請求項1に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記積層構造の金属裏面電極が、少なくとも3層構造を有し、それらの3層が基板側からシード層、配向制御層、配向層であることを特徴とする請求項1に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記配向制御層が、Cr、V、Cr合金、V合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記配向制御層が、RuAl合金からなることを特徴とする請求項2または3に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記配向層が、Mo、W、Ta、Nb、Mo合金、W合金、Ta合金、Nb合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記シード層が、Co、NiおよびFeから選ばれる何れか1種類以上と、W、Mo、TaおよびNbから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記シード層が、Mo、Wから選ばれる何れか1種類以上と、Ru、Reから選ばれる何れか1種類以上とを含むことを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記シード層が、NiP合金、MoP合金、CrP食金、FeP合金、MnP合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項3〜8のいずれか1項に記載の1一皿一W族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体がI族元素としてCu、Agから選ばれるいずれか1種以上から、III族元素としてGa、In、Alから選ばれるいずれか1種以上から、VI族元素としてS、Se、Teから選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体上にn型バッファ層が積層され、前記n型バッファー層上に前記透明電極が積層されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記n型バッファー層が、CdS合金、InS合金、ZnS合金、ZnMgO合金から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 前記透明電極がITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−A12O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)から選ばれるいずれか1種以上からなることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池。
- 基板上に少なくとも、積層構造の金属裏面電極、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体、n型バッファー層、透明電極を積層したI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法において、
前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、体心立方構造を有し、その結晶構造を主として(002)配向とした配向層を形成することを特徴とするI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法。 - 前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、配向制御層と配向層の2層を形成し、前記配向制御層により配向層の結晶構造を主として(002)配向とし、該配向層の結晶配向性に前記p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体の結晶構造を配向させることを特徴とする請求項13に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法。
- 前記積層構造の金属裏面電極の少なくとも、p型I−III−VI族カルコパライト型化合物半導体に接する層として、シード層と配向制御層と配向層の3層を形成することを特徴とする請求項14に記載のI−III−VI族カルコパライト型薄膜系太陽電池の製造方法。
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JP2008067690A JP2009224572A (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | I−iii−vi族カルコパライト型薄膜系太陽電池及びその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101222054B1 (ko) | 2011-11-30 | 2013-01-14 | 주식회사 아바코 | 박막형 태양 전지와 그 제조 방법 |
-
2008
- 2008-03-17 JP JP2008067690A patent/JP2009224572A/ja active Pending
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