JP2009214052A - 塗布装置、塗布方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
レジスト液をスピンコーティングにより塗布する工程において、回転している基板の遠心力により飛散したレジストミストを排気流から効率良く分離し、レジストミストが排気路側へ回り込むことを抑えること。
【解決手段】
基板の回転による遠心力よりレジスト液が飛散する前に、カップ内部表面にカップ内部の表面を濡らすためのミストを吹き付ける。この工程によりカップの内部表面に液膜(親水性)をつくり、この液膜にレジストミストが接触し当該レジストミストは吸着される。
そして、基板の回転による遠心力によりレジストミストが飛散しているときにミスト供給ノズルより捕捉用のミストをカップ内部へ供給し、当該捕捉用のミストがレジストミストを捕捉する。その結果、レジストミストの質量が増加しレジストミストは廃液路へ落ちていくとともにウエハの回転により生じた気流は排気路へ流れていく。この結果、効率的な気液分離が可能となる。
【選択図】図4
Description
この基板保持部に保持された基板に塗布液を供給する塗布ノズルと、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むように設けられ、底部に排気路が設けられたカップと、
基板の中心部に前記塗布ノズルから吐出された塗布液が基板の回転による遠心力により飛散する前に、カップ内部表面に液を供給して当該表面を濡らすためのカップ内前処理用の液供給部と、
前記塗布液が前記基板の回転による遠心力により飛散しているときに、飛散した塗布液のミストを捕捉するための捕捉用のミストをカップの内部に供給するためのミスト供給部と、を備えたことを特徴とする。
この場合、前記捕捉用のミストの供給開始のタイミングは、塗布液が基板から飛散する前である。
この場合、前記ミスト供給部は、カップの周方向に沿って環状に形成された環状流路にミスト吐出孔が形成されて構成されていることを特徴とする。
次いで基板の中心部に塗布液を供給すると共に基板保持部を鉛直軸周りに回転させて基板の表面に塗布液を塗布する工程と、
塗布液が基板の回転による遠心力により飛散する前に、カップ内部表面に液を供給して当該表面を濡らす工程と、
前記塗布液が基板の回転による遠心力により飛散しているときに、捕捉用のミストを前記基板を囲むカップの内部に供給して、飛散した塗布液のミストを捕捉する工程と、を含むことを特徴とする。
この場合、前記塗布液のミストを捕捉するためのミストの供給開始のタイミングは、塗布液が基板から飛散する前である。
この場合において、前記ミスト供給部は、カップの周方向に沿って環状に形成された環状流路にミスト吐出孔が形成されて構成されていることを特徴とする。
更に他の発明は、回転する基板に塗布液を供給して塗布する塗布装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、本発明の上記の塗布方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする。
そして、スピンコーティングにより基板から塗布液のミストが飛散しているときにミストをカップ内部に供給して塗布液のミストを捕捉し、これより、ミストを増大させ慣性力を大きくしている。従って既述のように塗布液のミストが液膜に吸着されることと相俟って、塗布液のミストが排気路側に混入することが抑えられ、その結果高い効率で気液分離を行うことができる。従って環境汚染の低減やメンテナンスの負荷の軽減に寄与する。
なお、図1では供給路51、61、71はカップ体10の内壁を貫通してその外へ引き出される構成としているが、ミスト供給ノズル5、6、7の供給ポートにチューブを接続し、そのチューブを既述の環状空間18を介してカップ体10の底面に引き回し、当該底面を貫通させて外部へ引き出すようにしてもよい。
の内部に搬入してスピンチャック20の昇降動作を介して当該スピンチャック20に吸着保持させる。その後時刻t1にて溶剤供給ノズル40よりウエハWの中心部に溶剤を供給し、時刻t2にて中段ミスト供給ノズル6及び下段ミスト供給ノズル7から水ミストの吐出を開始する。
5 上段のミスト供給ノズル
6 中段のミスト供給ノズル
7 下段のミスト供給ノズル
10 カップ体
20 スピンチャック
21 駆動部
30 レジストノズル
32 レジスト液供給源
40 溶剤ノズル
42 溶剤供給源
52 液体供給源
53 供給制御機器群
60 ミスト吐出孔
R レジストミスト
M 水ミスト
Claims (10)
- 基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板に塗布液を供給する塗布ノズルと、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むように設けられ、底部に排気路が設けられたカップと、
基板の中心部に前記塗布ノズルから吐出された塗布液が基板の回転による遠心力により飛散する前に、カップ内部表面に液を供給して当該表面を濡らすためのカップ内前処理用の液供給部と、
前記塗布液が前記基板の回転による遠心力により飛散しているときに、飛散した塗布液のミストを捕捉するための捕捉用のミストをカップの内部に供給するためのミスト供給部と、を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 前記捕捉用のミストの供給開始のタイミングは、塗布液が基板から飛散する前であることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
- 前記ミスト供給部は、前記カップ内前処理用の液供給部を兼用することを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。
- 前記ミスト供給部は、前記カップの内部にカップの周方向に沿って形成されたミスト吐出孔を備えていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の塗布装置。
- 前記ミスト供給部は、カップの周方向に沿って環状に形成された環状流路にミスト吐出孔が形成されて構成されている請求項4に記載の塗布装置。
- 基板を基板保持部に水平に保持する工程と、
次いで基板の中心部に塗布液を供給すると共に基板保持部を鉛直軸周りに回転させて基板の表面に塗布液を塗布する工程と、
塗布液が基板の回転による遠心力により飛散する前に、カップ内部表面に液を供給して当該表面を濡らす工程と、
前記塗布液が基板の回転による遠心力により飛散しているときに、捕捉用のミストを前記基板を囲むカップの内部に供給して、飛散した塗布液のミストを捕捉する工程と、を含むことを特徴とする塗布方法。 - 前記塗布液のミストを捕捉するためのミストの供給開始のタイミングは、塗布液が基板から飛散する前であることを特徴とする請求項6記載の塗布方法。
- 前記ミスト供給部は、前記カップの内部にカップの周方向に沿って形成されたミスト吐出孔を備えていることを特徴とする請求項6または7に記載の塗布方法。
- 前記ミスト供給部は、カップの周方向に沿って環状に形成された環状流路にミスト吐出孔が形成されて構成されていることを特徴とする請求項8記載の塗布方法。
- 回転する基板に塗布液を供給して塗布する塗布装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項6ないし9のいずれか一つに記載の塗布方法を実施するためのステップ群が組み込まれていることを特徴とする記憶媒体。
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